泰安機(jī)械設(shè)備項目可行性研究報告【范文模板】

1、泓域咨詢/泰安機(jī)械設(shè)備項目可行性研究報告泰安機(jī)械設(shè)備項目可行性研究報告xx有限責(zé)任公司目錄 TOC o 1-3 h z u HYPERLINK l _Toc108552636 第一章 市場預(yù)測 PAGEREF _Toc108552636 h 9 HYPERLINK l _Toc108552637 一、 干法刻蝕是芯片制造的主流技術(shù) PAGEREF _Toc108552637 h 9 HYPERLINK l _Toc108552638 二、 原子層刻蝕為未來技術(shù)發(fā)展方向 PAGEREF _Toc108552638 h 10 HYPERLINK l _Toc108552639 三、 離子束刻蝕 P

2、AGEREF _Toc108552639 h 13 HYPERLINK l _Toc108552640 第二章 背景、必要性分析 PAGEREF _Toc108552640 h 15 HYPERLINK l _Toc108552641 一、 等離子體刻蝕面臨的問題 PAGEREF _Toc108552641 h 15 HYPERLINK l _Toc108552642 二、 反應(yīng)離子刻蝕 PAGEREF _Toc108552642 h 15 HYPERLINK l _Toc108552643 三、 聚力聚焦融入新發(fā)展格局 PAGEREF _Toc108552643 h 16 HYPERLINK

3、 l _Toc108552644 第三章 總論 PAGEREF _Toc108552644 h 17 HYPERLINK l _Toc108552645 一、 項目名稱及建設(shè)性質(zhì) PAGEREF _Toc108552645 h 17 HYPERLINK l _Toc108552646 二、 項目承辦單位 PAGEREF _Toc108552646 h 17 HYPERLINK l _Toc108552647 三、 項目定位及建設(shè)理由 PAGEREF _Toc108552647 h 18 HYPERLINK l _Toc108552648 四、 報告編制說明 PAGEREF _Toc108552

4、648 h 20 HYPERLINK l _Toc108552649 五、 項目建設(shè)選址 PAGEREF _Toc108552649 h 22 HYPERLINK l _Toc108552650 六、 項目生產(chǎn)規(guī)模 PAGEREF _Toc108552650 h 22 HYPERLINK l _Toc108552651 七、 建筑物建設(shè)規(guī)模 PAGEREF _Toc108552651 h 22 HYPERLINK l _Toc108552652 八、 環(huán)境影響 PAGEREF _Toc108552652 h 22 HYPERLINK l _Toc108552653 九、 項目總投資及資金構(gòu)成

5、PAGEREF _Toc108552653 h 23 HYPERLINK l _Toc108552654 十、 資金籌措方案 PAGEREF _Toc108552654 h 23 HYPERLINK l _Toc108552655 十一、 項目預(yù)期經(jīng)濟(jì)效益規(guī)劃目標(biāo) PAGEREF _Toc108552655 h 23 HYPERLINK l _Toc108552656 十二、 項目建設(shè)進(jìn)度規(guī)劃 PAGEREF _Toc108552656 h 24 HYPERLINK l _Toc108552657 主要經(jīng)濟(jì)指標(biāo)一覽表 PAGEREF _Toc108552657 h 24 HYPERLINK l

6、 _Toc108552658 第四章 建設(shè)規(guī)模與產(chǎn)品方案 PAGEREF _Toc108552658 h 27 HYPERLINK l _Toc108552659 一、 建設(shè)規(guī)模及主要建設(shè)內(nèi)容 PAGEREF _Toc108552659 h 27 HYPERLINK l _Toc108552660 二、 產(chǎn)品規(guī)劃方案及生產(chǎn)綱領(lǐng) PAGEREF _Toc108552660 h 27 HYPERLINK l _Toc108552661 產(chǎn)品規(guī)劃方案一覽表 PAGEREF _Toc108552661 h 28 HYPERLINK l _Toc108552662 第五章 項目選址分析 PAGEREF

7、_Toc108552662 h 29 HYPERLINK l _Toc108552663 一、 項目選址原則 PAGEREF _Toc108552663 h 29 HYPERLINK l _Toc108552664 二、 建設(shè)區(qū)基本情況 PAGEREF _Toc108552664 h 29 HYPERLINK l _Toc108552665 三、 聚力聚焦打造產(chǎn)業(yè)高地 PAGEREF _Toc108552665 h 30 HYPERLINK l _Toc108552666 四、 聚力聚焦城市品質(zhì)提升 PAGEREF _Toc108552666 h 32 HYPERLINK l _Toc1085

8、52667 五、 項目選址綜合評價 PAGEREF _Toc108552667 h 34 HYPERLINK l _Toc108552668 第六章 建筑技術(shù)方案說明 PAGEREF _Toc108552668 h 35 HYPERLINK l _Toc108552669 一、 項目工程設(shè)計總體要求 PAGEREF _Toc108552669 h 35 HYPERLINK l _Toc108552670 二、 建設(shè)方案 PAGEREF _Toc108552670 h 35 HYPERLINK l _Toc108552671 三、 建筑工程建設(shè)指標(biāo) PAGEREF _Toc108552671 h

9、 39 HYPERLINK l _Toc108552672 建筑工程投資一覽表 PAGEREF _Toc108552672 h 39 HYPERLINK l _Toc108552673 第七章 發(fā)展規(guī)劃 PAGEREF _Toc108552673 h 41 HYPERLINK l _Toc108552674 一、 公司發(fā)展規(guī)劃 PAGEREF _Toc108552674 h 41 HYPERLINK l _Toc108552675 二、 保障措施 PAGEREF _Toc108552675 h 42 HYPERLINK l _Toc108552676 第八章 法人治理 PAGEREF _Toc

10、108552676 h 44 HYPERLINK l _Toc108552677 一、 股東權(quán)利及義務(wù) PAGEREF _Toc108552677 h 44 HYPERLINK l _Toc108552678 二、 董事 PAGEREF _Toc108552678 h 49 HYPERLINK l _Toc108552679 三、 高級管理人員 PAGEREF _Toc108552679 h 53 HYPERLINK l _Toc108552680 四、 監(jiān)事 PAGEREF _Toc108552680 h 55 HYPERLINK l _Toc108552681 第九章 SWOT分析 PAG

11、EREF _Toc108552681 h 58 HYPERLINK l _Toc108552682 一、 優(yōu)勢分析（S） PAGEREF _Toc108552682 h 58 HYPERLINK l _Toc108552683 二、 劣勢分析（W） PAGEREF _Toc108552683 h 60 HYPERLINK l _Toc108552684 三、 機(jī)會分析（O） PAGEREF _Toc108552684 h 60 HYPERLINK l _Toc108552685 四、 威脅分析（T） PAGEREF _Toc108552685 h 62 HYPERLINK l _Toc1085

