8.KYKY-EM3200型掃描電子顯微鏡操作規(guī)程

1、1目的為了正確指導(dǎo) KYKY-EM3200 型掃描電子顯微鏡的操作及注意事項(xiàng)。2范圍本規(guī)程規(guī)定了 KYKY-EM3200 型掃描電子顯微鏡的操作步驟、常見故障及處理方法、注意事項(xiàng)、保養(yǎng)規(guī)定及其他說明。3操作步驟3.1 操作前檢查3.1.1 儀器接電正常。3.1.2 廢氣排放管路暢通。3.2 操作步驟3.2.1 真空系統(tǒng)自動(dòng)操作3.2.1.1真空系統(tǒng)自動(dòng)開機(jī)3.2.1.1.1 開電源（機(jī)械泵、壓縮機(jī)、變壓器及儀器總電源）；開循環(huán)水。3.2.1.1.2開真空電源，并按一下“ STANDBY ”準(zhǔn)備開關(guān)，此時(shí)紅燈亮。3.2.1.1.3將主機(jī)背后真空控制板上的自動(dòng)/ 手動(dòng)（ AUTO/MAN ）開關(guān)置

2、于自動(dòng)（ AUTO ）狀態(tài)，此時(shí) V2和 D.P（擴(kuò)散泵電爐加熱）開始工作（燈亮） 。3.2.1.1.4 預(yù)熱 30min 以后，再按一下“ STAND BY ”（燈滅），這時(shí) V2、D.P、 V5、V4全部打開，系統(tǒng)自動(dòng)進(jìn)入高真空狀態(tài)。3.2.1.1.5 在系統(tǒng)進(jìn)入抽高真空以后，真空表頭開關(guān)指在“ MANIFOID ”擋，或是“ FORELINE ”擋，指針都指示在 “LO VAC ”區(qū)，接近到 1（到頭）。如果真空表頭置“HI VAC ”檔，指針指示到“ HI VAC ”區(qū)，指示高真空度。一般指針指示到“ LO VAC ”區(qū)1 左右，即可開始工作。3.2.1.2真空系統(tǒng)自動(dòng)關(guān)機(jī)3.2.1.

3、2.1 關(guān) V1，按一下“ STANDBY ”開關(guān)（燈亮），此時(shí) V5、V4關(guān)閉（只有V2和 D.P 開著）。3.2.1.2.2 將主機(jī)背后真空控制板上的自動(dòng)/ 手動(dòng)（ AUTO/MAN ）開關(guān)置于手動(dòng)（ MAN ），打開V2（ ON），其余開關(guān)都是關(guān)（ OFF），這時(shí)D.P（擴(kuò)散泵電爐）關(guān)，只有V2開著繼續(xù)抽擴(kuò)散泵前級(jí)的低真空。3.2.1.2.3 30min 后，關(guān)閉電源、關(guān)閉機(jī)械泵、循環(huán)水。3.2.3 樣品噴金操作3.2.3.1 將樣品用導(dǎo)電膠均勻粘在樣品盤邊緣。3.2.3.2 將樣品放入離子濺射儀的玻璃室中，打開電源開始抽氣 （確認(rèn)蓋子上旋鈕關(guān)閉）。3.2.3.3 調(diào)節(jié)針閥待玻璃室壓力達(dá)

4、到 5 Pa/mmHg6Pa/mmHg，按一下試驗(yàn)按鈕， 看電流是否在 6mA8mA 之間。如果是，則按啟動(dòng)按鈕開始噴金（可根據(jù)樣品導(dǎo)電性設(shè)置相應(yīng)噴金時(shí)間）。3.2.3.4 噴金結(jié)束（即電流為零） ，關(guān)掉電源。3.2.3.5 打開蓋子上旋鈕，等樣品盤冷卻后從玻璃室取出，準(zhǔn)備放入樣品室。3.2.4 換樣品的操作3.2.4.1 手動(dòng)換樣品：3.2.4.1.1 關(guān)高壓和燈絲，再關(guān)掉V1 、V5、V4，然后打開放氣閥V6 ，樣品室開始放氣（只有 V2 、D.P、V6 開著）；3.2.4.1.2 松開樣品臺(tái)鎖，把 Z 向逆時(shí)針轉(zhuǎn)幾圈，以便更換樣品后，樣品碰不到物鏡下極靴。拉出天平臺(tái)后更換樣品，更換好樣品

