ITO玻璃淺顯的知識講解

1、11ITO玻璃入門知識玻璃入門知識12 ITO( ITO(Indium Tin Oxide) )玻璃簡介玻璃簡介 在普通玻璃的一個表面鍍上一層氧化銦錫的在普通玻璃的一個表面鍍上一層氧化銦錫的導電膜，就形成了導電膜，就形成了LCD常用的氧化銦錫玻璃，通常用的氧化銦錫玻璃，通常簡稱為常簡稱為ITO玻璃。玻璃。特點特點：不僅要求導電性能好，而且還要具有玻：不僅要求導電性能好，而且還要具有玻璃一樣高的透明度璃一樣高的透明度一、什么是一、什么是ITO13ITO玻璃的基本結(jié)構(gòu)玻璃的基本結(jié)構(gòu):基板基板sio2 ITO二、二、ITO玻璃的基本結(jié)構(gòu)玻璃的基本結(jié)構(gòu)14基板基板: 常用的基板厚度有常用的基板厚度有1

2、.1mm;0.7mm;0.55mm;0.5mm,0.4mm 基板的主要生產(chǎn)廠家有：板硝子、旭硝子、洛玻基板的主要生產(chǎn)廠家有：板硝子、旭硝子、洛玻 根據(jù)材料的不同根據(jù)材料的不同,通常分為鈉鈣玻璃和硼硅玻璃兩種通常分為鈉鈣玻璃和硼硅玻璃兩種;LCD行業(yè)行業(yè)中較常用的為鈉鈣型玻璃中較常用的為鈉鈣型玻璃.優(yōu)點優(yōu)點缺點缺點鈉鈣型玻璃鈉鈣型玻璃成本低成本低含有鈉、鉀等離子含有鈉、鉀等離子, ,易產(chǎn)易產(chǎn)生滲透生滲透, ,影響產(chǎn)品性能影響產(chǎn)品性能硼硅型玻璃硼硅型玻璃玻璃硬度高玻璃硬度高, ,透透過率好過率好成本較高成本較高二、二、ITO玻璃的基本結(jié)構(gòu)玻璃的基本結(jié)構(gòu)15（1）Si02層的作用層的作用:主要是防止

3、鈉鈣型基板中的金屬離子擴散滲透到主要是防止鈉鈣型基板中的金屬離子擴散滲透到ITO層中層中,影響影響ITO層的導電能力層的導電能力.（2）SiO2層的膜厚層的膜厚: 標準膜厚一般為標準膜厚一般為20-30nm二、二、ITO玻璃的基本結(jié)構(gòu)玻璃的基本結(jié)構(gòu)Si02層：層：16ITO(Indium Tin Oxid)層層:為氧化銦錫的透明導電層為氧化銦錫的透明導電層,其中其中I表示表示In2O3，T表示表示SnO2,一般一般Sn（即即Tin)的含量約為的含量約為10%。隨著隨著ITO層厚度的增加層厚度的增加,ITO層的厚度逐漸減小層的厚度逐漸減小.-應(yīng)改為應(yīng)改為“隨著隨著ITO電阻值的增加電阻值的增加,

4、ITO層的厚度逐漸減小。層的厚度逐漸減小?！倍⒍?、ITO玻璃的基本結(jié)構(gòu)玻璃的基本結(jié)構(gòu)17三、三、ITO玻璃的分類玻璃的分類根據(jù)基板玻璃表面狀態(tài)的不同，通常分為以下三種類型：根據(jù)基板玻璃表面狀態(tài)的不同，通常分為以下三種類型：類型類型說明說明TNTN未拋光型未拋光型直接在玻璃的浮法面進行鍍膜HTNHTN簡單拋光型簡單拋光型/TN/TN精選玻璃精選玻璃將玻璃的浮法面進行簡單的拋光后,在拋光面進行鍍膜STNSTN超拋光型超拋光型將玻璃的浮法面進行精細的拋光后,在拋光面進行鍍膜18四、四、ITO玻璃的生產(chǎn)工藝流程玻璃的生產(chǎn)工藝流程ITO玻璃的生產(chǎn)工藝流程主要分為以下三個步驟：玻璃的生產(chǎn)工藝流程主要分為