12、52686 第十章 項目環(huán)保分析 PAGEREF _Toc108552686 h 67 HYPERLINK l _Toc108552687 一、 編制依據(jù) PAGEREF _Toc108552687 h 67 HYPERLINK l _Toc108552688 二、 建設(shè)期大氣環(huán)境影響分析 PAGEREF _Toc108552688 h 67 HYPERLINK l _Toc108552689 三、 建設(shè)期水環(huán)境影響分析 PAGEREF _Toc108552689 h 71 HYPERLINK l _Toc108552690 四、 建設(shè)期固體廢棄物環(huán)境影響分析 PAGEREF _Toc1085

13、52690 h 71 HYPERLINK l _Toc108552691 五、 建設(shè)期聲環(huán)境影響分析 PAGEREF _Toc108552691 h 72 HYPERLINK l _Toc108552692 六、 環(huán)境管理分析 PAGEREF _Toc108552692 h 73 HYPERLINK l _Toc108552693 七、 結(jié)論 PAGEREF _Toc108552693 h 76 HYPERLINK l _Toc108552694 八、 建議 PAGEREF _Toc108552694 h 76 HYPERLINK l _Toc108552695 第十一章 進(jìn)度計劃方案 PAG

14、EREF _Toc108552695 h 78 HYPERLINK l _Toc108552696 一、 項目進(jìn)度安排 PAGEREF _Toc108552696 h 78 HYPERLINK l _Toc108552697 項目實施進(jìn)度計劃一覽表 PAGEREF _Toc108552697 h 78 HYPERLINK l _Toc108552698 二、 項目實施保障措施 PAGEREF _Toc108552698 h 79 HYPERLINK l _Toc108552699 第十二章 項目節(jié)能說明 PAGEREF _Toc108552699 h 80 HYPERLINK l _Toc10

15、8552700 一、 項目節(jié)能概述 PAGEREF _Toc108552700 h 80 HYPERLINK l _Toc108552701 二、 能源消費種類和數(shù)量分析 PAGEREF _Toc108552701 h 81 HYPERLINK l _Toc108552702 能耗分析一覽表 PAGEREF _Toc108552702 h 82 HYPERLINK l _Toc108552703 三、 項目節(jié)能措施 PAGEREF _Toc108552703 h 82 HYPERLINK l _Toc108552704 四、 節(jié)能綜合評價 PAGEREF _Toc108552704 h 85

16、HYPERLINK l _Toc108552705 第十三章 勞動安全生產(chǎn)分析 PAGEREF _Toc108552705 h 86 HYPERLINK l _Toc108552706 一、 編制依據(jù) PAGEREF _Toc108552706 h 86 HYPERLINK l _Toc108552707 二、 防范措施 PAGEREF _Toc108552707 h 89 HYPERLINK l _Toc108552708 三、 預(yù)期效果評價 PAGEREF _Toc108552708 h 94 HYPERLINK l _Toc108552709 第十四章 項目投資計劃 PAGEREF _T

17、oc108552709 h 95 HYPERLINK l _Toc108552710 一、 編制說明 PAGEREF _Toc108552710 h 95 HYPERLINK l _Toc108552711 二、 建設(shè)投資 PAGEREF _Toc108552711 h 95 HYPERLINK l _Toc108552712 建筑工程投資一覽表 PAGEREF _Toc108552712 h 96 HYPERLINK l _Toc108552713 主要設(shè)備購置一覽表 PAGEREF _Toc108552713 h 97 HYPERLINK l _Toc108552714 建設(shè)投資估算表 P

18、AGEREF _Toc108552714 h 98 HYPERLINK l _Toc108552715 三、 建設(shè)期利息 PAGEREF _Toc108552715 h 99 HYPERLINK l _Toc108552716 建設(shè)期利息估算表 PAGEREF _Toc108552716 h 99 HYPERLINK l _Toc108552717 固定資產(chǎn)投資估算表 PAGEREF _Toc108552717 h 100 HYPERLINK l _Toc108552718 四、 流動資金 PAGEREF _Toc108552718 h 101 HYPERLINK l _Toc10855271

19、9 流動資金估算表 PAGEREF _Toc108552719 h 102 HYPERLINK l _Toc108552720 五、 項目總投資 PAGEREF _Toc108552720 h 103 HYPERLINK l _Toc108552721 總投資及構(gòu)成一覽表 PAGEREF _Toc108552721 h 103 HYPERLINK l _Toc108552722 六、 資金籌措與投資計劃 PAGEREF _Toc108552722 h 104 HYPERLINK l _Toc108552723 項目投資計劃與資金籌措一覽表 PAGEREF _Toc108552723 h 104

20、 HYPERLINK l _Toc108552724 第十五章 經(jīng)濟(jì)效益分析 PAGEREF _Toc108552724 h 106 HYPERLINK l _Toc108552725 一、 基本假設(shè)及基礎(chǔ)參數(shù)選取 PAGEREF _Toc108552725 h 106 HYPERLINK l _Toc108552726 二、 經(jīng)濟(jì)評價財務(wù)測算 PAGEREF _Toc108552726 h 106 HYPERLINK l _Toc108552727 營業(yè)收入、稅金及附加和增值稅估算表 PAGEREF _Toc108552727 h 106 HYPERLINK l _Toc108552728

21、綜合總成本費用估算表 PAGEREF _Toc108552728 h 108 HYPERLINK l _Toc108552729 利潤及利潤分配表 PAGEREF _Toc108552729 h 110 HYPERLINK l _Toc108552730 三、 項目盈利能力分析 PAGEREF _Toc108552730 h 111 HYPERLINK l _Toc108552731 項目投資現(xiàn)金流量表 PAGEREF _Toc108552731 h 112 HYPERLINK l _Toc108552732 四、 財務(wù)生存能力分析 PAGEREF _Toc108552732 h 114 HY

22、PERLINK l _Toc108552733 五、 償債能力分析 PAGEREF _Toc108552733 h 114 HYPERLINK l _Toc108552734 借款還本付息計劃表 PAGEREF _Toc108552734 h 115 HYPERLINK l _Toc108552735 六、 經(jīng)濟(jì)評價結(jié)論 PAGEREF _Toc108552735 h 116 HYPERLINK l _Toc108552736 第十六章 項目招標(biāo)方案 PAGEREF _Toc108552736 h 117 HYPERLINK l _Toc108552737 一、 項目招標(biāo)依據(jù) PAGEREF

23、_Toc108552737 h 117 HYPERLINK l _Toc108552738 二、 項目招標(biāo)范圍 PAGEREF _Toc108552738 h 117 HYPERLINK l _Toc108552739 三、 招標(biāo)要求 PAGEREF _Toc108552739 h 117 HYPERLINK l _Toc108552740 四、 招標(biāo)組織方式 PAGEREF _Toc108552740 h 118 HYPERLINK l _Toc108552741 五、 招標(biāo)信息發(fā)布 PAGEREF _Toc108552741 h 118 HYPERLINK l _Toc108552742

