微電子制造概論-第1章-緒論

1、12參考書(shū)參考書(shū)微電子學(xué)概論微電子學(xué)概論：張興張興/黃黃如如/劉曉彥，北京大學(xué)出版社劉曉彥，北京大學(xué)出版社半導(dǎo)體器件物理與工藝半導(dǎo)體器件物理與工藝，施敏，科學(xué)出版社施敏，科學(xué)出版社3本課程的目的本課程的目的4主主 要要 內(nèi)內(nèi) 容容5第一章第一章緒緒 論論6緒緒 論論7電電子子學(xué)學(xué)微電子學(xué)微電子學(xué)8微電子學(xué)：微電子學(xué)：Microelectronics?微電子學(xué)微電子學(xué)微型電子學(xué)微型電子學(xué)?核心核心集成電路集成電路9集成電路：集成電路：Integrated Circuit，縮寫(xiě)，縮寫(xiě)IC?通過(guò)一系列特定的加工工藝，將晶體管、通過(guò)一系列特定的加工工藝，將晶體管、二極管等有源器件和電阻、電容等無(wú)源二極

2、管等有源器件和電阻、電容等無(wú)源器件，按照一定的電路互連，器件，按照一定的電路互連，“集成集成”在一塊半導(dǎo)體單晶片（如硅或砷化鎵）在一塊半導(dǎo)體單晶片（如硅或砷化鎵）上，封裝在一個(gè)外殼內(nèi)，執(zhí)行特定電路上，封裝在一個(gè)外殼內(nèi)，執(zhí)行特定電路或系統(tǒng)功能或系統(tǒng)功能10封裝好的集成電路封裝好的集成電路11集成電路的內(nèi)部電路集成電路的內(nèi)部電路VddABOut12 硅單晶片與加工好的硅片硅單晶片與加工好的硅片13集成電路芯片的顯微照片集成電路芯片的顯微照片1464M SDRAM （華虹（華虹NEC生產(chǎn)）生產(chǎn)）芯片面積芯片面積5.899.7=57mm2 ， 456pcs/w，1個(gè)個(gè)IC中含有中含有1.34億只晶體管

3、億只晶體管15Vsspoly 柵Vdd布線(xiàn)通道參考孔有源區(qū)N+P+1617 50 m100 m頭發(fā)絲粗細(xì)頭發(fā)絲粗細(xì) 30 m1 m 1 m(晶體管的大小晶體管的大小)3050 m(皮膚細(xì)胞的大小皮膚細(xì)胞的大小)90年代生產(chǎn)的集成電路中晶體管大小與人年代生產(chǎn)的集成電路中晶體管大小與人類(lèi)頭發(fā)絲粗細(xì)、皮膚細(xì)胞大小的比較類(lèi)頭發(fā)絲粗細(xì)、皮膚細(xì)胞大小的比較18集成電路設(shè)計(jì)與制造的主要流程框架集成電路設(shè)計(jì)與制造的主要流程框架設(shè)計(jì)設(shè)計(jì)芯片檢測(cè)芯片檢測(cè)單晶、外單晶、外延材料延材料掩膜版掩膜版芯片制造芯片制造過(guò)程過(guò)程封裝封裝測(cè)試測(cè)試系統(tǒng)需求系統(tǒng)需求19 集成電路集成電路的設(shè)計(jì)過(guò)程：的設(shè)計(jì)過(guò)程： 設(shè)計(jì)創(chuàng)意設(shè)計(jì)創(chuàng)意

4、+ + 仿真驗(yàn)證仿真驗(yàn)證集成電路芯片設(shè)計(jì)過(guò)程框架集成電路芯片設(shè)計(jì)過(guò)程框架From 吉利久教授吉利久教授是是功能要求功能要求行為設(shè)計(jì)（行為設(shè)計(jì)（VHDL）行為仿真行為仿真綜合、優(yōu)化綜合、優(yōu)化網(wǎng)表網(wǎng)表時(shí)序仿真時(shí)序仿真布局布線(xiàn)布局布線(xiàn)版圖版圖后仿真后仿真否否是是否否否否是是Sing off設(shè)計(jì)業(yè)設(shè)計(jì)業(yè)20制造業(yè)制造業(yè)芯片制造過(guò)程芯片制造過(guò)程由氧化、淀積、離子注入或蒸由氧化、淀積、離子注入或蒸發(fā)形成新的薄膜或膜層發(fā)形成新的薄膜或膜層曝曝 光光刻刻 蝕蝕硅片硅片測(cè)試和封裝測(cè)試和封裝用掩膜版用掩膜版重復(fù)重復(fù)20-30次次AA21封裝好的集成電路封裝好的集成電路封裝與測(cè)試業(yè)封裝與測(cè)試業(yè)22微電子科學(xué)技微電子

5、科學(xué)技術(shù)的戰(zhàn)略地位術(shù)的戰(zhàn)略地位23自然界和人類(lèi)社會(huì)的一切活動(dòng)都在自然界和人類(lèi)社會(huì)的一切活動(dòng)都在產(chǎn)生信息。信息是客觀(guān)事物狀態(tài)和產(chǎn)生信息。信息是客觀(guān)事物狀態(tài)和運(yùn)動(dòng)特征的一種普遍形式，運(yùn)動(dòng)特征的一種普遍形式，是人類(lèi)是人類(lèi)社會(huì)社會(huì)、經(jīng)濟(jì)活動(dòng)的重要資源。、經(jīng)濟(jì)活動(dòng)的重要資源。社會(huì)的各個(gè)部分通過(guò)網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)連接社會(huì)的各個(gè)部分通過(guò)網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)連接成一個(gè)整體，由高速大容量光線(xiàn)和成一個(gè)整體，由高速大容量光線(xiàn)和通訊衛(wèi)星群以光速和寬頻帶地傳送通訊衛(wèi)星群以光速和寬頻帶地傳送信息，從而使社會(huì)信息化、網(wǎng)絡(luò)化信息，從而使社會(huì)信息化、網(wǎng)絡(luò)化和數(shù)字化。和數(shù)字化。微電子：信息社會(huì)發(fā)展的基石微電子：信息社會(huì)發(fā)展的基石24實(shí)現(xiàn)社會(huì)信息化的網(wǎng)

