光學(xué)測試技術(shù)復(fù)習(xí)_第1頁
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文檔簡介

1、光學(xué)檢測原理復(fù)習(xí)提綱第一章基本光學(xué)測量技術(shù)一、光學(xué)測量中的對準(zhǔn)與調(diào)焦技術(shù)1、對準(zhǔn)和調(diào)焦的概念(哪個是橫向?qū)?zhǔn)與縱向?qū)?zhǔn)?)P1對準(zhǔn)又稱橫向?qū)?zhǔn),指一個目標(biāo)與比較標(biāo)志在垂軸方向的重合。調(diào)焦又稱縱向?qū)?zhǔn),是指個目標(biāo)像與比較標(biāo)志在瞄準(zhǔn)軸方向的重合。2、常見的五種對準(zhǔn)方式。P2壓線對準(zhǔn),游標(biāo)對準(zhǔn)。3、常見的調(diào)焦方法最簡便的調(diào)焦方法是:清晰度法和消視差法。p2二、光學(xué)測試裝置的基本部件及其組合1、平行光管的組成、作用;平行光管的分劃板的形式(abcd)。P14作用:提供無限遠(yuǎn)的目標(biāo)或給出一束平行光。(a) "+"字或"+"字刻線分劃板;(b)分辨率板;(c)星點(diǎn)板

2、;(d)玻羅板組成:由一個望遠(yuǎn)物鏡(或照相物鏡)和一個安置在物鏡焦平面上的分劃板。二者由鏡筒連在一起,焦距1000mm以上的平行光管一般都帶有伸縮筒,伸縮筒的滑動量即分劃板離開焦面的距離,該距離可由伸縮筒上的刻度給出,移動伸縮筒即能給出不同遠(yuǎn)近距離的分劃像(目標(biāo))。2、什么是自準(zhǔn)直目鏡(P15)(可否單獨(dú)使用?),自準(zhǔn)直法?一種帶有分劃板及分劃板照明裝置的目鏡。Zz自準(zhǔn)直:利用光學(xué)成像原理使物和像都在同一平面上。3、;高斯式自準(zhǔn)直目鏡(P16)、阿貝式自準(zhǔn)直目鏡(P16)、雙分劃板式自準(zhǔn)直目鏡(P17)三種自準(zhǔn)直目鏡的工作原理、特點(diǎn)。P15p17(概念,填空或判斷)1高斯式自準(zhǔn)直目鏡缺點(diǎn)-分劃

3、板只能采用透明板上刻不透光刻線的形式,不能采用不透明板上刻透光刻線的形式,因而像的對比度較低,且分束板的光能損失大,還會產(chǎn)生較強(qiáng)的雜光。2阿貝式自準(zhǔn)直目鏡一特點(diǎn)射向平面鏡的光線不能沿其法線入射,否則看不到亮“+”字線像。阿貝目鏡大大改善了像的對比度,且目鏡結(jié)構(gòu)緊湊,焦距較短,容易做成高倍率的自準(zhǔn)直儀。主要缺點(diǎn):直接瞄準(zhǔn)目標(biāo)時的視軸(“+”字刻度線中心與物鏡后節(jié)點(diǎn)連線)與自準(zhǔn)直時平面鏡的法線不重合;且視場被部分遮擋。3雙分劃板式自準(zhǔn)直目鏡-要求兩塊分劃板都要位于物鏡焦面上,且二者刻線中心應(yīng)位于同一條視軸上。特點(diǎn)這種自準(zhǔn)直目鏡能實(shí)現(xiàn)視軸與平面鏡法線重合,且像的對比度好。但光能損失較阿貝目鏡大,結(jié)構(gòu)

4、較復(fù)雜;其中一塊分劃板若有垂軸方向移動則造成自準(zhǔn)時平面鏡法線與視軸不重合,故不如高斯目鏡可靠。三、光學(xué)測量誤差1、誤差的來源歸結(jié)為4個方面;誤差的分類3個:定義。P20-P21誤差的來源:a、設(shè)備誤差(標(biāo)準(zhǔn)器件誤差、裝置誤差);b、環(huán)境誤差(溫度、濕度、振動、照明等與標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)不一致;電磁干擾;某些高能粒子對光電探測器干擾等);c、人員誤差(人眼分辨率有限,操作水平不高或固有習(xí)慣、感覺器官的生理變化等引起的操作和觀測誤差);d、方法誤差(采用的數(shù)學(xué)模型不完善,采用近似測量方法或由于對該項(xiàng)測量研究不充分等)。誤差的分類:a、系統(tǒng)誤差測量條件改變時,按照確定規(guī)律變化的誤差稱為系統(tǒng)誤差。包括儀器的制造