24、第十七章 風(fēng)險防范 PAGEREF _Toc108552742 h 119 HYPERLINK l _Toc108552743 一、 項目風(fēng)險分析 PAGEREF _Toc108552743 h 119 HYPERLINK l _Toc108552744 二、 項目風(fēng)險對策 PAGEREF _Toc108552744 h 121 HYPERLINK l _Toc108552745 第十八章 項目總結(jié)分析 PAGEREF _Toc108552745 h 123 HYPERLINK l _Toc108552746 第十九章 補(bǔ)充表格 PAGEREF _Toc108552746 h 125 HYPE

25、RLINK l _Toc108552747 營業(yè)收入、稅金及附加和增值稅估算表 PAGEREF _Toc108552747 h 125 HYPERLINK l _Toc108552748 綜合總成本費用估算表 PAGEREF _Toc108552748 h 125 HYPERLINK l _Toc108552749 固定資產(chǎn)折舊費估算表 PAGEREF _Toc108552749 h 126 HYPERLINK l _Toc108552750 無形資產(chǎn)和其他資產(chǎn)攤銷估算表 PAGEREF _Toc108552750 h 127 HYPERLINK l _Toc108552751 利潤及利潤分配

26、表 PAGEREF _Toc108552751 h 128 HYPERLINK l _Toc108552752 項目投資現(xiàn)金流量表 PAGEREF _Toc108552752 h 129 HYPERLINK l _Toc108552753 借款還本付息計劃表 PAGEREF _Toc108552753 h 130 HYPERLINK l _Toc108552754 建設(shè)投資估算表 PAGEREF _Toc108552754 h 131 HYPERLINK l _Toc108552755 建設(shè)投資估算表 PAGEREF _Toc108552755 h 131 HYPERLINK l _Toc10

27、8552756 建設(shè)期利息估算表 PAGEREF _Toc108552756 h 132 HYPERLINK l _Toc108552757 固定資產(chǎn)投資估算表 PAGEREF _Toc108552757 h 133 HYPERLINK l _Toc108552758 流動資金估算表 PAGEREF _Toc108552758 h 134 HYPERLINK l _Toc108552759 總投資及構(gòu)成一覽表 PAGEREF _Toc108552759 h 135 HYPERLINK l _Toc108552760 項目投資計劃與資金籌措一覽表 PAGEREF _Toc108552760 h

28、136本報告為模板參考范文，不作為投資建議，僅供參考。報告產(chǎn)業(yè)背景、市場分析、技術(shù)方案、風(fēng)險評估等內(nèi)容基于公開信息；項目建設(shè)方案、投資估算、經(jīng)濟(jì)效益分析等內(nèi)容基于行業(yè)研究模型。本報告可用于學(xué)習(xí)交流或模板參考應(yīng)用。市場預(yù)測干法刻蝕是芯片制造的主流技術(shù)刻蝕設(shè)備處于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游環(huán)節(jié)。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的上游由為設(shè)計、制造和封測環(huán)節(jié)提供軟件及知識產(chǎn)權(quán)、硬件設(shè)備、原材料等生產(chǎn)資料的核心產(chǎn)業(yè)組成。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的中游可以分為半導(dǎo)體芯片設(shè)計環(huán)節(jié)、制造環(huán)節(jié)和封裝測試環(huán)節(jié)。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的下游為半導(dǎo)體終端產(chǎn)品以及其衍生的應(yīng)用、系統(tǒng)等?？涛g的基本目標(biāo)是在涂膠的硅片上正確的復(fù)制掩模圖形?？涛g是指使用化學(xué)或物理方法有選擇地

29、從硅片表面去除不需要的材料的過程，并保證有圖形的光刻膠在刻蝕中不受到腐蝕源顯著的侵蝕。常用來代表刻蝕效率的參數(shù)主要有：刻蝕速率、刻蝕剖面、刻蝕偏差和選擇比等?？涛g速率指刻蝕過程中去除硅片表面材料的速度；刻蝕剖面指的是刻蝕圖形的側(cè)壁形狀，通常分為各向同性和各向異性剖面；刻蝕偏差指的是線寬或關(guān)鍵尺寸間距的變化，通常由橫向鉆蝕引起；選擇比指的是同一刻蝕條件下兩種材料刻蝕速率比，高選擇比意味著不需要的材料會被刻除?？涛g技術(shù)按工藝分類可分為濕法刻蝕和干法刻蝕，其中干法刻蝕是最主要的用來去除表面材料的刻蝕方法，濕法刻蝕主要包括化學(xué)刻蝕和電解刻蝕。由于在濕法刻蝕技術(shù)中使用液體試劑，相對于干法刻蝕，容易導(dǎo)致邊

30、側(cè)形成斜坡、要求沖洗或干燥等步驟。因此干法刻蝕被普遍應(yīng)用于先進(jìn)制程的小特征尺寸精細(xì)刻蝕中，并在刻蝕率、微粒損傷等方面具有較大的優(yōu)勢。目前先進(jìn)的集成電路制造技術(shù)中用于刻蝕關(guān)鍵層最主要的刻蝕方法是單片處理的高密度等離子體刻蝕技術(shù)。一個等離子體刻蝕機(jī)的基本部件包括發(fā)生刻蝕反應(yīng)的反應(yīng)腔、產(chǎn)生等離子體氣的射頻電源、氣體流量控制系統(tǒng)、去除生成物的真空系統(tǒng)?？涛g中會用到大量的化學(xué)氣體，通常用氟刻蝕二氧化硅，氯和氟刻蝕鋁，氯、氟和溴刻蝕硅，氧去除光刻膠。原子層刻蝕為未來技術(shù)發(fā)展方向隨著國際上高端量產(chǎn)芯片從14nm-10nm階段向7nm、5nm甚至更小的方向發(fā)展，當(dāng)前市場普遍使用的沉浸式光刻機(jī)受光波長的限制，關(guān)

31、鍵尺寸無法滿足要求，必須采用多重模板工藝，利用刻蝕工藝實現(xiàn)更小的尺寸，使得刻蝕技術(shù)及相關(guān)設(shè)備的重要性進(jìn)一步提升。制程升級背景下，刻蝕次數(shù)顯著增加。隨著半導(dǎo)體制程的不斷縮小，受光波長限制，關(guān)鍵尺寸無法滿足要求，必須采用多重模板工藝，重復(fù)多次薄膜沉積和刻蝕工序以實現(xiàn)更小的線寬，使得薄膜沉積和刻蝕次數(shù)顯著增加以及刻蝕設(shè)備在晶圓產(chǎn)線中價值比率不斷上升，其中20納米工藝需要的刻蝕步驟約為50次，而10納米工藝和7納米工藝所需刻蝕步驟則超過100次。以硅片上的原子層刻蝕為例，首先，氯氣被導(dǎo)入刻蝕腔，氯氣分子吸附于硅材料的表面，形成一個氯化層。這一步改性步驟具有自限制性：表面一旦飽和，反應(yīng)立即停止。緊接著清