6、絡(luò)及其關(guān)鍵部實(shí)現(xiàn)社會(huì)信息化的網(wǎng)絡(luò)及其關(guān)鍵部件不管是各種計(jì)算機(jī)和件不管是各種計(jì)算機(jī)和/ /或通訊機(jī)，或通訊機(jī)，它們的基礎(chǔ)都是它們的基礎(chǔ)都是微電子微電子?1946年第一臺(tái)計(jì)算機(jī)：年第一臺(tái)計(jì)算機(jī)：ENIAC25第一臺(tái)通用電第一臺(tái)通用電子計(jì)算機(jī)：子計(jì)算機(jī)：ENIAC Electronic Numerical Integrator and Calculator1946年年2月月14日日Moore School，Univ. of Pennsylvania18,000個(gè)電子個(gè)電子管組成管組成大?。洪L(zhǎng)大?。洪L(zhǎng)24m，寬，寬6m，高，高2.5m速度：速度：5000次次/sec；重量：；重量：30噸；噸；功率：功

7、率：140KW；平均無(wú)故障運(yùn)行時(shí)間：；平均無(wú)故障運(yùn)行時(shí)間：7min26實(shí)現(xiàn)社會(huì)信息化的網(wǎng)絡(luò)及其關(guān)鍵部實(shí)現(xiàn)社會(huì)信息化的網(wǎng)絡(luò)及其關(guān)鍵部件不管是各種計(jì)算機(jī)和件不管是各種計(jì)算機(jī)和/ /或通訊機(jī)，或通訊機(jī)，它們的基礎(chǔ)都是它們的基礎(chǔ)都是微電子微電子?1946年第一臺(tái)計(jì)算機(jī)：年第一臺(tái)計(jì)算機(jī)：ENIAC?這樣的計(jì)算機(jī)能夠進(jìn)入辦公室、車(chē)間、這樣的計(jì)算機(jī)能夠進(jìn)入辦公室、車(chē)間、連隊(duì)和家庭？當(dāng)時(shí)有的科學(xué)家認(rèn)為全連隊(duì)和家庭？當(dāng)時(shí)有的科學(xué)家認(rèn)為全世界只要世界只要4臺(tái)臺(tái)ENIAC?目前，全世界計(jì)算機(jī)不包括微機(jī)在內(nèi)目前，全世界計(jì)算機(jī)不包括微機(jī)在內(nèi)有幾百萬(wàn)臺(tái)，微機(jī)總量約有幾百萬(wàn)臺(tái)，微機(jī)總量約6億臺(tái)，每年億臺(tái)，每年由計(jì)算機(jī)完成的

8、工作量超過(guò)由計(jì)算機(jī)完成的工作量超過(guò)4000億人億人年工作量年工作量27集成電路的作用集成電路的作用小型化小型化價(jià)格急劇下降價(jià)格急劇下降功耗降低功耗降低故障率降低故障率降低28?集成電路的戰(zhàn)略地位首先表現(xiàn)在當(dāng)代集成電路的戰(zhàn)略地位首先表現(xiàn)在當(dāng)代國(guó)民經(jīng)濟(jì)的國(guó)民經(jīng)濟(jì)的“食物鏈?zhǔn)澄镦湣标P(guān)系關(guān)系?進(jìn)入信息進(jìn)入信息化社會(huì)的判據(jù)：化社會(huì)的判據(jù)：半導(dǎo)體產(chǎn)值半導(dǎo)體產(chǎn)值占工農(nóng)業(yè)總產(chǎn)值的占工農(nóng)業(yè)總產(chǎn)值的0.5%29據(jù)美國(guó)半導(dǎo)體協(xié)會(huì)（據(jù)美國(guó)半導(dǎo)體協(xié)會(huì)（SIA）集成電路產(chǎn)值集成電路產(chǎn)值1萬(wàn)億美元萬(wàn)億美元GDP50萬(wàn)億美元萬(wàn)億美元2012年年30其次，統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)表明，發(fā)達(dá)國(guó)家在發(fā)其次，統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)表明，發(fā)達(dá)國(guó)家在發(fā)展過(guò)程中都有一

9、條規(guī)律展過(guò)程中都有一條規(guī)律?集成電路（集成電路（IC）產(chǎn)值的增長(zhǎng)率（）產(chǎn)值的增長(zhǎng)率（RIC）高于電）高于電子工業(yè)產(chǎn)值的增長(zhǎng)率（子工業(yè)產(chǎn)值的增長(zhǎng)率（REI）?電子工業(yè)產(chǎn)值的增長(zhǎng)率又高于電子工業(yè)產(chǎn)值的增長(zhǎng)率又高于GDP的增長(zhǎng)率的增長(zhǎng)率（RGDP）?一般有一個(gè)近似的關(guān)系一般有一個(gè)近似的關(guān)系 RIC1.52REI REI3RGDP31根據(jù)根據(jù)IMF RIC1.7REI REI3RGNP15%9%3%From S.M.SZE32世界世界GDPGDP增長(zhǎng)與世界集成電路產(chǎn)業(yè)增長(zhǎng)情況比較（資料來(lái)源：增長(zhǎng)與世界集成電路產(chǎn)業(yè)增長(zhǎng)情況比較（資料來(lái)源：ICEICE商業(yè)部）商業(yè)部） v抓住集成電路產(chǎn)業(yè)，就能促進(jìn)抓住集成

10、電路產(chǎn)業(yè)，就能促進(jìn)GDP高速增長(zhǎng)高速增長(zhǎng)331985-1990年間世界半導(dǎo)體商品市場(chǎng)份額年間世界半導(dǎo)體商品市場(chǎng)份額日本公司日本公司美國(guó)公司美國(guó)公司39%37.9%51.4%50%人均人均IC產(chǎn)值年增長(zhǎng)率產(chǎn)值年增長(zhǎng)率 人均電子工業(yè)年增長(zhǎng)率人均電子工業(yè)年增長(zhǎng)率 人均人均GNP年增長(zhǎng)率年增長(zhǎng)率 日本日本美國(guó)美國(guó) 日本日本美國(guó)美國(guó) 日本日本美國(guó)美國(guó)2.2%1.1%0.1%80年代后期年代后期-90年代初美國(guó)采取了一系列增強(qiáng)微電子年代初美國(guó)采取了一系列增強(qiáng)微電子技術(shù)創(chuàng)新和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的措施，重新奪回領(lǐng)先技術(shù)創(chuàng)新和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的措施，重新奪回領(lǐng)先地位。地位。90年代以來(lái)美國(guó)經(jīng)濟(jì)保持持續(xù)高速增長(zhǎng)主要

