設(shè)備一多功能掃描探針顯微鏡數(shù)量一臺

1、設(shè)備一：多功能掃描探針顯微鏡數(shù)量：一臺1、主要技術(shù)指標(biāo)要求1.1*分辨率：掃描器分辨率：XY：0.1nm，Z： 0.1?；對云母樣品進行 5-10nm 范圍的掃描成像， 測量圖像中相鄰云母原子的間距值， 以此間距值來表征儀器的 XY方向分辨率： 0.50-0.55nm ；對石墨樣品進行3-10nm 范圍的掃描成像，測量圖像中相鄰石墨原子的間距值，以此值來表征儀器的 XY方向分辨率： 0.25-0.30nm ；1.2 * 整機噪音： 0.2? ；1.3 * 必須為探針掃描成像設(shè)計；1.4測量模式：（ 1）成像模式：接觸模式輕敲模式抬起模式定量相位成像模式橫向力顯微鏡靜電力顯微鏡掃描電容顯微鏡調(diào)頻

2、表面電勢測量模式調(diào)幅表面電勢測量模式磁力顯微鏡壓電力顯微鏡液體環(huán)境工作模式液體環(huán)境力調(diào)制測量模式Q-Control控制技術(shù)高次諧波成像模式納米刻蝕及納米操縱表面楊氏模式成像模式（ 2）非成像模式：靜態(tài)與動態(tài)力曲線及力譜測試、定量納米力學(xué)測試、力譜線自定義測量、楊氏模量測量（ 3）其他功能：環(huán)境控制成像、溶液成像*1.5 多用途掃描器：（1）低干涉小范圍掃描器：噪聲水平 : XY 少于 1? RMS， Z 向少于 0. 1? RMS成像范圍： XY向 9um*9um， Z 向 2um；（ 3）懸臂噪音水平： < 0.2 ? RMS（ 4）掃描器精度： < ± 0.5%（ 5

3、）掃描控制： XY方向： 24 位控制 , Z 方向 ： 24 位控制（6）所有掃描器如因漏液損壞，提供5 年的免費質(zhì)保1.6 環(huán)境控制系統(tǒng)：（ 1）上部掃描成像（ Top-down Scan ）且用密封條將掃描硬件部分與成像環(huán)境隔開；（ 2）氣氛控制：可以通入任何樣品和探針能承受的氣體；（ 3） * 可通入濕度氣體：相對濕度2%-98%；（ 4）液相控制：可進行溶液下成像，不漏液；（ 5） * 提供能原位制樣可控制濕度、氣氛、溶液下成像的氣氛腔1.7納米力學(xué)測量：（ 1）樣品表面楊氏模量測量；（ 2）可實現(xiàn)機械刻蝕，化學(xué)刻蝕，電學(xué)刻蝕等功能，同時實現(xiàn)納米操縱；1.8 樣品臺：（ 1）標(biāo)準(zhǔn)樣品

4、尺寸： 35mm*35mm*15mm；（ 2）可以垂直放入各種高度超過50mm的柱狀樣品；（ 3）可以直接放入各種長度超過50mm的條狀樣品；（ 4）可以直接放入培養(yǎng)皿進行溶液成像（ 5） * 透光樣品可以從下部和上部進行光照射，便于樣品定位；1.9 內(nèi)置三鎖相快掃描功能的控制器* （ 1） 64G的 RAM和 60MHz的峰值速率來進行算術(shù)運算（2） 掃描速度： 0.1100Hz ；（3）數(shù)據(jù)采集：從 256×256 到 8096×8096（4）測量數(shù)據(jù)通道:32 通道；* （ 5）獨立設(shè)置的內(nèi)置的三鎖相通道，頻率范圍從0.1Hz 到 6MHz，3dB 的噪音水平（ 6）

5、頻率分辨率： 0.009Hz* （ 7）輸出帶寬： 80Hz,100Hz, 200Hz, 500Hz, 1kHz, 2kHz,5kHz, 10kHz, 20kHz（8）振幅驅(qū)動控制： 16-bit ， 0.3mV 的分辨率（9）相位驅(qū)動控制：12-bit， 0.088 degrees的分辨率（ 10）針尖自動逼近樣品，三個馬達控制逼近過程，同時這三個馬達可分別手調(diào)。1.11 其它控件：（ 1）防震抗噪裝置：垂直抗震小于1Hz；（ 2）光學(xué)顯微鏡： 分辨率優(yōu)于 1.5 m，帶有 CCD，LCD端放大倍數(shù)高于 450 倍，既能上部光照，也能下部光照。（ 3）隨機提供專業(yè)后處理軟件：具有實時、在線圖

