ESD防靜電控制程序講課教案

1、Good is good, but better carries it.精益求精，善益求善。ESD防靜電控制程序-深圳市電子有限公司ESD防靜電控制程序文件編號：目的：本文指在規(guī)定斯比泰電子(深圳)有限公司內部的ESD規(guī)范，為公司產品在設計、制造、貯存、包裝等各個環(huán)節(jié)提供明確可靠的ESD技術支持，從整體上提高公司靜電防護和控制水平，提高客戶的滿意度。適用范圍：本文適用于斯比泰電子(深圳)有限公司及其分廠的防靜電控制。本文中的各項要求適用于防靜電敏感區(qū)域。當客戶的產品有特殊要求時，采用客戶要求。職責:3.1.各部門經理負責本部門工作區(qū)域、生產制造過程中的靜電防護措施的執(zhí)行。3.2.測試部負責根據(jù)

2、本程序要求實施防靜電用具的進料檢測和靜電線、接地線、靜電墊等防靜電設施測試和記錄以及所有相關記錄的保存。3.3.ESD防靜電委員會負責制定公司的防靜電措施要求和標準及監(jiān)督執(zhí)行狀況。概要：本文主要從靜電控制的五個方面(即人員、設備、物料、方法和環(huán)境)來論述ESD規(guī)范，貫穿了公司產品設計、制造、貯存、包裝等各個環(huán)節(jié)防靜電控制,穿插介紹了防靜電設施的技術要求，檢測方法和作業(yè)指導等內容。目錄：靜電敏感區(qū)域的界定。靜電敏感區(qū)域的工程環(huán)境防靜電規(guī)范。靜電敏感區(qū)域的人員防靜電規(guī)范。靜電敏感區(qū)域的防靜電操作方法規(guī)范。靜電敏感區(qū)域的工裝,設備,儀器以及防靜電器材的防靜電規(guī)范。常用的檢測方法。靜電防護作業(yè)管理指導

3、。附錄A-ESD相關術語。附錄B-常用的防靜電標志。附錄C-部分靜電敏感器件的靜電敏感電壓。附錄D-引用的標準及參考文獻。附錄E-相關記錄。附錄F-版本修訂歷史記錄。靜電敏感區(qū)域的界定：靜電敏感區(qū)域確定：ESD敏感器件的生產區(qū)域-生產線等。ESD敏感器件的前加工區(qū)域-前加工房。ESD敏感器件的貯存區(qū)域-庫房和在線庫。ESD敏感器件的返修區(qū)域-返修區(qū)及返修工位。ESD敏感器件的老化區(qū)域-老化房。公司的靜電敏感器件：MOS器件、MOS管及MOS集成電路。FET器件、包括場效應管和集成電路。TTL器件、包括各種邏輯門數(shù)字集成電路。AMP放大器、比較器、調節(jié)器等模擬集成電路。X-ROM存儲體器件和記憶

4、體器件、包括PROM、EPROM、SRAM、DRAM、FLASH等集成電路。CPU微處理器及各種BGA器件。各種二極管、三極管。各種半導體開關元件。各種厚膜和薄膜電阻。鉭電解電容。SAW聲表面波器件。石英、晶振體器件。以上元器件組裝的PCBA板。靜電敏感區(qū)域的標識：靜電敏感區(qū)的區(qū)域界限應該用黃黑相間的斜條紋來標識,線條寬度為510CM這兩種斜條紋是專門用來標識靜電敏感區(qū)的區(qū)域界限的,不可作為其它標識用。從靜電敏感區(qū)域的入口處開始,在明顯處還應貼上靜電敏感區(qū)的警示標志,該標志應符合GJB1649的規(guī)定。如圖A:防靜電容器(防靜電周轉箱,防靜電元件盒等),元件架和運輸車等器材上應有防靜電標志,標志

