《功能材料制備與成形》課件第五章 流法成型－2

1、片型陶瓷的制備形狀復(fù)雜的薄壁陶瓷第五章 流 法 成 型第3周：9月20日 9月23日Part 2 將固體粉末配制成具有一定粘度的料漿；料漿從容器流出，被刮刀以一定厚度刮壓涂敷在專用襯帶上；料漿在襯帶上漫流、鋪展，形成表面光滑、厚度均勻的薄層；料漿薄層經(jīng)干燥成為固化的粉末層；將固化的粉末層從基襯帶剝離，獲得膜狀的生坯。5. 3 流延成型（Tape Casting)圖5-36 流延成型 根據(jù)制成品的尺寸和形狀需要，流延生坯可作沖切、層合等加工處理，制成待燒結(jié)的毛坯成品。 流延成型制備陶瓷元器件的基本工藝流程為： 粉體漿料制備流延剪裁疊層脫脂燒結(jié)5.3.1流延設(shè)備流延機(jī)見圖5-37，包括載體膜（流延

2、襯帶）、流延頭、喂?jié){機(jī)、干燥區(qū)和收片單元。圖5-37流延設(shè)備組成示意圖流延機(jī)包括載體膜（流延襯帶）、流延頭、喂?jié){機(jī)、干燥區(qū)和收片單元。圖5-37流延設(shè)備組成示意圖 載體膜要求表面平滑、水平度高、以平穩(wěn)的速度直線運(yùn)行。 對漿料具有一定粘接力：易于將流延膜與流延帶分離。一、載體膜流延膜1）PET（聚對苯二甲酸乙二醇脂）膜： 一般厚度為50120um. 表面上通常有一層有機(jī)硅脫模劑。 2）不銹鋼帶制備： 一般厚度為0.10.5mm厚?？煞磸?fù)使用。常用流延帶材料： 二、流延盒:V0 載送帶速度；T 漿料通過刮刀后的即時厚度T干燥后的生坯厚度。圖5-3典型的流延頭及其穩(wěn)定片厚的流延口示意圖流延生坯厚度可

3、用以下公式給出： t： 生坯厚度； g：重力加速度； l： 刀片厚度； ：干燥收縮率； H： 料漿液面高度； V0 載送帶速度；： 密度； ： 漿料粘度； h： 刀鋒間隙。1、干燥區(qū)通常采用紅外線加熱器或熱空氣。 2、干燥區(qū)域一般分為三個區(qū)域：三 干燥區(qū) 低溫抽風(fēng)干燥區(qū) 2530C，并控制抽風(fēng) 高溫抽風(fēng)區(qū) 3050C， 抽風(fēng)（分量交?。?高溫紅崗區(qū) 4060C 烘干 1、卷起干燥的陶瓷生坯。 2、調(diào)整流延帶的方向，保證流延帶始終保持平行運(yùn)行四、收片系統(tǒng) 1、卷起干燥的陶瓷生坯。 2、調(diào)整流延帶的方向，保證流延帶始終保持平行運(yùn)行四、收片系統(tǒng)5.3.2 料漿的配方與制備 流延成型用漿料是固體粉末的

4、懸浮液。除固體粉末外，料漿還包括粘結(jié)劑、分散劑、增塑劑和溶劑等組元。固體粉末： Al2O3， ZrO2。 粘結(jié)劑： 粘接粉末，增加坯體強(qiáng)度分散劑： 提高漿料分散性增塑劑： 增坯體塑性溶劑： 調(diào)節(jié)漿料粘度，便于流延成形配方包括1）固體粉末 漿料中的固相顆粒最好為球狀。如果是非球狀的，生坯密度沿流延方向（y方向）大于沿寬度方向（x方向），從而使生坯燒結(jié)收縮率呈現(xiàn)方向性。 流延生坯燒結(jié)收縮率的變化 （y方向為流延方向， x方向為流延生坯寬度方向）生坯厚度/mm2）粘結(jié)劑 它最重要的任務(wù)是包裹粉體顆粒、產(chǎn)生三維相互連接的樹脂構(gòu)架，從而固化成膜、賦予生坯一定的強(qiáng)度和韌性。 采用長鏈的高分子（MW3000

5、080000）聚合物。選擇粘結(jié)劑需要考慮的因素生坯的厚度與所選溶劑的相匹配及不妨礙溶劑揮發(fā)和不產(chǎn)生氣泡易于燒除，不留殘余物能起到穩(wěn)定漿料和抑制顆粒沉降的作用要有較低的塑性轉(zhuǎn)變溫度，以確保生坯在室溫下有較好的韌性，能夠接受必要的后續(xù)加工；不與襯帶材料相粘，使生坯脫模容易 圖 5-41 生坯中粘結(jié)劑含量與顆粒間距的關(guān)系粘結(jié)劑的含量 粘結(jié)劑含量增加，漿料的粘度增加； 粘結(jié)劑含量增加，坯體的強(qiáng)度增加。 含量較低時 粘結(jié)劑包覆顆粒，并使顆粒相互連接形成三維結(jié)構(gòu)，三維結(jié)構(gòu)中有間隙。 隨粘結(jié)劑含量增加，先是使顆粒被粘結(jié)劑包覆更完整，后是逐漸填充在固體顆粒的三維結(jié)構(gòu)中的間隙，直至間隙完全填滿。陶瓷顆粒間距都不

6、會改變，因而坯體中固體粉末的體積分?jǐn)?shù)不變，燒結(jié)時的收縮率不變。 加入量很大時 當(dāng)含量超過某一臨界值時，粘結(jié)劑會制造空間，使生坯表面覆蓋一層粘結(jié)劑，同時固體顆粒拉開距離。 粘結(jié)劑含量越高，顆粒間距越大。陶瓷的體積分?jǐn)?shù)降低，燒結(jié)時的收縮率上升。3）溶劑基本功能溶解分散劑、粘結(jié)劑和增塑劑等添加成分，使它們?nèi)菀拙鶆蚍稚⒂跐{料中；賦予漿料流動性。選擇溶劑主要考慮的因素在漿料中能保持化學(xué)穩(wěn)定性，不與粉體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)；易于揮發(fā)與燒除；使用安全衛(wèi)生，對環(huán)境污染少。 常用的溶劑分有機(jī)溶劑和水兩大類 有機(jī)溶劑 常用：乙醇、甲乙酮、三氯乙烯、甲苯、二甲苯等。 揮發(fā)快，干燥時間短。 所以流延法制膜中使用有機(jī)溶劑較多。