32、楚刻蝕腔中過量的氯氣，并引入氬離子。使這些離子轟擊硅片，物理性去除硅-氯反應(yīng)后產(chǎn)生的氯化層，進(jìn)而留下下層未經(jīng)改性的硅表面。這種去除過程仍然依靠自限制性，在氯化層被全部去除后，過程中止。以上兩個步驟完成后，一層極薄的材料就能被精準(zhǔn)的從硅片上去除。半導(dǎo)體設(shè)備市場快速發(fā)展，刻蝕設(shè)備價值量可觀半導(dǎo)體設(shè)備市場快速發(fā)展，2022有望再創(chuàng)新高。隨著2013年以來全球半導(dǎo)體行業(yè)的整體發(fā)展，半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模也實現(xiàn)快速增長。根據(jù)SEMI統(tǒng)計，2013年到2020年間，全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額由320億美元提升至712億美元，年復(fù)合增速達(dá)到12.10%。2021年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模突破1000億美元，達(dá)到歷史

33、新高的1026億美元，同比大增44。根據(jù)SEMI預(yù)測，2022年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場有望再創(chuàng)新高，達(dá)到1140億美元。目前全球半導(dǎo)體設(shè)備的市場主要由國外廠商高度壟斷。根據(jù)芯智訊發(fā)布的基于各公司財報統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，在未剔除FPD設(shè)備及相關(guān)服務(wù)收入、以2021年度中間匯率為基準(zhǔn)進(jìn)行計算，2021年全球前十五大半導(dǎo)體設(shè)備廠商中僅有一家ASMPacificTechnology來自中國香港，2021年銷售額為17.39億美元，位列榜單第14位。整體來看目前全球半導(dǎo)體設(shè)備市場主要被外國市場壟斷?？涛g設(shè)備投資占比不斷，成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)第一大設(shè)備。先進(jìn)集成電路大規(guī)模生產(chǎn)線的投資可達(dá)100億美元，75%以上是半導(dǎo)體設(shè)

34、備投資，其中最關(guān)鍵、最大宗的設(shè)備是等離子體刻蝕設(shè)備。根據(jù)SEMI的統(tǒng)計數(shù)據(jù)，2018年晶圓加工設(shè)備價值構(gòu)成中，刻蝕、光刻、CVD設(shè)備占比分別為22.14%、21.30%、16.48%，刻蝕設(shè)備成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)第一大設(shè)備。過去50年中，人類微觀加工能力不斷提升，從電子管計算機(jī)到現(xiàn)在的14納米、7納米器件，微觀器件的基本單元面積縮小了一萬億倍。由于光的波長限制，20納米以下微觀結(jié)構(gòu)的加工更多使用等離子體刻蝕和薄膜沉積的組合。集成電路芯片的制造工藝需要成百上千個步驟，其中等離子體刻蝕就需要幾十到上百個步驟，是在制造過程中使用次數(shù)頻多、加工過程非常復(fù)雜的重要加工技術(shù)。泛林半導(dǎo)體占據(jù)刻蝕設(shè)備半壁江山光刻機(jī)

35、和刻蝕機(jī)作為產(chǎn)業(yè)的核心裝備，占據(jù)了半導(dǎo)體設(shè)備投資中較大的份額。隨著半導(dǎo)體技術(shù)進(jìn)步中器件互連層數(shù)增多，介質(zhì)刻蝕設(shè)備的使用量不斷增大，泛林半導(dǎo)體利用其較低的設(shè)備成本和相對簡單的設(shè)計，逐漸在65nm、45nm設(shè)備市場超過TEL等企業(yè)，占據(jù)了全球大半個市場，成為行業(yè)龍頭。根據(jù)Gartner的數(shù)據(jù)顯示，目前全球刻蝕設(shè)備行業(yè)的龍頭企業(yè)仍然為泛林半導(dǎo)體、東京電子和應(yīng)用材料三家，從市占率情況來看，2020年三家企業(yè)的合計市場份額占到了全球刻蝕設(shè)備市場的90%以上，其中泛林半導(dǎo)體獨占44.7%的市場份額。全球龍頭持續(xù)投入，加強(qiáng)研發(fā)、外圍并購維持競爭力。應(yīng)用材料于2018年6月宣布成立材料工程技術(shù)推動中心（MET

36、A中心），主要目標(biāo)是加快客戶獲得新的芯片制造材料和工藝技術(shù)，從而在半導(dǎo)體性能、成本方面實現(xiàn)突破。泛林半導(dǎo)體依靠自身巨大的研發(fā)投入和強(qiáng)大的研發(fā)團(tuán)隊，自主研發(fā)核心技術(shù)，走在半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)前沿，開創(chuàng)多個行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，如其KIYO系列創(chuàng)造了業(yè)內(nèi)最高生產(chǎn)力、選擇比等多項記錄，其ALTUSMaxE系列采用業(yè)界首款低氟鎢ALD工藝，被視作鎢原子層沉積的行業(yè)標(biāo)桿。除此之外，泛林半導(dǎo)體首創(chuàng)ALE技術(shù)，實現(xiàn)了原子層級別的可變控制性和業(yè)內(nèi)最高選擇比。離子束刻蝕離子束刻蝕（IBE）是具有較強(qiáng)方向性等離子體的一種物理刻蝕機(jī)理。他能對小尺寸圖型產(chǎn)生各向異性刻蝕，等離子體通常是由電感耦合RF源或微波源產(chǎn)生的。熱燈絲發(fā)射快速運

37、動的電子。氬原子通過擴(kuò)散篩進(jìn)入等離子體腔內(nèi)。電磁場環(huán)繞等離子體腔，磁場使電子在圓形軌道上運動，這種循環(huán)運動是的電子與氬原子產(chǎn)生多次碰撞，從而產(chǎn)生大量的正氬離子，正氬離子被從帶格柵電極的等離子體源中引出并用一套校準(zhǔn)的電極來形成高密度束流。離子束刻蝕主要用于金、鉑、銅等較難刻蝕的材料。優(yōu)勢在于硅片可以傾斜以獲取不同的側(cè)壁形狀。但也面臨低選擇比和低刻蝕速率的問題。背景、必要性分析等離子體刻蝕面臨的問題隨著當(dāng)前先進(jìn)芯片關(guān)鍵尺寸的不斷減小以及FinFET與3DNAND等三維結(jié)構(gòu)的出現(xiàn)，不同尺寸的結(jié)構(gòu)在刻蝕中的速率差異將影響刻蝕速率，對于高深寬比的圖形窗口來說，化學(xué)刻蝕劑難以進(jìn)入，反應(yīng)生成物難以排出。另外

