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1、硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)(組圖)2008/6/24/08:58 來源:電子工業(yè)專用設(shè)備 作者:張世強(qiáng),李萬河,徐品烈 (中電集團(tuán)第四十五研究所,北京東燕郊101601) 隨著全球能源的日趨緊張,太陽能以無污染、市場(chǎng)空間大等獨(dú)有的優(yōu)勢(shì)受到世界各國(guó)的廣泛重視,國(guó)際上眾多大公司投入太陽能電池研發(fā)和生產(chǎn)行業(yè)。從太陽能獲得電力,需通過太陽能電池進(jìn)行光電變換來實(shí)現(xiàn),硅太陽能電池是一種有效地吸收太陽能輻射并使之轉(zhuǎn)化為電能的半導(dǎo)體電子器件,廣泛應(yīng)用于各種照明及發(fā)電系統(tǒng)中。 2 硅太陽能電池的生產(chǎn)工序 太陽能電池原理主要是以半導(dǎo)體材料硅為基體,利用擴(kuò)散工藝在硅晶體中摻入雜質(zhì):當(dāng)摻入硼等雜質(zhì)時(shí),硅晶體中就會(huì)存在
2、著一個(gè)空穴,形成p型半導(dǎo)體;同樣,摻入磷原子以后,硅晶體中就會(huì)有一個(gè)電子,形成n型半導(dǎo)體,p型半導(dǎo)體與n型半導(dǎo)體結(jié)合在一起形成pn結(jié),當(dāng)太陽光照射硅晶體后,pn結(jié)中p型半導(dǎo)體的空穴往n型區(qū)移動(dòng),而n型區(qū)中的電子往p型區(qū)移動(dòng),從而形成從n型區(qū)到p型區(qū)的電流,在pn結(jié)中形成電勢(shì)差,這就形成了電源,見圖1。 圖1 太陽能電池原理示意圖2 太陽能電池生產(chǎn)主要工序圖2為硅太陽能電池生產(chǎn)的主要工序,從中可以看出絲網(wǎng)印刷是生產(chǎn)太陽能電池的重要工序,其印刷質(zhì)量(厚度,寬度,膜厚一致性)影響電池片的技術(shù)指標(biāo)。 3 工序?qū)τ∷㈦姌O的要求 3.1 背面銀電極印刷(背銀) 在電池片的正極面(p區(qū))用銀漿料印刷兩條電極
3、導(dǎo)線(寬約34mm)作為電池片的電極(圖3)。 圖3 電池片背銀及背鋁印刷示意圖3.2 背面鋁印刷(背鋁) 在電池片的正極面采用鋁漿料印刷整面(除背銀電極外)。 3.3 正面銀印刷(正銀) 在電池片的正面(噴涂減反射膜的面)同時(shí)用銀漿料印刷一排間隔均勻的柵線和兩條電極(圖4),在工藝上要求柵線間距約3mm、寬度約O.100.12mm: 圖4 電池片正銀印刷示意圖4 印刷原理 圖5為絲網(wǎng)印刷原理示意圖,絲網(wǎng)印刷由五大要素構(gòu)成,即絲網(wǎng)、刮刀、漿料、工作臺(tái)以及基片。絲網(wǎng)印刷基本原理是:利用絲網(wǎng)圖形部分網(wǎng)孔透漿料,非圖文部分網(wǎng)孔不透漿料的基本原理進(jìn)行印刷。印刷時(shí)在絲網(wǎng)一端倒入漿料,用刮刀在絲網(wǎng)的漿料部
4、位施加一定壓力,同時(shí)朝絲網(wǎng)另一端移動(dòng)。漿料在移動(dòng)中被刮板從圖形部分的網(wǎng)孔中擠壓到基片上。由于漿料的黏性作用而使印跡固著在一定范圍之內(nèi),印刷過程中刮板始終與絲網(wǎng)印版和承印物呈線接觸,接觸線隨刮刀移動(dòng)而移動(dòng),由于絲網(wǎng)與承印物之間保持一定的間隙,使得印刷時(shí)的絲網(wǎng)通過自身的張力而產(chǎn)生對(duì)刮板的反作用力,這個(gè)反作用力稱為回彈力。由于回彈力的作用,使絲網(wǎng)與基片只呈移動(dòng)式線接觸,而絲網(wǎng)其它部分與承印物為脫離狀態(tài),保證了印刷尺寸精度和避免蹭臟承印物。當(dāng)刮板刮過整個(gè)印刷區(qū)域后抬起,同時(shí)絲網(wǎng)也脫離基片,工作臺(tái)返回到上料位置,至此為一個(gè)印刷行程。 圖5 印刷原理示意4.1 刮刀 從圖5的印刷原理示意中可以看出,刮刀的
