鐵電性能綜合測試0001

1、鐵 電 薄 膜 的 鐵 電 性 能測量引言鐵電體是這樣一類晶體 : 在一定溫度范圍內存在自發(fā)極化 , 自發(fā)極化具有兩個或多個 可能的取向 , 其取向可能隨電場而轉向 . 鐵電體并不含“鐵” , 只是它與鐵磁體具有磁滯回 線相類似，具有電滯回線，因而稱為鐵電體。在某一溫度以上，它為順電相，無鐵電性， 其介電常數(shù)服從居里 - 外斯（ Curit-Weiss ）定律。 鐵電相與順電相之間的轉變通常稱為鐵 電相變，該溫度稱為居里溫度或居里點Tc。鐵電體即使在沒有外界電場作用下，內部也會出現(xiàn)極化， 這種極化稱為自發(fā)極化。 自發(fā)極化的出現(xiàn)是與這一類材料的晶體結構有關的。晶體的對稱性可以劃分為 32 種點群

2、。 在無中心對稱的 21 種晶體類型種除 432 點群外 其余 20 種都有壓電效應，而這 20 種壓電晶體中又有 10 種具熱釋電現(xiàn)象。熱釋電晶體是 具有自發(fā)極化的晶體，但因表面電荷的抵償作用，其極化電矩不能顯示出來，只有當溫度 改變，電矩（即極化強度）發(fā)生變化，才能顯示固有的極化，這可以通過測量一閉合回路 中流動的電荷來觀測。 熱釋電就是指改變溫度才能顯示電極化的現(xiàn)象， 鐵電體又是熱釋電 晶體中的一小類，其特點就是自發(fā)極化強度可因電場作用而反向，因而極化強度和電場 E 之間形成電滯回線是鐵電體的一個主要特性。自發(fā)極化可用矢量來描述， 自發(fā)極化出現(xiàn)在晶體中造成一個特殊的方向。 晶體紅， 每

3、個晶胞中原子的構型使正負電荷重心沿這個特殊方向發(fā)生位移，使電荷正負中心不重合， 形成電偶極矩。 整個晶體在該方向上呈現(xiàn)極性，一端為正，一端為負。 在其正負端分別有 一層正和負的束縛電荷。 束縛電荷產(chǎn)生的電場在晶體內部與極化反向 （ 稱為退極化場） ， 使靜電能升高， 在受機械約束時， 伴隨著自發(fā)極化的應變還將使應變能增加， 所以均勻極 化的狀態(tài)是不穩(wěn)定的， 晶體將分成若干小區(qū)域， 每個小區(qū)域稱為電疇或疇， 疇的間界叫疇 壁。 疇的出現(xiàn)使晶體的靜電能和應變能降低， 但疇壁的存在引入了疇壁能。 總自由能取極 小值的條件決定了電疇的穩(wěn)定性。參考資料 1 鐘維烈，鐵電物理學，科學出版社， 1996 。

4、2 干福熹，信息材料，天津大學出版社， 20003J.F.Scoot,Ferroelectric Memories,Springer,2000實驗目的一、了解什么是鐵電體，什么是電滯回線及其測量原理和方法。二、了解鐵薄膜材料的功能和應用前景。實驗原理一、鐵電體的特點1電滯回線 鐵電體的極化隨外電場的變化而變化， 但電場較強時， 極化與電場之間呈非線性 關系。在電場作用下新疇成核長，疇壁移動，導致極化轉向，在電場很弱時，極化線性地依賴于電場 見圖 (12.2-1) , 此時可逆的疇壁移動成為不可逆的，極化隨電場的 增加比線性段快。當電場達到相應于B 點值時，晶體成為單疇，極化趨于飽和。電場進一步

5、增強時，由于感應極化的增加，總極化仍然有所增大(BC) 段 。如果趨于飽和后電場減小，極化將循 CBD 段曲線減小，以致當電場達到零時，晶體仍保留在宏觀極 化狀態(tài)，線段 OD表示的極化稱為剩余極化 Pr 。將線段 CB外推到與極化軸相交于 E， 則線段 OE 為飽和自發(fā)極化 Ps。如果電場反向，極化將隨之降低并改變方向，直到電 場等于某一值時，極化又將趨于飽和。這一過程如曲線DFG所示， OF所代表的電場是使極化等于零的電場，稱為矯頑場Ec。電場在正負飽和度之間循環(huán)一周時，極化與電場的關系如曲線 CBDFGH所C 示此曲線稱為電滯回線。電滯回線可以用圖 12.22-2 的裝置顯示出來 （這就是