7、 但有機(jī)溶劑易燃且有毒。 水 成本低、使用安全衛(wèi)生和便于大規(guī)模生產(chǎn)。 缺點：對粉體顆粒的濕潤性能較差，揮發(fā)慢，干燥時間長；漿料除氣困難，氣泡的存在會影響生坯的質(zhì)量；能與其配合的粘結(jié)劑多為乳液狀，市場上產(chǎn)品較少，使粘結(jié)劑的選擇受到限制?；旌先軇?溶劑對粉體的濕潤性能主要與其表面張力有關(guān)，表面張力越小，對粉體顆粒的濕潤性能越好。 有機(jī)溶劑的表面張力比水要低得多，所以其濕潤性能比水好。 混合溶劑的表面張力和介電常數(shù)等性能比單一組分好，且沸點較低，對分散劑、粘結(jié)劑和增塑劑的溶解性能也較佳。 為確保干燥過程中溶劑同時揮發(fā)，流延漿料中常用二元共沸混合物。最常用的有乙醇/甲乙酮、乙醇/三氯乙烯、乙醇/水和三

8、氯乙烯/甲乙酮等。4）分散劑 漿料中的小顆粒有重新聚合成大團(tuán)聚體的趨勢，這些顆粒簇的快速沉淀可能引起分層效應(yīng)。 分散劑的功能 能夠控制顆粒團(tuán)聚的程度和團(tuán)聚體的強(qiáng)度。 分散劑的分散機(jī)理 電斥穩(wěn)定機(jī)理（膠團(tuán)結(jié)構(gòu)） 空間位阻穩(wěn)定機(jī)理 電斥穩(wěn)定+空間位阻結(jié)合結(jié)合常用分散劑：三乙醇氨 顆粒在漿料中的分散狀態(tài)影響漿料的粘度，而分散劑會影響顆粒在漿料中的分散狀態(tài)。 分散劑含量對漿料粘度的影響 左起顆粒的構(gòu)型：團(tuán)聚、分散、絮凝5）增塑劑增塑劑的功能 粘結(jié)劑都有相互交聯(lián)的鏈，使得其玻璃化溫度Tg往往高于室溫。即使粘結(jié)劑能夠保證生坯的強(qiáng)度卻不能使生坯具有足夠適合于加工的韌性。 增塑劑的加入能夠調(diào)節(jié)溫度Tg，使其接

9、近或低于室溫，提高生坯的韌性。 增塑劑的軟化機(jī)制可描述為當(dāng)增塑劑將自身附著于由粘結(jié)劑鏈的結(jié)點所造成的活性中心時，粘結(jié)劑分子內(nèi)鍵合產(chǎn)生斷裂。 使用原則 要易燒除，不留殘余物，并且在化學(xué)和物理上是穩(wěn)定的，且便宜、無毒。 (a） (b) (c) 增塑劑的原理(a)粘結(jié)劑聚合物；(b)增塑劑；(c)增塑聚合物（分子間距離增大） 增塑劑的用量根據(jù)實際的需求而改變，在保證增塑效果的前提下盡量少用。 產(chǎn)品為薄片狀，不需要再進(jìn)行變形加工時，可以適當(dāng)?shù)卦黾由鞯膹?qiáng)度，即減少增塑劑的用量；當(dāng)需要制備如卷曲型的陶瓷樣品時，需要生坯有很好的柔韌性，增加增塑劑的用量。增塑劑用量：溶劑粉體分散劑球磨粘結(jié)劑增塑劑混磨除泡流

10、延成型6）漿料的制備工藝漿料制備工藝流程5.3.4 流延生坯的要求與評價1）要求 對生坯的實際要求為：呈現(xiàn)小的各向異性、沒有宏觀缺陷（如傷痕或裂紋）；表面應(yīng)當(dāng)平整光滑；生坯頂部與底部的微觀結(jié)構(gòu)沒有差異。2）評價方法 主要依賴現(xiàn)場經(jīng)驗，尚未制定完全的評價方法。下述方法通常在實際中使用，被視為有效的生坯質(zhì)量控制方法。表面粗糙度 采用表面粗糙度儀測量。 生坯的表面粗糙度反映了原料粉的固體顆粒尺寸和聚集、生坯中原料的分散性、樹脂成分的含量、漿料的粘度性質(zhì)和干燥條件等因素。 生坯若沒有充分校平，表面粗糙度增大。 增加樹脂成分的含量，且分散均勻，可使生坯表面光滑。 拉伸試驗 測量流延生坯的不拉伸強(qiáng)度和延伸

11、率。 透氣性(a)(e)(d)(b)(c)(d)(e)(f)圖19 生坯質(zhì)量隨PVB含量的變化圖。(a)2g、(b)3g、(c)4g、(d)4.5g、(e)5g、(f)6g夾具細(xì)砂式樣砂桶圖20 拉伸強(qiáng)度測量示意圖(a)(c)圖21 生坯樣品 (a)標(biāo)準(zhǔn)式樣示意圖 (b)拉伸前 (c)拉伸后(b)(a)(b) 圖22 生坯最小卷曲半徑測量圖 5-44 粘結(jié)劑聚合度對生坯力學(xué)性能影響（1）聚合程度較高；（2）聚合程度較低圖 5-45 粘結(jié)劑、增塑劑比例對生坯力學(xué)性能影響圖 5-46 有機(jī)物含量對生坯力學(xué)性能影響圖 5-48有機(jī)物含量對生坯透氣性的影響圖 5-49 分散劑含量對漿料粘度、生坯光澤度

12、的影響圖 5-50 漿料中含水量與生坯密度之間的關(guān)系圖 5-51 漿料中含水量與生坯的拉伸強(qiáng)度之間的關(guān)系生坯的拉伸強(qiáng)度/gf/cm2圖 5-52 漿料中含水量與生坯的延伸率之間的關(guān)系圖 5-53 生坯存儲濕度與其性能之間的關(guān)系 5.3.5 流延成型特點 特別適合成型0.05mm1mm厚度的片狀連續(xù)坯體 生產(chǎn)速度快、自動化程度高、效率高 產(chǎn)品組織結(jié)構(gòu)均勻、質(zhì)量好。 5.3.6 應(yīng)用 一種陶瓷基片的專用成型方法 多層疊層共燒技術(shù)基礎(chǔ)5.3.6 應(yīng)用 一種陶瓷基片的專用成型方法 多層疊層共燒技術(shù)基礎(chǔ) 將固體粉末與有機(jī)物混合制備成漿料（或稱之為油墨）；油墨由絲網(wǎng)模透過網(wǎng)孔漏出，在承印物上形成規(guī)定圖形和

