第6章壓電傳感器

1、1 第第 6 6 章章 壓電式傳感器壓電式傳感器26. 1 壓電效應與壓電材料壓電效應與壓電材料 壓電效應分為順壓電效應和逆壓電效應 順壓電效應某些電介質物質，在一定方向上受外力 作用變形時，內(nèi)部產(chǎn)生極化現(xiàn)象，同時表面產(chǎn)生電荷。當外力去掉后，又重新回到不帶電的狀態(tài)，這種將機械能轉變?yōu)殡娔艿默F(xiàn)象，稱為“順壓電效應”。 逆壓電效應在電介質極化方向上施加電場，會產(chǎn)生機械變形，當去掉外加電場時，電介質的變形隨之消失。這種將電能轉換為機械能的現(xiàn)象，稱為“逆壓電效應”。 3 6.1.1 壓電材料壓電材料 （1）石英晶體：）石英晶體： 優(yōu)點：性能穩(wěn)定、機械強度高、絕緣性好。溫度升高 1，壓電系數(shù)僅減少0.0

2、16%。居里點：573。圖6.2 缺點：價格昂貴，壓電系數(shù)比壓電陶瓷低很多。 d11=2.31。陶瓷：d33=190居里點指鐵磁性物質達到該溫度時，其鐵磁性全部消失 而變?yōu)轫槾判?。失去壓電特性。鐵磁性原子磁矩形成有序排列。順磁性原子或分子中含有沒有完全抵消的電子磁矩，因 而具有原子或分子磁矩。但磁矩間無強的相互 作用。弱磁性。 石英晶體的切型表示法： 圖 6.44 （2）壓電陶瓷：）壓電陶瓷： 具有很高的壓電系數(shù)具有很高的壓電系數(shù) 1) 鈦酸鋇壓電陶瓷（BaTiO3） 2) 鋯鈦酸鉛系壓電陶瓷（PZT） 3) 聚二氟乙烯（PVF2）高效分子聚合物薄膜，在 膜厚方向加直流高壓、電場極化后，具有壓

3、電性能。 表62 常用壓電材料的主要性能5 6. 1. 2 壓電效應壓電效應 （1）石英晶體的壓電效應）石英晶體的壓電效應 3個晶軸：光軸、電軸、機械軸 Z 軸光軸，沒有壓電效應 X 軸電軸，經(jīng)過晶體棱線， 垂直于Z軸，作用力FX，壓電 效應最明顯。 Y 軸機械軸，垂直于X-Z平面， 作用力 FX、FY，在Y軸方向 不產(chǎn)生壓電效應，只產(chǎn)生形變。6 內(nèi)部結構： 一個晶體單元，3個硅離子Si4+，6個氧離子O2（成對的）。一個硅離子，二個氧離子，交替排列。 電偶極距： 方向：負電荷正電荷pq l 7 （a）未受力時，石英晶體表面不產(chǎn)生電荷，呈電中性 （b）x方向加FX 時： 在X 方向產(chǎn)生壓電效應

4、，“縱向壓電效應”，令 而Y、Z方向的電偶極距仍為零。 壓電常數(shù)： ， ， 。1230ppp1p 2p3p123()0 xppp123pppp0yp 123()0yppp123()0zppp0zp 110d210d310d8 （c）當在Y方向施加Fy時， 合矢量方向 與x軸正向相反。 ， 在x 軸正方向的晶面上產(chǎn)生負電荷。 即產(chǎn)生 “橫向壓電效應”。 壓電常數(shù)： ， （d）在Z方向，施加Fz時，X、Y方向變形， ，正 負電荷中心始終重合。 ，不產(chǎn)生壓電效應： （e）各個方向同時受均等作用力（如液體壓力），保 持電中性，石英晶體沒有體積壓電效應。 123()0 xppp0yp 0zp 11120

5、dd22320ddxydd0 xypp1323330ddd石英晶體的壓電效應演示石英晶體的壓電效應演示 當力的方向改變時，電荷的極性隨之改變；輸出電壓的當力的方向改變時，電荷的極性隨之改變；輸出電壓的頻率與動態(tài)力的頻率相同；頻率與動態(tài)力的頻率相同； 當動態(tài)力變?yōu)殪o態(tài)力時，電荷將由于表面漏電而很快泄當動態(tài)力變?yōu)殪o態(tài)力時，電荷將由于表面漏電而很快泄漏消失。漏消失。石英晶體壓電效應11（2）石英晶體壓電常數(shù)和表面電荷的計算）石英晶體壓電常數(shù)和表面電荷的計算 1）X方向（電軸）受到應力T1，產(chǎn)生縱向壓電效應； 電荷密度： 因為： 所以：11111111FdTdS1111qdFqs12 2）Y方向（機械