5、誤差、校準(zhǔn)或調(diào)整誤差、標(biāo)準(zhǔn)件的量值誤差等。b、偶然誤差(隨機(jī)誤差)在相同的測量條件下,多次測量同一量時,誤差的絕對值和符號粗大誤差超出在規(guī)定條件下預(yù)期的誤差稱為y,則得 y =y' * B ,以不可預(yù)測的方式變化的誤差稱為偶然誤差。c、粗大誤差。四、焦距和頂焦距的測量p321、測負(fù)透鏡焦距時,焦距與顯微鏡工作距離關(guān)系。由于負(fù)透鏡成虛像,用測量顯微鏡觀測這個像時,顯微鏡的工作距離必須大于負(fù)透鏡的焦否則看不到刻線像。若顯微物鏡的放大率為B,通過測量顯微鏡讀得"即被測透鏡的焦距:'''yfc廠2、使用的分劃板靈活應(yīng)用公式進(jìn)行焦距計算43、思考題:要測量一鏡片

6、的焦距,已知玻羅板上某刻線對的間距為30mm,測量顯微物鏡放大倍率10x,平行光管物鏡的焦距1200mm,通過測量顯微鏡的目鏡測得玻羅板上刻線像的間距為4mm,試求出該鏡片的焦距。(注經(jīng)過顯微鏡后存在放大倍率問題)第二章光學(xué)準(zhǔn)直與自準(zhǔn)直技術(shù)一、激光準(zhǔn)直與自準(zhǔn)直技術(shù)激光束有很高的亮度和相當(dāng)好的方向性??衫玫寡b望遠(yuǎn)鏡對激光束再進(jìn)行細(xì)化和準(zhǔn)直二、自準(zhǔn)直法測量平面光學(xué)零件光學(xué)平行度1、第一光學(xué)平行度9工、第二光學(xué)平行度9定義。P48角度誤差造成兩平面在入射光軸截面內(nèi)的不平行,稱為第一光學(xué)平行度9I棱差則造成垂直于入射光軸截面內(nèi)的不平行,稱為第二光學(xué)平行度OIK三、自準(zhǔn)直法測量球面曲率半徑和焦距1、自

7、準(zhǔn)球徑儀(圖2-12)的工作原理(要求會畫原理圖)。P5051一、自準(zhǔn)直法測量球面曲率半徑按原方向返回,在物體(被照明的分劃板)所在平面C上生成自身的清晰像2、自準(zhǔn)直顯微鏡測量焦距、頂焦距(正義)而測量原理以拋光的被測球面作反射面,當(dāng)投射到球面上的光線沿球面法線方向入射時,反射光線(火持器作用)P53-54作業(yè)當(dāng)自準(zhǔn)直顯微鏡3調(diào)焦在被測透鏡2的焦點(diǎn)F上時,從自準(zhǔn)直顯微鏡射出的光束經(jīng)被測透鏡后成平行光射向平面鏡1.調(diào)節(jié)平面鏡使它垂直于入射光束,則反射光按原路返回,在顯微鏡分劃板上成清晰無視差的自準(zhǔn)像,記下顯微鏡的位置度數(shù)B1;軸向移動自準(zhǔn)直顯微鏡,到調(diào)焦在透鏡表面頂點(diǎn)A上時又一次獲得清晰無視差的

8、自準(zhǔn)像,再當(dāng)自準(zhǔn)直顯微鏡調(diào)焦在被測透鏡焦點(diǎn)F'上,并看到清晰無視差的自準(zhǔn)直像時,繞垂直軸左右擺動透鏡夾持器(擺動范圍土5以內(nèi)),若看到自準(zhǔn)直像左右移動,則軸向移動被測透鏡,到夾持器擺動時,自準(zhǔn)像不動,就說明后節(jié)點(diǎn)已位于垂直軸上了。這時垂直軸中心到自準(zhǔn)直顯微鏡調(diào)焦點(diǎn)F的距離就等于被測透鏡的焦距。測量焦距時,雖然少了一次調(diào)焦誤差,但增加了確定節(jié)點(diǎn)位置的誤差和確定夾持器垂直中心位置的誤差。第三章測角技術(shù)及其應(yīng)用般的精密測角儀的結(jié)構(gòu)。P60、光學(xué)測量用的精密測角儀國內(nèi)外著名的精密測角儀,其角度基準(zhǔn)器幾乎都是利用計量光柵制成的。計量光柵還具有信號強(qiáng)、反差高、非接觸、響應(yīng)速度快和便于控制等特點(diǎn),因