38、，薄膜堆棧一般由多層材料組成，不同材料的刻蝕速率不同，很多刻蝕工藝都要求具有極高的選擇比。第三個問題在于當(dāng)達(dá)到期望深度之后，等離子體中的高能離子可能會導(dǎo)致硅片表面粗糙或底層材料損傷。干法刻蝕通常不能提供對下一層材料足夠高的刻蝕選擇比。在這種情況下，一個等離子體刻蝕機(jī)應(yīng)裝上一個終點檢測系統(tǒng)，使得在造成最小的過刻蝕時停止刻蝕過程。當(dāng)下一層材料正好露出來時，重點檢測器會觸發(fā)刻蝕機(jī)控制器而停止刻蝕。反應(yīng)離子刻蝕反應(yīng)離子刻蝕（RIE）是一種采用化學(xué)反應(yīng)和物理離子轟擊去除硅片表面材料的技術(shù)，是當(dāng)前常用技術(shù)路徑，屬于物理和化學(xué)混合刻蝕。在傳統(tǒng)的反應(yīng)離子刻蝕機(jī)中，進(jìn)入反應(yīng)室的氣體會被分解電離為等離子體，等離子

39、體由反應(yīng)正離子、自由基、反應(yīng)原子等組成。反應(yīng)正離子會轟擊硅片表面形成物理刻蝕，同時被轟擊的硅片表面化學(xué)活性被提高，之后硅片會與自由基和反應(yīng)原子形成化學(xué)刻蝕。這個過程中由于離子轟擊帶有方向性，RIE技術(shù)具有較好的各向異性。聚力聚焦融入新發(fā)展格局持續(xù)深化改革攻堅。大力推進(jìn)要素市場化配置、資源規(guī)范化開發(fā)利用、市屬經(jīng)營性國有資產(chǎn)集中統(tǒng)一監(jiān)管及國資國企、供銷合作社等重點領(lǐng)域改革，深化財稅體制、投融資體制、開發(fā)區(qū)體制機(jī)制改革。啟動產(chǎn)業(yè)投資、金融控股、城市建設(shè)、文化旅游、公用事業(yè)等領(lǐng)域功能性國資平臺建設(shè)、優(yōu)化與整合。大力支持民營資本參與混合所有制改革。不斷深化“放管服”改革，全面實行政府權(quán)責(zé)清單制度；加快行

40、政審批服務(wù)流程再造，實施“互聯(lián)網(wǎng)+政務(wù)服務(wù)”行動，擦亮“泰好辦”高效政務(wù)服務(wù)品牌。嚴(yán)格落實公平競爭審查制度，強(qiáng)化反不正當(dāng)競爭執(zhí)法。加快構(gòu)建以信用為基礎(chǔ)的新型監(jiān)管機(jī)制。大力弘揚(yáng)企業(yè)家精神，構(gòu)建親清新型政商關(guān)系，支持企業(yè)家以恒心辦恒業(yè)?？傉擁椖棵Q及建設(shè)性質(zhì)（一）項目名稱泰安機(jī)械設(shè)備項目（二）項目建設(shè)性質(zhì)本項目屬于新建項目項目承辦單位（一）項目承辦單位名稱xx有限責(zé)任公司（二）項目聯(lián)系人閆xx（三）項目建設(shè)單位概況公司秉承“以人為本、品質(zhì)為本”的發(fā)展理念，倡導(dǎo)“誠信尊重”的企業(yè)情懷；堅持“品質(zhì)營造未來，細(xì)節(jié)決定成敗”為質(zhì)量方針；以“真誠服務(wù)贏得市場，以優(yōu)質(zhì)品質(zhì)謀求發(fā)展”的營銷思路；以科學(xué)發(fā)展觀縱觀

41、全局，爭取實現(xiàn)行業(yè)領(lǐng)軍、技術(shù)領(lǐng)先、產(chǎn)品領(lǐng)跑的發(fā)展目標(biāo)。 公司依據(jù)公司法等法律法規(guī)、規(guī)范性文件及公司章程的有關(guān)規(guī)定，制定并由股東大會審議通過了董事會議事規(guī)則，董事會議事規(guī)則對董事會的職權(quán)、召集、提案、出席、議事、表決、決議及會議記錄等進(jìn)行了規(guī)范。 公司將依法合規(guī)作為新形勢下實現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展的基本保障，堅持合規(guī)是底線、合規(guī)高于經(jīng)濟(jì)利益的理念，確立了合規(guī)管理的戰(zhàn)略定位，進(jìn)一步明確了全面合規(guī)管理責(zé)任。公司不斷強(qiáng)化重大決策、重大事項的合規(guī)論證審查，加強(qiáng)合規(guī)風(fēng)險防控，確保依法管理、合規(guī)經(jīng)營。嚴(yán)格貫徹落實國家法律法規(guī)和政府監(jiān)管要求，重點領(lǐng)域合規(guī)管理不斷強(qiáng)化，各部門分工負(fù)責(zé)、齊抓共管、協(xié)同聯(lián)動的大合規(guī)管理格局逐

42、步建立，廣大員工合規(guī)意識普遍增強(qiáng)，合規(guī)文化氛圍更加濃厚。公司注重發(fā)揮員工民主管理、民主參與、民主監(jiān)督的作用，建立了工會組織，并通過明確職工代表大會各項職權(quán)、組織制度、工作制度，進(jìn)一步規(guī)范廠務(wù)公開的內(nèi)容、程序、形式，企業(yè)民主管理水平進(jìn)一步提升。圍繞公司戰(zhàn)略和高質(zhì)量發(fā)展，以提高全員思想政治素質(zhì)、業(yè)務(wù)素質(zhì)和履職能力為核心，堅持戰(zhàn)略導(dǎo)向、問題導(dǎo)向和需求導(dǎo)向，持續(xù)深化教育培訓(xùn)改革，精準(zhǔn)實施培訓(xùn)，努力實現(xiàn)員工成長與公司發(fā)展的良性互動。項目定位及建設(shè)理由在先進(jìn)的集成電路制造技術(shù)中用于刻蝕關(guān)鍵層最主要的刻蝕方法是單片處理的高密度等離子體刻蝕技術(shù)。根據(jù)產(chǎn)生等離子體方法的不同，等離子體刻蝕主要分為電容性等離子體刻