13、厚度的膜層。 圖5-54 絲網(wǎng)圖5-55 絲網(wǎng)印刷原理示意 絲網(wǎng)上有些孔被堵塞，有些孔未被堵塞，未被堵塞孔形成某種圖形。具有這種圖形的絲網(wǎng)成為絲網(wǎng)印版（或稱之為網(wǎng)模）。 5. 4 絲網(wǎng)印刷圖5-56 絲網(wǎng)印刷原理示意圖5-57 絲網(wǎng)印刷過程示意（這里基板就是承印物）影響絲網(wǎng)質(zhì)量的主要因素圖5-57 絲網(wǎng)印刷過程示意圖影響絲網(wǎng)質(zhì)量的主要因素圖5-57 絲網(wǎng)印刷過程示意圖影響絲網(wǎng)質(zhì)量的主要因素圖5-57 絲網(wǎng)印刷過程示意圖 印刷時，將承印物放在絲網(wǎng)印版下，但兩者不相接觸。在絲網(wǎng)印版一端上倒入油墨，用刮板在絲網(wǎng)印版上的油墨部位施加一定壓力，同時朝絲網(wǎng)印版另一端移動。油墨在移動中被刮板從漏孔中擠壓到承

14、印物上。漏出的油墨在承印物上形成一個與漏孔尺寸相當(dāng)?shù)挠湍?，由于油墨的?nèi)聚作用，油墨滴不發(fā)生漫流，固著于原來的區(qū)域。 在印刷過程中，刮板始終與絲網(wǎng)印版和承印物呈線接觸。在刮板的作用力下，絲網(wǎng)印版局部產(chǎn)生向下的變形，同時絲網(wǎng)的張力產(chǎn)生對刮板的反作用力，這個反作用力稱為回彈力。由于回彈力的作用，使絲網(wǎng)印版與承印物接觸線隨刮板移動。只有接觸線附近，才有油墨漏出，漏出的油墨與絲網(wǎng)印版粘連。在接觸線以外區(qū)域，絲網(wǎng)印版與承印物為脫離狀態(tài)，沒有油墨漏出。而在刮板前移時，原來接觸線附近固著在承印物上的油墨與絲網(wǎng)發(fā)生斷裂， 保證了印刷尺寸精度和避免蹭臟承印物。當(dāng)刮板刮過整個版面后抬起時，絲網(wǎng)印版也抬起，與承印物

15、完全脫離接觸。用刮刀將油墨輕刮回初始位置，至此完成一個印刷行程 。圖5-58 刮刀對油墨的壓力分布，采用絲網(wǎng)印刷制造制品的主要工藝流程為： 油墨設(shè)計與制備絲網(wǎng)模設(shè)計與制備印刷干燥燒成 從膜層的厚度來看，采用絲網(wǎng)印刷制備的膜層厚度在1-100m范圍內(nèi)，屬于厚膜。區(qū)別于薄膜(厚度小于1 m的膜層材料)。5.4.1絲網(wǎng)印刷分類1）根據(jù)承印物的質(zhì)地 紙張類印刷塑料類印刷陶瓷類印刷玻璃類印刷線路板印刷金屬類印刷紡織類印刷2）按操作方法分 手工印刷 指印物的續(xù)與收、印版的移動、刮扳刮印均為手工操作。機(jī)械印刷 指印刷過程由機(jī)械動作完成。 其中又分為半自動和全自動印刷，半自動指承印物放入和取出由人工操作，印刷

16、由機(jī)械完成；全自動是指整個印刷過程均由機(jī)械完成。 絲網(wǎng)印刷由五大要素構(gòu)成，即印版、刮板、油墨、印刷臺以及承印物，關(guān)鍵是印版和油墨。5.4.2.絲網(wǎng)印版的制作 (1) 絲網(wǎng)選擇： 選擇絲網(wǎng)材料、網(wǎng)孔大小。絲網(wǎng)材料尼龍絲網(wǎng) 強(qiáng)度高，耐磨性較高，耐堿性較高，耐酸性稍差，油墨透過性好，絲 線直徑小，彈性好，印跡鮮明。 滌綸絲網(wǎng) 穩(wěn)定性好，強(qiáng)度高，耐腐蝕，性能優(yōu)于尼龍絲網(wǎng)，繃網(wǎng)張力高，適合 高精印刷。 不銹鋼絲網(wǎng) 強(qiáng)度高，穩(wěn)定性好，絲徑小，網(wǎng)目高，耐抗性好，壽命長，彈性 差，受沖擊易破裂，適合精密印刷，不適合曲面印刷。 鍍鎳滌綸絲網(wǎng) 鍍鎳滌綸絲網(wǎng)綜合了滌綸絲網(wǎng)和不銹鋼絲網(wǎng)的長處，適用性廣，價格適中， 耐

17、腐蝕性差。 絲網(wǎng)網(wǎng)目數(shù) 常用 30 目（孔 厘米）、40 目、60 目厘米、80 目厘米、120 目厘米、140 目厘米和 160 目厘米等幾種。 一般情況下，網(wǎng)目數(shù)大，網(wǎng)絲直經(jīng)小。 細(xì)絲密網(wǎng)，分辨率高；粗絲粗網(wǎng)，分辨率低。一般選擇原則 印刷曲面時，選用彈性大的絲網(wǎng)，如尼龍網(wǎng)；印刷吸收性大承印物時，用網(wǎng)孔面積大的絲網(wǎng)； 印刷光滑面時，用高彈力、高張力的絲網(wǎng)； 印刷粗糙 面時，用低網(wǎng)目的絲網(wǎng)； 印刷精度高的印刷品時，用低延伸率、高張力的絲網(wǎng)；2）繃網(wǎng) 將絲網(wǎng)繃在網(wǎng)框上。 繃網(wǎng)要求絲網(wǎng)張力適當(dāng)，均勻穩(wěn)定，絲向一致，避免斜拉，經(jīng)緯絲各自平行。關(guān)鍵是調(diào)整絲網(wǎng)的張力。絲網(wǎng)張力/N/cm絲網(wǎng)張力/N/cm