6、軸）受到應力T2，產(chǎn)生橫向壓電效應 根據(jù)晶體對稱條件： 可知，產(chǎn)生的電荷與晶片尺寸有關。12121qs12122dT1121222SqdFS1121122Sqd FS 1211dd 13 3）Z方向（光軸）受到應力T3 ， （4）受到剪切應力T4、T5、T6時 ， （d15=0） （d16=0）結論：只有X、Y方向的單向應力T1、T2和X面上的剪切應 力T4，才能在垂直X軸的晶面上產(chǎn)生電荷。131330dT30T 130d130q14144dT151550dT161660dT1*11111 2144dTd Td T14 同理，在垂直于Y軸晶面上，只有剪切應力T5、T6起作用。 （ ， ） 在垂

7、直于Z軸晶面上 ， 石英晶體的壓電常數(shù)只有d11、d14是獨立的。 （i=1,2,3 j=1,26） （7-14） 壓電常數(shù)dij的兩個下標。 i電效應方向（在i面上產(chǎn)生電荷）； j機械效應方向（沿j方向受力）。 2*25526614511 62dTd Td Td T 2514dd 26112dd *306*1iijjjdT1*11111142*21411*3600000002000000TdddTddT15 dij物理意義：在“短路條件”下，單位應力所產(chǎn)生的 電荷密度。 石英晶體通過dij有4種基本變形方式，將機械能電能 1）厚度變形 dxd11縱向壓電效應（X方向受力） 2）長度變形 dy

8、d12橫向壓電效應（Y方向受力） 3）面剪切變形 4）厚度剪切變形16 （3）壓電陶瓷的壓電效應）壓電陶瓷的壓電效應 原始的壓電陶瓷，電疇無序排列，極化效應相互抵 消，不具備壓電性質。 極化處理：施加強電場（2039kv/cm直流電 場），23h，具備壓電性質。 Z軸極化方向。壓電晶體與壓電陶瓷的比較：壓電晶體與壓電陶瓷的比較：相同點：都是具有壓電效應的壓電材料。不同點：石英的優(yōu)點是它的介電和壓電常數(shù)的溫度穩(wěn)定性好，適合做工作溫度范圍很寬的傳感器。極化后的壓電陶瓷，當受外力變形后，由于電極矩的重新定位而產(chǎn)生電荷，壓電陶瓷的壓電系數(shù)是石英的幾十倍甚至幾百倍，但穩(wěn)定性不如石英好，居里點也低。 Fd

9、q3318（4）壓電陶瓷壓電常數(shù)和表面電荷的計算壓電陶瓷壓電常數(shù)和表面電荷的計算 dij中，不為零的5個，獨立的3個，d33、d31、d15，下標意義同石英晶體，只是通常極化方向定為Z軸。 壓電常數(shù)矩陣為： 式中 極化方向Z軸，當作用力沿極化方向時，在極化面上產(chǎn)生電荷。15243132330000000000000ddddd3231dd1524dd 33qd19 由壓電系數(shù)矩陣，可知壓電陶瓷的4種基本變形方式：（1）厚度變形：F3dzd33Z 面上產(chǎn)生電荷（2）長度、寬度變形： F1dxd31Z 面上產(chǎn)生電荷 F2dyd32Z 面上產(chǎn)生電荷（3）剪切變形： F4X面（即YZ面）剪切d24Y面上

10、產(chǎn)生電荷 F5Y面（即XZ面）剪切d15X面上產(chǎn)生電荷（4）體積變形： 三向應力（T1、T2、T3）d31、d32、d33Z面上產(chǎn)生電荷（測量流體靜壓力）331 132233 3d Td Td T202122 6.2 壓電傳感器的工作原理壓電傳感器的工作原理 6.2.1 壓電傳感器的特點壓電傳感器的特點 1、性能與力的作用方向和方式有關， 與機電耦合系數(shù)有關。 2、同時存在正、逆兩種壓電效應，相互影響。 3、電荷量與被測力相對應，能量損失意味著信息損失，對測量線路有特殊要求。236.2.2 6.2.2 機電耦合條件下的等效參數(shù)機電耦合條件下的等效參數(shù) 正壓電效應產(chǎn)生的電荷正比于應變。 逆壓電效