5、作用是將漿料以一定的速度和角度將漿料壓入絲網(wǎng)的漏孔中,刮刀在印刷時(shí)對(duì)絲網(wǎng)保持一定的壓力,刃口壓強(qiáng)在1015Ncm之間,刮板壓力過大容易使絲網(wǎng)發(fā)生變形,印刷后的圖形與絲網(wǎng)的圖形不一致,也加劇刮刀和絲網(wǎng)的磨損,刮板壓力過小會(huì)在印刷后的絲網(wǎng)上存在殘留漿料。 刮刀材料一般為聚胺脂橡膠或氟化橡膠,硬度范圍為邵氏A60A90,刮板條的硬度越低,印刷圖形的厚度越大,刮刀材料必須耐磨,刃口有很好的直線性,保持與絲網(wǎng)的全接觸;刮刀一般選用菱形刮刀,它具有4個(gè)刃口,可逐個(gè)使用,利用率高,見圖6。 圖6 刮刀刃口壓力示意刮刀速度:刮刀速度是決定效率的最大因素,以半自動(dòng)印刷機(jī)為例,印刷所占時(shí)間一般為總循環(huán)的23;印刷
6、速度的設(shè)定由印刷圖形和印刷用漿料的黏度決定,速度越高,刮刀帶動(dòng)漿料進(jìn)入絲網(wǎng)漏孔的時(shí)間越短,漿料的填充性會(huì)差,出現(xiàn)圖7所示現(xiàn)象,如果印刷線條精細(xì),速度應(yīng)低一些,圖4所示的正銀工序中柵線的線寬在0.10.12nun,一般速度設(shè)定在200250mms,圖3所示的背鋁和背銀工序因印刷線條寬速度設(shè)定在300mms;印刷用漿料因不同工序而不同,相應(yīng)黏度不同,但總體黏度比較低,所以印刷速度較快;在實(shí)際的印刷中速度的恒定同樣很重要,如果在印刷過程中速度出現(xiàn)波動(dòng),會(huì)導(dǎo)致圖形厚度的不一致。 刮刀角度:刮刀角度的設(shè)定與漿料有關(guān);漿料黏度值越高,流動(dòng)性越差,需要刮刀對(duì)漿料的向下的壓力越大,刮刀角度??;刮刀角度調(diào)節(jié)范圍
7、為4575。在印刷過程中起關(guān)鍵作用的是刮刀刃口23mm的區(qū)域,在印刷壓力下刮刀與絲網(wǎng)摩擦,在開始印刷時(shí)近似直線,刮刀刃口對(duì)絲網(wǎng)的局部壓力很大,見圖5所示,隨著刮刀刃口的磨損,刃口形狀呈圓弧形,它對(duì)漿料朝絲網(wǎng)方向的分力急劇增加,絲網(wǎng)作用于絲網(wǎng)單位面積的壓力明顯減小,刮刀刃口處與絲網(wǎng)的實(shí)際角度遠(yuǎn)小于45,印刷后絲網(wǎng)表面會(huì)有殘余漿料,易發(fā)生滲漏,同時(shí)印刷線條邊緣模糊。見圖7,這時(shí)需要更換刮刀。 圖7 刮刀磨損后4.2 絲網(wǎng) 常用的絲網(wǎng)材料有不銹鋼和尼龍2種。不銹鋼絲網(wǎng)的特點(diǎn)是絲徑細(xì)、目數(shù)多,耐磨性好,強(qiáng)度高,尺寸穩(wěn)定,拉伸性小,由于絲徑精細(xì),漿料的通過性能好,尺寸精度穩(wěn)定,適于太陽能電池片的印刷。尼
8、龍絲網(wǎng)是由化學(xué)合成纖維制作而成,具有很高的強(qiáng)度,耐磨性、耐化學(xué)藥品性、耐水性、彈性都比較好,由于絲徑均勻,表面光滑,故漿料的通過性也極好。其不足是尼龍絲網(wǎng)的拉伸性較大。這種絲網(wǎng)在繃網(wǎng)后的一段時(shí)間內(nèi),張力有所降低,使絲網(wǎng)印版松馳,精度下降,在太陽能電池片的印刷中采用不銹鋼絲網(wǎng)。圖8為絲網(wǎng)的外形。 圖8 絲網(wǎng)的外形制作絲網(wǎng):制作絲網(wǎng)圖形由專業(yè)廠商訂做,要根據(jù)印刷圖形的精度選擇絲網(wǎng)目數(shù)的高低、絲徑的粗細(xì)、絲網(wǎng)開口面積的大小、絲網(wǎng)伸縮率的大小等,表1為日本特殊織物會(huì)社的部分絲網(wǎng)技術(shù)規(guī)格。 表1 部分絲網(wǎng)技術(shù)規(guī)格絲網(wǎng)的目數(shù)及絲徑?jīng)Q定可印刷圖形的寬度;對(duì)于背銀和背鋁這2道工序印刷由于實(shí)際印刷圖形不復(fù)雜,所