11、得年代以來(lái)美國(guó)經(jīng)濟(jì)保持持續(xù)高速增長(zhǎng)主要得益于信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，而其基礎(chǔ)是集成電路產(chǎn)業(yè)與技益于信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，而其基礎(chǔ)是集成電路產(chǎn)業(yè)與技術(shù)創(chuàng)新。術(shù)創(chuàng)新。v兩個(gè)例子兩個(gè)例子341990199219941996199820001416182022242628303234363840 日 本 美 國(guó) 歐 洲 亞 洲市場(chǎng)變化市場(chǎng)變化日本市場(chǎng)縮減日本市場(chǎng)縮減市場(chǎng)份額v90年代日本經(jīng)濟(jì)蕭條的同時(shí)，集成電路市場(chǎng)年代日本經(jīng)濟(jì)蕭條的同時(shí)，集成電路市場(chǎng)份額嚴(yán)重下降。份額嚴(yán)重下降。35我國(guó)臺(tái)灣地區(qū)我國(guó)臺(tái)灣地區(qū)60年代后期人均年代后期人均GDP200-300美元美元（1967年為年為267美元）美元）70-80年代大力發(fā)

12、展集成電路產(chǎn)業(yè)年代大力發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)90年代年代IT業(yè)高速發(fā)展業(yè)高速發(fā)展97年人均年人均GDP=13559美元美元36 在信息經(jīng)濟(jì)時(shí)代，產(chǎn)品，以其在信息經(jīng)濟(jì)時(shí)代，產(chǎn)品，以其信息含量的多少及處理信息能力信息含量的多少及處理信息能力的強(qiáng)弱，決定著附加值的高低的強(qiáng)弱，決定著附加值的高低決定著在國(guó)際經(jīng)濟(jì)分工中的地位決定著在國(guó)際經(jīng)濟(jì)分工中的地位37 銷(xiāo)銷(xiāo)售售額額 利利潤(rùn)潤(rùn) 利利潤(rùn)潤(rùn)率率 Intel公公司司 294億億美美元元 73億億 美美元元 24.8% 我我國(guó)國(guó)一一家家以以計(jì)計(jì)算算機(jī)機(jī)銷(xiāo)銷(xiāo)售售生生產(chǎn)產(chǎn)為為主主的的IT企企業(yè)業(yè) 200億億人人民民幣幣 5億億 人人民民幣幣 2.5% 我我國(guó)國(guó)的的VC

13、D產(chǎn)產(chǎn)業(yè)業(yè) 2% 我國(guó)我國(guó)IT企業(yè)與企業(yè)與Intel公司利潤(rùn)的比較公司利潤(rùn)的比較同樣，同樣，TI公司的技術(shù)創(chuàng)新，數(shù)字信號(hào)處理器（公司的技術(shù)創(chuàng)新，數(shù)字信號(hào)處理器（DSP）使它的利潤(rùn)率比諾基亞高出）使它的利潤(rùn)率比諾基亞高出10個(gè)百分點(diǎn)。個(gè)百分點(diǎn)。38如果我們不發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)如果我們不發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)ITIT行業(yè)停留在裝配業(yè)水平上，掙的行業(yè)停留在裝配業(yè)水平上，掙的“辛苦錢(qián)辛苦錢(qián)”。在國(guó)際分工中我們將只能處于低附加值的低端上。在國(guó)際分工中我們將只能處于低附加值的低端上。所以有人戲稱(chēng)說(shuō)：所以有人戲稱(chēng)說(shuō)：“你們說(shuō)中關(guān)村是硅谷，但是一你們說(shuō)中關(guān)村是硅谷，但是一個(gè)無(wú)個(gè)無(wú)“芯芯”的硅谷，產(chǎn)品不可能有競(jìng)爭(zhēng)力。的

14、硅谷，產(chǎn)品不可能有競(jìng)爭(zhēng)力?！痹跊](méi)在沒(méi)有自己集成電路產(chǎn)業(yè)的情況下，我們的高新技術(shù)的有自己集成電路產(chǎn)業(yè)的情況下，我們的高新技術(shù)的發(fā)展命脈掌握在他人手中。發(fā)展命脈掌握在他人手中。當(dāng)前，微電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展規(guī)模和科學(xué)技術(shù)水平已成當(dāng)前，微電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展規(guī)模和科學(xué)技術(shù)水平已成為衡量一個(gè)國(guó)家綜合實(shí)力的重要標(biāo)志。為衡量一個(gè)國(guó)家綜合實(shí)力的重要標(biāo)志。39幾乎所有的傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)與微電子技術(shù)結(jié)合，用幾乎所有的傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)與微電子技術(shù)結(jié)合，用集成電路芯片進(jìn)行智能改造，都可以使傳統(tǒng)集成電路芯片進(jìn)行智能改造，都可以使傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)重新煥發(fā)青春產(chǎn)業(yè)重新煥發(fā)青春?全國(guó)各行業(yè)的風(fēng)機(jī)、水泵的總耗電量約占了全國(guó)各行業(yè)的風(fēng)機(jī)、水泵的總耗電量約占了全國(guó)發(fā)

15、電量的全國(guó)發(fā)電量的30%，僅僅對(duì)風(fēng)機(jī)、水泵采用，僅僅對(duì)風(fēng)機(jī)、水泵采用變頻調(diào)速等電子技術(shù)進(jìn)行改造，每年即可節(jié)變頻調(diào)速等電子技術(shù)進(jìn)行改造，每年即可節(jié)電電500億度以上，相當(dāng)于三個(gè)葛洲壩電站的億度以上，相當(dāng)于三個(gè)葛洲壩電站的發(fā)電量發(fā)電量(157億度億度/年年)?對(duì)白熾燈進(jìn)行高效節(jié)能改造，并假設(shè)推廣應(yīng)對(duì)白熾燈進(jìn)行高效節(jié)能改造，并假設(shè)推廣應(yīng)用用30%，所節(jié)省的電能相當(dāng)于三座大亞彎核，所節(jié)省的電能相當(dāng)于三座大亞彎核電站的發(fā)電量電站的發(fā)電量(139億度億度/年年)微電子對(duì)傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的滲透與帶動(dòng)作用微電子對(duì)傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的滲透與帶動(dòng)作用40電子裝備更新?lián)Q代都基于微電子技術(shù)的電子裝備更新?lián)Q代都基于微電子技術(shù)的進(jìn)步，其靈