6、像處理功能；可在線直接升級。2、設(shè)備主要配置及附屬設(shè)備2.1 主要配置（1）掃描探針顯微鏡 1 臺，包括：主顯微鏡部分，樣品臺，溶液池，AFM/LFM探測器和懸臂底座 ；（2）環(huán)境控制裝置，包括：環(huán)境控制腔；（3）多通道數(shù)據(jù)采集控制系統(tǒng)1套；（4）掃描電容及高次諧波信號裝置1 套（5）高分辨掃描器；（6）聲學(xué)驅(qū)動敲擊模式控制器1套（含獨立三鎖相控制、內(nèi)置Q-control ）（ 7）電腦及專業(yè)分析處理軟件。2.2 附屬設(shè)備（ 1）光學(xué)定位系統(tǒng) 1 套；（ 2）防震抗噪裝置 1 套；（ 3）儀器安裝啟動包 1 套；（ 4）各種模式探針 110 個；（5）標(biāo)準(zhǔn)樣品（云母片，光柵）及工具1 套。設(shè)備

7、二：掃描電鏡數(shù)量：一臺1、安裝條件1.1 電源電壓220V（± 10%），50Hz1.2 獨立地線接地電阻40 歐姆1.3 實驗室溫度1530，濕度 70%。2、技術(shù)要求*2.1 SE探頭分辨率： 3.0nm 30KV7.0nm 3KV*2.2 BSE探頭分辨率： 4.0nm 30KV10.0nm 5KV2.3放大倍數(shù)：最低倍率 5 倍，最高倍率 300,0002.4真空系統(tǒng)*2.4.1具有高低真空功能。且高低真空轉(zhuǎn)換軟件一鍵切換，無需手動安裝壓差光闌*2.4.2真空度：高真空：不低于0.1mPa低真空空氣濃度不小于 600Pa2.4.3真空泵泵系統(tǒng)渦輪分子泵和機械泵各1 臺2.4.

8、4真空系統(tǒng)閥門：氣動閥，配有空壓機2.5電子光學(xué)系統(tǒng)*2.5.1電子槍：具有6 級自動偏壓功能*2.5.2聚光鏡光闌完全安裝在長內(nèi)襯管內(nèi)，用戶可自行更換聚光鏡光闌。2.5.3燈絲飽和自動調(diào)節(jié)，具有高中低三個檔位2.5.4燈絲：預(yù)對中燈絲*2.5.5物鏡光闌： 4孔可動式物鏡光闌2.6樣品室和樣品臺2.6.1 樣品臺尺寸：裝載直徑200mm樣品*2.6.2 4軸馬達驅(qū)動樣品臺，具有彩色外界圖片導(dǎo)航功能2.6.3行程：四軸為X=55mm； Y=55mm ; Z=50mm；手動 T 軸*2.6.4非接觸報警裝置：通過輸入的樣品尺寸數(shù)據(jù)，自動避免樣品臺的危險操作。2.7 探測器及成像系統(tǒng)2.7.1二次

9、電子探測器：二次電子像高靈敏 5 分割背散射電子探測器：成分像、形貌像和三維像2.7.2成像模式：同時得到二次電子像，背散射電子像，兩種圖像混合像，也可四幅圖像同時成像， BSE可分別成像，并和SE任意疊加混合2.7.3圖像捕捉模式：快慢掃描捕捉、積分捕捉2.7.4電鏡操作控制系統(tǒng)：鼠標(biāo)、鍵盤、旋鈕盒、軌跡球2.7.5存儲圖像像素不小于5120 X 38403. 附件、備件、特殊工具和消耗品提供兩年以上的備品備件（包括各種保險絲、密封圈、各種光纜、專用工具、樣品托、金屬拋光膏、導(dǎo)電膠帶及預(yù)對中燈絲20 支）4. 安裝服務(wù)4.1安裝、調(diào)試廠家免費負(fù)責(zé)儀器的安裝、調(diào)試，驗收合格。4.2安裝驗收合格

