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文檔簡(jiǎn)介
1、傳感器原理及其應(yīng)用第一章傳感器的一般特性1)信息技術(shù)包括計(jì)算機(jī)技術(shù)、通信技術(shù)和傳感器技術(shù),是現(xiàn)代信息產(chǎn)業(yè)的三大支柱。2)傳感器又稱變換器、探測(cè)器或檢測(cè)器,是獲取信息的工具廣義:傳感器是一種能把特定的信息(物理、化學(xué)、生物)按一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成某種可用信號(hào) 輸出的器件和裝置。狹義:能把外界非電信息轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出的器件。國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)(GB7665-87):定義:能夠感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào) 的器件或裝置。3)傳感器的組成:敏感元件是直接感受被測(cè)量,并輸出與被測(cè)量成確定關(guān)系的某一物理量的元件。 轉(zhuǎn)換元件:將敏感元件輸出的非電物理量轉(zhuǎn)換成電路參數(shù)或電量?;巨D(zhuǎn)換電路:上述電路參數(shù)接入
2、基本轉(zhuǎn)換電路(簡(jiǎn)稱轉(zhuǎn)換電路),便可轉(zhuǎn)換成電量輸出。4)傳感器的靜態(tài)性能指標(biāo)(1)更定義:傳感器輸出量的變化值與相應(yīng)的被測(cè)量(輸入量)的變化值之比,傳感器輸出曲線的斜率就是其靈敏度。 純線性傳感器靈敏度為常數(shù),與_輸入量大小無(wú)關(guān);非線性傳感器靈敏度與_x有關(guān)。(2)線性度定義:傳感器的輸入-輸出校準(zhǔn)曲線與理論擬合直線之間的最大偏離與傳感器滿量程輸出 之比,稱為傳感器的“非線性誤差”或“線性度”。線性度又可分為: 絕對(duì)線性度:為傳感器的實(shí)際平均輸出特性曲線與理論直線的最大偏差。 端基線性度:傳感器實(shí)際平均輸出特性曲線對(duì)端基直線的最大偏差。端基直線定義:實(shí)際平均輸出特性首、末兩端點(diǎn)的連線。 零基線性
3、度:傳感器實(shí)際平均輸出特性曲線對(duì)零基直線的最大偏差。 獨(dú)立線性度:以最佳直線作為參考直線的線性度。 最小二乘線性度:用最小二乘法求得校準(zhǔn)數(shù)據(jù)的理論直線。(3)遲滯定義:對(duì)某一輸入量,傳感器在正行程時(shí)的輸出量不同于其在反行程時(shí)的輸出量,這一現(xiàn)象稱為遲滯。即:傳感器在正(輸入量增大)反(輸入量減?。┬谐讨休敵鲚斎肭€不重合稱為遲滯。遲滯特性(4)重復(fù)性定義:在相同工作條件下,在一段短的時(shí)間間隔內(nèi),同一輸入量值多次測(cè)量所得的輸出之間相互偏離的程度。(5)穩(wěn)定性穩(wěn)定性有兩個(gè)指標(biāo): 測(cè)量傳感器輸出值在一段時(shí)間中的變化,以穩(wěn)定度表示; 傳感器外部環(huán)境和工作條件變化引起輸出值的不穩(wěn)定,用影響量表示。在長(zhǎng)時(shí)間
4、工作的情況下輸出量發(fā)生的變化,有時(shí)稱為長(zhǎng)時(shí)間工作穩(wěn)定性或零點(diǎn)漂移。第二章電阻應(yīng)變式傳感器及應(yīng)用1)金屬電阻應(yīng)變片工作原理是基于金屬的應(yīng)變效應(yīng)。金屬絲的電阻隨著它所受的機(jī)械形變 (拉伸或壓縮)而發(fā)生相應(yīng)的變化的現(xiàn)象成為金屬的電阻應(yīng)變效應(yīng)。2)單根導(dǎo)電絲的靈敏系數(shù)心p / P= 12材料的電阻導(dǎo)電絲的幾何1率P發(fā)生變尺寸的改變物理意義:?jiǎn)挝粦?yīng)變引起的電阻相對(duì)變化。K0由兩部分組成:前一部分(1+2?。河刹牧系膸缀纬叽缱兓?,AP/ P后一部分:電阻率隨應(yīng)變而引起的(稱I /I般金屬壓阻效應(yīng)卩棧3,因此(1+2 Q胡.6 ;也1/150100 倍。金屬材料以前者為主,半導(dǎo)體以后者為主。半導(dǎo)體靈敏度