5、應置于明顯且不易受到磨損的地方。如圖B:圖A圖C黃黑相間的斜條紋靜電敏感區(qū)域警示標志圖B防靜電標志經過防靜電液處理的物品和場所也應有防靜電標志。如圖C:含有ESSD的圖紙資料,應有ESSD標志。設備的外部端口標志應符合GJB1649中第5.8.3條要求。整機包裝標志應符合GJB1649中第5.10條要求。交付文件標志應符合GJB1649中第5.9.1條要求。靜電敏感區(qū)域的工程環(huán)境防靜電規(guī)范防靜電工程環(huán)境的設計原則：設計防靜電工程環(huán)境時,為達到靜電防護的要求應遵循以下原則:抑制靜電荷的積累和靜電壓的產生安全、迅速、有效的消除已產生的靜電荷防靜電工作區(qū)應按電子元器件靜電敏感度確定防護所應達到的級別

6、和程度。一般的要求靜電防護區(qū)內靜電電壓絕對值應小于100V。防靜電區(qū)域應標明區(qū)域界限并在明顯處懸掛警示標志。在防靜電工作區(qū)內禁止使用易產生靜電荷的電荷源。表一為常見的電荷源:表一類別電荷源工作臺表面油漆或浸漆表面、普通塑料帖面、普通乙烯及樹脂表面地板塑料及普通地板革、拋光打蠟木地板、普通乙烯樹脂工作鞋、帽、鞋普通滌綸、合成纖維及尼龍面料、塑料及普通膠第鞋操作工具及設備普通塑料盒、架、瓶、盤用品及紙制品、普通泡沫及一般電動工具、壓縮機、噴射設備、蒸發(fā)設備等防靜電工程環(huán)境的要求：環(huán)境的溫度和濕度要求：溫度應在15至30之間,濕度應在45%至75%之間,環(huán)境內應配備溫度計和濕度計,并按要求做好點檢記

7、錄。如果環(huán)境內的空氣過于干燥，應使用加濕器或其它辦法來滿足濕度要求，但應以不對產品造成有害影響為前提。如果濕度高了應該開空調或抽濕機來使其滿足要求。溫度計和濕度計使用要求:對溫度、濕度做監(jiān)測的石英溫濕度儀,必須放置在水平穩(wěn)定的平面上。有溫濕度測量儀的場所應由專人定期檢查石英溫、濕度自動儀測試狀況,并記錄該時間段的最高和最低值。遇有休息、節(jié)假日等特殊情況,在上班后的第一時間內要檢查石英溫、濕度自動記錄儀的記錄情況。發(fā)現(xiàn)溫度、濕度有超標應立即采取有效措施予以改善,并確認超標情況是否有對產品或材料造成損壞,采取的改善措施應予以記錄。每月的溫濕度儀記錄的測試結果由測試部歸類保存。地板的防靜電要求:為有

8、效地使人體靜電能通過地板盡快泄漏到大地，除操作人員穿用防靜電服、防靜電鞋外,其先決條件是地板必須具有一定的導電性能,即是防靜電的。這種防靜電地板能泄漏設備、工裝上的靜電,也能泄漏移動操作時不易使用腕帶的人體靜電。普通地板材料的電阻率都較高，難以泄放人體、工裝、設備上的靜電。表二為各種地板的泄漏電阻:(單位:)表二地坪材料名稱泄漏電阻地坪材料名稱泄漏電阻石104109瀝青10111013混凝土1051010聚氯乙烯(貼面)10121015一般涂刷地面1091012導電性水磨石105107橡膠1091013導電性橡膠104108木、木膠合板10101013導電性聚氯乙烯1071011當采用地板下布

9、線方式時,可鋪設防靜電活動地板。表面電阻及系統(tǒng)電阻均為11051109。當采用架空布線方式時,應采用靜電耗散材料做為鋪墊材料。鋪設后地板上表面電阻及任一點與地之間的系統(tǒng)電阻值均為11051109。如果靜電敏感區(qū)域內的地板是普通地板,則應在普通地板上鋪設防靜電地墊并要有效接地鋪設后地墊上表面電阻及任一點與地之間的系統(tǒng)電阻值也為11051109。禁止直接使用木質地板或鋪設毛、麻、化纖地毯及普通地板革。允許使用經特殊處理過的水磨石地面,如事先敷設地線網(wǎng)、滲碳或在地面噴涂防靜電劑等。防靜電地板的靜電特性定期檢查與維護保養(yǎng):檢查對象：防靜電地板。檢查頻率：每半年一次,其中一次應在干燥季節(jié)測量。檢查指標：