10、后，廠家提供一年的免費服務(wù)4.3廠家在中國設(shè)有專門的應(yīng)用中心，3 個以上固定維修站，并配有專業(yè)維修工程師，保證提供及時優(yōu)質(zhì)的售后服務(wù)，并提供操作人員的免費培訓(xùn)。設(shè)備三：電化學(xué)分析儀數(shù)量：一臺儀器技術(shù)要求：1、運行環(huán)境1.1 、環(huán)境溫度： 4°C55°C；1.2 、相對濕度：< 95%；1.3 、工作電壓：100 240V ， 47 63Hz AC ， 200W。2、技術(shù)參數(shù)恒電位 / 恒電流儀*2.1.1最大輸出電流：±2A*2.1.2最大輸出電壓：±30V2.1.3電位掃描范圍：± 10V2.1.4測量電位分辨率：300 V,30 V

11、或 3V2.1.5施加電位精度：值的± 0.2%2.1.6電流范圍： 10nA1A，九擋*2.1.7電流精度：電流值的± 0.2%*2.1.8輸入偏差電流 /25oC： <1pA2.1.9 iR 補償：電流中斷和正反饋，0-200M ，分辨率為0.025%，可選動態(tài) iR 補償2.1.10高清液晶面板：可實時顯示電流電位值交流阻抗硬件模塊*2.1.11頻率范圍： 10 Hz 32MHz；2.1.12頻率分辨率：0.003%；*2.1.14交流阻抗最大輸入電位：10V；2.1.15擾動信號振幅范圍：恒電位模式：0.2mV 0.35V，恒電流模式： 0.0002-0.35

12、A2.1.17交流信號類型：單正弦波、5 正弦波、 15 正弦波；2.1.18交流阻抗測量參數(shù)設(shè)置：可以分段設(shè)置并人工修改頻率分布和振幅；后期擴展能力ECD小電流放大模塊*2.1.19最小電流檔： 100pA*2.1.20最小電流分辨率： 0.3fA2.1.21ECD 小電流模塊國內(nèi)用戶數(shù)量應(yīng)超過10 個*2.1.22儀器須采用模塊式設(shè)計 , 方便后期擴展且預(yù)留插槽數(shù)量不少于5 個。2.1.23后期可擴展電流范圍不小于± 10A*2.1.24具備化學(xué)測定功能， 進行電化學(xué)研究的同時，儀器可以連接PH電極或者其他檢測頂級，可以進行溫度測定，PH測定，電位差測定，也可以用于庫侖滴定和絡(luò)合

13、滴定2.1.25后期可擴展為內(nèi)置式雙恒電位儀模塊，偏置電位不小于±10V*2.1.26后期可擴展序列測試模塊，序列測試通道數(shù)不少于32 個輔助輸入輸出2.1.27模擬信號輸入輸出：可提供至少輸出及輸入各兩個通道，最大電位范圍為10V；2.1.28數(shù)字信號輸入輸出：可提到至少兩個數(shù)字信號DIO48 端口，由用戶自行編寫控制流程，以滿足更復(fù)雜的測控需要。2.1.29還應(yīng)有額外的Ein 、Eout 及 Iout ，用于與各種監(jiān)測儀器相連接；控制軟件*2.1.30一個平臺下實現(xiàn)所有的直流和交流電化學(xué)測試方法。測試程序應(yīng)包括：控制電位循環(huán)伏安、控制電流循環(huán)伏安、線性極化、流體動力學(xué)線性掃描、差

14、分脈沖伏安、方波伏安、* 交流伏安二次諧波、取樣直流伏安、計時安培法、計時電位法、計時庫侖法、計時充電- 放電曲線、恒電位模式下交流阻抗、恒電流模式下交流阻抗、單頻電位掃描（Mott-Schottky)。2.1.31除了標(biāo)準(zhǔn)的測試程序外，軟件應(yīng)支持用戶通過“拖拽”命令集中的命令來創(chuàng)建自己的測試程序。提供的命令集應(yīng)包括：Control命令集、Metrohm Device命令集、External Device命令集、 Measurement 命令集、 Data handing命令集、 Analysis命令集和Plot 命令集。*2.1.32軟件必須能脫機使用，保證用戶能對所有方法測得的數(shù)據(jù)進行離線