18、蠶絲網(wǎng)尼龍網(wǎng)聚脂絲網(wǎng)（單線）1624 2028 2432聚脂絲網(wǎng)（多線）聚脂絲網(wǎng)（單線/多線）不銹鋼絲網(wǎng)1624 16242832表5-6常用繃網(wǎng)張力表(3) 制版 將絲網(wǎng)上的一些孔堵起來，使未堵的孔形成印制圖形。分直接法、間接法、混合法三類。 絲網(wǎng)直接制版 在絲網(wǎng)上直接制備要印制的圖形。 流程為：絲網(wǎng)清洗涂感光膠曬版顯影質(zhì)檢。底版 用于制備絲網(wǎng)印版的原版，用透明薄膠片制備，其上繪有要印制的圖形形狀，有圖形的地方不透光，無圖形的地方透光。 底版可以人工繪制或通過照相法獲得。 曬版 將涂感光膠均勻涂敷在絲網(wǎng)上，堵塞絲網(wǎng)的所有網(wǎng)孔。 將底版粘附在涂有干燥的感光膠的絲網(wǎng)上，使絲網(wǎng)通過底版接受某種光線

19、照射，絲網(wǎng)上的感光膠有的地方得不到曝光（與底版有圖形的地方接觸處），有的地方曝光（不與底版有圖形的地方接觸的其余地方）。曬版顯影經(jīng)曬版的絲網(wǎng)用特殊溶液（顯影液）清洗，未曝光的感光膠從絲網(wǎng)上清除掉，出現(xiàn)通透，而已曝光的感光膠仍然留在絲網(wǎng)上，阻塞網(wǎng)孔。 顯影 不同的感光膠對應(yīng)不同的顯影液。 清洗盡顯影液后，干燥后，便得到一個絲網(wǎng)印版。包括以下項目： 版膜質(zhì)量 對照底版檢查其精細(xì)部分在絲網(wǎng)印版上的再現(xiàn)程度如何。 通孔質(zhì)量 版膜的適應(yīng)能力絲網(wǎng)印版的質(zhì)量檢查 激光燒蝕直接制版 先在金屬絲網(wǎng)上涂布絲網(wǎng)感光膠，然后用計算機(jī)控制激光燒穿感光層，使圖形部分網(wǎng)孔 通透。 此法只能用于金屬網(wǎng)。 激光曝光直接制版 先

20、在絲網(wǎng)上涂感光膠，用計算機(jī)控制激光器在網(wǎng)版上成像，然后沖洗掉未感光的感光膠，制造通孔。 這種制版方法使用專用感光膠，曝光系統(tǒng)價格高。 噴墨成像系統(tǒng) 先在絲網(wǎng)上涂感光膠，用計算機(jī)控制噴墨系統(tǒng)把阻光墨噴到圖文部 分感光層上，然后用紫外線對絲網(wǎng)全面曝光。沖洗掉感光的感光膠，使印刷圖形區(qū)域形成通孔。 間接法 在其它地方按照印刷圖形刻蝕好一個膜片（稱作掩膜），再將掩膜貼到預(yù)備的絲網(wǎng)上。 混合法 在絲網(wǎng)貼一張膜片，在膜片上涂感光膠，然后對膜片進(jìn)行刻蝕。5.4.2 油墨的配方與制備1)油墨的基本性能 要求 為了獲得邊緣整齊、圖形清晰的印刷膜層，油墨應(yīng)滿足以下基本要求： 粘度適中 粘度要求與印刷參數(shù)關(guān)系很密切

21、。 粘度越低，油墨越容易漏過，印刷速度越快；承印物結(jié)構(gòu)疏松，粘度要求??；粘度過大的油墨對承印物的潤濕性差，不易通過絲網(wǎng)轉(zhuǎn)移到承印物上，造成印刷困難，印跡缺墨；粘度過小，會造成印跡擴(kuò)大，致使印刷線條合并，成為廢品。 不同的印刷產(chǎn)品對油墨的粘度要求不同。對普通印刷品而言，粘度要求大約為4-12Pas；導(dǎo)體油墨約為1.7x102-3x102Pas，對電阻油墨粘度為2x102-3x102Pas，對介質(zhì)油墨粘度為1.2x102-2x102Pas觸變性 指攪動時粘度變小，但放置一段時間粘度后又恢復(fù)到原來的較大的狀態(tài)。 由于觸變性，在受到刮板運(yùn)動產(chǎn)生的剪切應(yīng)力作用下，油墨粘度降低，容易漏過網(wǎng)孔；在承印物上的

22、油墨，由于剪切力除去，粘度升高，不再流動。 圖5-59 絲網(wǎng)印刷過程油墨粘度的變化 在印刷之前，要充分?jǐn)嚢栌湍?，使粘度減小，然后進(jìn)行印刷。油墨沉積到承印物上之后，粘度變大。 流平性 剛印刷完畢沉積在承印物上的油墨，在極短的時間內(nèi)產(chǎn)生相互連接、流平，形成連續(xù)的膜層，以消除絲網(wǎng)痕跡。 屈服值 指加一定外力，油墨開始流動所必須施加的最低應(yīng)力。 屈服值太大，油墨發(fā)硬，不易打開，輸墨不便，流平性差；屈服值太小，印刷細(xì)線和網(wǎng)點再現(xiàn)性差。 網(wǎng)印墨層較厚時，屈服值不能太低。 彈性 指油墨涂層在變形后又重新恢復(fù)其原有狀態(tài)而不爆裂的能力。 干燥性 既要網(wǎng)板上的油墨能夠長時間不干燥結(jié)膜，又要求承印物上的油墨涂層干燥

23、速度快。 以保持印跡的清潔，節(jié)省場地，加快印刷速度。 硬度 油墨涂層的硬度。 粘附強(qiáng)度 油墨對承印物又良好的粘附性能。2）油墨的組成 依其用途的不同，油墨的組成相差很大。但從原理上，油墨的組成物由四部分組成：功能相、粘結(jié)劑、溶劑與助劑。功能相 賦予油墨層特定的使用性能。 功能相的成分因油墨層的使用性能而異，如果油墨層是為了彩繪，功能相應(yīng)該為顏料粉或染料粉；如果油墨層是為了形成導(dǎo)電線路或絕緣層，功能相應(yīng)該為某種導(dǎo)電粉末或絕緣材料粉末。粘結(jié)劑 按化學(xué)屬性分為兩部分：無機(jī)粘結(jié)劑 通常是一些玻璃粉，經(jīng)燒結(jié)后，它能夠?qū)⒐δ芟喾勰╊w粒拉近，并固定在承印物上。 只在油墨膜層需要燒制時才使用無機(jī)粘結(jié)劑 。如在