11、應產(chǎn)生的應變正比于電場強度。 1、電邊界為短路狀態(tài) 短路條件指壓電元件表面電荷一產(chǎn)生就被引開，不引起極板上電荷累積，極板間也不產(chǎn)生電場。 因此，晶體形變上不存在二次效應。 如圖在T 1作用下24 應變： ，c11陶瓷柔度系數(shù)束縛電荷 ，可得到 （6-17） 系數(shù) 可看作單位應變引起的電荷密度變化，只和機械性能c11和壓電性能d31有關，不隨邊界條件變化。信號變換流程圖：1111ScT3311dT313111dSc3111dc25 2、電邊界為開路狀態(tài) 極板開路時，有累積電荷， 引起逆壓電效應。 所產(chǎn)生的變形為： g13逆效應系數(shù)。 外力T1引起的應變： 總的變形： 由 代入上式1133Sg11

12、1 1Sc T11111 1133SSSc Tg311131131131dcSScd26 解出： def 等效壓電系數(shù)，或由等效柔順系數(shù)cef 表示。11 13111331c Tcgd3131313113131111311(1)1efddTdgTdTdcgc27 6.2.3 壓電元件的等效電路壓電元件的等效電路 1、電荷等效電路 信號變換：壓電元件相當于電荷發(fā)生器 結構變換：壓電元件是一個電容器。 看作電荷源與電容并聯(lián)的電路。 兩個假設條件：（1）外力變化極其緩慢， q與F 變化一致；（2）輸入阻抗無限大。 理想條件等效電路如圖所示。/caUq c28 2、電壓等效電路： 也可等效為一個電壓源

13、U和一個電容器Ct串聯(lián)的等效電路。電荷源和電壓源實際等效電路如圖所示。兩種電路只是表示方式不同，其工作原理是相同的。29 6.2.4 壓電元件的串、并聯(lián)壓電元件的串、并聯(lián) 1、串聯(lián)：（中間層，正負荷抵消） 適用于測量電路采用高阻抗電壓放大。 2、并聯(lián)： 適宜于低阻抗電荷輸出方式：電荷靈敏度增大一倍。/2ccqq 2/2qUqcUc2cc 2qq /UqcU30 6.3 壓電傳感器的測量電路壓電傳感器的測量電路 壓電傳感器輸出信號： 信號非常微弱； 內(nèi)阻抗極高。 對測量電路的要求： 信號放大； 把高阻抗輸入變?yōu)榈妥杩馆敵觥?1 6.3.1 電壓放大器電壓放大器 壓電傳感器相當一個電容器，兩端電容

14、按指數(shù)規(guī)律變化，時間常數(shù)越大，放電越慢。 盡可能保持壓電傳感器輸出電壓不變，要求時間常數(shù)盡可能大。32 等效電阻： 等效電容： 考慮壓電元件材料為壓電陶瓷，其壓電系數(shù)為d33， 所加力為： 則，壓電元件上產(chǎn)生的電壓為： Z并=R | Zc|ciciciRRRRRRRciCCCsinmFFt33sinmaaadFtqUCC1|1cacaRZZR Zj Cj RC總33 前置放大器輸入電壓： （6-22） 前置放大器輸入電壓幅值： （6-23） 輸入電壓與作用力之間的相位差 令測量回路的時間常數(shù) (|)11()aaaasrcaaUR Uj CR UUZRj RCZj R CCRj C總33sin1

15、()maj RdFtj R CC33221 () ()msr macid FRURCCC1()2acitgCCCR()aciR CCC34 理想情況，當傳感器Ra 和放大器輸入Ri 都，即等效電阻R時，電荷沒有泄漏。（相當于傳感器開路電壓） （6-25） 傳感器電壓靈敏度： 更換電纜，Cc 變化，使靈敏度K 變化。 由于電纜電容Cc ，以及放大器輸入電容Ci 存在，使靈敏度減小。33mamacidFUCCC33srmmaciUdKFCCC1R35 相對幅頻特性：（實際輸入電壓與理想輸入電壓的比值） 1222()( )1() ()1()srmaciamaciUR CCCKURCCC1( )1/2