43、蝕（CCP）、電感性等離子體刻蝕(ICP)、電子回旋加速震蕩（ECR）和雙等離子體源。當(dāng)前和今后一個時期，我國發(fā)展仍然處于重要戰(zhàn)略機(jī)遇期，但機(jī)遇和挑戰(zhàn)都有新的發(fā)展變化。當(dāng)今世界正經(jīng)歷百年未有之大變局，新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革深入發(fā)展，國際力量對比深刻調(diào)整，和平與發(fā)展仍然是時代主題，人類命運共同體理念更加深入人心，同時國際環(huán)境日趨復(fù)雜，不穩(wěn)定性不確定性明顯增加，新冠肺炎疫情影響廣泛深遠(yuǎn)，經(jīng)濟(jì)全球化遭遇逆流，世界進(jìn)入動蕩變革期。我國已轉(zhuǎn)向高質(zhì)量發(fā)展階段，制度優(yōu)勢顯著，治理效能提升，經(jīng)濟(jì)長期向好，持續(xù)發(fā)展具有多方面優(yōu)勢和條件。同時，社會主要矛盾變化帶來一系列新特征新要求，科技創(chuàng)新催生新發(fā)展動能，社會

44、生產(chǎn)水平持續(xù)躍升，人民對美好生活的向往呈現(xiàn)多樣化、多層次、多方面的特點，強(qiáng)大國內(nèi)市場加速形成，發(fā)展的韌性強(qiáng)勁、空間廣闊。山東深度參與共建“一帶一路”，對接京津冀、長三角區(qū)位優(yōu)勢明顯，黃河流域生態(tài)保護(hù)和高質(zhì)量發(fā)展戰(zhàn)略賦予更大機(jī)遇，新舊動能轉(zhuǎn)換綜合試驗區(qū)、中國（山東）自由貿(mào)易試驗區(qū)、中國上合組織地方經(jīng)貿(mào)合作示范區(qū)等重大平臺加快建設(shè)，產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)雄厚，市場潛力巨大，改革紅利加速釋放。我市開啟新時代現(xiàn)代化強(qiáng)市建設(shè)新征程，各種積極因素加速集聚。以國內(nèi)大循環(huán)為主體、國內(nèi)國際雙循環(huán)相互促進(jìn)的新發(fā)展格局加速構(gòu)建，將有力推動泰安特色產(chǎn)業(yè)集約化、集群化發(fā)展，在區(qū)域經(jīng)濟(jì)科學(xué)分工、錯位發(fā)展中把握先機(jī)、贏得主動；新舊動能轉(zhuǎn)

45、換加快推進(jìn)，重點領(lǐng)域關(guān)鍵環(huán)節(jié)改革不斷深入，為高質(zhì)量發(fā)展提供強(qiáng)大動力和活力；以黃河流域生態(tài)保護(hù)和高質(zhì)量發(fā)展、省會經(jīng)濟(jì)圈等為牽引的重大發(fā)展戰(zhàn)略和政策在泰安疊加，為我市發(fā)展提供了強(qiáng)大支撐。但也要看到，我市發(fā)展正處于轉(zhuǎn)型升級、爬坡過坎的緊要關(guān)口，還面臨著綜合實力不夠強(qiáng)、傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)占比高、制造業(yè)占比低、經(jīng)濟(jì)外向度不高、資源環(huán)境約束趨緊、民生領(lǐng)域存在短板、社會治理還有弱項等問題。報告編制說明（一）報告編制依據(jù)1、中華人民共和國國民經(jīng)濟(jì)和社會發(fā)展第十四個五年規(guī)劃和2035年遠(yuǎn)景目標(biāo)綱要；2、中國制造2025；3、建設(shè)項目經(jīng)濟(jì)評價方法與參數(shù)及使用手冊（第三版）；4、項目公司提供的發(fā)展規(guī)劃、有關(guān)資料及相關(guān)數(shù)據(jù)等。

46、（二）報告編制原則1、堅持科學(xué)發(fā)展觀，采用科學(xué)規(guī)劃，合理布局，一次設(shè)計，分期實施的建設(shè)原則。2、根據(jù)行業(yè)未來發(fā)展趨勢，合理制定生產(chǎn)綱領(lǐng)和技術(shù)方案。3、堅持市場導(dǎo)向原則，根據(jù)行業(yè)的現(xiàn)有格局和未來發(fā)展方向，優(yōu)化設(shè)備選型和工藝方案，使企業(yè)的建設(shè)與未來的市場需求相吻合。4、貫徹技術(shù)進(jìn)步原則，產(chǎn)品及工藝設(shè)備選型達(dá)到目前國內(nèi)領(lǐng)先水平。同時合理使用項目資金，將先進(jìn)性與實用性有機(jī)結(jié)合，做到投入少、產(chǎn)出多，效益最大化。5、嚴(yán)格遵守“三同時”設(shè)計原則，對項目可能產(chǎn)生的污染源進(jìn)行綜合治理，使其達(dá)到國家規(guī)定的排放標(biāo)準(zhǔn)。（二） 報告主要內(nèi)容依據(jù)國家產(chǎn)業(yè)發(fā)展政策和有關(guān)部門的行業(yè)發(fā)展規(guī)劃以及項目承辦單位的實際情況，按照項目

47、的建設(shè)要求，對項目的實施在技術(shù)、經(jīng)濟(jì)、社會和環(huán)境保護(hù)等領(lǐng)域的科學(xué)性、合理性和可行性進(jìn)行研究論證。研究、分析和預(yù)測國內(nèi)外市場供需情況與建設(shè)規(guī)模，并提出主要技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)，對項目能否實施做出一個比較科學(xué)的評價，其主要內(nèi)容包括如下幾個方面:1、確定建設(shè)條件與項目選址。2、確定企業(yè)組織機(jī)構(gòu)及勞動定員。3、項目實施進(jìn)度建議。4、分析技術(shù)、經(jīng)濟(jì)、投資估算和資金籌措情況。5、預(yù)測項目的經(jīng)濟(jì)效益和社會效益及國民經(jīng)濟(jì)評價。項目建設(shè)選址本期項目選址位于xx，占地面積約42.00畝。項目擬定建設(shè)區(qū)域地理位置優(yōu)越，交通便利，規(guī)劃電力、給排水、通訊等公用設(shè)施條件完備，非常適宜本期項目建設(shè)。項目生產(chǎn)規(guī)模項目建成后，形成年產(chǎn)

48、xx套機(jī)械設(shè)備的生產(chǎn)能力。建筑物建設(shè)規(guī)模本期項目建筑面積53963.99，其中：生產(chǎn)工程35922.88，倉儲工程7298.26，行政辦公及生活服務(wù)設(shè)施6455.49，公共工程4287.36。環(huán)境影響本項目污染物主要為廢水、廢氣、噪聲和固廢等，通過污染防治措施后，各污染物均可達(dá)標(biāo)排放，并且保持相應(yīng)功能區(qū)要求。本項目符合各項政策和規(guī)劃，本項目各種污染物采取治理措施后對周圍環(huán)境影響較小。從環(huán)境保護(hù)角度，本項目建設(shè)是可行的。項目總投資及資金構(gòu)成（一）項目總投資構(gòu)成分析本期項目總投資包括建設(shè)投資、建設(shè)期利息和流動資金。根據(jù)謹(jǐn)慎財務(wù)估算，項目總投資18887.27萬元，其中：建設(shè)投資15646.19萬元