6、著名的 Sawyer-Tower 電路）， 以電晶體作介質的電容 Cx上的電壓 V 是加在示波器的水平電極板上，與Cx串聯(lián)一個恒定電容 Cy（即普通電容 ），Cy 上的電壓 Vy 加在示波器的垂直電極板上，很容易證明 Vy與鐵電體的極化強度 P成正比，因而示波器顯示的圖象，縱坐標反映 P的變化， 而 橫坐標 Vx與加在鐵電體上外電場強成正比，因而就可直接觀測到P-E 的電滯回線。下面證明 Vy 和 P的正比關系，因式中Vy1Cy1CxCy(12.2-1)Cx為圖中電源 V 的角頻率0Sd為鐵電體的介電常數(shù),0為真空的介電常數(shù),S為平板電容 C x 的面積， d 為平行平板間距離，代入（12.2

7、-1）式得：CxVy x V y CY0SVx0SECy(12.2-2)xCy d根據(jù)電磁學P0(1)E 0 E 0E(12.2-3)對于鐵電體1，固有后一近似等式，代入（12.2-2 )式 ，Vy S P y C yx因 S 與 C y 都是常數(shù)，故 Vy 與 P 成正比。2 里點 Tc當溫度高于某一臨界溫度 Tc 時, 晶體的鐵電性消失。這一溫度稱為鐵電體的居 里點。由于鐵電體的消失或出現(xiàn)總是伴隨著晶格結構的轉變，所以是個相變過程， 已發(fā)現(xiàn)鐵電體存在兩種相變：一級相變伴隨著潛熱的產(chǎn)生，二級相變呈現(xiàn)比熱的突 變，而無潛熱發(fā)生，又鐵電相中自發(fā)極化總是和電致形變聯(lián)系在一起，所以鐵電相 的晶格結構

8、的對稱性要比非鐵電相為低。如果晶體具有兩個或多個鐵電相時，最高 的一個相變溫度稱為居里點，其它則稱為轉變溫度。3 里 - 外斯定律 由于極化的非線性，鐵電體的介電常數(shù)不是常數(shù)，而是依賴于外加電場的，一 般以 OA曲線（圖 12.2-1 ）在原點的斜率代表介電常數(shù)，即在測量介電常數(shù)時，所加外電場很小，鐵電體在轉變溫度附近時，介電常數(shù)具有很大的數(shù)值，數(shù)量級達104 105 。當溫度高于居里點時，介電常數(shù)隨溫度變化的關系T T0C12.2-5 )二、鐵電體的應用鐵電體具有介電、壓電、 熱釋電、鐵電性質以及與之相關的電致伸縮性質、 非 線性光學性質、電光性質、聲光性質、光折變性質、鐵電記憶存儲性能等等

9、，都與 其電極化性質相關， 特別是電介質的熱釋電與鐵電性質都與其自發(fā)極化相關。 由于 鐵電體具有上述性質， 因而在諸多高技術中有著很重要的應用。 利用其壓電性能可 制作電聲換能器，用于超聲波探測，聲納，穩(wěn)頻振諧器，聲表面波器件等；利用其 熱釋電性質可制作紅外探測器， 紅外監(jiān)視器， 熱成像系統(tǒng)等； 利用非線性光學效應 可制作激光倍頻、三倍頻、和頻、差頻器；利用電光性質可制作激光電光開關、光 偏轉器、光調制器等；利用聲光效應可制作激光聲光開關、聲光偏轉器、聲光調制 器等；利用光折變效應可制作光存儲器件； 而鐵電材料的鐵電性可制作鐵電記憶存鐵電記憶存儲器（ Ferroelectric Memory）

10、是利用鐵電體所具有的電滯回線性 質。如圖 12.2-1 所示，當加到鐵電體上電場為零時，鐵電體上仍保持有一定的極 化強度 Pr（ 或-Pr）, 這個極化電荷的符號取決于該電體上原加場的符號。若原來加 的正場，則當外場變?yōu)榱銏鰰r，鐵電體上為正的剩余極化（+Pr ）而若是從負場變到零場，則此時剩余極化為負 （-Pr ）。正是利用這無外場時所有的兩個穩(wěn)定極化Pr作為計算機編碼 0（Pr）和 1（Pr ），這就是鐵電記憶及邏輯電路的基礎。 鐵電記憶存儲是鐵電體極少數(shù)利用鐵電體的鐵電性能去工作， 而不是其他性能 （如 熱電、壓電、電光等） 的應用。在非揮發(fā)性鐵電存儲器應用中， 即使電源突然中斷， 其儲存

