隔振平臺分類及原理(減振平臺電鏡減振臺)

1、隔振平臺分類及原理(減振平臺、電鏡減振臺)理化phychemi一、分類隔振技術(shù)分為主動隔振和被動隔振主動隔振：通過傳感器和執(zhí)行器，提供大小相等，方向相反的力，抵消振動對目標(biāo)的影響被動隔振：通過機械裝置限制振動無源隔振：使用彈簧，彈性體，流體，或負(fù)剛度組件實現(xiàn)減振有源隔振：使用氣動系統(tǒng)實現(xiàn)。二、隔振原理(1)被動隔振技術(shù)-彈簧一個最簡單的無源隔離器。彈簧反作用于被減振物體，通過變形來吸收一定的能量。一個簡單的例子就是汽車減振器，在這種情況下，沖擊或振動產(chǎn)生機械能，被轉(zhuǎn)換為熱能，熱能被浸泡彈簧的油吸收，從而減少傳遞到車身上振動。其固有頻率可以做到很低，但是阻尼很小。優(yōu)點是擾動源頻率和系統(tǒng)固有頻率差

2、很遠時，隔振效果非常好。缺點就是一旦共振放大很嚴(yán)重。(2)被動隔振技術(shù)-橡膠橡膠也是通過變形來吸收振動。與彈簧的區(qū)別是，橡膠能在各個方向吸收。(3)被動隔振技術(shù)-氣動平臺氣動系統(tǒng)采用壓縮空氣活塞，吸收地面的振動。具缺點是結(jié)構(gòu)與操作復(fù)雜，需要外部氣源的支持。(4)被動隔振技術(shù)項剛度技術(shù)負(fù)剛度隔振臺提供一個簡單，可靠，高效隔振解決方案，可提供6自由度的隔離，低至0.5Hz或更低的諧振頻率。對于一個0.5赫茲系統(tǒng)，可隔離1Hz以上的振動，優(yōu)于氣動平臺5-10Hz的范圍可讓多個隔振臺一起使用。負(fù)載從幾十公斤到幾噸。易于使用和調(diào)整。比氣動平臺經(jīng)濟，占用更少的空間，且不需要進行維護。三、隔振設(shè)備種類(1)

3、MinusKBM-10超薄(2)MinusKBM-6經(jīng)濟型規(guī)格:18"Wx20"Dx4.6"H(457mmWx508mmDx117mmH)有效負(fù)載范圍：10-105lbs(4.5-48kg)水平：2.5Hz垂直：1.5Hz真空和潔凈室適用(3)隔振工作站?有著更好的人體工程學(xué)的舒適,是專門為超低固有頻率的應(yīng)用而設(shè)計的產(chǎn)品。?MinusK的專利負(fù)剛度隔振器：具有超低固有頻率的簡潔被動隔振光學(xué)臺更高的內(nèi)部結(jié)構(gòu)頻率和優(yōu)秀的垂直和水平隔震動效率?只要調(diào)整至0.5Hz固定頻率，我們的工作站就能實現(xiàn)2Hz下93%的阻隔效率，5Hz下99%的阻隔效率和10Hz下99.7%的阻隔效率?可以為各種應(yīng)用定制輔助工作平臺，圍欄，裝架，地震約束，可伸縮的腳輪，和許多其他選項?附帶KineticSystem動力系統(tǒng)四、隔振效果II-*：:二刈*以二,根癡minusk*用w呻Ibfrwi3d3J1NJ4S7HM34M觸FREQUENCY(Hz)TypicalQ.5HzTransmissibilityM2&BM-1VerticalFREQUENCY(Hz)五、應(yīng)用領(lǐng)域理化MinusK隔振平臺在顯微鏡微觀領(lǐng)域（顯微鏡（SPM）,掃描電鏡（SEM）,原子力顯微鏡（AFM等）、光學(xué)領(lǐng)