9、以對(duì)絲網(wǎng)要求不高,主要考慮印刷厚度即可,一般選用250280目即可滿足要求;正銀印刷是對(duì)印刷要求最高的一道印刷工序,主要是保證柵線的寬度要求及印刷膜厚的均勻性,一般選用300330目,印刷后柵線的寬度值取決于絲網(wǎng)的線徑及網(wǎng)孔的寬度,有如下計(jì)算公式: K=2s+R, 式中:K為線條的寬度,S為絲網(wǎng)絲徑寬度值,R表示網(wǎng)孔的寬度,如選用330目絲網(wǎng),查表1:s=30m,K=44m則K=230+44=102m,可滿足柵線的寬度要求。 絲網(wǎng)的張力設(shè)定:絲網(wǎng)的張力與絲網(wǎng)的材料與目數(shù)有關(guān),不同材料、不同絲徑的絲網(wǎng)承受的張力不同,目數(shù)越低,絲徑越粗,絲網(wǎng)承受的張力越大;絲網(wǎng)生產(chǎn)廠商在技術(shù)指標(biāo)中有一個(gè)絲網(wǎng)最大張
10、力的建議值,見表1。如果絲網(wǎng)張力太低或印刷過程絲網(wǎng)張力不穩(wěn)定,在刮板壓力下會(huì)出現(xiàn)網(wǎng)點(diǎn)擴(kuò)大和網(wǎng)點(diǎn)丟失,影響印刷精度,對(duì)于背鋁和背銀工序一般選取30Ncm,正銀工序則選取27Ncm(見圖9)。 圖9 絲網(wǎng)受力變化示意圖印刷厚度:絲網(wǎng)和感光膜的厚度決定印刷后圖形的厚度即線條的厚度,如圖10所示,在一般情況下,絲網(wǎng)目數(shù)越低,絲經(jīng)越粗,印刷后的漿料層就越高,所用絲網(wǎng)目數(shù)較高時(shí),印刷后漿料層就低一些。感光膜的厚度與絲網(wǎng)目數(shù)和線條的寬度有關(guān):目數(shù)越高,絲徑越細(xì),感光膜與絲網(wǎng)的接觸面積越小,二者的附著力減小,如果印刷線條變窄,增加感光膜的厚度易造成脫落,所以感光膜較薄,感光膜的厚度約為絲網(wǎng)厚度的1525;對(duì)于
11、背鋁和背銀工序,選取250目絲網(wǎng),其厚度為58um,感光膜厚度為1015um,則印后厚度為6873m,這里計(jì)算出來的厚度時(shí)漿料的濕厚度(wetthickness)需經(jīng)過烘干(dry)和燒結(jié)(fire)才是最終厚度(干厚度),干厚度是濕厚度的30%40%;對(duì)于正銀工序,選取330目絲網(wǎng),其厚度為44um,感光膜厚度為510m,則印后濕厚度約為4954m。 圖10 絲網(wǎng)涂布感光膠后選擇絲網(wǎng)絲徑及目數(shù)時(shí),要求網(wǎng)格的孔長(zhǎng)為漿料粉體粒徑的2.55倍;目數(shù)越低絲網(wǎng)越稀疏,網(wǎng)孔越大,油墨通過性就越好;網(wǎng)孔越小,油墨通過性越差,如圖9所示。 網(wǎng)框:網(wǎng)框大多采用硬鋁及鋁合金以承受繃網(wǎng)所產(chǎn)生的力,連接絲網(wǎng)的底面需