24、各種厚膜電路、陶瓷表面的彩釉制備工藝中，其絲網(wǎng)印刷漿料就需要含一定量的無機(jī)粘合劑。在印層燒成的溫度下，這些無機(jī)粘合劑成為液體，潤濕功能相顆粒，并將功能相拉近，使功能相連續(xù)；液相向承印物表面的微孔中滲透或與與承印物表層反應(yīng)形成過度層，將功能相固定在承印物表面。 如果印刷膜不需燒結(jié)，不采用無機(jī)粘結(jié)劑。有機(jī)粘結(jié)劑 使固體物質(zhì)（包括功能相和無機(jī)粘合劑）粘合起來，賦予印刷膜基本性能和賦予油墨基本印刷性能的有機(jī)物。 有機(jī)粘結(jié)劑是所有油墨都必須具有的組元。 有機(jī)粘結(jié)劑是指具有復(fù)雜結(jié)構(gòu)、大分子量的、非晶態(tài)的有機(jī)化合物（樹脂）。它能溶解在有機(jī)溶液中，其溶液在溶劑揮發(fā)后即形成膜。 用于油墨的有機(jī)粘結(jié)劑有以下兩類：

25、天然樹脂: 主要有松香、松香衍生物、瀝青、達(dá)馬樹脂、蟲膠、生漆等；合成樹脂: 熱塑性樹脂: 塑料樹脂、丙烯樹脂、聚合樹脂聚酰胺樹脂等； 硬化樹脂: 指因化學(xué)反應(yīng)而硬化的樹脂， 常溫固化型:、加熱固化型、光硬化型，主要有醇胺樹脂、氨化樹脂、環(huán)氧樹脂、氨基甲酸樹脂、光硬化樹脂等。表5-8絲網(wǎng)印刷油墨用主要樹脂 溶劑 分散固體粉末，溶解樹脂，并賦予油墨基本的流動性等印刷性能。 包括 油脂、有機(jī)溶劑等。 油脂 分動物油、植物油、礦物油三大類。 常用的植物油有桐油、亞麻仁油、豆油、蓖麻油。 礦物油是從石油分餾而得到的系列溶劑的總稱。 常用的礦物油有：汽油、高沸點煤油（油墨油）和潤滑油。有機(jī)溶劑 主要作用

26、是溶解樹脂形成溶液。 印刷后，通過揮發(fā)逸出墨膜。 表5-8絲網(wǎng)印刷油墨用主要溶劑 助劑 為了提高油墨的各種印刷性能而添加的各種輔助物。 常有以下幾種：減粘劑，目的是降低粘性；稀釋劑，降低粘性與粘度；增稠劑，增加粘度；催干劑，又名干燥劑，目的是加速結(jié)膜；防干劑，延緩結(jié)膜；增塑劑，使油墨印層柔軟；防臟劑，防止印品上的油墨蹭臟其它印品；消泡劑，除去油墨中的泡沫；分散劑，促進(jìn)功能相在油墨中均勻分布；均勻劑，改善印層平滑性。3）油墨的配方示例 應(yīng)用于各種厚膜電路的油墨的大致成分：導(dǎo)體漿料導(dǎo)體材料+玻璃粘結(jié)劑 75-80%有機(jī)粘合劑 25-20%電阻漿料電阻材料 75%有機(jī)粘合劑 25%電容介質(zhì)漿料電容介

27、質(zhì) 材料 70-75%有機(jī)粘合劑 30-35%表5-9 RuO2-Ag玻璃釉電阻漿料的組成與厚膜的性能4）漿料制備 圖5-60 絲網(wǎng)印刷油墨制備工藝流程 為了適應(yīng)印刷工藝的要求、保證印制品的重復(fù)性，對于要燒結(jié)的印制品還要有利于燒結(jié)，油墨中的固體組元必須是很細(xì)的粉末。 常用導(dǎo)體漿料中的粉末的平均粒徑見下表。表5-10厚膜電子漿料中固體粒子的平均尺寸 印刷的圖形越精細(xì)，固體粉末的粒度應(yīng)越細(xì)。 固體粉末應(yīng)均勻地分散于有機(jī)粘合劑中，理想狀態(tài)是每個粒子均為有機(jī)粘合劑所包圍。如果固體粉末不是單一成分，則應(yīng)把不同的固體粉末預(yù)先混合均勻。 顆粒細(xì)化、混合以及制漿通常均采用球磨方式。5.4.3 印刷工藝 印刷質(zhì)

28、量優(yōu)良厚膜，應(yīng)該是位置準(zhǔn)確（印刷精度），厚度適中（轉(zhuǎn)移比），形狀正確（轉(zhuǎn)移比），印刷穩(wěn)定（重復(fù)性）。 某導(dǎo)體厚膜的質(zhì)量見圖5-61與圖5-62。圖5-61印刷質(zhì)量的好與壞(a)好（無流滲）；(b)壞（有流滲）圖5-62 絲網(wǎng)印刷導(dǎo)體的截面（a)有顯著的跑墨（b)無顯著的跑墨 據(jù)資料介紹，影響印刷質(zhì)量的因素達(dá)38項之多，但這些因素的重要程度并非完全一樣，這里只介紹幾個主要影響因素。這些因素影響主要體現(xiàn)在對膜層的厚度及均勻性方面的影響。而膜層的厚度及均勻性對厚膜元件是極為重要的，如膜層的厚度增加，則厚膜電阻的阻值減小、厚膜電容的容量減小。1）漿料的粘度和固體含量 油墨的轉(zhuǎn)移過程，是油墨在外力作用下