49、，占項目總投資的82.84%；建設(shè)期利息227.04萬元，占項目總投資的1.20%；流動資金3014.04萬元，占項目總投資的15.96%。（二）建設(shè)投資構(gòu)成本期項目建設(shè)投資15646.19萬元，包括工程費用、工程建設(shè)其他費用和預(yù)備費，其中：工程費用13811.55萬元，工程建設(shè)其他費用1405.22萬元，預(yù)備費429.42萬元。資金籌措方案本期項目總投資18887.27萬元，其中申請銀行長期貸款9266.79萬元，其余部分由企業(yè)自籌。項目預(yù)期經(jīng)濟(jì)效益規(guī)劃目標(biāo)（一）經(jīng)濟(jì)效益目標(biāo)值（正常經(jīng)營年份）1、營業(yè)收入（SP）：33700.00萬元。2、綜合總成本費用（TC）：28493.12萬元。3、凈

50、利潤（NP）：3794.43萬元。（二）經(jīng)濟(jì)效益評價目標(biāo)1、全部投資回收期（Pt）：6.37年。2、財務(wù)內(nèi)部收益率：14.74%。3、財務(wù)凈現(xiàn)值：4043.05萬元。項目建設(shè)進(jìn)度規(guī)劃本期項目按照國家基本建設(shè)程序的有關(guān)法規(guī)和實施指南要求進(jìn)行建設(shè)，本期項目建設(shè)期限規(guī)劃12個月。十四、項目綜合評價該項目工藝技術(shù)方案先進(jìn)合理，原材料國內(nèi)市場供應(yīng)充足，生產(chǎn)規(guī)模適宜，產(chǎn)品質(zhì)量可靠，產(chǎn)品價格具有較強(qiáng)的競爭能力。該項目經(jīng)濟(jì)效益、社會效益顯著，抗風(fēng)險能力強(qiáng)，盈利能力強(qiáng)。綜上所述，本項目是可行的。主要經(jīng)濟(jì)指標(biāo)一覽表序號項目單位指標(biāo)備注1占地面積28000.00約42.00畝1.1總建筑面積53963.991.2基

51、底面積16240.001.3投資強(qiáng)度萬元/畝365.762總投資萬元18887.272.1建設(shè)投資萬元15646.192.1.1工程費用萬元13811.552.1.2其他費用萬元1405.222.1.3預(yù)備費萬元429.422.2建設(shè)期利息萬元227.042.3流動資金萬元3014.043資金籌措萬元18887.273.1自籌資金萬元9620.483.2銀行貸款萬元9266.794營業(yè)收入萬元33700.00正常運營年份5總成本費用萬元28493.126利潤總額萬元5059.247凈利潤萬元3794.438所得稅萬元1264.819增值稅萬元1230.3510稅金及附加萬元147.6411納稅

52、總額萬元2642.8012工業(yè)增加值萬元9508.9513盈虧平衡點萬元15524.79產(chǎn)值14回收期年6.3715內(nèi)部收益率14.74%所得稅后16財務(wù)凈現(xiàn)值萬元4043.05所得稅后建設(shè)規(guī)模與產(chǎn)品方案建設(shè)規(guī)模及主要建設(shè)內(nèi)容（一）項目場地規(guī)模該項目總占地面積28000.00（折合約42.00畝），預(yù)計場區(qū)規(guī)劃總建筑面積53963.99。（二）產(chǎn)能規(guī)模根據(jù)國內(nèi)外市場需求和xx有限責(zé)任公司建設(shè)能力分析，建設(shè)規(guī)模確定達(dá)產(chǎn)年產(chǎn)xx套機(jī)械設(shè)備，預(yù)計年營業(yè)收入33700.00萬元。產(chǎn)品規(guī)劃方案及生產(chǎn)綱領(lǐng)本期項目產(chǎn)品主要從國家及地方產(chǎn)業(yè)發(fā)展政策、市場需求狀況、資源供應(yīng)情況、企業(yè)資金籌措能力、生產(chǎn)工藝技術(shù)水

53、平的先進(jìn)程度、項目經(jīng)濟(jì)效益及投資風(fēng)險性等方面綜合考慮確定。具體品種將根據(jù)市場需求狀況進(jìn)行必要的調(diào)整，各年生產(chǎn)綱領(lǐng)是根據(jù)人員及裝備生產(chǎn)能力水平，并參考市場需求預(yù)測情況確定，同時，把產(chǎn)量和銷量視為一致，本報告將按照初步產(chǎn)品方案進(jìn)行測算。常用來代表刻蝕效率的參數(shù)主要有：刻蝕速率、刻蝕剖面、刻蝕偏差和選擇比等?？涛g速率指刻蝕過程中去除硅片表面材料的速度；刻蝕剖面指的是刻蝕圖形的側(cè)壁形狀，通常分為各向同性和各向異性剖面；刻蝕偏差指的是線寬或關(guān)鍵尺寸間距的變化，通常由橫向鉆蝕引起；選擇比指的是同一刻蝕條件下兩種材料刻蝕速率比，高選擇比意味著不需要的材料會被刻除。產(chǎn)品規(guī)劃方案一覽表序號產(chǎn)品（服務(wù)）名稱單位單

54、價（元）年設(shè)計產(chǎn)量產(chǎn)值1機(jī)械設(shè)備套xx2機(jī)械設(shè)備套xx3機(jī)械設(shè)備套xx4.套5.套6.套合計xx33700.00項目選址分析項目選址原則項目選址應(yīng)符合城市發(fā)展總體規(guī)劃和對市政公共服務(wù)設(shè)施的布局要求；依托選址的地理條件，交通狀況，進(jìn)行建址分析；避免不良地質(zhì)地段(如溶洞、斷層、軟土、濕陷土等)；公用工程如城市電力、供排水管網(wǎng)等市政設(shè)施配套完善；場址要求交通方便，環(huán)境安靜，地形比較平整，能夠充分利.用城市基礎(chǔ)設(shè)施，遠(yuǎn)離污染源和易燃易爆的生產(chǎn)、儲存場所，便于生活和服務(wù)設(shè)施合理布局；場址上空無高壓輸電線路等障礙物通過，與其他公共建筑不造成相互干擾。建設(shè)區(qū)基本情況泰安市，山東省地級市，位于山東省中部，北依

55、省會濟(jì)南，南臨曲阜，東連商城臨沂，西瀕黃河，總面積7762平方千米。北距省會濟(jì)南市66.8千米。泰安因泰山而得名，“泰山安則四海皆安”，寓國泰民安之意，城區(qū)位于泰山腳下，依山而建，山城一體。境內(nèi)的泰山是國家重點風(fēng)景名勝區(qū)，有“五岳之首”、“天下第一山”的美譽(yù)，是世界自然與文化遺產(chǎn)。泰安市于1982年被列為第一批對外開放旅游城市。是魯中地區(qū)中心城市之一，中國優(yōu)秀旅游城市，國家歷史文化名城。2020年10月20日，被評為全國雙擁模范城（縣）。“十四五”時期，我市經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展目標(biāo)是：經(jīng)過五年不懈奮斗，新時代現(xiàn)代化強(qiáng)市建設(shè)取得突破性進(jìn)展。綜合實力顯著增強(qiáng)、發(fā)展質(zhì)效大幅提升、發(fā)展活力充分釋放、改革開放持