12、要較高的平面度,約為0.04mm150mm150mm;網(wǎng)框規(guī)格一般為承印物的2倍:以150mm電池片為例,承印物面積為150mm150mm,網(wǎng)框內(nèi)口的面積應(yīng)為300mm300mm,如圖11。 圖10 絲網(wǎng)目數(shù)與漿料顆粒的關(guān)系4.3 漿料 漿料是由功能組份、粘結(jié)組份和有機(jī)載體組成的一種流體,漿料有導(dǎo)體漿料、電阻漿料、介質(zhì)漿料和包封漿料等。在背銀,背鋁及正銀工序中所用漿料為導(dǎo)體漿料。在導(dǎo)體漿料中,功能組份一般為貴金屬或貴金屬的混合物。載體是聚合物在有機(jī)溶劑中的溶液。功能組份決定了成膜后的電性能和機(jī)械性能。載體決定了厚膜的工藝特性,是印刷膜和干燥膜的臨時(shí)粘結(jié)劑。功能組份和粘結(jié)組份一般為粉末狀,在載體
13、中進(jìn)行充分?jǐn)嚢韬头稚⒑笮纬筛酄畹暮衲{料。燒結(jié)后的厚膜導(dǎo)體是由金屬與粘結(jié)組份組成。 圖11 網(wǎng)框外形漿料的技術(shù)性能指標(biāo)是指漿料中功能成分(背銀漿料中的銀鋁成分、正銀漿料中的銀成分,背漿料中的鋁成分)經(jīng)過烘干和燒結(jié)后與電池片的歐姆特性,其影響電池片的電性能指標(biāo)如開路電壓,短路電流,并聯(lián)電阻,串聯(lián)電阻,轉(zhuǎn)換率等技術(shù)指標(biāo);漿料的工藝特性是達(dá)到上述指標(biāo)的保證,各漿料生產(chǎn)廠商針對(duì)3種印刷工序有推薦的工藝參數(shù)如漿料的粒度、黏度,固體物含量,絲網(wǎng)的目數(shù);前面提到網(wǎng)格的孔長(zhǎng)為漿料粉體粒徑的2.55倍;漿料的粘度影響刮板條的印刷速度;固體物含量決定印刷后的濕厚度經(jīng)烘干和燒結(jié)后的最終厚度。背鋁及正銀三工序的漿料不
14、同,由此決定他們?cè)诮z網(wǎng)和印刷參數(shù)各有不同,表2為美國(guó)FERRO公司的都有相關(guān)工序的印刷漿料的特性。 表2 5 設(shè)備 對(duì)設(shè)備的要求有如下3點(diǎn): (1)工作臺(tái)的平面度。印刷時(shí)電池片被吸附于工作臺(tái)表面,如表面不平,在負(fù)壓下電池片易破裂,以150mm電池片為例,工作臺(tái)的平面度不大于0.02mm; (2)工作臺(tái)重復(fù)定位精度。根據(jù)太陽能電池片的精度要求,工作臺(tái)重復(fù)定位精度達(dá)到0.01mm即能滿足工藝要求; (3)印刷時(shí)絲網(wǎng)與工作臺(tái)的平行度決定印刷膜厚度的一致性,根據(jù)使用要求,以150mm電池片為例二者平行度為0.04mm。 電池片的平面度不大于0.02mm,表面粗糙度低于1.6。 6 結(jié)束語 太陽能電池印
15、刷是電池片生產(chǎn)線的重要工序,對(duì)電池片的質(zhì)量起著重要作用,太陽能電池印刷技術(shù)是一個(gè)有機(jī)的整體,是各種技術(shù)的組合,需要工藝工程師和設(shè)備工程師的協(xié)同工作:既要了解各個(gè)參數(shù)的特點(diǎn),又要了解其相互的制約關(guān)系;3種印刷工序既有相同之處又有區(qū)別,需要針對(duì)不同工序的具體要求分別優(yōu)化各工藝參數(shù),制定出不同工藝實(shí)施方案,方可印刷出符合工藝的產(chǎn)品。 晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路,將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太陽能電池從頭到尾整個(gè)生產(chǎn)工