5、后，檢查密封圈確保在槽內(nèi)。然后推入樣品臺(tái)，關(guān) V6，關(guān) V2 ，打開 V3 ，樣品室開始抽低真空；3.2.4.1.3 真空表頭指示到 100和 50之間時(shí)（“MANIFOLD”檔），關(guān) V3，開 V2，開 V5，開 V4，系統(tǒng)進(jìn)入抽高真空，表頭指示“ LO VAC ”區(qū) 1附近時(shí)，即可開始工作。3.2.4.2 自動(dòng)換樣品：3.2.4.2.1 關(guān)閉高壓和燈絲，再關(guān)掉V1，然后按一下“ CHAMB VENT ”（樣品室放棄開關(guān)），此時(shí) V5 、V4 關(guān)閉，過 3-5 秒鐘后， V6 開，樣品室即可自動(dòng)放氣；3.2.4.2.2 松開樣品臺(tái)鎖，把 Z 向逆時(shí)針轉(zhuǎn)幾圈，以便更換樣品后，樣品碰不到物鏡下極

6、靴。拉出天平臺(tái)后更換樣品，更換好樣品后，檢查密封圈確保在槽內(nèi)。然后推入樣品臺(tái)，再按一下“ CHAMB VENT ”開關(guān)，樣品室自動(dòng)開始抽低真空，低真空到后，系統(tǒng)自動(dòng)進(jìn)入抽高真空狀態(tài)。當(dāng)觀察真空表頭指示“ LO VAC”區(qū) 1附近時(shí)，即可開始工作。3.2.5 換電子槍燈絲的操作3.2.5.1 手動(dòng)方式3.2.5.1.1 將主機(jī)柜背后真空控制板上的自動(dòng)、手動(dòng)開關(guān)置于手動(dòng)位置。3.2.5.1.2 關(guān)掉高壓電源和燈絲加熱電源。3.2.5.1.3 關(guān)閉 V1及 V5閥。3.2.5.1.4 打開 V6放氣閥，使空氣進(jìn)入樣品室和電子槍。3.2.5.1.5 更換好燈絲后，關(guān) V6，關(guān) V4、V2，并打開 V3

7、，開始抽樣品室的低真空，當(dāng)真空指針指示在 100和 50之間時(shí)（在“ MANIFOLD ”擋），再打開 V4繼續(xù)抽電子槍的低真空，真空指針指示也在 100和 50之間時(shí)，關(guān) V3，打開 V2和 V5，系統(tǒng)開始抽高真空，當(dāng)指針指示“ LO VAC ”區(qū) 1附近時(shí)，可開始工作。3.2.5.2自動(dòng)方式3.2.5.2.1將主機(jī)背后真空控制板上的自動(dòng)、手動(dòng)開關(guān)置于自動(dòng)位置。3.2.5.2.2關(guān)掉高壓和燈絲。3.2.5.2.3關(guān) V1。3.2.5.2.4按一下電子槍放氣開關(guān)“GUN VENT ”，此時(shí)燈亮，閥自動(dòng)動(dòng)作，樣品室和電子槍開始進(jìn)入空氣。3.2.5.2.5取下電子槍蓋帽，卸下燈絲組件，將舊燈絲拆下

