電鍍藥水化驗(yàn)操作規(guī)范

1、電鍍藥水化驗(yàn)操作規(guī)范制作單位：品保部 文件編號：QY-QA3009-05制作日期：2010/01/20版 本 號：D1總 頁 數(shù)：第05-1頁 共10頁工序槽名體積分析項目控制范圍分析頻率分析方法及計算公式化學(xué)沉銅線PTH清潔1線886L2線820LC D-2101次/班(1)取5ml槽液加入250ml錐形瓶中加50ml純水及甲酚紅指示劑用0.1N鹽酸滴至綠黃為終點(diǎn)體積為V (2)計算:CD-210(N)=0.2*N*V (3)補(bǔ)加:CD-210(L)=(0.20-測)*0.263V槽微蝕 1線886L 2線900LSPS65-95g/l3次/班(1) 取樣品2ml加DI水50ml、10% H

2、2SO4 10ml,用移液管取100g/l(NH4)2Fe(SO4)210ml. (2)用0.1N KMnO4滴定至淺紅色為終點(diǎn),滴定毫升數(shù)A. (3)取DI水代替樣品,重復(fù)上述步驟,滴定毫升數(shù)為B. (4)計算:SPS(g/l)=5.95(B-A) (5)補(bǔ)加:SPS(kg)=(80-測)*V槽/1000H2SO42.0-3.0%(1) 取樣品2ml加DI水50ml,加入甲基橙指示劑3-4滴. 用0.5NNaOH標(biāo)液滴定至黃色即為終點(diǎn).滴定毫升數(shù)為V. (2)計算H2SO4(%)=1.33NV% (3)補(bǔ)加:H2SO4(L)=(2.5-測)*V槽/100Cu2+25g/l(1)取樣品2ml加

3、入DI水50ml, 加入20ml PH=10的緩沖液, 加PAN指示劑2-3滴用0.05N EDTA-2Na滴至黃色即為終點(diǎn). (2)計算Cu2+(g/l)=63.5*N*V/2微蝕速率30-50U1次/班(1) 取abcm的覆銅基板經(jīng)酸性除油水洗在120烘干30分鐘,冷卻稱重W1. (2) 經(jīng)微蝕槽(與流程微蝕槽時間一樣)水洗,吹干在120烘干30分鐘,冷卻稱重W2. (3)計算:U=(W1-W2)*106/（2ab*8.92*2.54）電鍍藥水化驗(yàn)操作規(guī)范制作單位：品保部 文件編號：QY-QA3009-05制作日期：2010/01/20版 本 號：D1總 頁 數(shù)：第05-2頁 共10頁工序

4、槽名體積分析項目控制范圍分析頻率分析方法及計算公式化學(xué)沉銅線PTH化 學(xué) 銅 (1線2000L 2線2526L)Cu2+3次/班(1) 取試樣20ml于錐形瓶中,加入20%硫酸15ml,20%KI10ml,逐滴滴加硫代硫酸鈉至淡黃色，加10%KSCN 20ml加數(shù)滴淀粉并用0.1N硫代硫酸鈉滴至白色為終點(diǎn)，體積為V。 (2)計算:Cu2+(g/l)=3.175*N*V . (3)補(bǔ)加：EC-251A(L)=(2-測)*26.67NaOH8-10g/l(1) 取試樣5ml加50mlDI水以0.1N HCl滴至PH=10.5,滴定毫升數(shù)為A,加10ml 10% Na2SO3用0.1N HCl 滴至

5、PH=10.5滴定數(shù)為B (2)計算:NaOH(g/l)=8*A*N HCHO(g/l)=6*B*N (3)補(bǔ)加:EC-251B(L)=(9-測值)*6.67 EC-251C(L)=(6-測值)*8.33HCHO5-7g/l絡(luò)合劑0.05N(1) 取5ml槽液放入錐形瓶中加0.2gMX指示劑搖勻用0.01N硫酸銅標(biāo)液滴至綠色為終點(diǎn)(2)計算:絡(luò)合劑(N)=0.002v+0.0158Cu2+ (3)補(bǔ)加:EC-251M(L)=(0.06-測)*2667沉積速率0.4-0.6m1次/班(1) 將ab的無銅基板按化銅正常流程走出后,將試驗(yàn)板放入250ml燒杯中,加20ml PH=10緩沖液和7-8滴