16、巧（進(jìn)步，其靈巧（Smart）的程度都依賴(lài)于）的程度都依賴(lài)于集成電路芯片的集成電路芯片的“智慧智慧”程度和使用程程度和使用程度度 數(shù)控機(jī)床數(shù)控機(jī)床普通機(jī)床普通機(jī)床數(shù)字化技術(shù)改造數(shù)字化技術(shù)改造價(jià)格相差價(jià)格相差10倍倍集成集成電路電路整機(jī)系統(tǒng)整機(jī)系統(tǒng)高附加值高附加值在成長(zhǎng)期進(jìn)入在成長(zhǎng)期進(jìn)入市場(chǎng)，增強(qiáng)市市場(chǎng)，增強(qiáng)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力微電子對(duì)傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的滲透與帶動(dòng)作用微電子對(duì)傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的滲透與帶動(dòng)作用410 0500500100010001500150020002000鋼鐵鋼鐵汽車(chē)汽車(chē)彩電彩電計(jì)算機(jī)計(jì)算機(jī)集成電路集成電路對(duì)國(guó)民經(jīng)濟(jì)的貢對(duì)國(guó)民經(jīng)濟(jì)的貢獻(xiàn)率獻(xiàn)率沒(méi)有微電子的電子工業(yè)只能是勞動(dòng)密集型的沒(méi)有微電子的電

17、子工業(yè)只能是勞動(dòng)密集型的組裝業(yè)，不能形成高附加值的知識(shí)經(jīng)濟(jì)，中組裝業(yè)，不能形成高附加值的知識(shí)經(jīng)濟(jì)，中國(guó)的硅谷將是無(wú)芯的硅谷國(guó)的硅谷將是無(wú)芯的硅谷42微電子對(duì)國(guó)家安全與國(guó)防建設(shè)的作用微電子對(duì)國(guó)家安全與國(guó)防建設(shè)的作用武器裝備水平與社會(huì)生產(chǎn)力、經(jīng)武器裝備水平與社會(huì)生產(chǎn)力、經(jīng)濟(jì)基礎(chǔ)有密切關(guān)系濟(jì)基礎(chǔ)有密切關(guān)系?在農(nóng)業(yè)社會(huì)：大刀長(zhǎng)矛等冷兵器；在農(nóng)業(yè)社會(huì)：大刀長(zhǎng)矛等冷兵器；?在工業(yè)化社會(huì)：槍、炮等熱兵器在工業(yè)化社會(huì)：槍、炮等熱兵器?信息化社會(huì)：信息化社會(huì)： IC成為武器的一個(gè)成為武器的一個(gè)組成元，電子戰(zhàn)、信息戰(zhàn)組成元，電子戰(zhàn)、信息戰(zhàn)43各各類(lèi)類(lèi)武武器器裝裝備備經(jīng)經(jīng)費(fèi)費(fèi)預(yù)預(yù)算算中中的的電電子子含含量量* *(

18、 (單單位位：% %) ) 1993 1994 1995 1996 1997 1998 1999 2000 2001 飛飛機(jī)機(jī) 37.6 40.1 40.3 39.4 39.1 38.8 37.8 38.9 39.1 導(dǎo)導(dǎo)彈彈 52.9 55.2 59.3 59.9 59.6 60.3 60.1 59.5 59.9 空空間間 59 57.6 58.8 58.9 58.8 60 60.9 61.6 61.9 艦艦船船 36.2 31.1 34.9 31.4 32.8 32.1 34.8 34.9 34 各各種種炮炮和和武武器器 15.7 17.5 19.3 19.8 20.4 20.8 20.6

19、 20.8 22.7 車(chē)車(chē)輛輛 14.3 14.4 16.4 22.8 26.6 25.8 24.8 28.4 29.4 國(guó)國(guó)防防預(yù)預(yù)算算中中的的電電子子含含量量 40.7 41.2 41.4 41.4 42 42.5 42.9 43.6 43.6 注注: *電電子子含含量量=電電子子采采購(gòu)購(gòu)費(fèi)費(fèi)+科科研研費(fèi)費(fèi)/國(guó)國(guó)防防武武器器裝裝備備采采購(gòu)購(gòu)費(fèi)費(fèi)+科科研研費(fèi)費(fèi)資資料料來(lái)來(lái)源源 微電子對(duì)國(guó)家安全與國(guó)防建設(shè)的作用微電子對(duì)國(guó)家安全與國(guó)防建設(shè)的作用44微電子對(duì)信息社會(huì)的重要性微電子對(duì)信息社會(huì)的重要性INTERNET基礎(chǔ)設(shè)施基礎(chǔ)設(shè)施?各種各樣的網(wǎng)絡(luò)：電纜、光纖各種各樣的網(wǎng)絡(luò)：電纜、光纖(光電子光電子)

20、、無(wú)線(xiàn)無(wú)線(xiàn) .?路由和交換技術(shù)：路由和交換技術(shù)：路由器、交換機(jī)、防火墻、網(wǎng)路由器、交換機(jī)、防火墻、網(wǎng)關(guān)關(guān) .?終端設(shè)備：終端設(shè)備：PC、NetPC、WebTV .?網(wǎng)絡(luò)基礎(chǔ)軟件：網(wǎng)絡(luò)基礎(chǔ)軟件：TCP/IP、DNS、LDAP、DCE .INTERNET服務(wù)服務(wù)?信息服務(wù)信息服務(wù): 極其大量的各種信息極其大量的各種信息?交易服務(wù)交易服務(wù): 高可靠、高保密高可靠、高保密 .?計(jì)算服務(wù)計(jì)算服務(wù): “網(wǎng)絡(luò)就是計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)就是計(jì)算機(jī) !”, “計(jì)算機(jī)成了網(wǎng)絡(luò)計(jì)算機(jī)成了網(wǎng)絡(luò)的外部設(shè)備的外部設(shè)備 !”45市場(chǎng)市場(chǎng) 銷(xiāo)售額銷(xiāo)售額 （10 億美元）億美元） 市場(chǎng)市場(chǎng) 銷(xiāo)售額銷(xiāo)售額 （10 億美元）億美元） 手提數(shù)據(jù)