29、通過網(wǎng)孔到達(dá)承印物表面的過程。 網(wǎng)孔的轉(zhuǎn)移（漏印）油墨量Q 滿足公式： Q=r4p/8l 其中： p絲網(wǎng)兩面的壓力差，實為刮印壓力； r絲網(wǎng)孔徑； l網(wǎng)版厚度； 絲網(wǎng)油墨粘度。 由上式可以看出，網(wǎng)版轉(zhuǎn)移油墨量與油墨的粘度成反比，與絲網(wǎng)的厚度成反比。 網(wǎng)版的厚度在制版之后一般沒有大的變化，所以影響油墨轉(zhuǎn)移量的關(guān)鍵因素就是油墨的粘度。 顯然，粘度越小，油墨轉(zhuǎn)移量越大，印層的厚度越大。 油墨的粘度對印刷圖案清晰程度的影響。 粘度太高，圖案邊緣不平齊；粘度太低，線條變粗。所以粘度要適宜。 為了保證膜層的一致性，在重復(fù)印制過程中，油墨的粘度變化特性也應(yīng)一致。 油墨的粘度可以通過改變有機(jī)粘合劑的組成加以調(diào)

30、整。但是調(diào)整粘度，必須注意到油墨的流變性非常復(fù)雜這一事實，往往是粘度達(dá)到了要求值，其他性質(zhì)又發(fā)生了改變。這一現(xiàn)象表明，既使油墨的粘度相同，其印刷膜質(zhì)量也可能不同；而且印刷參數(shù)的改變，也將會影響厚膜的性能。油墨的屈服值對厚膜圖案的清晰度的影響 屈服值太低，圖案邊緣不清晰；屈服值太高，膜層中有絲網(wǎng)的痕跡。 油墨的固體含量直接影響厚膜的厚度 含量高則膜厚。 膜厚的改變則會改變厚膜的性能。2）絲網(wǎng)與承印物間的距離-離網(wǎng)高度 一般來講，脫離高度增加，印刷墨層厚度增加。 但離網(wǎng)高度太大，則膜層又薄，重復(fù)性差，絲網(wǎng)的壽命縮短。 如果脫離高度太小，承印物容易被絲網(wǎng)粘住，使印出的圖案模糊不清。 圖5-62某厚膜

31、電阻的阻值變化與脫離高度的關(guān)系 從該圖可見，當(dāng)脫離高度小于1mm時，阻值變化很大；若脫離高度選在1-2mm，阻值變化可控制在5%左右。3）印刷壓力、印刷速度、刮板的斷面與角度印刷壓力（刮刀的壓力） 印刷壓力增大，漏過絲網(wǎng)的油墨量增多，故膜層增厚。 通常，印刷力過大，容易產(chǎn)生流滲；反之，印刷壓力過小，可能導(dǎo)致漏過絲網(wǎng)的油墨量太少，印刷圖形模糊。 有一個最佳印刷壓力范圍。圖5-63某厚膜電阻的阻值變化與印刷壓力的關(guān)系刮板的斷面 刮板的斷面增大，膜層增厚。印刷速度（刮板的移動速度） 取決于印刷時間和油墨的黏度。 一般而言，降低印刷速度會增加印刷時間和適印性。然而，當(dāng)印刷速度快時，油墨的黏度下降，通過

32、絲網(wǎng)孔口的流動性就得到改善（這取決于油墨的觸變性指數(shù)）。 圖5-64油墨的滾動現(xiàn)象 當(dāng)貼放于絲網(wǎng)上的被刮板推向孔口時，轉(zhuǎn)動力施加在油墨上，油墨開始轉(zhuǎn)動（見圖5-64），油墨的黏度下降，使它更容易推過孔口，提高油墨的轉(zhuǎn)移質(zhì)量。 不過，也有實驗表明，印刷速度由50.8mm/s增加到203.2mm/s時，印刷膜厚度平均值略有減小，但影響不很大。故有人認(rèn)為印刷速度影響不大。刮板角度（刮板與絲網(wǎng)所成角度） 是控制印刷膜厚度的重要因素。 角度越小，把油墨壓下絲網(wǎng)的壓力越大，漏過的漿料就越多，膜厚越大。 刮板角度在30- 40間變化時，阻值變化較小，是較理想的刮板角度。圖5-65某厚膜電阻的阻值變化與刮板角

33、度的關(guān)系4）絲網(wǎng)目數(shù)、絲網(wǎng)張力、掩膜厚度 絲網(wǎng)目數(shù) 主要影響膜厚和圖案的清晰度。 一般來說，絲網(wǎng)目數(shù)越小，印出的膜較厚，圖案清晰度較低。表5-11厚膜電阻特性與絲網(wǎng)目數(shù)的關(guān)系配方編號（杜邦公司）目數(shù)（目/cm）膜厚（um）阻值（歐姆/）加熱到125時的電阻溫度系數(shù)（106/ ）干燥后燒后782641657012841.728.319.19.925.116.811.49.11533135321034662646594547782741657012839.428.720.814.223.919.614.07.11245148020513953404405319229782841657012837.

34、627.721.314.825.018.514.77.92.651033.521034.721037.86103148124812.8783241657012840.432.825.118.527.919.113.48.95.561036.431038.2310313.1810365583119絲網(wǎng)張力 是衡量絲網(wǎng)繃緊程度的一個指標(biāo)。 其大小可用張力測定計測量。測量時，在繃緊的絲網(wǎng)中心的一小塊面積上，加一已知力，絲網(wǎng)受力下垂，下垂的距離表示絲網(wǎng)繃緊的程度。下垂的距離越大，張力越大。 不同材料的絲網(wǎng)，既使目數(shù)相同，其張力也不一定相同。 絲網(wǎng)張力直接影響印刷圖案的清晰度和膜厚。 隨著絲網(wǎng)張力增加，

35、膜層厚度增加。 為了獲得清晰的圖案，絲網(wǎng)張力必須具有一定的數(shù)值。張力太小絲網(wǎng)變松，圖案清晰度變壞。 張力太大，絲網(wǎng)容易變形和磨損。掩膜厚度 主要影響膜厚。 掩膜越厚，則圖案孔的深度越大，能容納的油墨（穿過絲網(wǎng)過來的）就越多，沉積層厚度越大。 但是掩膜厚度對膜厚的影響是有限的，當(dāng)掩膜厚度達(dá)到某一上限值時，對膜厚無影響。該上限值與印刷條件、絲網(wǎng)參數(shù)、油墨的流變性有關(guān)。5）圖案的幾何形狀和尺寸 一般來說，如果圖案開孔區(qū)較寬，印刷時線形變化較大，印出的膜層較薄，膜層的厚度受網(wǎng)孔大小控制；如果開孔區(qū)較窄，則印出的膜層較厚。其原因是，開孔區(qū)影響了局部區(qū)域網(wǎng)孔處可利用的油墨的多寡，而膜層厚度主要取決于絲網(wǎng)上