11、的信息也可保持。 鐵電體不僅作為一個電容， 而且其本身也作為一個存儲單 元。鐵電存儲器由于其尺寸小 （是通?？刹脸S機只讀存儲器的20%），抗輻照 （特別適用于軍用和航天使用） ，存儲讀取速度高，容易與硅工藝相容，因而有很好的 前景。目前鐵電隨機存儲器已有商品銷售， 由其為核心的智能卡及作為嵌入式芯片 已用于眾多家電的控制器如洗衣機、 游戲機、 電視頻道存儲記憶器、復印機、收費 站刷卡等等方面， 隨大存儲量的產(chǎn)品出現(xiàn)將在數(shù)碼相機、 隨身聽中使用， 市場前景 看好。鐵電材料的鐵電性能最為重要的表征是其電滯回線所反映的鐵電性能， 包括飽 和極化 Ps,永久極化 Pr，矯玩場 Ec 等，而對于用于鐵

12、電存儲器的鐵電薄膜來講， 除此之外還有漏電流 I k ，鐵電疲勞性能（永久極化與開關次數(shù) Pr n ）及鐵電保 持性能（永久極化與時間關系 Prt ）。通常要求永久極化 Pr 10 C / cm2 ，低 矯玩場 Ec 100kV /cm 。好的疲勞特性， 在鐵電翻轉 1010 次時， 永久極化很少變5 7 2化。在 105 秒內可較好的保持電荷，漏電流小于 10 7 A/cm2 。三、鐵電體的制備（ 2）鐵電薄膜的制備方法 10 目前制備鐵電薄膜的方法主要有： Sol-Gel凝膠法、 MOCVD 法、PLD 法和濺射法。 在這些制備方法中，每一種都有自身的特點。Sol-Gel凝膠法 Sol-G

13、el 凝膠法是將金屬的醇鹽或其他有機鹽溶解于同一溶劑中， 經(jīng)過水解、 聚合反應形成溶膠。 通過甩膠在基片上形成薄膜， 經(jīng)過干燥和退火處理，形 成鐵電薄膜。 此方法能夠精確控制膜的化學計量比和摻雜， 易于制備大面積的薄膜， 適 于大批量生產(chǎn)， 設備簡單，成本低， 可與微電子工藝技術相兼容。 但這種方法易有不足 之處， 如膜的致密性較差， 干燥處理過程中薄膜一出現(xiàn)龜裂現(xiàn)象， 薄膜結構和生長速率 對基片和電極材料很敏感。 迄今為止， 利用該方法已制備出 PT、PZT 、PLZT 、BT 、ST、 BST等多種鐵電薄膜。2 MOCVD 法 MOCVD 法是將反應氣體和氣化的金屬有機物前體溶液通過反應

14、室，經(jīng)過熱分解沉積在加熱的襯底上形成薄膜。 此法的主要優(yōu)點是薄膜生長速率快， 可 制備大面積薄膜，能精確控制薄膜的化學組分和厚度。但這種方法受制于金屬有機源 （ MO ）的合成技術，難以找到合適的金屬有機源，僅能用于少數(shù)幾中薄膜的制備。采 用此方法已制備出 PT、PZT、PLZT 、BT及LN等鐵電薄膜。3 PLD法 PLD法是 20世紀80年代發(fā)展起來的一種新型薄膜沉積技術。它利用高 功率的準分子脈沖激光照射到一定組分比的靶材上， 使靶表面的數(shù)十米厚的物質轉變?yōu)?羽輝狀等離子體，沉積到襯底上形成薄膜。這種方法的主要優(yōu)點是：能源無污染； 薄膜 成分與靶材完全一致，因而可嚴格控制； 襯底溫度較低

15、， 可獲得外延單晶膜；成膜速率 快。但這種方法難以制備大面積均勻性好的薄膜。 目前利用 PLD 方法已制備了 PT、PZT、 BTO 、及KTN 等鐵電薄膜。4 濺射法 濺射法包括直流濺射、射頻磁控濺射和離子束濺射。濺射法的主要優(yōu) 點是工藝比較成熟， 沉積溫度較低， 可獲得外延膜。但這種沉積膜速率較慢，組分 和結構的均勻性比較難于控制。四、 實驗儀器TD-88A 型鐵電性能綜合測試系統(tǒng)配件清單：序號名稱規(guī)格型號數(shù)量備注1臺式微機12專用高速采集控 制卡13鐵電性能綜合測 試儀TD-88A 型14專用軟件TD-88A15專用測試平臺16專用三維微米級 測試架27專用測試探針28專用測試電纜 12

