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文檔簡(jiǎn)介
1、Image J軟件測(cè)量微弧氧化膜層表面孔隙率、孔徑及其厚度的步驟先根據(jù)需要測(cè)定的照片設(shè)定標(biāo)尺(見(jiàn)附錄),后將去除標(biāo)尺的清晰SEM照片打開(kāi),具體步驟:File Open 打開(kāi)一、測(cè)量表面孔隙率的步驟:1. Analyze Set Measurements Area, Area Fraction, Limit to Threshold OK 2. Image Adjust Threshold Apply OK3. Analyze Measure Results4. Results File Save As 保存二、測(cè)量表面孔徑的步驟:1. Analyze Set Measurements Area
2、, Circularity, Ferets Diameter, Limit to Threshold OK 2. Image Adjust Threshold Apply OK Results(在設(shè)定灰度值的同時(shí)可以改變填充時(shí)的顏色)3. Analyze Analyze Particles Show:Ellipses OK Results(檢驗(yàn)填充是否合理)4. Results File Save As 保存5. Results Distribution Parameter Feret OK Feret Distribution(對(duì)孔徑分布給出具體分析)6. Analyze Analyze P
3、articles Show:Ellipses Size(m2): 0-Infinity OK Results(孔徑測(cè)量中下限值的設(shè)定)三、測(cè)量膜層厚度的步驟:1. 將圖片改為RGB Color格式 Image Type RGB Color2. 用Pencil Tool在需要測(cè)量的膜層厚度處畫出直線,直線的寬度可在Pencil Tool工具欄中的Pencil Width中調(diào)整,直線的顏色可在Color picker工具欄中選擇。當(dāng)直線畫的不準(zhǔn)確時(shí),可單擊鼠標(biāo)右鍵,Undo即可重新畫線(僅限于上次操作)。 3. 用Straight line selection 工具在照片中量膜層的厚度 按鍵盤的M
4、鍵 Results (注:直線是否平直,可以看Results 對(duì)話框中的Angle 是否為0或者-90, 為0或者-90則說(shuō)明測(cè)量為直線距離,所得數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠)4. 可將Results的結(jié)果用Text tool工具標(biāo)在直線上,字體大小可在Fonts工具欄中調(diào)整,字體的顏色在Color picker工具欄中選擇。然后單擊右鍵選擇Fill即可保存,當(dāng)文本框出現(xiàn)錯(cuò)誤時(shí),單擊右鍵Undo即可(僅限于上次操作)。5. 同步驟1-4重復(fù)測(cè)量,結(jié)果均按次序保存在Results中 6. 保存數(shù)據(jù)Results File Save As 保存7. 保存帶直線及結(jié)果標(biāo)記的照片F(xiàn)ile Save As Jpeg 保
5、存附錄:Image J軟件標(biāo)尺設(shè)定及其驗(yàn)證1. 標(biāo)尺設(shè)定的步驟用Image J軟件將帶標(biāo)尺的SEM照片打開(kāi),用Straight line selection 工具在照片上畫一根與照片標(biāo)尺完全相同的直線,打開(kāi)Analyze 中 Set Scale對(duì)話框就會(huì)出現(xiàn)如圖1所示的信息,210為軟件測(cè)量值,Known Distance中輸入標(biāo)尺顯示值10,在Unit of Length中輸入m即可定標(biāo),在Global前的方框中打鉤即可固定標(biāo)尺。圖1 SEM照片標(biāo)尺設(shè)定2. 標(biāo)尺設(shè)定的驗(yàn)證在設(shè)定了不同放大倍數(shù)照片的標(biāo)尺之后,發(fā)現(xiàn)只要在Analyze中的 Set Scale對(duì)話框(圖2)中只需要輸入Distance in Pixels 中的數(shù)據(jù),與放大倍數(shù)相對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)如表1所示,并在Unit of Length中輸入m,其他不變。 表1 不同放大倍數(shù)的標(biāo)尺放大倍數(shù)(X)圖2 不同倍數(shù)標(biāo)尺設(shè)定輸入值2002.15005.28008.2100010.4150015.8200021由于SEM本身并不帶標(biāo)尺,是根據(jù)SEM標(biāo)樣進(jìn)行定期校驗(yàn)的,所以其放大倍數(shù)和計(jì)算的標(biāo)尺并不一致,本標(biāo)尺標(biāo)準(zhǔn)是按現(xiàn)有的SEM不同放大倍數(shù)照片所帶標(biāo)尺標(biāo)定的。所以在此僅供對(duì)比參考,以自己實(shí)際測(cè)量為準(zhǔn)。 將不同照片根據(jù)標(biāo)尺算出其面積,將其
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