16、K12()lacifR CCC2()111 ()211222()lacifR CCC36 如圖:（1）當 ， ，即Fm為靜態(tài)力 放大器輸入阻抗不可能無窮大，傳感器也不可能絕對 絕緣，電荷會通過Ra、Ri漏掉。 從原理決定了壓電傳感器不能測量靜態(tài)物理量。00srmU37（2）當 ，由圖6-22知，放大器輸入電壓與作用力的頻率無關。（3）放大器輸入電阻Ri越大，測量回路時間常數(shù)越大，傳感器低頻響應越好。 電壓放大器共同特點： 高輸入阻抗（100M以上）， 低輸出阻抗（質量-彈簧-阻尼 二階單自由度系統(tǒng)。 壓電晶體片等效為彈簧剛度k。 E壓電片縱向彈性系數(shù) S面積, t壓電片厚度 剛度： , ，加速

17、度產(chǎn)生的振幅被測加速度a，使傳感器質量塊m位移的振幅A為：式中： ，固有頻率 ， ，c阻尼系數(shù)/kdF dx20dFmaadxkk2222011(1)(2)Aa0/k m0/ /2cmk/2kE St47 壓電元件所受的力： 位移x=振幅A使單個晶片表面產(chǎn)生的電荷：代入A和 ，得： （6-34）則：壓電加速度傳感器的電荷靈敏度： （6-35）電壓靈敏度：Fkxk A1ijmijQdFdk A 20km1222(1)(2)ijdm aQ222(1)(2)ijqn dmnQKa22211/(1)(2)ijmuqacindmUn QKKCaCanccc48 , 當傳感器工作在 的頻段， 即 ，傳感器

18、的中頻靈敏度 Kq與m、dij、n成正比。 當：m、Kq，但 ，使工作頻帶變窄， 同時m大影響試件振動。 要使Kq，應使n、dij，即適當增加壓電片數(shù)，采用壓電系數(shù)高的材料。 qijKn dm/()uijaciKn dmnccc0/k m10 0493、頻率特性 高頻特性取決于 及 ，通常 =0.010.04。由（6-37）式則高頻靈敏度為：令中頻靈敏度 則： ，當 時， 。傳感器靈敏度近似為常數(shù)，即中頻靈敏度。傳感器上限頻率： ，當 ，產(chǎn)生共振。傳感器低頻特性取決于表面電荷泄漏情況，即時間常數(shù) 當時間常數(shù)RC越大，可測的低頻下限越低，增大的有效辦法是加大前置放大器的輸入電阻。02(2)02/

19、 |1|qHijKn dmqBijKnd m011()35H0HRC11/()laciR nccc0qHqBKK0 2|1|qBqHKK50 6.4.3 壓電阻抗頭壓電阻抗頭 結構：壓電式力和加速度傳感器的組合。 用于測量機械阻抗。 mFZV52 6. 5 壓電式傳感器的醫(yī)學應用壓電式傳感器的醫(yī)學應用 壓電傳感器的優(yōu)點： 結構簡單、體積小、重量輕，測量的頻率范圍寬， 動態(tài)范圍大，性能穩(wěn)定。53 （1）眼壓傳感器）眼壓傳感器 54 力平衡法測量眼壓 角膜首先接觸傳感器表面。 力增大，角膜被壓平S1=S2，出現(xiàn)力峰值點。 S1傳感器面積，S2角膜平坦區(qū)面積，P眼內(nèi)壓。 峰谷點，F(xiàn)彎曲力作用在外圈上

20、。 眼球變形，P，F(xiàn)測。 逐漸移開探頭，峰谷小于。 （測量造成眼內(nèi)液體暫時損失）1FP S測1FP SF測彎曲力55（2）血壓測量傳感器）血壓測量傳感器 工作原理： f1發(fā)射聲源頻率 fR反射聲源頻率 c聲波在介質中的速度 v運動物體與聲源的相對運動速度超聲發(fā)生器壓電晶體1（逆壓電效應）f機械振蕩機械波血管壁反射脈動壓電晶體2（壓電效應）f+f放大測量112Rvfffc1Rfff 56（3）導管端部壓電（心音）傳感器）導管端部壓電（心音）傳感器 厚度方向為極化方向，選用壓電系數(shù)d33。 兩片PZT串聯(lián)工作，輸出電壓為單片元件的兩倍。 壓力膜片變形懸臂梁彎曲壓電陶瓷拉伸變形壓縮變形壓電效應57