16、連接樣品用9專用測試電纜 22連接匹配電容用10專用通訊電纜2連接測試儀和微機五、測量儀簡介1、鐵電性能綜合測試儀硬件結構 鐵電薄膜材料的測量儀主要包括可編程信號源、微電流放大器、積分器、放大倍數(shù)可編 程 放 大 器 、 模 / 數(shù) 轉 換 器 、 數(shù) / 模 轉 換 器 微機接口部分、 微機和應用軟件等部分組成。 系統(tǒng)框圖見圖 12-2-3 ，硬件系統(tǒng)由一臺計算機、一片帶 A/D 、D/A 及開關量控制輸出功能的計算機接口卡和信號調理電路部分組成。用戶接口A/DI/O 口D/A數(shù)據(jù)分析 及處理微電流放 大器及積 分器程控放大 器應用軟件 界面電壓放大 驅動電路計算機部分A/D,D/A卡鐵電薄

17、膜樣品圖 12-2-3 鐵電性能測量儀結構框圖2、測量電路目前，測量電滯回線的方法較多。其中測試方法簡單、應用最廣泛的是 Sawyer-Tower 電路23 ，如圖 12-2-4所示，其中虛框部分為鐵電薄膜樣品的等效電路，Cxi 為線性感應等效電容， Rx 為鐵電薄膜樣品的漏電導及損耗等效電阻， Cxs 為與自發(fā)極化反轉對應的非線 性等效電容。在理想情況下， 若只考慮 Cxs的作用（認為 Cxi 與Rx開路），很容易證明 Uy與鐵電薄 膜樣品的極化強度 P 成正比 2 。但一般情況下， 鐵電薄膜樣品同時具有漏電導和線性感應電 容，如果要獲得鐵電薄膜樣品的本征電滯回線， 必須在測量過程中對樣品的

18、漏電導和線性感 應電容進行合適的補償，但這在實際測量中是較難處理的。另外，此電路中外接積分電容 Co的選取和精度會影響測試的精確度，當然給鐵電薄膜樣品提供的信號源 U 的頻率對測試 結果也有很大的影響，這樣就較難對測試結果進行標定和校準。我們選用如圖 12-2-5 所示的測量電路，此電路由信號源U 、被測樣品、電流放大器和積分器組成。 信號源 U 提供給被測樣品的電流經(jīng)電流放大器放大再經(jīng)積分器積分后得到 Uy 進入測量系統(tǒng)。即使被測樣品端加的電壓 U 為零，積分器上仍然維持電壓，被測樣品端是 虛地的，因此此測試電路可稱為虛地模式。此電路取消了外接電容Co，可減小寄生元件的影響。此電路的測試精度

19、僅取決于積分器積分電容 C1 的精度，減少了對測試的影響環(huán)節(jié)， 比較容易定標和校準，并且能實現(xiàn)較高的測量準確度。實驗內容1) 測量鐵電薄膜樣品的電滯回線，畫出電滯回線及得到鐵電薄膜材料的飽和極化± Ps、剩余極化± Pr、矯頑場± Ec、電容量 C 等參數(shù)。2) 鐵電疲勞性能測量。鐵電疲勞性能是鐵電薄膜材料的永久極化與開關次數(shù)關系Prn。測試過程中隨著開關次數(shù)增加 Pr 逐漸減小，當 Pr 小到一定值時± Pr 將不能分開，既 1、0 不能分開， 此時既失去記憶性能， 稱為疲勞，它是與鐵電存儲器密切相關的一個 參數(shù)。3) 鐵電保持性能測試。鐵電保持性能是

20、鐵電薄膜材料的永久極化與時間關系 Prt，它是鐵電存儲器 使用可靠性的一個參數(shù)。圖 12-2-6 各脈沖極化和電滯回線的對應關系注意事項1) 必須先連接好測試線路并確認無誤(注意千萬不要將信號源短路)后再打 開測試儀電源。2) 當使用高電壓信號源時，注意安全，測試操作時不能接觸測試架。測試完 成后先關閉測試儀電源。預習思考題1) 鐵電體的電滯回線和溫度有無關系，為什么？2) 試畫出鐵電薄膜樣品的等效電路并分析其各個部分對鐵電薄膜樣品性能的影 響。3) 用 Sawyer-Tower 電路測量電滯回線有何缺點？試改進之。實驗問答題1) 信號源的頻率對測試結果有無影響？2) 為什么測量電滯回線時在樣