6、H2O2,加50mlDI水和5滴PAN指示劑用0.05N EDTA滴定至蘋果綠為終點(diǎn).滴定數(shù)為V. (2)沉積厚度(m )=635NV/(2ab*8.92)除 膠 渣 總錳60-70g/l1次/班(1) 取1ml槽液于250ml錐形瓶中,加50mLDI水，加入10mL 20% KI和10ml 50% HNO3 (2) 用0.1N Na2S2O3 滴至淡黃色加1%淀粉指示劑5-6滴,再用0.1N Na2S2O3滴至無色,記下一共所需毫升數(shù). (3)計算:Mn(g/l)=31.6NV (4)補(bǔ)加:KMnO4(kg)=(65-測值)*V/1000水化驗(yàn)操作規(guī)范制作單位：品保部 文件編號：QY-QA3

7、009-05制作日期：2010/01/20版 本 號：D1總 頁 數(shù)：第05-3頁 共10頁工序槽名(體積)分析項目控制范圍分析頻率分析方法及計算公式化學(xué)沉銅線PTH除 膠 渣 ( 1線1800L 2線2616L)六價錳1.145用量程為1.1-1.2的比重計測,直接讀數(shù).速化1線886L2線900LAL-242B0.9-1.3%1次/班(1)取加速槽液5mL于錐形瓶中加入50mL水加入6N鹽酸25mL,加入20%碘化鉀10ml用0.1N硫代硫酸鈉標(biāo)液滴定至黃色, 加入淀粉指示劑繼續(xù)滴至無色為終點(diǎn)。(2)計算:AL-242B(%)=1.2NV% (3)補(bǔ)加:AL-242B(L)=(1.2%-測

8、)*V槽PH用PH計直接測量電鍍藥水化驗(yàn)操作規(guī)范制作單位：品保部 文件編號：QY-QA3009-05制作日期：2010/01/20版 本 號：D1總 頁 數(shù)：第05-5頁 共10頁工序槽名(體積)分析項目控制范圍分析頻率分析方法及計算公式脈 沖 電 鍍 線銅槽1500LH2SO4210-230g/L1次/3天計算與分析方法同一銅線銅槽硫酸CuSO4.5H2O60-80g/L1次/3天計算與分析方法同一銅線硫酸銅CL-55-85ppm1次/3天計算與分析方法同一銅線CL-光劑3-5mL/L1次/周計算與分析方法同一銅線光劑哈氏試驗(yàn)1次/周電流2A ，記時5min，由赫爾槽打哈氏片判定，哈氏看板三

9、個月一換污染指數(shù)120uA1次/周由CVS儀直接測定酸洗700LH2SO49-11%1次/3天計算與分析方法同一銅線酸洗脫銅600LHNO3300-500mL/L1次/3天計算與分析方法同一銅線脫銅電鍍藥水化驗(yàn)操作規(guī)范制作單位：品保部 文件編號：QY-QA3009-05制作日期：2010/01/20版 本 號：D1總 頁 數(shù)：第05-6頁 共10頁工序槽名(體積)分析項目控制范圍分析頻率分析方法及計算公式填 孔 電 鍍 線銅槽H2SO4210-230g/L1次/3天計算與分析方法同一銅線銅槽硫酸CuSO4.5H2O60-80g/L1次/3天計算與分析方法同一銅線硫酸銅CL-55-85ppm1次

10、/3天計算與分析方法同一銅線CL-光劑1次/周計算與分析方法同一銅線光劑潤濕劑7-11mL/L1次/周1） 用 8mL/L的潤濕液作標(biāo)準(zhǔn)曲線并保存2） 把槽液放在吸管下,把VMS液放在電極下,按分析即可,記錄數(shù)據(jù)整平劑6-10mL/L1次/周1) 作整平劑曲線并保存2) 用50mL的含LEVER標(biāo)準(zhǔn)液作INTERCEPT,再加入50mL槽液,并加光劑(6-光劑測值)/20毫升,潤濕劑 (25-潤濕測值)/20毫升,按分析即可,記錄數(shù)據(jù)哈氏試驗(yàn)1次/周電流2A ，記時5min，由赫爾槽打哈氏片判定，哈氏看板三個月一換污染指數(shù)120uA1次/周由CVS儀直接測定預(yù)浸預(yù)浸劑9-11%1次/周1) 用