8、，清洗柵帽孔周圍，并換上新燈絲，燈絲組件重新裝好，同時(shí)檢查密封圈的好壞，是否在槽內(nèi)，然后將蓋帽裝好。3.2.5.2.6 重新按一下電子槍放氣開關(guān)“ GUN VENT ”，此時(shí)燈滅，系統(tǒng)開始抽真空，并能自動(dòng)進(jìn)入高真空。3.2.5.2.7 當(dāng)看到高真空指示綠燈亮?xí)r （在電器柜操作面板上） ，或當(dāng)指針指示“ LO VAC ”區(qū) 1附近時(shí)，可打開 V1，繼續(xù)工作。3.2.6 掃描電鏡的操作3.2.6.1 圖像的獲得3.2.6.1.1 真空系統(tǒng)進(jìn)入高真空以后， 打開電器柜前面板上的電源開關(guān) （ CONSOLEPOWER ），打開 計(jì)算 機(jī)電源 開關(guān) 。此 時(shí)， 計(jì)算機(jī) 啟動(dòng) 并自 動(dòng)進(jìn) 入桌面 狀態(tài) 。

9、點(diǎn)擊KYKY3200SEM 軟件，進(jìn)入 3200 電鏡的操作界面。3.2.6.1.2 拉開 V1閥門（鏡筒中間位置的閥， V1不僅使電子通道暢通，它也是高壓聯(lián)鎖開關(guān)，拉開 V1、 30kV、12kV 、300V 、光電倍增管電源才能工作） 。3.2.6.1.3 調(diào)節(jié)亮度（ BRIGHTNESS ），從屏幕上可看到掃描光柵。3.2.6.1.4 調(diào)節(jié)對(duì)比度（ CONTRAST ），直至在屏幕光柵上能看到“小雪花點(diǎn)” ，或者將數(shù)值調(diào)到 150 左右。3.2.6.1.5 調(diào)節(jié)高壓（ ACCELERATIONPOTENTIAL ）。用鼠標(biāo)拉動(dòng)高壓，一般導(dǎo)電好的樣品可加至20kV25kV或者30kV 。導(dǎo)

10、電不太好的樣品，如半導(dǎo)體等加至10kV15kV ，視樣品情況而定。（不可直接拖動(dòng)到 30kV ，特別是南方地區(qū)和房間較潮濕的地方，高壓容易打火，造成儀器元件損壞。所以工作時(shí)可先加 10kV，再逐步增加高壓，直到所需的數(shù)值。）3.2.6.1.6 高壓調(diào)節(jié)完后，順時(shí)針旋轉(zhuǎn)燈絲電壓（FILAMENT ）旋鈕。當(dāng)旋至 5 左右時(shí)，束流發(fā)射表頭指針從 0 緩慢上升。當(dāng)燈絲電壓旋鈕旋至 6 以后時(shí)，須慢慢旋，同時(shí)注意束流表指針，當(dāng)增加燈絲電壓，束流表指針基本不動(dòng)了，則說明燈絲電流已飽和，這時(shí)稍微退回已點(diǎn)燈絲電壓即可。另外，也可以觀察圖像，緩慢增加燈絲電壓，圖像亮度在增加，當(dāng)增加燈絲電壓，圖像亮度基本不變了

11、，則說明燈絲電流已飽和。 （有時(shí)由于燈絲裝的位置及電子槍對(duì)中不合適，緩慢增加燈絲電壓，束流指針在增加；隨著燈絲電壓的繼續(xù)增加，束流表頭指針卻在在減??；如果看圖像，可發(fā)現(xiàn)圖像亮度達(dá)到一定程度后開始變暗。此時(shí)不可將燈絲電壓保持在束流較大的地方，還是須緩慢增加燈絲電壓；直至束流表頭指針基本不動(dòng)，此時(shí)為飽和電壓，在這種情況下，用內(nèi)六角扳手調(diào)整電子槍上的三個(gè)螺釘。具體的調(diào)整法：旋動(dòng)一個(gè)螺釘，觀察圖像亮度，旋動(dòng)至圖像亮度最大為準(zhǔn)；三個(gè)螺釘依次調(diào)節(jié)，以達(dá)到圖像最亮為好。 ）3.2.6.1.7 調(diào)節(jié)電對(duì)中 X、 Y 兩個(gè)方向旋鈕，使圖像最亮。3.2.6.1.8 把放大倍數(shù)選在 100500 倍。3.2.6.1