21、（4）壓電微震傳感器）壓電微震傳感器 實際上是加速度傳感器（根據(jù)牛頓第2定律 F=ma） 手震顫質量塊彈簧系統(tǒng)振動壓電元件產(chǎn)生電荷 58（5）壓電脈博波傳感器）壓電脈博波傳感器 脈搏波傳感器就是將脈動波產(chǎn)生的機械振動轉換成電信號的一種裝置，它能檢出血管內(nèi)壓力和容積的變化 。 圖6-36是壓電脈搏波傳感器的結構圖。 它的振動由空氣室傳給受壓膜，使之產(chǎn)生位移。由壓電元件將位移轉換成電量，所以它又叫空氣傳導型脈搏波傳感器。 59（6）壓電式心音傳感器）壓電式心音傳感器 如圖所示為一種壓電式加速度傳感器的結構圖，這種傳感器可用來測量心音。 它的結構很簡單，主要是一個振動質量塊與壓電晶體的一個面相連接。

22、頂蓋與質量塊之間通過一彈簧加以預應力，這種對系統(tǒng)的預負載，可進行調(diào)節(jié)，從而使壓電元件運用在特性曲線的線性部分。 這種傳感器的重量可做得小于30g， 除可用來記錄心音信號外，還可用 來測量震顫。60（7）超聲血流計）超聲血流計 1) 脈沖渡越時間差式超聲血流計脈沖渡越時間差式超聲血流計61 d 壓電超聲換能器A、B 距離 Vf 血流速度， Vs 超聲波在血液中的速度 兩速度的方向角 則：超聲波在兩探頭間的實際速度為 順流取+，逆流取 超聲波在兩探頭間的實際渡越時間逆流與順流的渡越時間差：因實際上 ， 測出 就可求出 ，實際系統(tǒng)中，通常使得探頭A、B交替發(fā)射，接收。cossfVV2222cos(c

23、os)fsfdVtttVV 順逆22cosfsdVtV tfVfSVV/(cos )sftdVV順/(cos )sftdVV逆62 2）Doppler頻移血流計頻移血流計 血液是由液體和其中的運動微粒（血細胞）組成，運動微粒會使超聲波產(chǎn)生反射，并發(fā)生頻率的改變. 基于這物理現(xiàn)象為基礎的測量方法統(tǒng)稱Doppler技術。 發(fā)射探頭T，發(fā)出頻率為fT的超聲波窄脈沖。 Vf血細胞速度 Vs超聲波速度。 63 11sTdtVf圖中b中(1)是某細胞反射超聲波的路徑，總長為d，從 TR，所花時間為 圖中b中(2)為該細胞反射下一個超聲波脈沖的途徑， 該細胞位移為Vf / fT，即在時間 的位移。11sTd

24、tVf1Tf64 此時，從TR，路徑為： 傳播時間： 接收信號的頻率為： 與發(fā)射頻率fT混頻，可得到差頻為： 根據(jù) 可求出血流速度Vf。 2fTVdf2221121fffsTsTsTTsVVVdtVf VfV ffV222211222sfffsRTTTsfsfsfVVVVVfffftVVVVVV21fRTsVffVf2fRTTsVffffV 65 把兩個相同的聲表面波振蕩器制作在同一塊基片上，在兩個聲表面波延遲線的傳播路徑上涂敷固定化抗原膜，只讓其中一個振蕩器的聲波道與被測抗體接觸。 因抗原抗體的特異反應，相結合的結果增加了該聲道上的附著物的質量載荷，改變了聲表面波速度，使振蕩頻率發(fā)生變化。

25、另一個振蕩器的聲波道保持原狀，不與外界被測抗體接觸，其聲表面波速與振蕩頻率都不改變。 測量兩路振蕩器輸出頻率差，就可測定被測抗體的濃度。 66 6. 6 聚偏二氟乙烯聚偏二氟乙烯PVDF及其應用及其應用 PVDF高分子材料，具有很強的壓電性和熱釋電性效應。 優(yōu)點：（1）壓電常數(shù)d比石英晶體高十多倍。（2）柔性和加工性能好， 1mm厚，適于做大面積傳感陣列器件。（3）聲阻抗與水、人體聲阻抗接近。（4）頻響寬， 。（5）熱穩(wěn)定性好。5810 5 10 Hz567 一、一、PVDF的結構的結構（一）聚合物壓電體的類型1、固有壓電體聚合物拉伸前，極化強度為零； 拉伸后，不經(jīng)電場極化，也顯示出壓電效應。

