靜電防護管制程序

1、XXXX 科 技 股 份 有 限 公 司編號頁次第 1 頁共 8 頁文件名稱：靜電防護管制程序版次一、制訂維護人員：職稱姓名日期 二、會審紀錄： 三、核準：(本份文件修訂紀錄表共 1頁)XXXX科技股份有限公司文件修訂紀錄表窗體版次：A0文件編號文件名稱：靜電防護管制程序 修訂日期ADMC修訂內(nèi)容版次修訂者備注修訂種類：A：增加 D：減少 M：修改 C：章節(jié)XXXX 科 技 股 份 有 限 公 司編號頁次第 8 頁共 8 頁文件名稱：靜電防護管制程序版次一、目的：1.1 建立并定義本公司靜電敏感組件及靜電防護區(qū)域內(nèi)管制規(guī)范。1.2 提供一個適當?shù)臏蕜t，以保護所有靜電敏感組件免于受到靜電放電損害

2、。1.3 確保所有人員進入靜電防護區(qū)域人員明了靜電防護設備設施及正確觀念，特訂本管制程序期能靜電放電傷害降到最低。二、范圍：依據(jù)ANSI/ESD S20.20 進行規(guī)范，凡屬本公司之靜電防護措施及靜電防護區(qū)域均適用。三、權(quán)責：3.1 組件敏感等級之判定：各產(chǎn)品設計研發(fā)處。3.2 組件敏感等級數(shù)據(jù)提供：各產(chǎn)品設計研發(fā)處及采購部。3.3 ESD量測設備量規(guī)儀器校正：質(zhì)量工程部。3.4 ESD教育訓練導入：人力資源部。3.5 ESD日常作業(yè)量測： 靜電防護小組。3.6 ESD防護稽核驗證：靜電防護小組/質(zhì)量管理部。3.7 供貨商ESD防護稽核：供貨商實地評鑒小組。 四、定義：4.1 ESD ：靜電放

3、電：物質(zhì)表面的正/負電分離所造成電位。4.2 E.P.A：靜電防護區(qū)：能限制靜電壓包含物料及設備的工作環(huán)境。4.3 ESDS：靜電放電敏感度：對組件特性產(chǎn)生改變，致使組件無法符合其特定特性下的ESD最低水平。4.4 HBM；人體模式：由人體的指尖接觸 ESDS 產(chǎn)品而放電。4.5 CDM；組件充電裝置模式：由組件本身放電至周圍對象。4.6 MM ；機械模式：由設備本體接觸 ESDS 產(chǎn)品而放電。4.7 C.G.P.；靜電防護區(qū)中一個共享的接地點。4.8 離子化：將中性空氣分子分離為帶正/負電的分子。4.9 ANSI/ESD S20.20：美國標準靜電防護規(guī)范。4.10 靜電防護小組：包括項目經(jīng)

4、理/總務/研發(fā)/生產(chǎn)/工程/品保/采購/倉管/RMA代表。五、ESD作業(yè)管制：5.1 接地系統(tǒng)：5.1.1 靜電地樁阻抗值小于 10，每年委外量測并出俱靜電接地阻抗測試報告。5.1.2 設備接地回路阻抗值小于1。所有生產(chǎn)設備之AC-INPUT必須為三插頭。有接地端之電源機器設備一律接地。用電表檔量測電源接電箱與接地線，并確認是否導通。廠內(nèi)回路阻抗必須小于1，且每半年量測一次。記錄于設備接地量測記錄表(接地線顏色：AC電源接地線及儀器設備為綠色。)并符合表格1及政府電工法規(guī)之要求。表格1技術(shù)要求實施方案測試方式強制限定接地/等電位相連系統(tǒng)設備接地ANSI/ESD S6.1<1.0奧姆阻抗等

5、電位相連接ANSI/ESD S6.1<1.0 X 109奧姆阻抗5.1.2.1 靜電接地與設備接地電位壓差須<150mv以減少壓差對靜電放電之影響，并將量測點及數(shù)值記錄于靜電接地阻抗測試報告。5.1.2.2 當設備更新后或送修重新安裝時，須再進行設備接地量測確認。5.1.3 靜電接地靜電接地線檢查方式：以靜電連續(xù)監(jiān)控設備監(jiān)控，并確認是否正常。廠內(nèi)回路阻抗必須小于25，藍色靜電線接地需與設備接地線隔離。連續(xù)監(jiān)控器顯示綠燈且無警報聲響為合格，當超出上限值時，連續(xù)監(jiān)控器產(chǎn)生紅燈警示且有警報聲響，廠區(qū)主管立即通報靜電防護小組及總務人員處理。5.1.4 人員接地人員接地要求產(chǎn)品合格檢驗認證檢