5、要比金屬大3)金屬電阻應(yīng)變計(jì)的的靈敏度系數(shù)式中:K為靈敏度系數(shù)4)應(yīng)變計(jì)的靈敏度 K恒小于金屬線材的靈敏度的原因:(1)粘合劑、基底傳遞衰減;(2)存在橫向效應(yīng)。5)金屬電阻應(yīng)變計(jì)的其他特性參數(shù)(1)應(yīng)變極限:粘貼在試件上的應(yīng)變計(jì)所能測(cè)量的最大應(yīng)變值。(2)零漂和蠕變:零漂:恒定溫度下,粘貼在試件上的應(yīng)變計(jì),在不承受載荷的條件下,電阻隨時(shí)間 變化的特性稱為應(yīng)變計(jì)的零漂。蠕變:力不變,時(shí)間變化,輸出變化。6)電橋補(bǔ)償法一一常用且效果較好的溫度補(bǔ)償法 工作應(yīng)變片貼在試件上,補(bǔ)償片貼在相同材料的補(bǔ)償件上,補(bǔ)償件不受力,并接入電 橋相鄰臂。補(bǔ)償件與被測(cè)件處于完全相同的溫度場(chǎng)內(nèi)。 工作片、補(bǔ)償片貼在同一
6、試件上,但補(bǔ)償片不受力作用。 工作片、補(bǔ)償片貼在同一試件上,但兩者感受的應(yīng)變符號(hào)相反。7)電阻應(yīng)變式傳感器測(cè)量電路(一)直流電橋的特性方程及平衡條件abUMRR - R2R3(R ® (R R)平衡時(shí)有 尺農(nóng)- R2R3 = 0,稱為直流電橋平衡條件。(二)直流電橋的電壓靈敏度根據(jù)橋臂上應(yīng)變片布置情況,全等臂直流電橋又分為單臂、雙臂、全橋情況: 單臂電橋:U sc雙臂電橋:Use 全臂電橋:8)Use全橋靈敏度最高;R雙臂工作的差動(dòng)電橋靈敏度次之; 單臂電橋靈敏度最低 。靈敏度比較:應(yīng)變式傳感器應(yīng)用1、柱(筒)式力傳感器 如何粘貼應(yīng)變計(jì)?一般將應(yīng)變計(jì)對(duì)稱地貼在應(yīng)力均勻的圓柱表面的中間
7、部分 橫向粘貼的應(yīng)變計(jì)作用:2、懸臂梁式傳感器溫度補(bǔ)償,提高靈敏度6FIbh2E應(yīng)變片橋路連接方法應(yīng)變片橋路連接信號(hào)輸出Use 二 u 空二 Uk;R9)例題:一臺(tái)采用等強(qiáng)度梁的電子稱,在梁的上下兩面各貼有兩片電阻應(yīng)變片,做成稱重傳感器。已知:L=100mm b0=11mm h=3mm E=2.1 x 104N/mm2 K=2 ,接入直流四臂差動(dòng)電橋, 供橋電壓6V。求( 1)其電壓靈敏度(Ku=UO/F)。(2) 當(dāng)稱重0.5kg時(shí),電橋的輸出電壓U0為多大?當(dāng)上下各貼兩片應(yīng)變片,并接入四臂差動(dòng)電橋中時(shí),其輸出電壓:Ui6FlUo LK4;=KUih4h2b°E則其電壓靈敏度為Uo
8、6l: i6 100 6KuK2 -Fh2b E32 11 21 104=3.463X10-3 (V/N)=3.463(mV/N)當(dāng)稱重 F=0.5kg=0.5 X9.8N=4.9N時(shí),輸出電壓為U =K F=3.463X4.9=16.97(mV)10)例題:以阻值 R=120Q,靈敏度系數(shù) K=2.0的電阻應(yīng)變片與阻值 120 Q的固定電阻組成 電橋,供橋電壓為 3V,并假定負(fù)載電阻為無(wú)窮大,當(dāng)應(yīng)變片的應(yīng)變?yōu)? 和2000 時(shí),分別求出單臂、雙臂和全臂差動(dòng)電橋的輸出電壓,并比較兩種情況下的靈敏度。解:依題意二_ 一 _-年呂" XZ.UXEI 拠科旳差動(dòng):u.5ke = - x 2