21、品上施加的電場波形為兩個連續(xù)的三角波？3) 測量過程中引線分布電容對測量結果有無影響？如何消除此影響？4) 試設計一種測量鐵電薄膜樣品漏電流的方法。朱勁松)鐵電性能綜合測試儀操作說明一、系統(tǒng)簡介本測試系統(tǒng)用于鐵電體的鐵電性能測量， 可用于鐵電體的科學研究及近代物理實驗中的 固體物理實驗以及工業(yè)化生產(chǎn)鐵電存儲器的鐵電性能檢測中。 本測試系統(tǒng)主要包括可編程信 號源、微電流放大器、積分器、放大倍數(shù)可編程放大器、模/數(shù)轉換器、數(shù) /模轉換器、微機接口部分、微機和應用軟件等部分組成。本測試系統(tǒng)采用虛地模式測量電路，與傳統(tǒng)的 Sawyer-Tower 模式相比，此電路取消了外接電容，可減小寄生元件的影響。

22、此電路的測試 精度僅取決于積分器積分電容的精度， 減少了對測試的影響環(huán)節(jié)， 比較容易定標和校準， 并 且能實現(xiàn)較高的測量準確度。 它不僅能畫出鐵電薄膜的電滯回線， 還可以定量得到鐵電薄膜 材料的飽和極化 Ps、剩余極化 Pr、矯頑場 Ec 、漏電流 Ik 等參數(shù)，以及對鐵電薄膜材料的鐵 電疲勞性能、 鐵電保持性能的測試。 能夠較全面準確地測量鐵電薄膜的鐵電性能。 儀器采用 一體化設計，實現(xiàn)測試結果全數(shù)字化，操作簡單方便。二、系統(tǒng)安裝1、測試儀面板介紹鐵電性能綜合測試儀TD-88A型虛地模式 /SowyerTower Mode電源指示信號輸入 信號輸出信號輸出匹配電容最大10V最大70V被測樣品

23、圖 1 ：測試儀前面板電源開關電源插座9D電腦接口圖 2 ：測試儀后面板 三、軟件操作說明1、主菜單介紹1) 文件1'打開電滯回線文件2 '打開疲勞測試文件3 '打開保持測試文件4 '打印機設置5 '打印6 '退出2) 測量1' 電滯回線測量2' 疲勞測試3' 保持測試3) 矯準1'電容容量矯正2'電阻阻值矯正4) 幫助1'關于 TD-88A 型 FETESTER2'南京大學應用物理研究所2、測試步驟1) 電滯回線測量1 '運行應用軟件，進入軟件主界面，打開主菜單的測量部分選擇“電滯

24、回線測量”選項， 輸入“樣品名稱” 、“樣品面積” 、“樣品厚度”、“輸出電壓幅度” 、“測試周期點數(shù)” 、“電滯回 線周期”等參數(shù)。2 '按“確定”鍵后，軟件彈出對話框“請輸入需保存的實驗數(shù)據(jù)的文件名”，用戶輸入以*.loop 的文件名后按“ OK”鍵繼續(xù)，回到軟件主界面，按“開始測量”按鍵，系統(tǒng)自動 進行電滯回線測量和脈沖參數(shù)測量(測量時請注意主界面下側提示條的信息)，以上兩項參數(shù)測量完成后系統(tǒng)彈出信息框“是否進行漏電流測量”，按“ Yes”則進行漏電流及電阻阻值測量 ,按“ No”即完成測量。2) 疲勞測試 1'運行應用軟件，進入軟件主界面，打開主菜單的測量部分選擇“電滯

25、回線測量”選項， 輸入“樣品名稱” 、“樣品面積” 、“樣品厚度”、“輸出電壓幅度” 、“測試周期” 、“脈沖測試寬 度”、“測試點數(shù)”等參數(shù)。2 '按“確定”鍵后，軟件彈出對話框“請輸入需保存的實驗數(shù)據(jù)的文件名” ，用戶輸入以 *.pl 的文件名后按“ OK”鍵繼續(xù)，回到軟件主界面，按“開始測量”按鍵，系統(tǒng)自動進 行疲勞測試（測量時請注意主界面下側提示條的信息） 。3）保持測試 1'運行應用軟件，進入軟件主界面，打開主菜單的測量部分選擇“電滯回線測量”選項， 輸入“樣品名稱” 、“樣品面積” 、“樣品厚度”、“測試周期數(shù)” 、“保持過程中直流電平” 、“讀 寫電壓幅度” 、“