21、通訊手提數(shù)據(jù)通訊* 630 超薄顯示器超薄顯示器* 170 個(gè)人電腦個(gè)人電腦* 470 IC 卡卡* 165 移動(dòng)電話(huà)服務(wù)移動(dòng)電話(huà)服務(wù)* 380 地面微波廣播地面微波廣播* 160 CPU* 300 DNA 生物芯片生物芯片 160 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)產(chǎn)品數(shù)據(jù)存儲(chǔ)產(chǎn)品* 270 多用途通訊設(shè)備多用途通訊設(shè)備* 155 磁存儲(chǔ)磁存儲(chǔ)* 250 半導(dǎo)體設(shè)備半導(dǎo)體設(shè)備* 150 電子商務(wù)電子商務(wù)* 250 電力交通工具電力交通工具 150 網(wǎng)絡(luò)信息服務(wù)網(wǎng)絡(luò)信息服務(wù)* 230 墻壁式超薄電視墻壁式超薄電視* 145 高密度磁存儲(chǔ)高密度磁存儲(chǔ)* 230 移動(dòng)電話(huà)移動(dòng)電話(huà)* 140 系統(tǒng)集成芯片系統(tǒng)集成芯片* 21

22、0 直接引入直接引入工具工具 140 家庭醫(yī)療設(shè)備家庭醫(yī)療設(shè)備* 210 ITS 設(shè)備設(shè)備 140 互聯(lián)網(wǎng)互聯(lián)網(wǎng)* 200 DNA 加工食品加工食品 135 有線(xiàn)電視有線(xiàn)電視* 200 液晶顯示器液晶顯示器* 120 智能傳輸系統(tǒng)智能傳輸系統(tǒng) 190 仿制品仿制品 115 代理軟件代理軟件* 180 燃油汽車(chē)燃油汽車(chē) 110 2020年世界最大的年世界最大的30個(gè)市場(chǎng)領(lǐng)域：其中與個(gè)市場(chǎng)領(lǐng)域：其中與微電子相關(guān)的微電子相關(guān)的22個(gè)市場(chǎng)：個(gè)市場(chǎng)：5萬(wàn)億美元（萬(wàn)億美元（Nikkei Business 1999）微電子產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略重要性微電子產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略重要性46微電子科學(xué)技術(shù)的微電子科學(xué)技術(shù)的發(fā)展歷史發(fā)展

23、歷史471947年年12月月23日日第一個(gè)晶體管第一個(gè)晶體管NPN Ge晶體管晶體管 W. Schokley J. Bardeen W. Brattain481958年第一塊集成電路：年第一塊集成電路：TI公司的公司的Kilby，12個(gè)器件，個(gè)器件，Ge晶片晶片49微電子發(fā)展史上的幾個(gè)里程碑微電子發(fā)展史上的幾個(gè)里程碑1962年年Wanlass、C. T. SahCMOS技術(shù)技術(shù) 現(xiàn)現(xiàn)在集成電路產(chǎn)業(yè)中占在集成電路產(chǎn)業(yè)中占95%以上以上1967年年Kahng、S. Sze 非揮發(fā)存儲(chǔ)器非揮發(fā)存儲(chǔ)器1968年年Dennard單晶體管單晶體管DRAM1971年年Intel公司微處理器公司微處理器計(jì)算機(jī)

24、的心臟計(jì)算機(jī)的心臟?目前全世界微機(jī)總量約目前全世界微機(jī)總量約6億臺(tái)，在美國(guó)每年由計(jì)算機(jī)完成的工作量超億臺(tái)，在美國(guó)每年由計(jì)算機(jī)完成的工作量超過(guò)過(guò)4000億人年工作量。美國(guó)歐特泰克公司認(rèn)為：微處理器、寬頻道億人年工作量。美國(guó)歐特泰克公司認(rèn)為：微處理器、寬頻道連接和智能軟件將是連接和智能軟件將是21世紀(jì)改變?nèi)祟?lèi)社會(huì)和經(jīng)濟(jì)的三大技術(shù)創(chuàng)新世紀(jì)改變?nèi)祟?lèi)社會(huì)和經(jīng)濟(jì)的三大技術(shù)創(chuàng)新50第一個(gè)第一個(gè)CPU：400451Pentium III CPU芯片芯片52?不斷提高產(chǎn)品的性能價(jià)格比不斷提高產(chǎn)品的性能價(jià)格比是微電子技術(shù)發(fā)展的動(dòng)力是微電子技術(shù)發(fā)展的動(dòng)力?集成電路芯片的集成電路芯片的集成度每三集成度每三年提高年提高

25、4倍，而加工特征尺倍，而加工特征尺寸縮小寸縮小 倍倍，這就是，這就是摩爾摩爾定律定律2微電子發(fā)展的規(guī)律微電子發(fā)展的規(guī)律53 基于市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)，不基于市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)，不斷提高產(chǎn)品的性能價(jià)格斷提高產(chǎn)品的性能價(jià)格比是微電子技術(shù)發(fā)展的比是微電子技術(shù)發(fā)展的動(dòng)力。在新技術(shù)的推動(dòng)動(dòng)力。在新技術(shù)的推動(dòng)下，集成電路自發(fā)明以下，集成電路自發(fā)明以來(lái)四十年，來(lái)四十年，集成電路芯集成電路芯片的集成度每三年提高片的集成度每三年提高4倍，而加工特征尺寸倍，而加工特征尺寸縮小縮小 倍。倍。這就是由這就是由Intel公司創(chuàng)始人之一公司創(chuàng)始人之一Gordon E. Moore博士博士1965年總結(jié)的規(guī)律，被年總結(jié)的規(guī)律，被稱(chēng)為摩爾定律。稱(chēng)

26、為摩爾定律。2 2 2 22微電子技術(shù)發(fā)展的微電子技術(shù)發(fā)展的ROADMAP SSI MSI LSI VLSI ULSI GSI 元元 件件 數(shù)數(shù) 109 門(mén)門(mén) 數(shù)數(shù) 108 54微處理器的性能微處理器的性能100 G10 GGiga100 M10 MMegaKilo1970 1980 1990 2000 2010成熟期成熟期55集成電路技術(shù)是近集成電路技術(shù)是近50年來(lái)發(fā)展最快的技術(shù)年來(lái)發(fā)展最快的技術(shù)微電子技術(shù)的進(jìn)步微電子技術(shù)的進(jìn)步 年年份份特特征征參參數(shù)數(shù)19591970-19712000比比率率設(shè)設(shè)計(jì)計(jì)規(guī)規(guī)則則 m2580.18140電電源源電電壓壓VDD(伏伏）551.53硅硅片片直直徑徑