9、.0x8 =26x10tF1l(£=2 uf)(j=2000)靈敏度:Kug /4=1.5xlO-tf(P/ 聲)單臂 I kU(f 2-3xl0-6 (y / 則)J 差動(dòng) I可見,差動(dòng)工作時(shí),傳感器及其測(cè)量的靈敏度加倍。第三章電感式傳感器及其應(yīng)用1) 電感式傳感器是以電和磁為媒介,利用電磁感應(yīng)原理,利用磁路磁阻變化引起傳感器線圈的電感(自感L或互感M)變化來(lái)檢測(cè)非電量的機(jī)電轉(zhuǎn)換裝置。分類:電感式:L 變化差動(dòng)變壓器式:M變化電渦流式:L、M變化2) 自感式傳感器改善非線性:二二_1,構(gòu)成差動(dòng)式自感傳感器。53) 自感式傳感器提高靈敏度:減少初始極距(氣隙),構(gòu)成差動(dòng)式自感傳感器。
10、4)自感式傳感器的測(cè)量電路交流電橋UoUac Lfc2 LoL -而Lo 冠所以 Uo2 d可見電橋輸電壓出與 d有關(guān)。變壓器電橋初始 Z1=Z2=Z ,電橋平衡,U0=0 銜鐵上移,設(shè) Z仁Z+A Z, Z2=Z- Z,則Uo同理銜鐵下移時(shí)Uo5)電渦流式傳感器由法拉第電磁感應(yīng)原理知:一個(gè)塊狀金屬導(dǎo)體置于變化的磁場(chǎng)中或在磁場(chǎng)中作用切割磁力線運(yùn)動(dòng)時(shí),導(dǎo)體內(nèi)部會(huì)產(chǎn)生一圈圈閉和的電流, 效應(yīng)。根據(jù)電渦流效應(yīng)制作的傳感器稱電渦流傳感器 電渦流傳感器能夠?qū)Ρ粶y(cè)量進(jìn)行非接觸測(cè)量 形成電渦流必須具備兩個(gè)條件: 存在交變磁場(chǎng) 導(dǎo)電體處于交變磁場(chǎng)中6)電渦流式傳感器工作原理當(dāng)傳感器線圈通以正弦交變電流 板在此
11、交變磁場(chǎng)中會(huì)產(chǎn)生感應(yīng)電流這種電流叫電渦流,這種現(xiàn)象叫做電渦流i1時(shí),線圈周圍空間必然產(chǎn)生正弦交變磁場(chǎng)H1,金屬i2 (在金屬體內(nèi)是閉合, 稱之為“渦電流”或“渦流”)。i2又產(chǎn)生新的交變磁場(chǎng) H2。H2的作用將反抗原磁場(chǎng) 變化。線圈阻抗的取決于被測(cè)金屬導(dǎo)體的電渦流效應(yīng)。7)有一差動(dòng)電感位移傳感器,已知電源電壓 傳感器線圈電阻與電感量分別為 電阻設(shè)計(jì)成四臂等阻抗電橋,試求:(1)匹配電阻的值(2)當(dāng)厶Z=io時(shí),Z1Usr=4V, f=4ooHZ,R=4oQ, L=3omH用兩只匹配Use分別結(jié)成單臂和差動(dòng)電橋后的輸出電壓值。 Usr(1)線圈感抗 XL=coL=2n/L=2x400x30xl0
12、-3=75.4 (Q)線囿的阻抗 Z =R,+Xj =j40,十754, =854(。)故其電橋的匹配電阻 = =2=854 (Q)(2)當(dāng)AZ=10G時(shí),電橋的輸岀電壓分別為單臂工作: =扌號(hào)冷x拾"11矽)雙臂差動(dòng)工作:U=c_UW io _ 2 Z 2 85.4=0234(F)8)本章要點(diǎn): 自感式、互感式傳感器的結(jié)構(gòu)組成、工作原理、性能特點(diǎn)及其應(yīng)用 電渦流式傳感器的工作原理、結(jié)構(gòu)組成及其應(yīng)用 第4章電容式傳感器1)定義:利用電容器的原理,將被測(cè)非電量的變化轉(zhuǎn)換為電容量變化的傳感器件。2) 工作原理:: Sc = 一d在d、S和£三個(gè)參數(shù)中,保持其中兩個(gè)不變,改變另一
13、個(gè)參數(shù)就可以使電容量C發(fā)生改變。3)三種基本類型:變極距 (變間隙)(d)型;變面積型(S)型;變介電常數(shù)(& )型4)試計(jì)算習(xí)題42圖所示各電容傳感元件的總電容表達(dá)式。r 4解:由圖可見(1)三個(gè)電容串聯(lián)Cr戲d1C22S二 d2C3 二-3Sd3則1 1 1=十1 =d d2. d3C 串G C 2C31S2S3S=di ;2;3 小2;1;3 d3;2故;1 ;2 3SC 一S 寧3S_ SC串di ;2;3d2 1 ;3 d3;1;2 di/ ;1d2/ ;2 d3/;3(2 )兩個(gè)電容器并聯(lián)(3)柱形電容器C1= C2 = C =名C并二 Cl C22 Sd2 二 LIn d