12、.9 仔細(xì)調(diào)節(jié)物鏡電流大小，使圖像聚焦清楚?？上却终{(diào)，再細(xì)調(diào)，使圖像聚焦。高倍數(shù)看像時(shí)，可調(diào)節(jié)微調(diào)。3.2.6.1.10 移動(dòng)樣品臺(tái)的 X、Y 手把，調(diào)整掃描區(qū)域。開始尋找所需掃描的樣品時(shí)，可將倍數(shù)放得小一些，逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)Z 方向旋鈕，將樣品移至低處，此時(shí)視野較大，找好目標(biāo)后，將掃描區(qū)域移至屏幕中間，逐步放大，反復(fù)聚焦，直到圖像清晰。如果工作距離太大或太小，可以調(diào)節(jié)樣品臺(tái)的Z 方向，順時(shí)針旋工作距離（WD ）縮短，逆時(shí)針旋工作距離（ WD ）增大。3.2.6.2 物鏡光闌的合軸3.2.6.2.1 將光柵放到固定選區(qū)，掃描速度放在第12 檔，并選圖像上的一個(gè)“特征點(diǎn)”。3.2.6.2.2 選擇放大

13、倍數(shù)在 15002000 倍或以上的范圍。3.2.6.2.3 反復(fù)調(diào)節(jié)物鏡細(xì)調(diào)，使圖像聚焦不往返進(jìn)行。觀察圖像的移動(dòng)，如果移動(dòng)較大，則說明物鏡光闌合軸不好。3.2.6.2.4 調(diào)節(jié)物鏡光闌兩個(gè)方向的旋鈕，使得圖像不發(fā)生位移或位移最小。（具體操作：先將“特征點(diǎn)”聚焦好，并記住聚焦位置，改變物鏡電流細(xì)調(diào)， “特征點(diǎn)”不聚焦并且移動(dòng)了，這時(shí)緩慢調(diào)節(jié)物鏡光闌 X 、Y 方向，使“特征點(diǎn)”移回至原來聚焦的位置，如此反復(fù)幾次，直至“特征點(diǎn)”基本不動(dòng)或移動(dòng)幅度最小為止。 ）3.2.6.3 消除像散（如果圖像中的細(xì)節(jié)有互為90o 方向的拉長時(shí)，說明有像散，需要消除。）3.2.6.3.1 方法一 :1) 將光柵

14、置于“選區(qū)”位置，放大倍數(shù)為1000 倍左右。2) 調(diào)節(jié)物鏡細(xì)調(diào)旋鈕， 使得圖像恰好在兩個(gè)方向圖像拉長的中間，即正聚焦 （這時(shí)圖像有可能模糊，但不拉長） 。3) 調(diào)節(jié)消像散器的 X 方向，找一個(gè)較為清楚的圖像，然后聚焦；調(diào)節(jié)消像散器的 Y 方向，找一個(gè)較為清楚的圖像，再聚焦。4) 按上述方法反復(fù)幾次，放大倍數(shù)也從1000 倍至幾千倍。3.2.6.3.2 方法二 :6將光柵置于“選區(qū)”位置，放大倍數(shù)從 1000 倍開始，增加到你要觀察的放大倍數(shù)下再次消像散。7調(diào)節(jié)物鏡細(xì)調(diào)旋鈕， 使得圖像恰好在兩個(gè)方向圖像拉長的中間，即正聚焦 （這時(shí)圖像有可能模糊，但不拉長） 。8按輔助消像散按鈕， 顯示器上出現(xiàn)