36、網(wǎng)孔可利用的油墨的多寡。 對于中等尺寸的開孔區(qū)，印刷時絲網(wǎng)線不變形，膜層厚度適中，膜厚主要取決于網(wǎng)孔大小和掩膜的厚度。圖5-66圖案開孔尺寸對膜厚的影響6）印刷次數(shù) 印刷次數(shù)不同，膜厚不同；印刷次數(shù)越多，膜越厚。 通過控制印刷次數(shù)，可以控制膜厚。但膜后與印刷次數(shù)不呈線形關(guān)系。 印刷參數(shù)的改變膜厚變化脫離高度增大增大刮板壓力增大增大刮板速度增大增大絲網(wǎng)張力增大增大掩膜厚度增大增大表5-12 改變膜厚的方法小結(jié)5.4.4 膜厚的計算 油墨通過網(wǎng)孔轉(zhuǎn)印到承印物瞬間形如小柱，小柱的底面形狀與絲網(wǎng)孔形狀相同，高度等于絲網(wǎng)高度與掩膜厚度之和。對于目數(shù)為N、絲網(wǎng)線徑為d、掩膜厚度為e 絲網(wǎng)模，印出的每一個油

37、墨小柱的底面積為(1/N-d)2,高為h=ad+e,其中a為線間系數(shù)，尼龍絲網(wǎng)的a=2,不銹鋼絲網(wǎng)的a=2.3-2.6。圖5-67絲網(wǎng)參數(shù) 每個油墨小柱的體積為： v=(1/N-d)2(ad+e) 單位面積內(nèi)油墨小柱的總體積為： V=vN2=(1/N-d)2(ad+e)N2 當(dāng)油墨小柱形成連續(xù)膜的厚度為t時，因為連續(xù)膜的體積與各小柱的總體積相等（忽略揮發(fā)損失），有： t= (1/N-d)2(ad+e)N2 由該式可見網(wǎng)膜尺寸對膜厚的影響。表5-13不銹鋼絲網(wǎng)尺寸對膜厚的影響 表中的掩膜厚度為25.4m,網(wǎng)孔率是網(wǎng)孔面積占總絲網(wǎng)面積的百分率，干膜是指燒結(jié)后的膜。5.4.5干燥與燒成 1）干燥 圖

38、案印好后，為使圖案的幾何尺寸固定下來，同時又方便下一次印刷或下一工序的進(jìn)行，需要對膜層進(jìn)行干燥。 在干燥過程中，膜層中有機(jī)溶劑揮發(fā)，使膜層逐漸固化。 干燥包括自然干燥與加熱干燥。自然干燥 將剛印好的厚膜在常溫、常壓下放置一段時間。 剛印出來的圖案，其表面還留有絲網(wǎng)的痕跡，在自然干燥的早期，油墨還具有一定的流動性，借助這有限的流動性，使膜層平整，從而獲得均勻的厚度。 自然干燥時間不宜過長，通常幾分鐘即可。否則會出現(xiàn)油墨的滲透，使圖案變得模糊。加熱干燥 干燥在開放型干燥爐中進(jìn)行，也可在普通烘箱中進(jìn)行，采用真空干燥或紅外干燥，效果較好。 厚膜元件的印刷涂層往往需要加熱干燥。 干燥溫度通常采用120-

39、150，干燥時間一般取15-60分鐘。2）燒成 通過高溫，使印刷膜層不是通過有機(jī)物，而是通過無機(jī)物粘結(jié)在承印物上，并使膜層致密化。 并不是所有印刷膜層都需要燒成。 燒成的機(jī)制一般為液相燒結(jié)。其液相來自于油墨中的無機(jī)粘結(jié)劑（玻璃粉）。1）厚膜導(dǎo)體與材料 是厚膜電子元件及厚膜混合電路的一個重要組成部分，主要用作電路的內(nèi)部互連線（包括多層布線）、外貼元器件及外引線的焊區(qū)、電容器電極及電阻器引出端頭、厚膜電感器、低阻值電感器厚膜微帶及包封等方面。厚膜導(dǎo)體材料的種類 種類很多。 從導(dǎo)體漿料的組成來看，有含玻璃粘結(jié)劑的，也有不含玻璃粘結(jié)劑的。 功能相為導(dǎo)電材料，從導(dǎo)電材料的使用情況來看，有采用金屬粉末的，

40、也有采用金屬有機(jī)化合物的有采用貴金屬的，也有用賤金屬的；有用單一金屬的，但更多是用二元或三元合金的。5.4.6 應(yīng)用舉例圖5-68 在基板上形成厚膜電阻與厚膜導(dǎo)體的截面圖 還可以按燒成溫度對其分類，分高于1000的、低于1000的、在100-300的之間三類，后者又稱導(dǎo)電膠。圖5-69 運(yùn)用激光束對厚膜電阻進(jìn)行微調(diào)原理表5-14厚膜導(dǎo)體按燒成溫度分類表5-15厚膜導(dǎo)體的種類和一般特性圖5-70各種導(dǎo)體油墨的片電阻值導(dǎo)電厚膜對基片的附著機(jī)理 一般采用Al2O3陶瓷等基片。 漿料中含有無機(jī)粘結(jié)劑，無機(jī)粘結(jié)劑通常為玻璃與氧化物中的任一種。燒成之后導(dǎo)電的功能相被無機(jī)粘結(jié)劑固結(jié)在基片上.玻璃粘結(jié)型 厚膜

41、導(dǎo)體中的玻璃相、導(dǎo)電金屬、基片間均無反應(yīng)，厚膜導(dǎo)體對氧化鋁基片的粘附基本上是機(jī)械結(jié)合。 在導(dǎo)體膜燒結(jié)過程中，玻璃熔化成為熔體，對金屬顆粒產(chǎn)生一定程度的潤濕，通過毛細(xì)管力將金屬顆粒拉近，形成連續(xù)的金屬網(wǎng)；另一方面玻璃熔體潤濕基片表面，并滲入基片的晶界，從而形成緊密的粘合，使膜層具有一定附著強(qiáng)度。 玻璃在膜層中的分布是不均勻的，在接近膜的表層，金屬成分過剩，金屬顆粒結(jié)成連續(xù)的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，少量玻璃填充其空隙之中；而在膜層底部則有玻璃的富集。圖5-71玻璃粘結(jié)型導(dǎo)體膜結(jié)構(gòu)示意圖圖5-72氧化鋁基板低溫型厚膜金屬化示意圖（1）玻璃粘結(jié)型；（2）化學(xué)粘結(jié)型 如果玻璃與金屬界面之間的相互擴(kuò)散是理想的，則粘合的