14、2 / d14、在壓力比指示系統(tǒng)中采用差動(dòng)式變間隙電容傳感器和電橋測(cè)量電路, 已知:(1)(2)如習(xí)題圖4-3所示。0=0.25mm; D=38.2mm R=5.1k Q; Usr=60V(交流),頻率 f=400Hz。試求: 該電容傳感器的電壓靈敏度Ku (V/呵);C=0.00lJlFM=由傳感器結(jié)構(gòu)及其測(cè)量電路可知(1)初始電容0.001|1F當(dāng)電容傳感器的動(dòng)極板位移=10 pm時(shí),輸出電壓 Use值。4x025xWJ=40,6x 10-ia(F)= 40.6pF1 16X7c2x 400 x 40.fix 10=9.8 x 106(Q)»= 5. lAn;則從而得(2) UO
15、 二 Ku Ad=O.12V/mxlOim=1.2V第五章 壓電式和超聲波傳感器及其應(yīng)用1) 簡(jiǎn)述壓電效應(yīng)及電致伸縮效應(yīng)答 (正)壓電效應(yīng):a某些晶體,當(dāng)沿著一定方向受到外力作用而變形時(shí),內(nèi)部產(chǎn)生極化現(xiàn)象,而在其表面產(chǎn)生電荷; b當(dāng)去掉外力后,又重新回到不帶電狀態(tài); e當(dāng)作用力方 向改變,電荷的極性也隨著改變; d晶體受力所產(chǎn)生的電荷量與外力的大小成正比;e當(dāng)動(dòng)態(tài)力變?yōu)殪o態(tài)力時(shí),電荷將由于漏電而很快泄漏、消失。電致伸縮效應(yīng):對(duì)晶體施加外電場(chǎng)時(shí),晶體本身產(chǎn)生機(jī)械變形的現(xiàn)象稱為逆壓電效應(yīng)。 又稱電致伸縮效應(yīng)。2)簡(jiǎn)述石英晶體內(nèi)部存在的 3種正壓電效應(yīng)(1)縱向壓電效應(yīng)當(dāng)晶體材料受到 X方向壓力時(shí),
16、在 X方向產(chǎn)生正壓電效應(yīng),而 Y、Z方向則不產(chǎn)生壓 電效應(yīng),稱為縱向壓電效應(yīng)。 縱向壓電效應(yīng)使晶面產(chǎn)生的電荷量和外力成正比而與晶片幾何 尺寸無(wú)關(guān)。橫向壓電效應(yīng)當(dāng)晶體受到沿Y方向施加的壓力時(shí),電荷仍在垂直于X軸的平面上出現(xiàn),稱為橫向壓 電效應(yīng)。電荷量不僅與的力大小有關(guān),也與晶片的幾何尺寸有關(guān)切向壓電效應(yīng)當(dāng)沿晶片相對(duì)兩平面施加外力時(shí),晶體表面便產(chǎn)生電荷, 這種現(xiàn)象稱為切向壓電效應(yīng)。3)壓電式傳感器等效電路和測(cè)量電路 壓電傳感器可以看作是一個(gè)電荷發(fā)生器,也是一只平行極板介質(zhì)電容器。 為什么壓電傳感器不能用于靜態(tài)測(cè)量,只能用于動(dòng)態(tài)測(cè)量?答:(1)3 =0 (靜態(tài)量),Uim/Uam=0(輸入電壓為零)
17、,由于電荷泄漏,所以不能測(cè)量靜 態(tài)量;(2)3 / 3 0 >>3 (高頻情況),Uim/Uam- 1,實(shí)際接近理想,30 一定,3越高,高頻響應(yīng)越好 分析對(duì)比電壓放大器和電荷放大器的電路特點(diǎn),指出電荷放大器的最主要優(yōu)點(diǎn)?答:(1)電壓放大器:電路簡(jiǎn)單、元件少、體積小;電路可靠、價(jià)格低;電纜長(zhǎng)度有限(1.2m), 不能更換;(2)電荷放大器電荷放大器輸出與電纜電容無(wú)關(guān)(電纜長(zhǎng)達(dá)1km,電纜可更換)第7章熱電式傳感器及其應(yīng)用1) 兩種不同的導(dǎo)體 A和B串接成圖示閉合回路,當(dāng)兩個(gè)接觸端存在溫差T> T0時(shí),回路中 就有電流產(chǎn)生,即回路中會(huì)產(chǎn)生熱電勢(shì),這種現(xiàn)象叫做熱電效應(yīng)。2)結(jié)論