27、尺尺寸寸（mm）53030060集集成成度度62 1032 1093 108DRAM密密度度（bit)1K1G106微微處處理理器器時(shí)時(shí)鐘鐘頻頻率率(Hz)750K1G103平平均均晶晶體體管管價(jià)價(jià)格格$100.310-6107From S.M.SZE56集成電路市場(chǎng)和集成電路市場(chǎng)和產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的發(fā)展規(guī)律產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的發(fā)展規(guī)律市場(chǎng)及其發(fā)展規(guī)律市場(chǎng)及其發(fā)展規(guī)律產(chǎn)業(yè)格局與結(jié)構(gòu)產(chǎn)業(yè)格局與結(jié)構(gòu)Foundry建設(shè)建設(shè)5730多年來(lái)，集成電路市場(chǎng)的成長(zhǎng)迅速，多年來(lái)，集成電路市場(chǎng)的成長(zhǎng)迅速，基本上是一條指數(shù)發(fā)展規(guī)律?；旧鲜且粭l指數(shù)發(fā)展規(guī)律。資料來(lái)源：資料來(lái)源：WSTS. 00/5 制圖制圖:黃逸平、黃逸平、Mab

28、el市場(chǎng)及其發(fā)展規(guī)律市場(chǎng)及其發(fā)展規(guī)律58 同時(shí)，集成電路市場(chǎng)又是高度變動(dòng)的同時(shí)，集成電路市場(chǎng)又是高度變動(dòng)的,約約十年為一個(gè)漲落周期。十年為一個(gè)漲落周期。59第一個(gè)周期第一個(gè)周期(1975-1984，CAGR=20.4%): 電腦和消費(fèi)類(lèi)電子電腦和消費(fèi)類(lèi)電子; 4 和和5 ; 產(chǎn)值在幾百產(chǎn)值在幾百億美元國(guó)防工業(yè)、工作站、大型億美元國(guó)防工業(yè)、工作站、大型第二個(gè)周期第二個(gè)周期(1985-1995，CAGR=20.8%): 中小型電腦、中小型電腦、PC機(jī)；機(jī)；8 ；產(chǎn)值突破；產(chǎn)值突破1000億美元億美元第三個(gè)周期第三個(gè)周期(1996-2005，CAGR=15.6%): 除除PC機(jī)外，網(wǎng)絡(luò)和通訊裝備，特

29、別是移機(jī)外，網(wǎng)絡(luò)和通訊裝備，特別是移動(dòng)通訊裝備動(dòng)通訊裝備; 8 和和12 ; 產(chǎn)值產(chǎn)值3000億美元億美元601998-2003年世界及四大市場(chǎng)年世界及四大市場(chǎng)IC增長(zhǎng)率和份額統(tǒng)計(jì)增長(zhǎng)率和份額統(tǒng)計(jì)/預(yù)測(cè)表預(yù)測(cè)表-20.00%-20.00%-10.00%-10.00%0.00%0.00%10.00%10.00%20.00%20.00%30.00%30.00%40.00%40.00%19971997199819981999199920002000200120012002200220032003亞太亞太美國(guó)美國(guó)歐洲歐洲日本日本全球全球市場(chǎng)增長(zhǎng)率市場(chǎng)增長(zhǎng)率亞太地區(qū)第一亞太地區(qū)第一0%0%5%5%10%

30、10%15%15%20%20%25%25%30%30%35%35%19971997199819981999199920002000200120012002200220032003亞太亞太歐洲歐洲日本日本美國(guó)美國(guó)市場(chǎng)份額市場(chǎng)份額亞太地區(qū)僅次于美國(guó)亞太地區(qū)僅次于美國(guó)6121世紀(jì)，要求移動(dòng)處理信息，隨時(shí)隨地獲世紀(jì)，要求移動(dòng)處理信息，隨時(shí)隨地獲取信息、處理信息成為把握先機(jī)而制勝的取信息、處理信息成為把握先機(jī)而制勝的武器。武器。如果前如果前20年年P(guān)C是集成電路發(fā)展的驅(qū)動(dòng)器的是集成電路發(fā)展的驅(qū)動(dòng)器的話(huà)，后話(huà)，后20年除年除PC要繼續(xù)發(fā)展外，主要驅(qū)動(dòng)要繼續(xù)發(fā)展外，主要驅(qū)動(dòng)器應(yīng)該是器應(yīng)該是與與Interne

31、t結(jié)合的可移動(dòng)結(jié)合的可移動(dòng)（Mobile)、袖珍的（、袖珍的（Portable) 實(shí)時(shí)信息實(shí)時(shí)信息處理設(shè)備。處理設(shè)備。核心電路是數(shù)字信號(hào)處理器（核心電路是數(shù)字信號(hào)處理器（DSP-Digital Signal Processor)62產(chǎn)業(yè)格局與產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)產(chǎn)業(yè)格局與產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)集成電路的生命力在于集成電路的生命力在于它可以大批量、低成本和它可以大批量、低成本和高可靠地生產(chǎn)出來(lái)。高可靠地生產(chǎn)出來(lái)。?集成電路芯片價(jià)格：集成電路芯片價(jià)格：101 102美元美元?生產(chǎn)線(xiàn)的投資：生產(chǎn)線(xiàn)的投資： 109美元美元 （8”、0.25微米）微米）?要想贏(yíng)利：年產(chǎn)量要想贏(yíng)利：年產(chǎn)量108集成電路芯片是整機(jī)高附加值的倍增器，