26、2、非固有壓電體聚合物壓電性和熱釋電性主要 取決于電極化程度。PVDF屬于這一類。68 （二）PVDF的晶體結構（圖7-35） 69 相非極性，沒有壓電性和熱釋電性。 相 相拉伸，極化處理，具有很高的壓電和熱電常數(shù)。 相是PVDF的主要晶向。 將 相膜在6065拉伸35倍，在 T=100 Ep=600kv/cm直流高壓下，經(jīng)30分鐘極化處理，得到永久極化強度。 70 二、二、PVDF的工作原理和基本特性的工作原理和基本特性1、PVDF的工作原理 相拉伸強電場極化 相。極化過程與作用與 PZT相似。2、PVDF的基本特性。圖6-41、6-42。7172 三、三、PVDF傳感元件的結構（設計的一般

27、方法）傳感元件的結構（設計的一般方法） 表面形狀：膜片形、圓柱形、拱形，膜片厚5100（薄膜），而PZT200 支撐方式：全面支承，梁式支撐， 雙片結構、極化矢量：同向、反向。 膜片式靈敏度： p 膜片上均布壓力； 膜片厚度。 0333333UdKqp 73 四、應用四、應用 廣泛用作脈博計、血壓計、起博計、胎心探測器等。 觸覺傳感陳列: 74 PVDF心音脈博傳感器 能很好與人體皮膚接觸，能檢測到微弱的脈動信號。 測量范圍：10250次/分，誤差1%。 人體正常心率：60100次/分，運動、生病200次/分。76 6. 7 壓電傳感器的誤差壓電傳感器的誤差 一、環(huán)境溫度的影響一、環(huán)境溫度的影

28、響 二、濕度的影響二、濕度的影響 三、橫向靈敏度及誤差三、橫向靈敏度及誤差 四、電纜噪聲四、電纜噪聲 五、接地回路噪聲五、接地回路噪聲77 6.8 6.8 壓電聲表面波傳感器壓電聲表面波傳感器 聲表面波（SAW，Surface Acoustic Wave）是沿著媒質表面?zhèn)鞑?，幅值隨深度迅速減弱的聲波。 SAW信號處理器件主要應用于軍工領域; SAW頻率選擇器件、頻率控制器件以及SAW傳感器則是軍民共用的器件。SAW傳感器： 如果作為頻控元件的SAW元件(SAW延遲線或諧振器)受到力、電、磁、熱的作用，會直接導致SAW振蕩器的頻率變化； 這是SAW傳感器的基本工作原理。 如果在頻控元件表面沉淀一

29、層對某種化學成份敏感的薄膜，其聲阻抗將隨該成份濃度變化、振蕩器頻率亦會隨之變化。 78 SAW傳感器的優(yōu)點：高精度、高靈敏度，把被測量轉換為電信號的頻率測量。抗干擾能力強。易數(shù)字化傳輸、處理和微機接口。易集成化，穩(wěn)定性可靠性好。體積小，功耗小。a. 逆壓電效應：壓電應變與電場強度成正比，與電場方向有關。應變比b大幾個數(shù)量級。b. 電致伸縮：應變與場強平方成正比，與電場方向無關。 79 一、基本工作原理一、基本工作原理 1、產(chǎn)生和檢測聲表面波的基本方法 （1）耦合器波型轉換法 超聲波表面探傷 （2）叉指換能器直接激發(fā)法 SAWS的主要形式 2、叉指換能器（IDT，Interdigital Transducer） IDT是一種直接激發(fā)聲表面波的超聲換能器，由于它電聲轉換損耗低，設計靈活且制造簡單，容易工作在0.53 GHz的頻率范圍內(nèi)，已成為激發(fā)與檢測聲表面波的主要技術，也成為聲表面波傳感器的基本組成部分，應用甚廣。80 （1）叉指換能器的工作原理： 叉指換能器是在壓電基片上用真空蒸發(fā)淀積一層金屬薄膜，再用光刻方法