18、(4點(diǎn)):(1)熱電偶回路熱電勢(shì)只與組成熱電偶的材料及兩端溫度有關(guān);與熱電偶 的長(zhǎng)度、粗細(xì)無(wú)關(guān)。(2 )只有用不同性質(zhì)的導(dǎo)體(或半導(dǎo)體)才能組合成熱電偶; 相同材料不 會(huì)產(chǎn)生熱電勢(shì)。3)只有當(dāng)熱電偶兩端溫度不同,熱電偶的兩導(dǎo)體材料不同時(shí)才能有熱電勢(shì) 產(chǎn)生。(4)導(dǎo)體材料確定后,熱電勢(shì)的大小只與熱電偶兩端的溫度有關(guān)。這就是利用熱電偶 測(cè)溫的原理。3)熱電偶基本定律(1 )均質(zhì)導(dǎo)體定律:兩種均質(zhì)金屬組成的熱電偶的電勢(shì)大小只與熱電極材料和溫度有關(guān)。(2) 中間導(dǎo)體定律:在熱電偶回路中接入另一種導(dǎo)體稱中間導(dǎo)體C,只要中間導(dǎo)體的兩 端溫度相同,熱電偶回路總電動(dòng)勢(shì)不受中間導(dǎo)體接入的影響。EABA B (T
19、,Tn,T0)= EabCTE) EAB(Tn,T0)(4)中間溫度定律(3)連接導(dǎo)體定律EAB (T ,Tn ,T0)- EAB (T,Tn)EAB (T n ,T0 )4)熱電偶溫度補(bǔ)償 方法二測(cè)量出熱電偶自由端的溫度Tnf由熱電偶分度表査 Eab(TJ) f Eqeo尸 Eab(T.T_) + EabCTO) f 再由熱電 偶分度表查出被測(cè)介質(zhì)的真實(shí)溫度°例=用K型(鋒鏈一銀硅)熱電偶測(cè)爐溫,參考端溫度幾= jor ,由熱電偶分度表查得Eab(30V:, or)= L2O3mV,若測(cè) 得EabCH 30r)= 28.344mV,則可得忙衛(wèi)口尸 E 301C) + E OlCO)
20、 =28.344mV+1.203mV =29.547mVo再查分度表可知T=710X? 口5) 補(bǔ)正系數(shù)修正法:把參考端實(shí)際溫度人乘上系數(shù)和加到由7J查分度表所得的溫度上,成為被測(cè)溫度八T二T + kT“k為熱電偶的修正糸數(shù),見表對(duì)上例,參考端在室溫環(huán)境T產(chǎn)309中,儀表測(cè)得的熱電勢(shì) 為3010)=2834伽口查此熱電偶分度表知,溫度 F=681U,冷端溫度Tn=30r,査表k =則真實(shí)溫度T=681 + l X30 = 711(TC)6 )題目用S型熱電偶測(cè)量某一溫度,若參考端溫戛m=3(TC,測(cè)得 的熱電勢(shì)E(T,Tn)=7.5mV.求測(cè)量端實(shí)際溫度 解:E(77i) = E(F£
21、;)+E(7;7;)在E (7> 對(duì)中人二30G 7 -0°C 查分度表有E (30, 0) =0473 mV E (C Tj = 7r5mVE ( 1,0)= E ( T30)+ E(30=0) = 7.5 + 0.173 = 1.613mV反查分度表有T=830eC?測(cè)量端實(shí)際溫度為83CTC第8章光電式傳感器及其應(yīng)用1) 光電傳感器:將光信號(hào)(紅外、可見光及紫外光)轉(zhuǎn)變成為電信號(hào)的器件。2) 外光電效應(yīng):在光線作用下,物體內(nèi)的電子逸出物體表面向外發(fā)射的現(xiàn)象。 基于外光電效應(yīng)的光電器件:光電管、光電倍增管、光電攝像管等3) 內(nèi)光電效應(yīng):當(dāng)光照在物體上,使物體的電導(dǎo)率發(fā)生變化,或產(chǎn)生光生電動(dòng)勢(shì)的現(xiàn)象。 常見器件:光敏電阻4) 光生伏特效應(yīng):在光作用下能使物體產(chǎn)生一定方向電動(dòng)勢(shì)的現(xiàn)象。常見器件:光敏二極管、三極管、光電池等。磁
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