11、75mL的INTERCEPT標(biāo)準(zhǔn)液作空白2) 加入25mL的預(yù)浸槽液按分析即可,記錄數(shù)據(jù)酸洗H2SO49-11%1次/3天計算與分析方法同一銅線酸洗脫銅HNO3300-500mL/L1次/3天計算與分析方法同一銅線脫銅電鍍藥水化驗(yàn)操作規(guī)范制作單位：品保部 文件編號：QY-QA3009-05制作日期：2010/01/20版 本 號：D1總 頁 數(shù)：第05-7頁 共10頁工序槽名(體積)分析項目控制范圍分析頻率分析方法及計算公式一 次 電 鍍 銅 1# 線電 鍍 銅 槽 (12000L)H2SO4200-240g/l1次/3天(1) 取1ml樣于250ml錐形瓶中,加入50mlDI水,加2-3滴甲

12、基橙.用0.5N NaOH標(biāo)準(zhǔn)液滴定至黃色為終點(diǎn),滴定毫升數(shù)為V .(2) 計算:H2SO4=49*N*V (3) 補(bǔ)加:H2SO4=(220-測)*7.9CuSO45H2O55-75g/l(1) 取1ml樣于錐形瓶中加PH=10的緩沖液至溶液呈深藍(lán)色,加50mlDI水加2-3滴PAN指示劑用0.05N EDTA-2Na滴至黃綠色為終點(diǎn),滴定毫升數(shù)為V (2) 計算: CuSO45H2O(g/l)=250*N*V.(3)補(bǔ)加: CuSO45H2O(Kg)=(65-測)*5.5Cl-40-80ppm(1)取樣25ml置入錐形瓶中,加入50mlDI水,加入25ml50%HNO3搖勻,作其后之比較

13、(2)重復(fù)上述步驟,將測試液加5-6滴0.1N AgNO3標(biāo)液.(3)用0.01N Hg(NO3)2滴定至清晰為止,再滴1-2滴,如澄清則已到終點(diǎn),如渾濁則繼續(xù)滴直到清晰,清晰度與此液比較核實(shí). (4)計算:Cl-(ppm)=1420*N*V (5)添加:HCl(mL)=(60-測)*14.5哈氏試驗(yàn)1次/周電流2A ，記時5min，由赫爾槽打哈氏片判定，哈氏看板三個月一換光劑含量1-3mL/L1次/周由CVS儀直接測定污染指數(shù)120uA1次/周由CVS儀直接測定脫銅(2800L)HNO3300-500ml/l1次/3天(1)取樣1ml于250ml錐形瓶中,加入50mlDI水,用2-3滴甲基橙

14、指示劑0.5NNaOH滴至黃色為終點(diǎn),記下NaOH之毫升數(shù)V. (2)計算:HNO3(L)=65.94*V*N (3)補(bǔ)加:HNO3(L)=(400-測)*V槽/1000酸洗(1600L)H2SO46-8%同PTH線微蝕槽中H2SO4的分析養(yǎng)板槽(1000L)H2SO40.5-1.0%1次/班同PTH線微蝕槽中H2SO4的分析電鍍藥水化驗(yàn)操作規(guī)范制作單位：品保部 文件編號：QY-QA3009-05制作日期：2010/01/20版 本 號：D1總 頁 數(shù)：第05-8頁 共10頁工序槽名(體積)分析項目控制范圍分析頻率分析方法及計算公式一 次 電 鍍 銅 2# 線電 鍍 銅 槽 (5500L)H2

15、SO4200-240g/l1次/3天(1) 取1ml樣于250ml錐形瓶中,加入50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5N NaOH標(biāo)準(zhǔn)液滴定至黃色為終點(diǎn),滴定毫升數(shù)為V .(2) 計算:H2SO4=49*N*V (3) 補(bǔ)加:H2SO4=(220-測)*17.1CuSO45H2O55-75g/l(1) 取1ml樣于錐形瓶中加PH=10的緩沖液至溶液呈深藍(lán)色,加50mlDI水加2-3滴PAN指示劑用0.05N EDTA-2Na滴至黃綠色為終點(diǎn),滴定毫升數(shù)為V (2) 計算: CuSO45H2O(g/l)=250*N*V.(3) 補(bǔ)加: CuSO45H2O(Kg)=(65-測)*12Cl-40