15、一幅圖像和十字交叉線。整個(gè)圖像上會(huì)有一小區(qū)域圖像清晰，其它地方較模糊，此時(shí)調(diào)整消像散電位器的X 和 Y ，使得十字交叉線的交叉點(diǎn)，移至圖像清晰區(qū)域的中心或最清楚的點(diǎn)上，關(guān)輔助消像散按鈕。7繼續(xù)聚集圖像，再進(jìn)行一次消像散直到圖像沒有拉長的現(xiàn)象。3.2.6.3.3 方法三 :8將圖像聚焦。9點(diǎn)自動(dòng)消像散，啟動(dòng)自動(dòng)消像散程序，等待片刻像散自動(dòng)消好。3.2.6.4 拆裝燈絲的方法3.2.6.4.1 將燈絲旋鈕逆時(shí)針退到底，高壓降至0，對(duì)比度降至 0，關(guān)閉 V1。3.2.6.4.2 按電子槍放氣開關(guān)，放氣后，打開電子槍室，將燈絲組件拔下，松開三個(gè)頂絲，將已斷的燈絲取下。3.2.6.4.3 用氨水將燈絲組

16、件里的揮發(fā)物擦拭干凈，再用乙醇擦拭一遍。3.2.6.4.4 將新燈絲放在燈絲組件中，燈絲上的凹口對(duì)準(zhǔn)燈絲組件里的凸釘，放上壓環(huán)，用左手中指和食指夾住燈絲兩條針，同時(shí)按住壓環(huán)，向左右前后平行推動(dòng)燈絲，從燈絲組件正上方的小孔中能看到燈絲尖。這時(shí)壓住燈絲壓環(huán)并保持住燈絲的位置，將三個(gè)頂絲頂上，保持燈絲尖基本在小孔的正中間。3.2.6.4.5 順時(shí)針擰動(dòng)燈絲組件上銅材料做的旋動(dòng)部件，旋至燈絲尖與小孔平面平行（如果在此過程中燈絲偏移小孔正中位置，請(qǐng)將燈絲隨時(shí)調(diào)正）。3.2.6.4.6 燈絲尖與小孔齊平后，記住此位置，然后將燈絲逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)5 個(gè)半刻度（燈絲組件外圈上有刻度格） ，確定燈絲與柵帽孔的距離。3

17、.2.6.4.7 此時(shí)再將燈絲調(diào)整在小孔的正中間，保證三個(gè)頂絲都擰緊，如果不緊，燈絲組件裝在電子槍上的燈絲會(huì)發(fā)生偏移。3.2.6.4.8 將燈絲組件上凸起的部分，對(duì)準(zhǔn)電子槍頭上的凹槽，用力推進(jìn)燈絲組件（此時(shí)不能旋動(dòng)，如果旋動(dòng)，燈絲位置將發(fā)生變化，注意燈絲座上的兩根針是否伸直，距離是否合適，如果不合適可以用手修正一下）。3.2.6.4.9 燈絲組件裝上后，須用乙醇擦拭，然后檢查電子槍室的橡皮圈是否在槽內(nèi)，再將電子槍蓋好（建議每次換燈絲時(shí)，電子槍放在相同的位置，有利于燈絲的對(duì)中）。3.2.6.5 機(jī)械對(duì)中的方法有以下幾種情況3.2.6.5.1 更換燈絲后，抽好真空，拉開 V1，加高壓，增加對(duì)比度，