32、但不是集成電路芯片是整機(jī)高附加值的倍增器，但不是最終產(chǎn)品，如果不能在整機(jī)和系統(tǒng)中應(yīng)用，那它最終產(chǎn)品，如果不能在整機(jī)和系統(tǒng)中應(yīng)用，那它就沒(méi)有價(jià)值和高附加值就沒(méi)有價(jià)值和高附加值決定集成電路產(chǎn)業(yè)的建設(shè)必須首先考慮整機(jī)和系決定集成電路產(chǎn)業(yè)的建設(shè)必須首先考慮整機(jī)和系統(tǒng)應(yīng)用的發(fā)展，即統(tǒng)應(yīng)用的發(fā)展，即市場(chǎng)的需求市場(chǎng)的需求63集成電路芯片生產(chǎn)廠(chǎng)大致上可分為三類(lèi)集成電路芯片生產(chǎn)廠(chǎng)大致上可分為三類(lèi)?通用電路生產(chǎn)廠(chǎng)，典型通用電路生產(chǎn)廠(chǎng)，典型生產(chǎn)存儲(chǔ)器和生產(chǎn)存儲(chǔ)器和CPU?集成器件制造商集成器件制造商(IDMIntegrated Device Manufactory Co.), 產(chǎn)品主要用于自己的整機(jī)和系產(chǎn)品主要用于

33、自己的整機(jī)和系統(tǒng)統(tǒng)?標(biāo)準(zhǔn)工藝加工廠(chǎng)或稱(chēng)代客加工廠(chǎng)，即標(biāo)準(zhǔn)工藝加工廠(chǎng)或稱(chēng)代客加工廠(chǎng)，即FoundryFoundry名詞來(lái)源于加工廠(chǎng)的鑄造車(chē)間，無(wú)自名詞來(lái)源于加工廠(chǎng)的鑄造車(chē)間，無(wú)自己產(chǎn)品己產(chǎn)品 優(yōu)良的加工技術(shù)優(yōu)良的加工技術(shù)(包括設(shè)計(jì)和制造包括設(shè)計(jì)和制造)及優(yōu)質(zhì)的服及優(yōu)質(zhì)的服務(wù)為客戶(hù)提供加工服務(wù)務(wù)為客戶(hù)提供加工服務(wù)客戶(hù)群初期多為沒(méi)有生產(chǎn)線(xiàn)的設(shè)計(jì)公司，但客戶(hù)群初期多為沒(méi)有生產(chǎn)線(xiàn)的設(shè)計(jì)公司，但是隨著技術(shù)的發(fā)展，現(xiàn)在許多是隨著技術(shù)的發(fā)展，現(xiàn)在許多IDM公司也將相公司也將相當(dāng)多的業(yè)務(wù)交給當(dāng)多的業(yè)務(wù)交給Foundry加工加工64資料來(lái)源： Digitimes整理 2000/ 制圖：李柏毅、Mabel前兩類(lèi)廠(chǎng)家

34、，前兩類(lèi)廠(chǎng)家，IDM與整機(jī)、系統(tǒng)用戶(hù)相結(jié)合，與整機(jī)、系統(tǒng)用戶(hù)相結(jié)合，相對(duì)分散設(shè)計(jì)；以標(biāo)準(zhǔn)工相對(duì)分散設(shè)計(jì)；以標(biāo)準(zhǔn)工藝（標(biāo)準(zhǔn)單元庫(kù)和藝（標(biāo)準(zhǔn)單元庫(kù)和IP庫(kù)）庫(kù)）為接口，相對(duì)集中加工。為接口，相對(duì)集中加工。這就導(dǎo)致了這就導(dǎo)致了Fabless Co. 和和Foundry的出現(xiàn)。的出現(xiàn)。IP模塊和模塊和Chipless Co.出現(xiàn)出現(xiàn) 19801980 1990 集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展是市場(chǎng)牽引和技術(shù)推動(dòng)的結(jié)果。集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展是市場(chǎng)牽引和技術(shù)推動(dòng)的結(jié)果。不同的產(chǎn)業(yè)發(fā)展階段，產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)可以有不同的形式不同的產(chǎn)業(yè)發(fā)展階段，產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)可以有不同的形式IC(IDM)制造商制造商通用電路通用電路制造商制造商65集成電

35、路設(shè)計(jì)滯后現(xiàn)象集成電路設(shè)計(jì)滯后現(xiàn)象0.010.11101980198519901995200020052010微米微米芯片復(fù)雜度芯片復(fù)雜度柵長(zhǎng)柵長(zhǎng)58%/年年20%/人年人年設(shè)計(jì)產(chǎn)率設(shè)計(jì)產(chǎn)率差距增大差距增大10G1G100M10M1M100K10K1K集成電路設(shè)計(jì)能力增長(zhǎng)不能跟上芯片復(fù)雜度的增長(zhǎng)速集成電路設(shè)計(jì)能力增長(zhǎng)不能跟上芯片復(fù)雜度的增長(zhǎng)速率率66資料來(lái)源： Digitimes整理 2000/ 制圖：李柏毅、Mabel前兩類(lèi)廠(chǎng)家，前兩類(lèi)廠(chǎng)家，IDM與整機(jī)、系統(tǒng)用戶(hù)相結(jié)合，與整機(jī)、系統(tǒng)用戶(hù)相結(jié)合，相對(duì)分散設(shè)計(jì)；以標(biāo)準(zhǔn)工相對(duì)分散設(shè)計(jì)；以標(biāo)準(zhǔn)工藝（標(biāo)準(zhǔn)單元庫(kù)和藝（標(biāo)準(zhǔn)單元庫(kù)和IP庫(kù)）庫(kù)）為接口，相

36、對(duì)集中加工。為接口，相對(duì)集中加工。這就導(dǎo)致了這就導(dǎo)致了Fabless Co. 和和Foundry的出現(xiàn)。的出現(xiàn)。IP模塊和模塊和Chipless Co.出現(xiàn)出現(xiàn)集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展是市場(chǎng)牽引和技術(shù)推動(dòng)的結(jié)果。不集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展是市場(chǎng)牽引和技術(shù)推動(dòng)的結(jié)果。不同的產(chǎn)業(yè)發(fā)展階段，產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)可以有不同的形式同的產(chǎn)業(yè)發(fā)展階段，產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)可以有不同的形式IC(IDM)制造商制造商通用電路通用電路制造商制造商IP：知識(shí)產(chǎn)權(quán)：知識(shí)產(chǎn)權(quán)(Intellectual Property) 19801980 199067Foundry功能要求功能要求行為級(jí)行為級(jí)多工藝模塊多工藝模塊 p、DSP、E2PROM & F