6、驗手腕帶系統(tǒng)測試方式要求限定測試方式要求限定ANSI/ESD S1.1(5.11章)<3.5 X 107奧姆ESD TR53(手腕帶章節(jié))<3.5 X 107奧姆5.1.4.1 靜電環(huán)廠區(qū)同仁需每日固定上下午各量測紀錄一次，非廠區(qū)同仁每日量測一次，進出廠區(qū)搭配量測門禁管制。檢查方式：將腕上靜電環(huán)與靜電接線間電阻值約(900K3.5×107)靜電環(huán)測試器顯示綠燈表示合格，若靜電環(huán)功能失效時，則須重新調(diào)整或立即更換新品。5.1.4.2 靜電鞋廠區(qū)同仁需每日固定上下午各量測紀錄一次，非廠區(qū)同仁每日量測一次，進出廠區(qū)搭配量測門禁管制。檢查方式：以靜電環(huán)/導電鞋測試器，顯示綠燈(9

7、00K3.5×107)與 LO-FAIL之紅燈表示合格，若顯示導電鞋功能失效時，請先確認鞋底清潔及襪子材質(zhì)是否阻隔，并再次量測。若依舊失效，則立即換新。5.1.4.3 靜電服靜電服材質(zhì)必須以導電纖維編織而成，可防止靜電產(chǎn)生，并可將靜電安全消散釋放。于每次新品購入時，須進行抽驗(或供貨商檢附證明)，以確認靜電服之纖維有無斷線造成無法達到靜電釋放之情形發(fā)生。5.1.5 導電地板表面阻抗值在1.0X104 1.0X109。導電地板須搭配導電鞋使用，每半年定期量測一次導電地板阻抗值及保養(yǎng)清潔打臘后量測。5.2 靜電放電保護區(qū)(EPA)溫濕度管制要求(1)研發(fā)零件拆焊區(qū)(2)RMA(3)實驗室

8、(4)收料室(5)生產(chǎn)廠區(qū)均屬靜電放電保護區(qū)，溫濕度須管制在室溫攝氏20度以上30度以下，濕度30%RH70%RH。(零件倉等區(qū)域濕度規(guī)定為30%RH60%RH)5.2.1 工作場所的管制卷標標記：貼有如下圖示之工作場所，則為E.P.A區(qū)，所有人員進入此區(qū)域必需遵守E.P.A的防護要求來進行作業(yè)。張貼在人員進入靜電放電保護區(qū)之前可清楚地看到的地方。 靜電放電保護區(qū)可以是一個單獨的工作臺或整個房間或整座建筑。限完成了相應的靜電放電培訓的人員，才能進入靜電放電保護區(qū)，未經(jīng)培訓的人員(供貨商/客戶)進入靜電放電保護區(qū)時，應由受過培訓的人員陪同。作業(yè)人員采坐姿作業(yè)及無導電地板作業(yè)區(qū)一律須佩帶使用靜電環(huán)

9、。5.2.2 靜電敏感區(qū)內(nèi)靜電電壓的管制標準(EOS/ESD STM5.1、ESD DS5.3.1)靜電敏感區(qū)內(nèi)靜電電壓的管制標準為H.B.M模式100V以下。5.2.3 人員進入EPA區(qū)需依據(jù)規(guī)定進行防護作業(yè)。5.2.3.1 靜電敏感區(qū)內(nèi)作業(yè)人員之防護配備A. 靜電防護基本認知B. 靜電服C. 靜電鞋 D. 靜電環(huán)E. 所有使用于此工作站內(nèi)的機器，須有共同的接地系統(tǒng)。5.2.3.2 產(chǎn)品的運輸、存放在運輸和存放ESDS產(chǎn)品時應使用防靜電袋、防靜電貨架、防靜電推車和防靜電周轉(zhuǎn)箱。防靜電貨架必須鋪防靜電墊并接地。運輸用的防靜手推車和轉(zhuǎn)運車的表面必須為防靜電材質(zhì)并接地。推車的輪子必須是導電輪或使用