42、失效部位應(yīng)發(fā)生在玻璃層內(nèi)。這時附著強(qiáng)度就是玻璃的強(qiáng)度。 為了使玻璃富集基片表面并擴(kuò)散到其晶界，玻璃與基片的潤濕角應(yīng)小于玻璃與金屬的潤濕角。 通常，在厚膜導(dǎo)體材料中添加Bi2O3， Bi2O3在高溫下溶入玻璃中，可改善玻璃對基片的潤濕性能；Bi2O3還與基片中的Al2O3反應(yīng)，形成固溶體（Bi，Al）2O3，這也提高了厚膜對基片的附著強(qiáng)度。 玻璃的線膨脹系數(shù)應(yīng)與基片相等或略小，以使膜層有較高的機(jī)械強(qiáng)度，從而有利于膜層在基片上的牢固粘附?；瘜W(xué)粘結(jié)型 又稱反應(yīng)結(jié)合或氧化物粘附型。 最常用的粘結(jié)劑是氧化物CuO或Cu2O，通過燒結(jié)與Al2O3反應(yīng)生成尖晶石鋁酸鹽（或與BeO生成鈹酸鹽），與基片間構(gòu)成化

43、學(xué)鍵，故具有很高的附著強(qiáng)度。混合物粘結(jié)型 漿料中的無機(jī)粘結(jié)劑是氧化物與玻璃的混合物。圖5-73 厚膜電容器經(jīng)典工藝流程2）厚膜電容器圖5-74 厚膜電容器的橫截面圖5-75厚膜電容器各結(jié)構(gòu)層印刷圖形 圖5-76單層介質(zhì)厚膜電容器結(jié)構(gòu)示意圖5-77 多層介質(zhì)厚膜電容器結(jié)構(gòu)示意 圖5-78 厚膜電感器的印刷方法 1-基片；2，4-鐵氧體層；3-導(dǎo)體層3）厚膜電感器 利用絲網(wǎng)印刷法可以制成單層（單面或雙面）平面厚膜電感器和多層平面厚膜電感器。4321圖5-79雙面單層 厚膜電感器的結(jié)構(gòu)圖5-80 交叉布線結(jié)構(gòu)示意圖4）交叉布線圖5-81具有填補(bǔ)絕緣層的交叉布線結(jié)構(gòu)示意圖圖5-82交叉布線結(jié)構(gòu)的等效電

44、路圖5-83 厚膜PTC熱敏電阻器的結(jié)構(gòu)5）其它圖5-84厚膜型CdS-CdTe太陽能電池制造工藝簡圖(a)檢測頭結(jié)構(gòu) (b)氣敏特性 圖5-83 厚膜氣體傳感器 A、D加熱器引線； B、 C器皿元件引線填孔及引線制備方法(a)檢測頭結(jié)構(gòu) (b)氣敏特性 圖5-83 厚膜氣體傳感器 A、D加熱器引線； B、 C器皿元件引線5.5 思考題1）何謂流法成型？據(jù)你所知，哪些成型方法屬于流法成型？2）漿料有哪些流體形式，各具有哪些特點？3）什么叫觸變性，如何表征？4）何謂漿料的穩(wěn)定性？漿料穩(wěn)定的基本原理是什么？5）何謂電位？ 電位在漿料穩(wěn)定性方面有何意義？6）何謂注漿成型，其基本工藝路線是什么？7）注

45、漿成型用石膏模具如何制備？8）何謂流延成型，其基本工藝路線是什么？9）何謂絲網(wǎng)印刷，其基本工藝路線是什么？10）絲網(wǎng)印刷漿料如何組成？ 兩相對電子的親和力不同 在非水系中，電離理論不便應(yīng)用，但確有實驗證明在非水分散體系中也有電動現(xiàn)象，因此有人提出，在非水介質(zhì)中質(zhì)點表面電荷來自兩相對電子的親和力不同。 質(zhì)點的熱運(yùn)動相當(dāng)于質(zhì)點與介質(zhì)間的摩擦，在碰撞過程中電子可以從一相流入另一相，猶如用玻璃棒摩擦毛皮可以生電一樣。 Coehn曾提出一條經(jīng)驗規(guī)則：兩個非導(dǎo)體組成的分散系中，介電常數(shù)大一相帶正電，另一相帶負(fù)電。2）膠體穩(wěn)定性的DLVO理論 膠體質(zhì)點之間存在著van der Waals吸引作用，而質(zhì)點相互

46、接近時又由于膠體質(zhì)點外圍帶電層（膠團(tuán)）的重疊而產(chǎn)生排斥作用，膠體的穩(wěn)定性就取決于質(zhì)點間吸引力與排斥力的相對大小。a) 質(zhì)點間的van der Waals吸引能 分子之間存在著van der Waals作用，指的是以下三種涉及偶極子的長程相互作用： 兩個永久偶極子之間的相互作用 永久偶極子與誘導(dǎo)偶極子之間的相互作用 誘導(dǎo)偶極子之間的色散相互作用上述三種作用全系負(fù)值，即表現(xiàn)為吸引，其大小與分子間距離的六次方成反比。除了少數(shù)的極性分子之外，對大多數(shù)分子，色散相互作用在三類作用中占支配地位。 膠體質(zhì)點可以看作是大量分子的集合體。Hamaker假設(shè)，質(zhì)點間的相互作用等于組成它們的分子對之間的相互作用的加和，對于兩個彼此平行的平板質(zhì)點，得出單位面積上的相互作用能為：A =-A/(12 D2)D：為兩板之間距離；A：為Hamaker常數(shù)， 對于同一物質(zhì)的半徑為a球形質(zhì)點，相距H,它們之間的相互作用能為: A =-Aa/(12 H)物質(zhì) A/10-20J A/10-20J （宏觀法） 微觀法水 3.06.1 3.36.4離子晶體 5.811.8 15.841.8金屬 22.1 7.615.9石英 8.08.8 11.018.6碳?xì)浠衔?6.3 4.610 聚苯乙烯 5.66.4 6.