10、靜電壓,泄漏電阻和表面電阻率。檢查標準：0.10Kv,5X104109和1105/口11010/口。檢查儀器：靜電壓表，萬用表和兆歐表。相對濕度低于30%時，應增加測量泄漏電阻的次數(shù)當電阻比較大時可撒少量的水。當?shù)匕迳细街薪^緣性的油膜、樹脂、橡膠和臟污時，應根據(jù)情況定期清除。清掃防靜電地板時不得使用絕緣性的地板臘。靜電敏感區(qū)域的防靜電保護接地技術要求:防靜電系統(tǒng)必須有獨立可靠的接地裝置,主要技術要求如下:接地線：也稱為地線母線，防靜電地線專供靜電工程器具和人體泄漏靜電荷使用，不得接在電源零線上，不得與防雷地線共用。接地主干線的截面積應不小于100mm2，支干線的截面積應不小于6mm2，設備和

11、工作臺的接地線采用截面積應不小于1.25mm2的敷朔導線，并以黃綠色為宜。防靜電設備的連接端子應確保接觸可靠，易裝拆，允許使用各種夾式連接器，如鱷魚夾，插頭座等。接地電阻：指接地體與大地之間的接觸電阻，靜電保護接地電阻應小于4。地線的埋設：埋設地線的原則是埋設地點的土壤電阻系數(shù)愈小愈好接地體與土壤的接觸面積要大，接觸密度要高，接觸要緊。埋設地線的注意事項：接地線與接地線接頭必須焊接牢固，要有足夠的機械強度，引線不要過長。要采用耐腐蝕的接地體金屬。要保持接地體附近土質的質量，并不斷采取措施防止接地電阻變大。防靜電地線要與工作地線分開埋設。防靜電地線必須是永久性的。靜電安全作業(yè)區(qū)地線的兩種實用敷設

12、方法:從專門埋設的地線接地體引出的接地線，單獨敷設到生產線的防靜電作業(yè)崗位單獨敷設的接地導線通常使用3mm厚，約25mm寬的紫銅皮或用截面大約為46平方毫米(mm2)的銅芯軟線單獨引入。采用三相五線制供電系統(tǒng)中的地線,引入電源零線的同時,方法單獨引出大地地線作防靜電接地線,工程上稱為“一點引出電阻隔離”。電源主變電箱到大地的接地電阻應小于4。接地線的定期檢查：檢查對象：所有的接地線及接地端口。檢查儀器：萬用表和接地電阻測試儀。檢查參數(shù)：泄漏電阻(接地電阻)。檢查頻率：每條生產線的主接地線對通用接地點的接地性能和設備，工裝及工作臺等設施對生產線主接地線的接地性能應每周檢查一次。ESD桌墊、ESD

13、地墊、周轉車、周轉架和防靜電環(huán)等設施的防靜電連接線應每月檢查一次。每個通用接地點對地的接地性能每6個月檢查一次。檢查標準：每周檢查的標準：小于4歐。每月檢查的標準：0.91061.1106。每6個月的檢查標準：小于4歐。接地線的定期維護：對于檢查不過關的接地線必須采取措施及時解決。確保接地線有效接地。對于生銹的或接觸不好的接地線要及時更換。對于松動的接地線要重新連接。按接地線相關規(guī)定進行維護。靜電敏感區(qū)域的人員防靜電規(guī)范各類人員的防靜電知識培訓要求及職責：有可能進入靜電敏感區(qū)域的人員或有可能接觸靜電敏感器件的人員都應接受防靜電知識培訓,這既是對每位員工的基本要求，也是減少靜電危害的根本方法和途

14、徑之一。所有新員工在接受入廠培訓時，必須接受ESD知識的培訓。課程包括至少2小時的理論知識培訓和簡要講解本規(guī)范內容。培訓結束后，由人力資源部組織ESD的考試,合格者才能上崗。所有在職工人和ESD委員、PE部、測試部、生產部的職員和相關人員必須每年接受不少于2小時的ESD知識再培訓。培訓內容包括介紹ESD的新技術，新規(guī)范等。在靜電敏感區(qū)域內工作的生產人員及與靜電敏感器件有直接或間接接觸(包括靜電感應)的作業(yè)人員,必須接受ESD基本知識和防靜電工藝規(guī)程操作要求的培訓,作為上崗考核的必考內容之一?？己瞬缓细裾卟坏冒才旁谟蟹漓o電要求的崗位工作。工藝人員必須接受并通過ESD較為專業(yè)知識培訓,掌握電子工業(yè)