9、此它廣泛應(yīng)用于角度的精密計量中。關(guān)鍵部分圓分度器件(度盤、多面體、圓光柵、光學(xué)軸角編碼器、感應(yīng)同步器)二、測角技術(shù)的應(yīng)用1、在精密測角儀上測量棱鏡的角度的原理和計算公式。P61圖3-61、使平行光管視軸和自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡視軸組成一銳角先.ZA=180-4使構(gòu)成被測角A的一個工作面轉(zhuǎn)到圖示位置,并調(diào)節(jié)到黑太自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡中看到平行光管狹縫的像。當(dāng)狹縫像與自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡分劃板刻線對準(zhǔn)時,就表明平面的法線正處在該銳角的角平分線上。此時從度盤上可以取得一讀數(shù)。2在工作臺上可以按圖所示那樣來放置被測棱鏡。工作臺這時轉(zhuǎn)動調(diào)平螺絲3能使平面傾斜,而對平面rVv?l的影響很小。當(dāng)轉(zhuǎn)動調(diào)平螺釘2時能使平面傾斜,調(diào)平壤箱

10、、而對平面的影響很小。2、折射率定義(p62);折射率:光在真空中的傳播速度與在介質(zhì)中的轉(zhuǎn)播速度之比,但是要通過測量光速度來得到折射率顯然是很難辦到的,光學(xué)玻璃折射率的測量主要借助于折射定律,即通過測量光線在不同介質(zhì)中傳播時偏折的角度來實(shí)現(xiàn)的,測角技術(shù)是測量光學(xué)玻璃折射率的基礎(chǔ)。并要知道:光學(xué)玻璃折射率是通過測量光線在不同介質(zhì)中傳播時偏折的角度來換算的。V棱鏡法就是通過測量偏折角9的準(zhǔn)確值,計算出被測玻璃的折射率n。3、V棱鏡法測量原理;對V棱鏡的要求;對被測樣品的要求;折射液的作用。p62原理:以單色平行光垂直射入V棱鏡的AB面。如果被測樣品的折射率n和已知的V棱鏡折射率n0相同,則整個V棱

11、鏡加上被測玻璃樣品就像一塊平行平板玻璃一樣,光線在兩接觸面上不發(fā)生偏折,所以最后的出射光線也將不發(fā)生任何偏折。如果兩者折射率不相等,則光線在接觸面上發(fā)生偏折,最后的出射光線相對于入射n有關(guān)。(上原理圖)光線就要產(chǎn)生一偏折角9。偏折角9的大小和被測玻璃樣品的折射率V棱鏡法就是通過測量偏折角8的準(zhǔn)確值,計算出被測玻璃的折射率n0,測得出射光線相對于最初入射光線方向的偏折角9,n=(n2士sinJn2一sin29/2根據(jù)已知的V棱鏡材料折射率n0,就可以計算出被測玻璃的折射率no折射液的作用:防止光線在界面上發(fā)生全反射;即使樣品加工90角不準(zhǔn)確,加上折射液之后,近似于一個準(zhǔn)確的90角;樣品表面只需細(xì)

12、磨,免去拋光的麻煩tan 和B是它上面的兩條間隔為2y0的刻線。兩刻線對被測物鏡主點(diǎn)的張角為 2w,則當(dāng)刻線尺或者分劃板被照亮5、精密測角法測量物鏡長焦距的測量原理、公式(精密測角儀上測量)。P6667后,刻線上A和B兩點(diǎn)發(fā)出的光束經(jīng)過被測物鏡后,成為兩束夾角為2w的平行光。用測角儀器上的望遠(yuǎn)鏡先后對準(zhǔn)刻線A和B,則望遠(yuǎn)鏡轉(zhuǎn)過的角度就是2w,得出被測物鏡的焦距為f=y0/tgo6、自聚焦透鏡數(shù)值孔徑測量時積分球作用。第四章光學(xué)干涉測量技術(shù)一、干涉測量基礎(chǔ)1、樣板檢測原理基于光波等厚干涉原理是一種接觸的干涉檢驗(yàn)法,它利用樣板的標(biāo)準(zhǔn)面與零件的被檢面重合在一起,由干涉條紋的形狀和數(shù)量及加壓時條紋的移