15、分析。設(shè)備四： 超景深三維顯微鏡數(shù)量：一臺1、 * 此設(shè)備為一臺儀器，不可以用倆臺及多臺儀器組合。2、 * 主機為體式便攜結(jié)構(gòu)一體機，不可顯示器與控制主機分離，也不可以用普通一體機內(nèi)置光源，手持現(xiàn)場觀察輸入和輸出系統(tǒng)?？刂浦鳈C尺寸為長度PC電腦代替。55cm×高度 47×縱深20cm。3、手持式現(xiàn)場觀察鏡頭與主機之間通訊光纜支持10 米，手持式現(xiàn)場觀察圖像系統(tǒng)為1/1.8英寸 CMOS圖像傳感器.4、 * 顯微鏡鏡頭具備手持現(xiàn)場觀察功能，在手持鏡頭現(xiàn)場觀察狀態(tài)下具備圖像對比，可以同一屏幕內(nèi)進行 8 個圖像的對比。5、 * 手持式現(xiàn)場觀察顯微鏡鏡頭為不規(guī)則圓柱體顯微鏡鏡頭，長

16、度為15.5cm。手持觀察功能支持 200 倍光學(xué)放大（軟件數(shù)碼變倍及鏡頭外加光學(xué)變倍適配器放大無效）6、不規(guī)則圓柱體顯微鏡鏡頭長度為14.2cm ，倆端直徑分別為（6cm,3.2cm ）光學(xué)倍率為20-200倍（軟件數(shù)碼變倍及鏡頭外加光學(xué)變倍適配器放大無效），具備 TRLPLE R 功能。7、不規(guī)則圓柱體顯微鏡鏡頭長度為19.2cm，倆端直徑分別為 （ 9cm,5.2cm ）光學(xué)倍率為100-1000倍（軟件數(shù)碼變倍及鏡頭外加光學(xué)變倍適配器放大無效），具備 TRLPLE R 功能。8、光源色溫 5700k，壽命 40000 小時，攝像單元為cmos圖像傳感器，幀率 49f/s （不可使用雙緩

17、存模式）。顯微鏡鏡頭更換時支持熱切換，不需要關(guān)機后更換鏡頭， 更換方式為攝像單元 cmos與鏡頭本體分離。9、支架為 xyz 三軸全電動控制，可以用鼠標(biāo)進行對xyz 三軸進行電動控制操作。載物臺z 軸移動速度 17mm/s，載物臺左右可以傾斜，傾斜角度為180 度，具備傾斜角度傳感器，能夠在主機屏幕上顯示傾斜角度。載物臺底座內(nèi)具有下光源，能夠上下光源同時打光觀察。10、 * 顯微鏡配備控制器，控制器為中文，控制器包含19 個按鍵， 2 個控制桿?？刂破魃习存I有實時景深合成 ，簡易模式，防震模式，一鍵自動測量精度矯正 。11、* 屏幕分割功能：最高可在一個屏幕畫面進行9 分屏幕比較與顯示，并且在

18、分割的單獨畫面具備實現(xiàn)景深合成功能，景深合成速度1.5 秒。12、多功能測量功能：測量軟件有不規(guī)則面積，一鍵式自動測量 ，最大面積測量高級測量功能。13、 3D 圖像輪廓對比功能：在一個顯示屏上8 個3D 圖像輪廓同時進行對比。14、 2D 和3D 的電動載物臺圖像拼接圖像測量對比功能：在任何觀察倍率下，可以電動自動做2D 及3D 的圖像拼接，3D 拼接1.9 萬× 1.9萬像素（不可以使用擴展模式）拼接后放大之后可以進行一鍵式自動測量，最大面積測量，9 分屏對比。15、 * 實時景深合成功能：控制器上有中文實時景深按鍵，按鍵觸發(fā)后合成速度1.5 秒，任何時候鼠標(biāo)移動電動XY 載物臺，自動執(zhí)行深度合成，從而實現(xiàn)全幅清晰對焦。16、導(dǎo)航功能：以高倍率觀測時, 有時會不清楚看到的是哪個部位。通過配備導(dǎo)航系統(tǒng), 可一邊確認(rèn)針對整體觀測到的是哪個位置, 一邊進行測量。也可在大畫面上點擊, 移動至特定位置。可立