18、 增加燈絲電壓，使燈絲電流飽和，亮度調(diào)在合適的位置，此時(shí)產(chǎn)生信號(hào)，調(diào)節(jié)放大倍數(shù)和聚焦使屏幕出現(xiàn)圖像。調(diào)節(jié)電對(duì)中X 、Y 旋鈕，使圖像亮度達(dá)到最大。如果亮度及圖像的質(zhì)量較好，可以不用在調(diào)整機(jī)械對(duì)中。3.2.6.5.2 拉開 V1，增加高壓，增加對(duì)比度， 亮度適當(dāng)，加燈絲電壓， 使燈絲飽和，此時(shí)有信號(hào)，但信號(hào)較弱，調(diào)節(jié)電對(duì)中 X 、Y 旋鈕，沒有較大的改變，說明信號(hào)強(qiáng)度不夠。這時(shí)將電對(duì)中 X 、Y 放在“ 0”的附近，用內(nèi)六角扳手依次調(diào)節(jié)電子槍上方的三個(gè)螺釘，調(diào)節(jié)每一個(gè)螺釘時(shí)，使圖像亮度達(dá)到最大。假如屏幕亮度太高，調(diào)節(jié)對(duì)比度大小，觀察圖像亮度的情況。然后再調(diào)節(jié)電對(duì)中X 、Y ，使之保持在圖像最亮處

19、，此時(shí)說明，機(jī)械對(duì)中調(diào)好了。3.2.6.5.3 拉開 V1，加高壓，增加對(duì)比度，亮度放在合適位置，增加燈絲電壓，使束流飽和，假如沒有信號(hào)，調(diào)節(jié)電對(duì)中無作用，這時(shí)要將電對(duì)中X 、Y 放在“ 0”附近，為確定電子束偏向哪邊，優(yōu)先調(diào)節(jié)哪個(gè)螺釘，首先須用雙手按壓三個(gè)螺釘處，如果按壓時(shí)，屏幕出現(xiàn)亮度，則用內(nèi)六角扳手調(diào)節(jié)按壓附近的螺釘，屏幕上出現(xiàn)信號(hào)，適當(dāng)調(diào)節(jié)亮度、對(duì)比度。依次調(diào)節(jié)每一個(gè)螺釘，使圖像亮度最大。再調(diào)節(jié)電對(duì)中X 、Y ，使圖像處于最亮處。3.2.6.5.4 開始的圖像同 3.2.6.5.3 中所述的一樣，沒有信號(hào)，調(diào)電對(duì)中無作用，這時(shí)把電對(duì)中調(diào)至“ 0”的位置，然后用手按壓電子槍三個(gè)螺釘處，是

20、否發(fā)現(xiàn)屏幕突然出現(xiàn)亮光（有束流下來） 。假如屏幕無反應(yīng)，則逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)物鏡光闌桿的 X 方向（ Y 方向一定不能動(dòng)），將三個(gè)光闌退出（不能退的太多，否則易漏氣，能看到 35 圈螺紋即可）；同時(shí)將放大倍數(shù)降到最小，物鏡粗調(diào)放在數(shù)值較大的地方；在電子槍三個(gè)螺釘部位處向下按，觀察 CRT 有無亮斑，此時(shí)容易觀察，因?yàn)闆]有加物鏡光闌。如果有束流下來，則屏幕有亮光。找到有亮斑后，調(diào)節(jié)三個(gè)螺釘使屏幕最亮。繼續(xù)順時(shí)針旋轉(zhuǎn)物鏡光闌桿 X 方向，進(jìn)入一個(gè)光闌，把圓斑大致調(diào)在顯示器中間。然后，調(diào)節(jié)電對(duì)中 X 、Y 看是否處于最亮處。再將物鏡粗調(diào)放在平時(shí)聚焦的位置，最后物鏡光闌合軸，即可正?？聪?。 （注意：物鏡光闌桿