10、金屬鏈條拖地接地。單板移動搬運時需使用防靜電包材將產(chǎn)品包覆。5.2.4 靜電敏感組件的分類靜電敏感組件等級區(qū)分，主要是依照HBM 模式進行分類。所有半成品之靜電壓分類，則依據(jù)工程中心所展出零件ESDS敏感等級進行歸類。HBM ESDS Component ClassificationClassVoltage Range0< 2501A250 to < 5001B500 to < 10001C1000 to < 200022000 to < 40003A4000 to < 80003B 80005.2.5 絶緣體在E.P.A區(qū)域規(guī)范為了減少電場感應所導致的帶電

11、器件破壞模式，靜電放電控制方案應包含對制程中所必要的絕緣材料的處理計劃。如果電場超過2000伏/英寸，應采取下列的步驟中的一個：A. 將絕緣體與靜電放電敏感器件分開30厘米(12英寸)的距離。B. 使用離子風扇電荷中和。所有的離子風扇，必須是能夠自我中和其所釋放出來的正負離子，而離子風扇的使用與否，由靜電防護小組來決定。當移動一個靜電敏感組件至一個沒有導電地板保護的區(qū)域時，須使用靜電防護袋。5.2.6 ESD防護檢驗規(guī)范A. 新品依ESD新品量測規(guī)范作業(yè)。B. 符合性查證依ESD定期量測規(guī)范作業(yè)。C. 量測時，需作讀值記錄，并貼合格卷標方式實施。D. 治具工具需為靜電消散材或?qū)щ姴馁|(zhì)。E. 靜

12、電放電保護區(qū)(EPA)檢驗標準如下表： 5.2.7 靜電防護系統(tǒng)認證檢驗計劃1. 確保各單位能夠落實執(zhí)行靜電放電管制的要求及靜電防護系統(tǒng)監(jiān)測成立靜電防護小組，負責相關(guān)業(yè)務維護及推動。靜電防護小組需針全公司靜電防護管制進行監(jiān)督，執(zhí)行年度ESD靜電防護計劃并執(zhí)行稽核作業(yè)，并于執(zhí)行過程時填寫于內(nèi)部稽核查檢表。且需將異常發(fā)現(xiàn)于管理審查會議中提出。若發(fā)生不符合事項時，依據(jù)異常與矯正預防措施程序進行改善追蹤。進行供貨商(委外加工廠)評鑒時，除依據(jù)供貨商管制程序執(zhí)行外，仍需針對該廠對于ESD防護能力進行了解及稽核。2. 產(chǎn)品認證檢驗計劃：依5.2.6 ESD防護檢驗規(guī)范執(zhí)行。5.3 包裝 5.3.1 靜電放

13、電保護包裝應符合合同，采購訂單、制圖或其他文件。如果上述檔未作特殊說明，根據(jù)ANSI/ESD S541，對靜電放電保護區(qū)內(nèi)外的靜電放電包裝作出定義。5.3.2 采購靜電敏感組件一定要要求供貨商裝入具有導電材之容器或靜電消散包裝內(nèi)，被動組件若為靜電敏感者，其料卷也應使用導電材與靜電消散材之包裝。5.3.3 包裝管須為抗靜電，如導電材質(zhì)，且包覆于導電袋或?qū)щ姾校瑒t可單獨運送或裝入標準紙箱內(nèi)。管子兩端塞子及針狀物也必須是抗靜電或?qū)щ姴牧稀?.3.4 每半年針對重復性使用之抗靜電材料或?qū)щ姴牧?，如儲存放置箱、隔板、抗靜電泡棉、導電料盒等，予以確認其是否仍在規(guī)格內(nèi)，否則應停止重復使用該材料或更換新品。5

14、.3.5 電子板半成品包裝時，需使用防靜電包裝，并貼有ESDS敏感組件卷標貼紙，外箱以紙質(zhì)材料為主。5.4 人員訓練 : 靜電防護訓練內(nèi)容為有關(guān)靜電防護之知識和方法：5.4.1 新進人員及在職人員靜電防護訓練依員工教育訓練管制程序執(zhí)行。5.4.2 經(jīng)QC稽核連續(xù)2次以上(含)過失者，單位主管得專對該員提出重新訓練。5.4.3 靜電防護小組每年除基礎防護課程外須再針對ANSI/ESD S20.20及靜電防護管制程序、ESD新品量測規(guī)范及ESD定期量測規(guī)范等ESD量測技術(shù)稽核相關(guān)課程進行復訓。5.5 標記靜電放電敏感物體，系統(tǒng)或包裝的標記應符合客戶合同，采購訂單、制圖或其他文件。當合同、采購訂單、制圖或其他文件未對靜電放電敏感物體、系統(tǒng)或包裝的標記，未作特殊說明，使用單位在建立靜電放電控制方