56、續(xù)深化、生態(tài)環(huán)境更加優(yōu)美、治理效能明顯提高、人民生活更加富足，在新材料和裝備制造、生態(tài)建設(shè)、文化旅游、高端康養(yǎng)、科技教育、區(qū)域交通、治理效能等方面走在全省前列，努力建成產(chǎn)業(yè)高地、生態(tài)綠地、文旅勝地、康養(yǎng)福地、科創(chuàng)名地。聚力聚焦打造產(chǎn)業(yè)高地做優(yōu)做強(qiáng)產(chǎn)業(yè)鏈條。實施“雁陣形”產(chǎn)業(yè)集群培育工程，加快培育十二大優(yōu)勢產(chǎn)業(yè)集群。支持骨干企業(yè)做大做強(qiáng)，實施“鏈長制”，大力培植具有“鏈主”地位的領(lǐng)軍企業(yè)。持續(xù)加大對“雙50強(qiáng)”企業(yè)支持力度，工業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)50強(qiáng)營業(yè)收入增幅高于規(guī)上工業(yè)企業(yè)平均水平5%，科技創(chuàng)新型企業(yè)50強(qiáng)營業(yè)收入同比增長15%。實施中小微企業(yè)優(yōu)選培育工程，組建企業(yè)經(jīng)理人“泰山學(xué)堂”，加強(qiáng)對民營企業(yè)

57、全方位服務(wù)，對中小企業(yè)全要素賦能。推進(jìn)“個轉(zhuǎn)企”“小升規(guī)”“規(guī)改股”“股上市”，年內(nèi)凈增規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)100家，做好泰鵬環(huán)保、新巨豐、寶來利來等擬上市企業(yè)定向扶持、精準(zhǔn)輔導(dǎo)，力爭實現(xiàn)突破。提升產(chǎn)業(yè)發(fā)展動能。深入實施“智能化技改”“技改+”工程，加快傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)改造提升。突出抓好478個工業(yè)技改項目，開發(fā)一批具有泰安特色的工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用場景。發(fā)揮華為（肥城）工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)創(chuàng)新中心輻射帶動作用，推進(jìn)產(chǎn)業(yè)數(shù)字化升級。新建5G基站3000個。大力發(fā)展現(xiàn)代物流、電子商務(wù)、現(xiàn)代金融等生產(chǎn)性服務(wù)業(yè)，建設(shè)好基金小鎮(zhèn)。加快新會展中心建設(shè)，打響泰山特色國際會展品牌。堅持向科技要效益，推動4個省級化工園區(qū)提檔升級。突出抓

58、好項目建設(shè)。健全完善“四個一批”調(diào)度制度，堅持清單化推進(jìn)、目標(biāo)化管理，加快建設(shè)石橫特鋼二期、正威泰安金屬新材料產(chǎn)業(yè)園、泰安二期抽水蓄能電站、恒信高科能源二期、國泰大成新材料、泰山玻纖深加工等省、市重點項目；提升國家級新能源示范城市建設(shè)水平，推進(jìn)國家級鹽穴儲氣儲能產(chǎn)業(yè)基地、省級液化天然氣儲備基地、華碩能源、華能泰安燃機(jī)熱電等重大項目取得突破。落實好重大投資項目“綠卡”制度，爭取更多項目納入新動能重大項目可視化督導(dǎo)服務(wù)平臺，推動更多符合條件的項目列入國家盤子。加大要素支撐力度。深化“要素跟著項目走”，落實差異化要素配置政策，加強(qiáng)要素配置市域內(nèi)統(tǒng)籌。強(qiáng)化政銀企對接，推動“信易貸”平臺建設(shè)，投放4億元

59、破解企業(yè)融資難題。發(fā)揮政府性融資擔(dān)保作用，為小微企業(yè)、“三農(nóng)”等提供更多融資擔(dān)保支持。積極爭取發(fā)行地方政府債、企業(yè)債，用足用好重點企業(yè)財源建設(shè)、工業(yè)發(fā)展、風(fēng)險投資、股權(quán)投資等各類基金。精準(zhǔn)配置新增建設(shè)用地指標(biāo)，盤活利用閑置廠房、土地，全面推行“畝均效益”評價改革。推動用能權(quán)、用水權(quán)、排污權(quán)等市場化交易。聚力聚焦城市品質(zhì)提升優(yōu)化城市發(fā)展格局。強(qiáng)化規(guī)劃引領(lǐng)作用，加快建立國土空間規(guī)劃體系，按照“先規(guī)劃后建設(shè)、先地下后地上、先路網(wǎng)后開發(fā)、先環(huán)境后發(fā)展”的原則，統(tǒng)籌城市規(guī)劃建設(shè)管理，轉(zhuǎn)變城市發(fā)展方式和運營模式。實施泰城“東拓、西興、南展、北控、中優(yōu)”城市空間發(fā)展戰(zhàn)略，進(jìn)一步拉開城市框架，優(yōu)化功能布局，著

60、力構(gòu)建“兩山相映、一河鑲嵌”的城市發(fā)展格局。加快融入省會經(jīng)濟(jì)圈。落實省會經(jīng)濟(jì)圈一體化發(fā)展規(guī)劃，實施“633工程”，加強(qiáng)與濟(jì)南文化旅游、醫(yī)養(yǎng)健康、智能制造等產(chǎn)業(yè)對接，聯(lián)合打造一批經(jīng)濟(jì)實力強(qiáng)、輻射帶動強(qiáng)的特色產(chǎn)業(yè)集群。推進(jìn)泰山景區(qū)與濟(jì)南南部山區(qū)協(xié)作發(fā)展，加強(qiáng)生態(tài)環(huán)境共保聯(lián)治，打造“大美泰山”生態(tài)文化共同體，高水平謀劃建設(shè)濟(jì)泰一體化發(fā)展先行示范區(qū)。加強(qiáng)基礎(chǔ)設(shè)施互聯(lián)互通，加快推進(jìn)S103東岳勝境旅游公路示范工程，抓好濟(jì)棗高鐵泰安東站、寧陽東站建設(shè)，推進(jìn)濟(jì)棗高鐵、泰安港東平港區(qū)、大清河航道工程、徂徠山和肥城通用機(jī)場建設(shè)，推動蓮花山機(jī)場軍民融合發(fā)展。京臺高速泰安至棗莊段建成通車，開工建設(shè)京臺高速濟(jì)南至泰安