16、藝流程中需要進(jìn)行多次絲網(wǎng)印刷步驟。通常,有兩種不同的工藝分別用于電池正面(接觸線和母線)和背面(電極/鈍化和母線)的絲網(wǎng)印刷?!颈?】表1:晶體硅太陽能電池的制造需要進(jìn)行多次絲網(wǎng)印刷步驟。應(yīng)用材料公司Baccini產(chǎn)品可以幫助實(shí)現(xiàn)綠色框中的步驟。多年來,太陽能絲網(wǎng)印刷設(shè)備在精度和自動(dòng)化方面有了很大進(jìn)步,具備了在微米級(jí)尺寸上重復(fù)進(jìn)行多次印刷的能力。這一發(fā)展開創(chuàng)了全新的先進(jìn)應(yīng)用,如雙重印刷和選擇性發(fā)射極金屬鍍膜。Baccini公司在20世紀(jì)70年代在微電子領(lǐng)域開發(fā)了絲網(wǎng)印刷技術(shù),并在20世紀(jì)80年代將這一技術(shù)擴(kuò)展到太陽能金屬鍍膜領(lǐng)域。今天,Baccini公司已成為應(yīng)用材料公司Baccini集團(tuán),以
17、多項(xiàng)先進(jìn)技術(shù)引領(lǐng)業(yè)界的發(fā)展?;镜奶柲芙z網(wǎng)印刷印刷過程從硅片放置到印刷臺(tái)上開始。非常精細(xì)的印刷絲網(wǎng)固定在網(wǎng)框上,放置在硅片上方;絲網(wǎng)封閉了某些區(qū)域而其它區(qū)域保持開放,以便導(dǎo)電漿料能夠通過【圖2】。硅片和絲網(wǎng)的距離要嚴(yán)格地控制(稱為印刷間隙)。由于正面需要更加纖細(xì)的金屬線,因此用于正面印刷的絲網(wǎng)其網(wǎng)格通常比用于背面印刷的要細(xì)小得多。表2:印刷絲網(wǎng)上包含打開和閉合的區(qū)域,通過打開的區(qū)域,導(dǎo)電漿料可以被印刷到硅片上。把適量的漿料放置于絲網(wǎng)之上,用刮刀涂抹漿料,使其均勻填充于網(wǎng)孔之中。刮刀在移動(dòng)的過程中把漿料通過絲網(wǎng)網(wǎng)孔擠壓到硅片上【圖3】。這一過程的溫度,壓力,速度和其他變量都必須嚴(yán)格控制。表3:
18、在絲網(wǎng)一端放置導(dǎo)電漿料,用刮刀在將漿料涂抹于絲網(wǎng),并從網(wǎng)孔中擠壓到硅片上。每次印刷步驟后,硅片被放入烘干爐,使導(dǎo)電漿料凝固。接著,硅片被送入另一個(gè)不同的印刷機(jī),在其正面或背面印制更多的線路。所有印刷步驟完成后,將硅片放入高溫爐里燒結(jié)。硅片正面和背面的印刷每塊太陽能電池的正面和背面都有通過絲網(wǎng)印刷淀積的導(dǎo)線【圖4】,它們的功能是不同的。正面的線路比背面的更細(xì);有些制造商會(huì)先印刷背面的導(dǎo)電線,然后將硅片翻過來再印刷正面的線路,從而最大程度地降低在加工過程中可能產(chǎn)生的損壞。在正面(面向太陽的一面),大多數(shù)晶體硅太陽能電池的設(shè)計(jì)都采用非常精細(xì)的電路(“手指線”)把有效區(qū)域采集到的光生電子傳遞到更大的采
19、集導(dǎo)線“母線”上,接著再傳遞到組件的電路系統(tǒng)中。正面的手指線要比背面的線路細(xì)得多(窄到80m)。正因?yàn)槿绱?,正面的印刷步驟需要更高的精度和準(zhǔn)確性。圖4:印刷后硅片正面會(huì)有大小不同的導(dǎo)線,用來從有效區(qū)域采集電能。.硅片的背面和正面的印刷要求是不同的,技術(shù)上也不那么嚴(yán)格。背面印刷的第一步工序是淀積一層以鋁為基礎(chǔ)的導(dǎo)電材料,而不是非常細(xì)的導(dǎo)電柵。同時(shí),能夠?qū)]有捕捉到的光反射回電池上。這一層也能“鈍化”太陽能電池,封閉多余分子路徑,避免流動(dòng)電子被這些空隙所捕捉。背面印刷的第二步是制造母線,和外部電路系統(tǒng)相連接【圖5】。圖5:背面的母線通過焊接可以實(shí)現(xiàn)和外部的連接。新一代絲網(wǎng)印刷的應(yīng)用如今晶體硅太陽能
