掃描電鏡微區(qū)成分分析技術(shù)剖析學(xué)習(xí)教案

1、會(huì)計(jì)學(xué)1掃描電鏡微區(qū)成分分析掃描電鏡微區(qū)成分分析(fnx)技術(shù)剖析技術(shù)剖析第一頁，共36頁。2第1頁/共36頁第二頁，共36頁。3第2頁/共36頁第三頁，共36頁。4第3頁/共36頁第四頁，共36頁。5第4頁/共36頁第五頁，共36頁。6第5頁/共36頁第六頁，共36頁。7第6頁/共36頁第七頁，共36頁。8第7頁/共36頁第八頁，共36頁。9第8頁/共36頁第九頁，共36頁。10第9頁/共36頁第十頁，共36頁。11第10頁/共36頁第十一頁，共36頁。12第11頁/共36頁第十二頁，共36頁。13第12頁/共36頁第十三頁，共36頁。14 旋轉(zhuǎn)式波譜儀旋轉(zhuǎn)式波譜儀 旋轉(zhuǎn)式波譜儀雖然結(jié)構(gòu)簡單

2、，但有旋轉(zhuǎn)式波譜儀雖然結(jié)構(gòu)簡單，但有三個(gè)缺點(diǎn)：三個(gè)缺點(diǎn)： a) a)其出射角其出射角 是變化是變化(binhu)(binhu)的的，若，若2 2 11，則出射角為，則出射角為22的的x x射線穿透路程比較長，其強(qiáng)度就低，射線穿透路程比較長，其強(qiáng)度就低，計(jì)算時(shí)須增加修正系數(shù)，比較麻煩；計(jì)算時(shí)須增加修正系數(shù)，比較麻煩； b) X b) X射線出射線出射窗口要設(shè)計(jì)得射線出射線出射窗口要設(shè)計(jì)得很大；很大； c) c)出射角出射角越小，越小，X X射線接受效率越射線接受效率越低。低。第13頁/共36頁第十四頁，共36頁。15 直進(jìn)式波譜儀直進(jìn)式波譜儀 特點(diǎn)是特點(diǎn)是X X射線出射角射線出射角固定不變，彌補(bǔ)

3、固定不變，彌補(bǔ)了旋轉(zhuǎn)式波譜儀的缺點(diǎn)。因此，雖然在了旋轉(zhuǎn)式波譜儀的缺點(diǎn)。因此，雖然在結(jié)構(gòu)上比較復(fù)雜，但它是目前最常用的結(jié)構(gòu)上比較復(fù)雜，但它是目前最常用的一種譜儀。彎晶在某一方向上作直線運(yùn)一種譜儀。彎晶在某一方向上作直線運(yùn)動(dòng)并轉(zhuǎn)動(dòng)，探測(cè)器也隨著運(yùn)動(dòng)。聚焦圓動(dòng)并轉(zhuǎn)動(dòng)，探測(cè)器也隨著運(yùn)動(dòng)。聚焦圓半徑不變，圓心在以光源為中心的圓周半徑不變，圓心在以光源為中心的圓周上運(yùn)動(dòng)，光源、彎晶和接收狹縫上運(yùn)動(dòng)，光源、彎晶和接收狹縫(xi (xi fn)fn)也都始終落在聚焦圓的圓周上。也都始終落在聚焦圓的圓周上。第14頁/共36頁第十五頁，共36頁。16 由光源至晶體的距離由光源至晶體的距離L(L(叫做叫做(jioz

4、u)(jiozu)譜儀長度譜儀長度) )與聚焦圓的半徑有下列關(guān)系：與聚焦圓的半徑有下列關(guān)系： L=2Rsin=R/d L=2Rsin=R/d 所以，對(duì)于給定的分光晶體，所以，對(duì)于給定的分光晶體，L L與與存存在著簡單的線性關(guān)系。因此，只要讀出譜在著簡單的線性關(guān)系。因此，只要讀出譜儀上的儀上的L L值，就可直接得到值，就可直接得到值。值。第15頁/共36頁第十六頁，共36頁。17第16頁/共36頁第十七頁，共36頁。18第17頁/共36頁第十八頁，共36頁。19第18頁/共36頁第十九頁，共36頁。20第19頁/共36頁第二十頁，共36頁。21第20頁/共36頁第二十一頁，共36頁。22第21頁/共36頁第二十二頁，共36頁。23第22頁/共36頁第二十三頁，共36頁。24第23頁/共36頁第二十四頁，共36頁。25第24頁/共36頁第二十五頁，共36頁。26第25頁/共36頁第二十六頁，共36頁。27第26頁/共36頁第二十七頁，共36頁。28 (3)可以同時(shí)分析多種元素，分析速度快，適宜做快速定性和定點(diǎn)分析。第27頁/共36頁第二十八頁，共36頁。29第28頁/共36頁第二十九頁，共36頁。30第29頁/共36頁第三十頁，共36頁。31第30頁/共36頁第三十一頁，共36頁。32第31頁/共36頁第三十二頁，共36頁。33第32頁/共36頁