5、以下三個步驟：（1）切割倒角；（2）拋光；（3）鍍膜注：注：TN型玻璃不需要拋光。生產(chǎn)工藝流程更簡單。型玻璃不需要拋光。生產(chǎn)工藝流程更簡單。19ITO玻璃簡要生產(chǎn)工藝流程如下：玻璃簡要生產(chǎn)工藝流程如下：原片來原片來料檢驗料檢驗切割切割磨邊磨邊倒角倒角清洗清洗檢驗檢驗清洗清洗拋光拋光檢查檢查SI02鍍膜鍍膜ITO鍍膜鍍膜檢驗檢驗包裝包裝入庫入庫四、四、ITO玻璃的生產(chǎn)工藝流程玻璃的生產(chǎn)工藝流程TN型玻璃不需經(jīng)此流程110五、五、ITO玻璃的評價參數(shù)玻璃的評價參數(shù)5.1透過率：透過率：在波長為在波長為550nm的光波照射下，具有的光波照射下，具有SI02阻檔層玻璃的透過率不阻檔層玻璃的透過率不小于

6、小于80%，其主要取決于玻璃材料、，其主要取決于玻璃材料、ITO厚度和折射率。厚度和折射率。 透過率定義：透過率定義：透過玻璃的光通量透過玻璃的光通量T2與入射光通量與入射光通量T1之比的百分率之比的百分率Tt=T2/T1X100%。1115.2方塊電阻方塊電阻:如圖如圖d為膜厚，為膜厚，I為電流，為電流，L1為膜厚在電流方向上的長度，為膜厚在電流方向上的長度，L2為膜層在垂為膜層在垂直電流方向的長度，直電流方向的長度，為導電膜的體電阻率。為導電膜的體電阻率。和和d可以認為是不變的可以認為是不變的定值，當定值，當L1=L2時，為正方形的膜層，無論方塊大小如何，其電阻率時，為正方形的膜層，無論方

7、塊大小如何，其電阻率為定值為定值/ d，這就是方塊電阻的定義，即，這就是方塊電阻的定義，即R= / dL2L1dIR=L1/(dL2)五、五、ITO玻璃的評價參數(shù)玻璃的評價參數(shù)1125.3平整度平整度:平整度可用平整度可用h/1表示，意思為在長度為表示，意思為在長度為L的范圍內(nèi)，表面最高點與最低的范圍內(nèi)，表面最高點與最低點的差值為點的差值為h。 Lh玻璃微玻璃微觀表面觀表面ITO玻璃基板平整度參數(shù)包括：玻璃基板平整度參數(shù)包括： 1、玻璃表面粗糙度；、玻璃表面粗糙度； 2、基板表面波紋度；、基板表面波紋度； 3、基板翹曲度；、基板翹曲度； 4、基板垂直度；、基板垂直度； 5、ITO膜表面粗糙度；

8、膜表面粗糙度； 6、ITO玻璃基板、膜厚均勻度。玻璃基板、膜厚均勻度。 五、五、ITO玻璃的評價參數(shù)玻璃的評價參數(shù)1135.3.2基板翹曲度基板翹曲度:用用h/L表示表示(如圖如圖) 即翹曲的高度與翹起邊的長度之比即翹曲的高度與翹起邊的長度之比Lh 其中要求如下其中要求如下: 厚度厚度0.7mm的基片玻璃，的基片玻璃， 翹曲度（翹曲度（h/L）0.1%。 厚度厚度0.55mm的基片玻璃，翹曲度（的基片玻璃，翹曲度（h/L）0.15%。 不允許有不允許有S形翹曲形翹曲五、五、ITO玻璃的評價參數(shù)玻璃的評價參數(shù)1145.3.3基板垂直度基板垂直度:用用a/L表示表示(如圖如圖) 用來描述玻璃基板四