21、的 Y 方向螺釘，一般不能隨便前后移動(dòng)， 只有在物鏡光闌合軸時(shí)， 才可移動(dòng)，在觀察“特征點(diǎn)”移動(dòng)時(shí)，移動(dòng)幅度不可過大，移動(dòng)多了，位置容易偏移，電子束就無法通過光闌打到樣品上。如果 Y 方向位置偏移了，可用上述方法將光闌退出，放大倍數(shù)最小，物鏡粗調(diào)數(shù)值大，慢慢旋動(dòng)物鏡光闌桿的 X 、Y ，找圓斑，調(diào)在顯示器中間，再將物鏡粗調(diào)放回平時(shí)看像位置，聚焦看像。然后再進(jìn)行物鏡光闌合軸，這樣就可以正?？聪窳耍?。3.2.6.6 高倍圖像的獲得（在獲得低倍圖像的基礎(chǔ)上）3.2.6.6.1 加速電壓不能很低，一般在20kV30kV 之間。3.2.6.6.2 工作距離不能太大， 一般在 5mm8mm 之間，縮短探

22、頭接收信號(hào)的距離。3.2.6.6.3 樣品傾斜 10o15o，使二次電子發(fā)射及接收的多。3.2.6.6.4 聚光鏡放在 600650 左右，（數(shù)值越大，束斑尺寸越小，分辨率越高）。3.2.6.6.5 機(jī)械對(duì)中、電對(duì)中好，保證電子束對(duì)中，信號(hào)強(qiáng)，亮度好。3.2.6.6.6 燈絲飽和，使束流穩(wěn)定，束流值保持在100150。3.2.6.6.7 物鏡光闌合軸好（特征點(diǎn)在2000X 倍以上時(shí)，基本同心聚焦散焦） 。3.2.6.6.8消像散從低到高倍逐級(jí)消好。3.2.6.6.9在高倍圖像調(diào)整的過程中，小范圍的圖像移動(dòng)可以用電位移（SHIFT）旋鈕，此旋鈕在低倍時(shí)作用不大，而在高倍時(shí)很方便。因?yàn)榭锤弑秷D像時(shí)

23、，樣品上的掃描區(qū)域小，電位移小幅度調(diào)整，在圖像上就有較大的反應(yīng)。另外在較高倍數(shù)圖像聚焦時(shí)，可以用物鏡微調(diào)旋鈕聚焦。3.2.6.7 功能與花樣3.2.6.7.1 線掃描，當(dāng)點(diǎn)線掃描時(shí)，同時(shí)要將示波器打開，在圖像最上方可看到一條掃描線上的視頻信號(hào)，其原理是：1) 把 Y 掃描鋸齒波送到顯像管及鏡筒掃描線圈的X 方向，所以線掃的速度慢。9把視頻信號(hào)送到顯像管及鏡筒掃描線圈的 Y 方向，所以線掃的掃描線上出現(xiàn)一條視頻信號(hào)。10 直流電平接到顯示器陰極， 可以調(diào)節(jié)線掃描（拖動(dòng)線掃描基線，調(diào)節(jié)線掃位置）。3.2.6.7.2 圖像分割：選擇圖像分割， 此時(shí)屏幕被分割為兩半， 如果都看二次圖像，則兩邊是相同的

24、。如果有背散射電子探測(cè)器，也可以一邊看二次圖像，另一邊看背散射圖像。3.2.6.7.3 雙放大倍數(shù)：選擇雙放大倍數(shù)，此時(shí)在顯示器左邊有一個(gè)低倍圖像，并有一個(gè)小區(qū)域，此區(qū)域的圖像放大顯示在右邊。調(diào)節(jié)區(qū)域尺寸大小，同時(shí)右邊圖像的放大倍數(shù)也在改變，放大系數(shù)標(biāo)在右下方。3.2.6.7.4 圖像反轉(zhuǎn)：選擇圖像反轉(zhuǎn)，屏幕上的圖像反相，亮變暗，暗變亮，調(diào)節(jié)亮度與正常時(shí)相反。此功能可做幻燈片及一些用戶的特殊觀察用。3.2.6.7.5 傾斜補(bǔ)償：當(dāng)樣品傾斜大于 50o 時(shí)， Y 方向減小放大倍數(shù)。此時(shí)調(diào)節(jié)傾斜補(bǔ)償（ TILT CORRECTION ），可以將變短的 Y 方向拉長，使圖像不變形。 （注意：當(dāng)樣品不