20、電池的平均轉(zhuǎn)化效率是15%,業(yè)界的發(fā)展目標(biāo)是將轉(zhuǎn)化效率提高到20%以上,絲網(wǎng)印刷設(shè)備能夠提供多種方法幫助實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)。實(shí)現(xiàn)更高的轉(zhuǎn)化效率可以從以下兩個(gè)方面入手:電池工藝(創(chuàng)造出能夠?qū)⒐饽苻D(zhuǎn)化為電能的有效區(qū)域)和金屬鍍膜(形成導(dǎo)電金屬線)。雙重印刷電池正面導(dǎo)電線路的一個(gè)負(fù)面效應(yīng)是陰影:導(dǎo)線阻擋了少量陽光,使其無法進(jìn)入電池的有效區(qū)域,從而降低了轉(zhuǎn)化效率【圖6】。為了將這種陰影效應(yīng)降到最低,導(dǎo)線必須盡可能做到最窄。然而,為了保持足夠的導(dǎo)電性,線條的高度必須增加,這樣才能保持同樣的橫截面積。實(shí)現(xiàn)更細(xì),更高導(dǎo)線橫截面的解決方案就是將多條導(dǎo)線重疊印刷。這就意味著絲網(wǎng)印刷機(jī)必須能夠高準(zhǔn)確度、高重復(fù)性地印刷非
21、常細(xì)小的線條當(dāng)前的標(biāo)準(zhǔn)線條小到80m相當(dāng)于人類一根頭發(fā)絲的平均厚度。圖6:導(dǎo)線阻擋光線,使其無法到達(dá)電池有效區(qū)域現(xiàn)在大多數(shù)導(dǎo)線燒結(jié)后的尺寸是110-120m寬,12-15m高。這樣尺寸的線條由于陰影效應(yīng)帶來的轉(zhuǎn)化效率損失大約為1.29%。要減少這一損耗,導(dǎo)線寬度必須降低;同時(shí),需要增加導(dǎo)線橫截面的高度,以此優(yōu)化導(dǎo)電性能?!緢D7】。導(dǎo)線橫截面尺寸從110m寬/12m高轉(zhuǎn)變?yōu)?0m寬/30m高之后,潛在的轉(zhuǎn)化效率絕對(duì)增益為0.5%。圖7:降低線條寬度減少了有效區(qū)域的陰影,從而提高潛在轉(zhuǎn)化效率應(yīng)用材料公司Baccini的方法是用兩臺(tái)不同的印刷機(jī)將兩種材料進(jìn)行重疊印刷。這一最新的工藝在實(shí)際生產(chǎn)環(huán)境下實(shí)
22、現(xiàn)了80m寬、平均30m高的導(dǎo)線橫截面尺寸。這種方法減少了大約20%的陰影損失,相應(yīng)的也降低了電阻系數(shù)。通過在現(xiàn)有生產(chǎn)線上增加一臺(tái)額外的絲網(wǎng)印刷機(jī)和烘干爐,就能非常方便地以一種具有成本效益的方式實(shí)現(xiàn)多次印刷工藝。導(dǎo)線雙重印刷(和其它的先進(jìn)印刷應(yīng)用)最關(guān)鍵的一點(diǎn)在于對(duì)準(zhǔn)精度,因?yàn)榈诙佑∷⑽锉仨毞浅>珳?zhǔn)地置于第一層之上。應(yīng)用材料公司Baccini的最新研發(fā)成果使第二層印刷物的對(duì)齊精度達(dá)到+/15m。這一技術(shù)采用了新型的高分辨率照相機(jī)和新的軟件算法,具有自動(dòng)調(diào)整程序,并可以在印刷初始階段進(jìn)行額外控制。此外,漿料配方和絲網(wǎng)設(shè)計(jì)必須經(jīng)過仔細(xì)的共同優(yōu)化,從而最大限度地實(shí)現(xiàn)絲網(wǎng)印刷的硬件和工藝效能。 選擇性發(fā)射極另外一個(gè)新興的應(yīng)用是選擇性發(fā)射極技術(shù)在絲網(wǎng)印刷的金屬線下精確地制造一個(gè)重度摻雜的n+區(qū)域,以便進(jìn)一步降低接觸電阻,從而實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)化效率的提高?!緢D8】圖8:選擇性發(fā)射極是一個(gè)直接位于金屬線下的重度摻雜區(qū)域制
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