9、條邊互相垂直的程度用來描述玻璃基板四條邊互相垂直的程度La通常通常a/L0.1%五、五、ITO玻璃的評價參數(shù)玻璃的評價參數(shù)1155.4化學穩(wěn)定性化學穩(wěn)定性:ITO鍍膜層的耐化學性能應(yīng)符合表鍍膜層的耐化學性能應(yīng)符合表2中技術(shù)要求。中技術(shù)要求。a) 耐堿性耐堿性 鍍層在溫度為鍍層在溫度為602, 濃度為濃度為10%的氫氧化鈉的氫氧化鈉(分析純分析純)溶液中浸泡溶液中浸泡5分分鐘鐘, ITO膜的方電阻與浸泡前的方電阻相比不得超過膜的方電阻與浸泡前的方電阻相比不得超過110%。b) 耐酸性耐酸性 在在252, 6%鹽酸鹽酸(分析純分析純)溶液中浸泡溶液中浸泡2分鐘分鐘, ITO膜的方電阻與浸泡膜的方電

10、阻與浸泡前的方電阻相比不得超過前的方電阻相比不得超過110%。c) 耐溶劑性能耐溶劑性能 將鍍膜玻璃放入丙酮將鍍膜玻璃放入丙酮(分析純分析純)、無水乙醇、無水乙醇(分析純分析純) 中浸泡中浸泡5分鐘后，分鐘后，ITO膜的方電阻與浸泡前的方電阻相比不得超過膜的方電阻與浸泡前的方電阻相比不得超過110%。五、五、ITO玻璃的評價參數(shù)玻璃的評價參數(shù)1165.5熱穩(wěn)定性熱穩(wěn)定性:在空氣中經(jīng)在空氣中經(jīng)30分鐘分鐘3005（觸摸屏用（觸摸屏用ITO玻璃是在玻璃是在2005）高）高溫后，溫后，ITO膜的方阻的變化率小于膜的方阻的變化率小于300% 5.6附著力附著力:用用3M膠帶粘在玻璃表面迅速撕開膠帶粘在

11、玻璃表面迅速撕開,ITO層無明顯開裂現(xiàn)象層無明顯開裂現(xiàn)象五、五、ITO玻璃的評價參數(shù)玻璃的評價參數(shù)117六、六、ITO膜面的判定膜面的判定拉伸浮法方向相關(guān)定義相關(guān)定義:浮法方向浮法方向:在基板玻璃制造過程中在基板玻璃制造過程中,液態(tài)玻璃流動的方向液態(tài)玻璃流動的方向.118ITO膜面主要判定方法膜面主要判定方法:(1)將萬用表打至歐姆檔將萬用表打至歐姆檔,用探針分別測試兩個點用探針分別測試兩個點,如果顯示不為如果顯示不為”1”,則則所測試面為所測試面為ITO膜面膜面;(2)用方塊電阻測試儀測試面電阻用方塊電阻測試儀測試面電阻,如果顯示電阻值無窮大如果顯示電阻值無窮大,測所測面為測所測面為非非IT

12、O膜面膜面(3)通過大角識別通過大角識別:以以1614英寸的玻璃為例英寸的玻璃為例六、六、ITO膜面的判定膜面的判定119七、七、ITO玻璃使用常見問題玻璃使用常見問題ITOITO玻璃異常玻璃異常LCDLCD的影響的影響基板中的鈉離子發(fā)生滲透字肥基板的波紋度較差排骨彩虹基板的粗糙度較差涂膜的均勻性；點狀彩虹面電阻不均蝕刻易發(fā)生斷短路玻璃表面較臟內(nèi)污,短斷路ITO測射不均上下短路翹曲度差LCD生產(chǎn)中定位不準表面?zhèn)?、異物、氣泡LCD顯示效果異常磨邊倒角粗糙制程中易破損常見常見ITO玻璃異常對玻璃異常對LCD產(chǎn)品的影響產(chǎn)品的影響:120八、八、ITO玻璃的使用注意事項玻璃的使用注意事項主要注意事項主要注意事項:1、ITO玻璃連同包裝應(yīng)存放在干燥、陰涼、清潔的環(huán)境中，玻璃連同包裝應(yīng)存放在干燥、陰涼、清潔的環(huán)境中，溫度溫度28度以下，濕度不大于度以下，濕度不大于70%RH為宜；為宜；2、ITO玻璃的貯存期不應(yīng)超過半年，包裝打開后應(yīng)盡快用完，玻璃的貯存期不應(yīng)超過半年，包裝打開后應(yīng)盡快用完，如不能盡快用完，應(yīng)重新密封；如不能盡快用完，應(yīng)