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文檔簡介
1、.InGaAsN在MBE上的外延生長技術(shù)及太陽能電池的制備查閱了很多文獻,大部分都是研究退火溫度、氮成分含量、生長溫度等1. N的濃度。相對MOCVD,MBE的氮濃度相比照較小這將會影響相關(guān)氮化物的缺陷1。 2. 后快速退火溫度RTA影響InGaAsN晶體的質(zhì)量長量子阱2。3. 氮成分的不同與生長溫度的控制對InGaAsN的影響 3。氮成分:生長溫度:4.1 A comparison of MBE- and MOCVD-grown InGaAsN. A.J. Ptak, D.J. Friedman and S.W. JohnstonNational Renewable Energy Labor
2、atory, 1617 Cole Blvd., Golden, CO 804012 MBE Growth of Thick InGaAsN Layers with Absorption Edge at 1.95m onInP Subst rates. K.Miura, Y.Nagai, Y.Iguchi, H.Okada1, Y.Kawamura2,33 Optical characterization of InGaAsN layers grown on InP substrates. M. Yoshikawa a, K.Miura b, Y.Iguchi b, Y.Kawamura a, a:Frontier ScienceInnovationCenter,OsakaPrefectureUniversity,1-2Gakuen-cho,Naka-ku,Sakai,Osaka599-8570,Japan b:TransmissionDevicesR&DLaboratories,Sumitomo ElectricIndustries,Ltd.1-1-3
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