26、寫寬度”、“讀寬度”等參數(shù)。2 '按“確定”鍵后，軟件彈出對話框“請輸入需保存的實驗數(shù)據(jù)的文件名” ，用戶輸入以 *.bch 的文件名后按“ OK”鍵繼續(xù)，回到軟件主界面，按“開始測量”按鍵，系統(tǒng)自動進 行保持測試（測量時請注意主界面下側提示條的信息） 。3、參數(shù)矯準1）電容容量矯正1'將標準電容作被測樣品連接到測試系統(tǒng)。2'運行應用軟件，進入軟件主界面，打開主菜單的“矯準”菜單選擇“電容容量矯正”，系統(tǒng)彈出對話框問“是否進行容量矯正” ，按“ Yes”繼續(xù)，系統(tǒng)彈出對話框問“請輸入標準電 容容量”，輸入標準電容容量后按“ Ok”回到主界面。3'在主界面選擇測量

27、部分“電滯回線測量”選項，輸入“樣品名稱”、“樣品面積” 、“樣品厚度”、“輸出電壓幅度” 、“測試周期點數(shù)” 、“電滯回線周期”等參數(shù)。4'按“確定”鍵后，軟件彈出對話框“請輸入需保存的實驗數(shù)據(jù)的文件名”，用戶輸入以*.loop 的文件名后按“ OK”鍵繼續(xù)，回到軟件主界面，按“開始測量”按鍵，系統(tǒng)自動 進行電滯回線測量和脈沖參數(shù)測量（測量時請注意主界面下側提示條的信息），以上兩項參數(shù)測量完成后系統(tǒng)彈出信息框“是否進行漏電流測量”，按“ No”即完成校準。2）電阻阻值矯正1'將標準電阻作被測樣品連接到測試系統(tǒng)。 2'運行應用軟件，進入軟件主界面，打開主菜單的“矯準”菜

28、單選擇“電阻阻值矯正”，系統(tǒng)彈出對話框問“是否進行電阻矯正” ，按“ Yes”繼續(xù)，系統(tǒng)彈出對話框問“請輸入標準電 阻阻值”，輸入標準電阻阻值后按“ Ok”回到主界面。3'在主界面選擇測量部分“電滯回線測量”選項，輸入“樣品名稱”、“樣品面積” 、“樣品厚度”、“輸出電壓幅度” 、“測試周期點數(shù)” 、“電滯回線周期”等參數(shù)。4'按“確定”鍵后，軟件彈出對話框“請輸入需保存的實驗數(shù)據(jù)的文件名”，用戶輸入以*.loop 的文件名后按“ OK”鍵繼續(xù)，回到軟件主界面，按“開始測量”按鍵，系統(tǒng)自動 進行電滯回線測量和脈沖參數(shù)測量（測量時請注意主界面下側提示條的信息），以上兩項參數(shù)測量完

29、成后系統(tǒng)彈出信息框“是否進行漏電流測量”，按“ Yes”則進行漏電流及電阻阻值測量 ,完成測量即完成校準。附錄：鐵電性能綜合測試儀軟件中設及的參數(shù)說明一、參數(shù)說明極化PE B C序號名稱注釋備注1Ps（自發(fā)極化）上圖中 oE 段2Pr （剩余極化）上圖中 oD 段3Ec（矯頑場）上圖中 oF 段序號名稱注釋備注1+P*+Ps-(-Pr)見上圖2+P*r+Pr-(-Pr)見上圖3+Pr上圖脈沖測量時有兩個（因為脈沖測 量時在 E=0 時有延時，在延時開始和 結束時各測一次）見上圖4+P+Ps-(+Pr)見上圖5+Pr+Pr-(+Pr)見上圖6-P*-Ps-(+Pr)見上圖7-P*r-Pr-(+Pr)見上圖8-Pr上圖脈沖測量時有兩個（因為脈沖測 量時在 E=0 時有延時，在延時開始和 結束時各測一次）見上圖9-P-Ps-(-Pr)見上圖10-Pr-Pr-(-Pr)見上圖三、電滯回線測量中的參數(shù)說明序號名稱注釋備注1樣品名稱被測樣品名稱用戶輸入或默認2樣品面積被測樣品點的面積（以平方厘米為單位）用戶輸入或默認3樣品厚度被測樣品點的厚度（以微米為單位）用戶輸入或默認4測試模式虛地或 Sawyer-Tow