16、-80ppm(1) 取樣25ml置入錐形瓶中,加入50mlDI水,加入25ml50%HNO3搖勻,作其后之比較 (2) 重復(fù)上述步驟,將測試液加5-6滴0.1N AgNO3標(biāo)液.(3) 用0.01N Hg(NO3)2滴定至清晰為止,再滴1-2滴,如澄清則已到終點(diǎn),如渾濁則繼續(xù)滴直到清晰, 清晰度與此液比較核實(shí). (4) 計算:Cl-(ppm)=1420*N*V (5) 添加:HCl(mL)=(60-測)*31.5哈氏試驗(yàn)1次/周電流2A ，記時5min，由赫爾槽打哈氏片判定，哈氏看板三個月一換光劑含量1-3mL/L1次/周由CVS儀直接測定污染指數(shù)120uA1次/周由CVS儀直接測定脫銅(27

17、68L)HNO3300-500ml/l1次/3天(1)取樣1ml于250ml錐形瓶中,加入50mlDI水,用2-3滴甲基橙指示劑0.5NNaOH滴至黃色為終點(diǎn),記下NaOH之毫升數(shù)V. (2)計算:HNO3(L)=65.94*V*N (3)補(bǔ)加:HNO3(L)=(400-測)*V槽/1000酸洗(1600L)H2SO46-8%同PTH線微蝕槽中H2SO4的分析養(yǎng)板槽(1000L)H2SO40.5-1.0%1次/班同PTH線微蝕槽中H2SO4的分析電鍍藥水化驗(yàn)操作規(guī)范制作單位：品保部 文件編號：QY-QA3009-05制作日期：2010/01/20版 本 號：D1總 頁 數(shù)：第05-9頁 共10

18、頁工序槽名(體積)分析項目控制范圍分析頻率分析方法及計算公式一 次 電 鍍 銅 3# 線電 鍍 銅 槽 (3700L)H2SO4200-240g/l1次/3天（1） 取1ml樣于250ml錐形瓶中,加入50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5N NaOH標(biāo)準(zhǔn)液滴定至黃色為終點(diǎn),滴定毫升數(shù)為V .（2）計算:H2SO4=49*N*V （3）補(bǔ)加:H2SO4=(220-測)*7.9CuSO45H2O55-75g/l（1）取1ml樣于錐形瓶中加PH=10的緩沖液至溶液呈深藍(lán)色,加50mlDI水加2-3滴PAN指示劑用0.05N EDTA-2Na滴至黃綠色為終點(diǎn),滴定毫升數(shù)為V (2)計算: CuS

19、O45H2O(g/l)=250*N*V.(3)補(bǔ)加: CuSO45H2O(Kg)=(65-測)*5.5Cl-40-80ppm(1)取樣25ml置入錐形瓶中,加入50mlDI水,加入25ml50%HNO3搖勻,作其后之比較 (2)重復(fù)上述步驟,將測試液加5-6滴0.1N AgNO3標(biāo)液.(3)用0.01N Hg(NO3)2滴定至清晰為止,再滴1-2滴,如澄清則已到終點(diǎn),如渾濁則繼續(xù)滴直到清晰,清晰度與此液比較核實(shí). (4)計算:Cl-(ppm)=1420*N*V (5)添加:HCl(mL)=(60-測)*14.5哈氏試驗(yàn)1次/周電流2A ，記時5min，由赫爾槽打哈氏片判定，哈氏看板三個月一換光

20、劑含量1-3mL/L1次/周由CVS儀直接測定污染指數(shù)120uA1次/周由CVS儀直接測定脫銅(780L)HNO3300-500ml/l1次/3天(1)取樣1ml于250ml錐形瓶中,加入50mlDI水,用2-3滴甲基橙指示劑0.5NNaOH滴至黃色為終點(diǎn),記下NaOH之毫升數(shù)V. (2)計算:HNO3(L)=65.94*V*N (3)補(bǔ)加:HNO3(L)=(400-測)*V槽/1000酸洗(1200L)H2SO46-8%同PTH線微蝕槽中H2SO4的分析養(yǎng)板槽(1000L)H2SO40.5-1.0%1次/班同PTH線微蝕槽中H2SO4的分析電鍍藥水化驗(yàn)操作規(guī)范制作單位：品保部 文件編號：QY-QA3009-05制作日期：2010/01/20版 本 號：D1總 頁 數(shù)：第05-10頁 共10頁工序槽名(體積)分析項目控制范圍分析頻率分析方法及計算公式一 次 電 鍍 銅 4# 線電 鍍 銅 槽 (3700L)H2SO4200-240g/l1次/3天(1) 取1ml樣于250ml錐形瓶中,加入50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5N NaOH標(biāo)準(zhǔn)液滴定至黃色為終點(diǎn),滴定毫升數(shù)為V .(2)計算:H2SO4=49*N*V (3)補(bǔ)加:H2SO4=(2