25、傾斜時(shí)，不要加此數(shù)值，否則，圖像 Y 方向會(huì)拉長）。3.2.6.7.6 動(dòng)態(tài)聚焦：當(dāng)樣品傾斜大于 50o 時(shí)，此時(shí)電子束在傾斜樣品上掃描的工作距離不同， 圖像會(huì)呈現(xiàn)中間清楚， 上下模糊的情況。 此時(shí)，打開動(dòng)態(tài)聚焦并加一定的值，使圖像上下部分都清楚。 （注意：如果不用此功能后，立刻將其放在關(guān)閉的位置。否則，觀察不傾斜的樣品時(shí)，圖像就會(huì)出現(xiàn)中間清楚，上下模糊的問題） 。3.2.6.7.7 圖像旋轉(zhuǎn)：任意方向旋動(dòng)圖像旋轉(zhuǎn)按鈕，可看到圖像在旋轉(zhuǎn)，并能顯示旋轉(zhuǎn)的數(shù)值。如果不想觀察旋轉(zhuǎn)的圖像，將旋轉(zhuǎn)度數(shù)旋回到零即可。3.2.6.7.8 透鏡反向和物鏡反向：點(diǎn)聚光鏡反相鈕和物鏡反相鈕，可使聚光鏡和物鏡線圈中

26、的電流反向，消除剩磁，使放大倍數(shù)較精確，一般在校準(zhǔn)放大倍數(shù)及測(cè)量時(shí)用。 3.2.6.8 清洗鏡筒3.2.6.8.1 將電子槍放氣，取下電子槍頭。3.2.6.8.2 將陽極光闌擰下，拆開小零件，取出光闌。3.2.6.8.3 用工具取出襯管（注意原來襯管的方向、位置），拆下小零件，取出光闌。3.2.6.8.4 將物鏡光闌桿取出來，拆下三個(gè)光闌。3.2.6.8.5 用拋光膏、竹簽、棉花及無毛布等，將每個(gè)小零件擦拭干凈。3.2.6.8.6 用洗滌液及刷子將校零件清洗干凈。3.2.6.8.7 用清水沖洗干凈。3.2.6.8.8 用乙醇清洗、脫水，有條件的可用超聲儀將需要清洗的部件用乙醇超聲10min，效

27、果會(huì)更好。3.2.6.8.9 用吹風(fēng)機(jī)將小零件吹干。3.2.6.8.10 用酒精燈燒光闌，光闌平面朝著火焰，燒紅0.5min1min ，視表面的臟物都燒凈后，將光闌放入乙醇中，冷卻，放于干凈的無毛布上，或直接放在光闌桿上。3.2.6.8.11 將各零件組裝好（光闌的光面朝著電子束方向），然后安裝在儀器上。3.2.6.8.12 先將物鏡光闌桿插進(jìn)，擰到任意一個(gè)光闌的位置，再將襯管插入，并按原位置放好，最后將陽極組件檸進(jìn)。陽極組件表面到電子槍口平面的距離是73mm。假如此距離過長，則亮度不好；過短，柵極對(duì)陽極打火。3.2.6.8.13 安裝完成后，按電子槍放氣開關(guān)，鏡筒開始抽真空。3.2.6.8.14 物鏡下極靴和掃描線圈不可自拆，必要時(shí)要求廠家派人維修。功能性檢查4.1 主機(jī)及各輔助設(shè)備能正常運(yùn)行。4.2 顯微鏡能正常使用。常見故障及處理方法常見故障分類、可能存在原因、處理方法見表1：表 1 常見故障分類、可能存在原因及處理方法序號(hào)故障分類可能存在原因處理方法1開啟軟件時(shí)圖像不能通訊連接線接觸不良重啟電腦或重插接插件出現(xiàn)2操作過程中圖像消失1、