13、動方向判斷面形偏差玻璃樣板法2、國標(biāo)GB2813-81規(guī)定的光圈識別方法、并靈活應(yīng)用。P81(會讀,會判斷光圈高低,會計算象散差)補(bǔ)充:在利用玻璃樣板法檢驗(yàn)光學(xué)零件表面面型誤差中,是利用光線在兩接觸面間的空氣薄層中產(chǎn)生的干涉條紋來判斷被檢面相對于標(biāo)準(zhǔn)面的偏差的。二、泰曼、斐索干涉測量1、泰曼、斐索干涉的測量原理(哪個共程,哪個不共程,適合測量的面型對比)2、斐索平面干涉儀如何消除雜散光的影響?p92935、斐索型平面干涉儀光路P934-21哪兩個表面產(chǎn)生干涉現(xiàn)象第六章光學(xué)系統(tǒng)成像性能評測一'、星點(diǎn)檢驗(yàn)1、定性評價光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量。2、星點(diǎn)檢驗(yàn)原理p152通過考察一個點(diǎn)光源(即星點(diǎn))經(jīng)

14、光學(xué)系統(tǒng)后在像面及像面前后不同截面所成的衍射像(即星點(diǎn)像)的光強(qiáng)分布,定性地評定光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量。4、衍射受限系統(tǒng)星點(diǎn)像光強(qiáng)分布5、星點(diǎn)檢驗(yàn)的光路原理圖;最大星孔直徑計算方法(公式)dmaxM0611fc例題p154156D二、分辨率測量1、定量評價光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量,綜合性指標(biāo)。2、三個判據(jù)各自認(rèn)為準(zhǔn)則。3、理論分辨率隨視場增大而下降,而且子午方向的分辨率比弧矢方向下降得更快。4、線條寬度的計算5、不同類型的光學(xué)系統(tǒng)(望遠(yuǎn)、照相、顯微)的分辨率的具體表達(dá)。P159(1)望遠(yuǎn)系統(tǒng):望遠(yuǎn)系統(tǒng)的物在無限遠(yuǎn),用角距離表示剛能分辨的兩點(diǎn)間的最小距離,即以望遠(yuǎn)物鏡后焦面上兩衍射斑的中心距60對物鏡后主點(diǎn)

15、的張角a表示分辨率a=(To/f=1.22入/D(2)照相系統(tǒng):照相系統(tǒng)以像面上剛能分辨的兩衍射斑中心距的倒數(shù)表示分辨率N=1/(r0=1/(1.22入F)=D/(1.22入f)(3)顯微系統(tǒng):顯微系統(tǒng)中以剛能分辨開的兩物點(diǎn)間的距離表示分辨率e=60/B=0.61入/NAB為顯微物鏡的垂軸放大率。3、熟悉國家專業(yè)標(biāo)準(zhǔn)分辨率圖案(分組情況)。P161將85種不同寬度的分辨率線條分成七個組,稱為1號到7號板,即A1A7分辨率板。每號分辨率板包含有25種不同寬度的分辨率線條,同一寬度的分辨率線條又按四個不同的方向排列構(gòu)成一個“單元”。每號板的中心都是第25號單元。4、思考題:用1.2米光具座測量某照相物鏡的分辨率,其相對孔徑為1:4.5,焦距f'=800mm,剛能分辨開3號分辨率板第13組,求照相物鏡的分辨率是多少?N=NoWof'三、光學(xué)傳遞函數(shù)測量P175圖6-37測量過程?傳函圖橫縱坐標(biāo)代表?光學(xué)傳遞函數(shù)由那兩部分構(gòu)成。第七章光度測量一、輻射度、光度量基礎(chǔ)1、發(fā)光強(qiáng)度(坎德拉cd)、光通量(流明)、光亮度、光照度的單位。2、視見函數(shù)定義3、光譜光視效能定義,照明工程中高還是低好?二、積分

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