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1、請下載支持!葿袃薄肆羀蒀蒃 前處理制程介紹 ( 一)蒈袀羃莃螈莁薀 魏廣輝蠆蒃蒆艿芀肁莄報告主要為以下幾個部分1、概述2、前處理制程介紹一、 概述前處理的目的是制造均勻、活性、粗糙、干凈的銅面,不同的前處理方式和銅面所得到的銅層表面組成亦不同,不同制程對前處理的要求亦不同。常用的影像轉(zhuǎn)移前處理可分為三類。蚄聿蒈芆薁莂A: 噴砂研磨法( Pumice Scrubbing)B: 化學(xué)前處理法( Chemical Pretre-atment)C: 機(jī)械研磨法( Meclamical Scrubbing)目前常用前處理共有 5 種,外層刷磨、綠漆 Pumice、電解脫脂、 SPS以及 Etch Bon

2、d。機(jī)械研磨法、噴砂法同化學(xué)法在表面處理結(jié)果上差異主要表現(xiàn)在機(jī)械法、噴砂法主要改善銅層表面微觀結(jié)構(gòu),對表面化學(xué)組成改變較小,而化學(xué)方式對銅層表面結(jié)構(gòu)以及化學(xué)組成均有影響,對于氧化物去除為最佳。隨著 PCB制作水平不斷提高, L/S 逐漸趨向與 3mil 以下線路等級,故壓膜和綠漆對前處理性能要求愈來愈高。袁蚅薅膁薃芄荿肈A、噴砂研磨法噴砂研磨法有兩種, 一種成為噴射研磨法 ( Jet Scrubbing) 以高壓方式直接將火山巖粉末 ( Pumice) 直接噴向銅面,達(dá)到粗化銅面的目的。另外一種為低壓研磨法 , 先以低壓噴砂使流出銅面再以白色尼龍刷研磨,此兩種方法均以火山巖粉末為介質(zhì)研磨銅面達(dá)

3、到一定的粗糙度、均勻度并去處銅面上的雜質(zhì)及氧化物。B、化學(xué)前處理法化學(xué)前處理法利用化學(xué)藥液如 SPS(Sodium Persulfate) 與銅面作用,去除銅表面氧化 物、雜質(zhì)并可咬蝕微量金屬銅,使銅面結(jié)構(gòu)發(fā)生變化以增加銅面均勻性、粗糙度并增加銅面活性,以利于下一制程作業(yè)。C、機(jī)械研磨法機(jī)械研磨法指用尼龍刷或不織布依靠壓力直接接觸銅面并在傳動帶動下與銅面相互摩擦,借以改變銅面結(jié)構(gòu),一般可按照制程需要將刷磨分為四類重刷磨、中刷磨、輕刷磨、微刷磨,主要通過刷輪磨料磨粒目數(shù)不同以及來區(qū)分,對于影像轉(zhuǎn)移所需銅面一般為中刷磨。蝕芅蒅肈薂芃罿 三種前處理優(yōu)缺點比對請下載支持!膃羆芁肂莆膆蕆肀薃膅蚆蟻膁 噴

4、砂研磨法罿肄肅膇葿螞芆 機(jī)械研磨法芁膆蚈莈膂膅羈 化學(xué)清洗法薈項目蒞莀膄肆蚅袀螁 1、可去除所有污物,銅面新鮮。2、能夠 膈莁羅膆蝿節(jié)襖 1、設(shè)備簡單,容易操作2、 袁螄薇蚈螃羆袆 1、銅面均勻性較肅腿蒁粗糙的、 均勻的、 多峰的表面, 成本低廉 3、毛刷耐磨性好, 使用壽命 好 2、去油污性能好 3、去形成完全砂?;?、蚃羄蒈3、由于板面均勻無溝槽,沒有耕地式溝槽。降低了 長掉銅箔較少且基材本身不肁優(yōu)從而改進(jìn)了成像的分辨率。4、尺受機(jī)械力影響,對薄板處理曝光時光的散射,點品質(zhì)較好寸安定性好1、浮石粉對設(shè)備的機(jī)械部分容易損傷,設(shè)備保養(yǎng)維1、 薄板細(xì)線路板不易進(jìn)行容易造成1、對重氧化難于去除 2

5、、去護(hù)困難,同時生產(chǎn)環(huán)境不易保持維護(hù)。2、 Pumice基板拉長,卷曲 2 、 . 容易造成定向除銅面鉻鈍化膜效果較差缺點 容易沾留板面劃痕,有耕地式溝槽,易造成D/F 附3、廢液需進(jìn)行處理增加廢著不易而滲鍍 3 、 有殘膠之潛在可能物處理費用并且均勻性較差未完待續(xù)前處理制程介紹 ( 二)魏廣輝二、 前處理制程介紹電解脫脂線電解脫脂原理說明利用電解原理, 產(chǎn)生大量氧氣, 摩擦銅表面,以機(jī)械物理力量清潔表面, 產(chǎn)生的氧氣使液體翻滾,使新堿液與油脂污垢之接觸增加,使油脂皂化、乳化以此達(dá)到清潔表面的目的,另外去除表面的鉻鈍化物以及增加板面粗糙度以便增加壓膜制程附著力。電解脫脂線流程電解槽三段水洗酸洗

6、 三段水洗烘干電解反應(yīng)原理陽極主反應(yīng)n+M M + ne-2OH H2O + 1/2O 2 + 2e陽極副反應(yīng) Cu + 1/2O 2 CuO陰極主反應(yīng) Cu2+ + 2 e - Cu請下載支持!酸洗段 CUO+2HCL CUCL2+H2OCU+CUCL2 2CUCL電解脫脂劑成分和功能電解脫脂藥液 MELTEX 160s, (50g/l)主要成分之功能1、NaOH(約 30-40%) : 改進(jìn)電解質(zhì)的導(dǎo)電性;皂化與乳化作業(yè),分散去除油脂。2、KOH(約 20-30%)與 NaOH的功能類似,唯其在常溫下,濃度較高時有較佳的導(dǎo)電性。3、. 磷酸鹽主要為磷酸鈉、焦磷酸鈉。具有降低表面張力之功能。4、硅酸鹽主要為硅酸鈉。具有乳化性及乳化之安定性作用。5、. 碳酸鹽主要為碳酸鈉。功能為皂化及乳化作用。6、螯合物組成劑可使電解脫脂液的壽命大為延長,可

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