37、lash、A/D、D/AWafer級(jí)級(jí)封裝后封裝后成品級(jí)成品級(jí)邏輯級(jí)邏輯級(jí)版圖級(jí)版圖級(jí)MASK研究開(kāi)發(fā)支持研究開(kāi)發(fā)支持 Foundry建設(shè)建設(shè)Foundry的建設(shè)必須采用系統(tǒng)工程的方法的建設(shè)必須采用系統(tǒng)工程的方法基本特征：基本特征：68隨技術(shù)進(jìn)步，建廠(chǎng)費(fèi)用呈指數(shù)增加，這時(shí)必隨技術(shù)進(jìn)步，建廠(chǎng)費(fèi)用呈指數(shù)增加，這時(shí)必然出現(xiàn)兩種趨向：然出現(xiàn)兩種趨向：?各相關(guān)公司聯(lián)合建廠(chǎng)各相關(guān)公司聯(lián)合建廠(chǎng)IBM、Infineon與與UMC的聯(lián)合的聯(lián)合?將更多業(yè)務(wù)交給將更多業(yè)務(wù)交給Foundry，降低成本，降低成本Motorola已經(jīng)表示到已經(jīng)表示到2001年，將有年，將有50%以上的以上的產(chǎn)能需從外部提供產(chǎn)能需從外部提

38、供日本日本Kawasaki公司取消他們計(jì)劃建設(shè)的公司取消他們計(jì)劃建設(shè)的0.18 m的工廠(chǎng)，代之以與的工廠(chǎng)，代之以與Foundry的合作的合作6967%13%18%2%AsiaNorthAmericaJapanEurope 2000年年Foundry業(yè)務(wù)地區(qū)分布業(yè)務(wù)地區(qū)分布（Semico Research Corp., 2-2000,counrtesy of Amkor Wafer Fabrication Services）70Foundry類(lèi)加工芯片數(shù)量占世界集成電路芯片總產(chǎn)量的比例類(lèi)加工芯片數(shù)量占世界集成電路芯片總產(chǎn)量的比例（資料來(lái)源：（資料來(lái)源：Dataquest）0%0%5%5%10%1

39、0%15%15%20%20%25%25%30%30%35%35%40%40%45%45%50%50%1999199920122012因此美國(guó)著名的預(yù)測(cè)與咨詢(xún)公司因此美國(guó)著名的預(yù)測(cè)與咨詢(xún)公司Dataguest： 未來(lái)屬于未來(lái)屬于Foundry71我國(guó)微電子我國(guó)微電子發(fā)展概況發(fā)展概況72我國(guó)微電子學(xué)的歷史我國(guó)微電子學(xué)的歷史1956年年5所學(xué)校在北大聯(lián)合創(chuàng)建半導(dǎo)體所學(xué)校在北大聯(lián)合創(chuàng)建半導(dǎo)體專(zhuān)業(yè)專(zhuān)業(yè)?北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、東北人民大學(xué)、廈北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、東北人民大學(xué)、廈門(mén)大學(xué)、南京大學(xué)門(mén)大學(xué)、南京大學(xué)1977年在北京大學(xué)誕生第一塊大規(guī)模集年在北京大學(xué)誕生第一塊大規(guī)模集成電路成電路73我國(guó)微電子學(xué)的歷

40、史我國(guó)微電子學(xué)的歷史1982年，成立電子計(jì)算機(jī)和大規(guī)模集年，成立電子計(jì)算機(jī)和大規(guī)模集成電路領(lǐng)導(dǎo)小組成電路領(lǐng)導(dǎo)小組80年代：初步形成三業(yè)分離的狀態(tài)年代：初步形成三業(yè)分離的狀態(tài)?制造業(yè)制造業(yè)?設(shè)計(jì)業(yè)設(shè)計(jì)業(yè)?封裝業(yè)封裝業(yè)74我國(guó)年微電子發(fā)展展望我國(guó)年微電子發(fā)展展望我國(guó)我國(guó)IC骨干企業(yè)地區(qū)分布及銷(xiāo)售情況骨干企業(yè)地區(qū)分布及銷(xiāo)售情況67%67%17%17%13%13%3%3%上海上海江蘇江蘇北京北京浙江浙江75我國(guó)年微電子發(fā)展展望我國(guó)年微電子發(fā)展展望上海上海IC產(chǎn)業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略目標(biāo)產(chǎn)業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略目標(biāo)年份年份2000200520102015 15年合計(jì)年合計(jì)銷(xiāo)售收入銷(xiāo)售收入(億美元億美元)730165500230

41、05年平均年增長(zhǎng)率（年平均年增長(zhǎng)率（%）34412533國(guó)內(nèi)國(guó)內(nèi)IC應(yīng)用市場(chǎng)占有率應(yīng)用市場(chǎng)占有率2%9%30%50%國(guó)際市場(chǎng)占有率國(guó)際市場(chǎng)占有率0.43%1%3%5%生產(chǎn)線(xiàn)技術(shù)水平生產(chǎn)線(xiàn)技術(shù)水平8/0.358/0.1812/0.1012/0.05 到到2010年總投資量年總投資量600億美元，建成億美元，建成20 40條條生產(chǎn)線(xiàn)，生產(chǎn)線(xiàn)，200個(gè)設(shè)計(jì)公司及個(gè)設(shè)計(jì)公司及20家封裝家封裝/測(cè)試廠(chǎng)測(cè)試廠(chǎng) 帶動(dòng)上海帶動(dòng)上海700億美元相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展，成為第一億美元相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展，成為第一大產(chǎn)業(yè)大產(chǎn)業(yè)76我國(guó)年微電子發(fā)展展望我國(guó)年微電子發(fā)展展望北京北京?10 20條集成電路生產(chǎn)線(xiàn)條集成電路生產(chǎn)線(xiàn)?零地租零地租?政府跟進(jìn)投資政府跟進(jìn)投資天津天津深圳深圳77微電子：微電子：電子信息產(chǎn)業(yè)的核心和基礎(chǔ)電子信息產(chǎn)業(yè)的核心和基礎(chǔ)我國(guó)微電子產(chǎn)業(yè)進(jìn)入高速發(fā)展時(shí)期我國(guó)微電子產(chǎn)業(yè)進(jìn)入高速發(fā)展時(shí)期0 050050010001000150015002000200025002500300030003500350019991999200220022005200520102010今后8年今后8年今后3年今后3年近3年近3年99年以前99年以前億元億元年年中國(guó)集成電中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的累路產(chǎn)業(yè)的累計(jì)投資額計(jì)投資