冷等離子體改性設(shè)備

1、冷等離子體改性設(shè)備冷等離子體改性設(shè)備PART 1. 真空冷凍干燥機(jī)真空冷凍干燥機(jī) 工作原理 用途 操作步驟 操作中注意事項(xiàng) 操作中的異常情況及處理方法1.1冷等離子體改性設(shè)備的冷等離子體改性設(shè)備的工作原理工作原理等離子體 (中文)=PLASMA (英文)=電漿(臺(tái)灣)等離子體的發(fā)現(xiàn):1879、英國(guó)物理學(xué)家、 William Crookes-物質(zhì)第四狀態(tài)1929、美國(guó)化學(xué)物理學(xué)家、 Langmuir-等離子體等離子體定義：部分或是全部電離的氣體；主要包括：電子、離子、中性基團(tuán)、分子、光子1.1冷等離子體改性設(shè)備的工作原理冷等離子體改性設(shè)備的工作原理等離子體成分,對(duì)外呈現(xiàn)電中性物質(zhì)的第四種形態(tài)1.

2、1冷等離子體改性設(shè)備的工作原理冷等離子體改性設(shè)備的工作原理在減壓（1.331330Pa）和高頻電場(chǎng)下發(fā)生輝光放電，少量氣體分子被電離產(chǎn)生高溫電子，穿梭在常溫或接近常溫的氣體中發(fā)生碰撞，此時(shí)電子溫度高達(dá)104105K，而氣體的離子和分子的溫度與環(huán)境相同，遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于電子的溫度，這種非平衡體系稱為冷等離子體。非平衡性對(duì)等離子體化學(xué)與工藝過程非常重要。這意味著：一方面電子有足夠高的能量使反應(yīng)物分子激發(fā)、離解和電離；另一方面反應(yīng)體系又得以保持低溫乃至接近室溫。1.1冷等離子體改性設(shè)備的工作原理冷等離子體改性設(shè)備的工作原理1.1冷等離子體改性設(shè)備的工作原理冷等離子體改性設(shè)備的工作原理1.1冷等離子體改性設(shè)備

3、的工作原理冷等離子體改性設(shè)備的工作原理冷等離子體改性設(shè)備的組成示意圖：1. 真空反應(yīng)室。2. 真空系統(tǒng)及測(cè)量設(shè)備。3. 充氣系統(tǒng)及流量測(cè)量設(shè)備。4. 放電系統(tǒng)和射頻電源。5. 設(shè)備電路控制系統(tǒng)。1.1冷等離子體改性設(shè)備的工作原理冷等離子體改性設(shè)備的工作原理冷等離子體改性設(shè)備的結(jié)構(gòu)真空泵及卡箍的結(jié)構(gòu)1.1冷等離子體改性設(shè)備的工作原理冷等離子體改性設(shè)備的工作原理1.2 冷等離子體改性設(shè)備的用途冷等離子體改性設(shè)備的用途AApplication for Us1.2 冷等離子體改性設(shè)備的用途冷等離子體改性設(shè)備的用途Application for Us1.2 冷等離子體改性設(shè)備的用途冷等離子體改性設(shè)備的用

4、途Hydrophobic Modification1.2 冷等離子體改性設(shè)備的用途冷等離子體改性設(shè)備的用途Hydrophobic Modification1.2 冷等離子體改性設(shè)備的用途冷等離子體改性設(shè)備的用途1.3 操作步驟（操作步驟（From Instruction ）1.3 操作操作步驟（步驟（From Instruction ）1.3 操作步驟（操作步驟（Our Experience） 開電源，打開總開關(guān)。 將樣品放置在真空反應(yīng)室，將裝有改性劑的具塞單口燒瓶與設(shè)備單體入口連接。1.3 操作步驟（操作步驟（Our Experience） 確認(rèn)各外接氣閥為關(guān)閉狀態(tài)（包括活塞）； 檢查密封圈

5、完好且無雜物的前提下，罩上反應(yīng)室金屬面罩； 打開真空計(jì)、真空泵；等待真空度下降至實(shí)驗(yàn)所需的要求，并確保真空泵運(yùn)行過程中無異響。1.3 操作步驟（操作步驟（Our Experience） 按Uf燈預(yù)熱電極（完畢后Ua綠燈亮）； 旋開單體瓶活塞； 按下板壓開關(guān)綠色按鈕（Ua綠燈）；1.3 操作步驟（操作步驟（Our Experience） 緩緩調(diào)節(jié)Ua功率調(diào)節(jié)按扭，觀察功率計(jì)，把功率調(diào)至真空室氣體起輝，然后反復(fù)調(diào)節(jié)匹配電容C1和C2，直至反射功率最?。ㄇ屑煞瓷涔β侍螅駝t易壞元器件）。1.3 操作步驟（操作步驟（Our Experience） 按下計(jì)時(shí)器開關(guān)綠色按鈕，計(jì)時(shí)器開始計(jì)時(shí)。（實(shí)驗(yàn)前，必

6、須預(yù)先設(shè)定好工作時(shí)間）1.3 操作步驟（操作步驟（Our Experience） 工作時(shí)間到，計(jì)時(shí)器報(bào)警。 逆時(shí)針調(diào)節(jié)板壓電位器旋鈕Ua到最低位置。按下板壓開關(guān)紅色按鈕切斷板壓電源，再按下橙色 燈絲按鈕。（如果連續(xù)工作不必關(guān)閉橙色燈絲按鈕） 關(guān)閉真空。 打開放氣閥門，緩慢放氣，當(dāng)反應(yīng)室內(nèi)處于大氣壓后，再打開反應(yīng)室蓋板，取出實(shí)驗(yàn)樣品。1.4 操作操作中注意中注意事項(xiàng)事項(xiàng) 實(shí)驗(yàn)過程中注意做好防毒措施，盡量在有人知曉的情況下完成實(shí)驗(yàn)，處理后的工件不可用手觸摸。 氣氛置換時(shí)必須對(duì)腔體充氣510分鐘，清除置換前的殘留氣體。 射頻源的操作和氣源供給的操作必須由二人同時(shí)完成，不可一人單獨(dú)操作。 設(shè)備不工作時(shí)，真空室必須保持真空狀態(tài)（每隔一周抽真空到本底）。 設(shè)備放置場(chǎng)所必須保持清潔，不可掃出浮塵。 真空室內(nèi)不可放置金屬工件（除電極外）。 為防止功率計(jì)表頭損壞，實(shí)驗(yàn)開始時(shí)必須使功率計(jì)量程Pf位于2000檔，然后再根據(jù)實(shí)驗(yàn)實(shí)際工作量程換檔。 真空泵的使用請(qǐng)按規(guī)執(zhí)行。1.5 操作操作中的中的異常情況及處理方法異常情況及處理方法1. 真空度達(dá)不到正常工作要求 檢查真空泵與主機(jī)之間連接，卡箍是否正確卡緊。 檢查有機(jī)玻璃罩下端平面是否