15、產品的防靜電工藝技術,在生產過程中指導生產作業(yè)人員落實防靜電措施,并對他們進行靜電防護日常教育。品質控制管理人員必須接受并通過ESD較為專業(yè)知識培訓,熟悉各類ESSD的靜電敏感性能及其防護知識,監(jiān)督防靜電工藝規(guī)程的貫徹執(zhí)行,評估防靜電工程實施效果。采購部和市場部人員必須接受ESD基本知識培訓,熟悉ESSD的品種、型號、標志方法和靜電防護常識,嚴格遵守物料或產品在采購和運輸過程中靜電防護的規(guī)范。倉儲,轉運人員必須接受ESD基本知識培訓,懂得在儲存和轉運過程中防護ESSD靜電器件及相關的存放操作要求。檢驗和試驗人員(包括外購件入廠檢驗試驗和產品檢驗人員)必須接受較為ESD專業(yè)知識培訓,熟練掌握ES

16、SD的檢測知識和防靜電器件的檢測方法,嚴格按設計技術文件要求和工藝規(guī)程進行檢驗和試驗。設備部負責防靜電接地和布生產線的人員,應接受較為專業(yè)的ESD知識培訓,熟悉防靜電接地系統(tǒng)要求,掌握地樁、地線、及其它防靜電設施的敷設或安裝。生產管理人員應了解ESD基本知識,嚴格按靜電敏感器件的設計文件要求和工藝規(guī)程組織生產,并開展對生產員工的靜電防護日常教育。計量部門也應了解ESD基本知識,尤其是關于防靜電儀器的校驗知識,要定期調校防靜電檢測器材,保證其安全、有效。人體靜電防護系統(tǒng)：防靜電工作服：防靜電工作服是指為防止靜電荷積累,用防靜電織物作為面料而制成的工作服,樣式有連體式、分體式等。防靜電工作服主要用

17、來泄放人體高絕緣性能的服裝所產生的靜電或減少人體靜電產生。防靜電工作服的主要技術指標如下表所示:技術指標A級B級實驗方法帶電量0.6C/件0.6C/件按GB12014-89附錄A耐洗滌時間33.0h16.5h按GB12014-89附錄B所選用面料的主要性能參數(shù)如下所示:等級指標項目ABCD表面電荷密度(C/)1.03.05.07.0表面電阻()1051071091011靜電半衰期(S)0.10.51.64.0摩擦靜電壓(V)100250400600防靜電服使用要求:應根據(jù)所制造或操作的ESSD的靜電敏感度的不同,選用不同等級的防靜電布料和防靜電工作服。進入防靜電區(qū)域的人員必須按規(guī)定穿防靜電大褂

18、衣,夾克衣或防靜電連體服,嚴禁穿一般合成纖維工作服。大褂衣和夾克衣可在普通防靜電工作區(qū)域使用。對于防靜電要求特別高的場所，如無塵室高精密電子產品裝聯(lián)車間或實驗室，作業(yè)人員必須穿連體衣，同時還需戴上口罩、手套。防靜電衣必須在更衣室更換,不允許在ESD區(qū)域穿或脫防靜電衣。禁止在防靜電衣上附加或佩帶與工作無關的金屬物品或裝飾品。不能把非防靜電衣的衣領翻出蓋住防靜電衣的衣領防靜電衣的拉鏈拉滿后,須將上下兩顆扣子均扣好非防靜電衣的長度不能長過靜電衣不準將防靜電衣的袖子挽起不準將手表、手飾等與工作無關的裝飾物品露出防靜電衣外。防靜電大褂衣和夾克衣,應保持清潔,工作服的洗滌應盡量采用簡易方法進行,要避免受到

19、較強的機械和化學操作的洗滌。防靜電工作服應在首次穿用前作防靜電性能檢測,只有測試合格方可投入使用，穿用一定時期后應對其防靜電性能進行復測,防靜電大褂衣和夾克衣每半年應做一次防靜電特性復測,對于檢測不過關的防靜電大褂衣和夾克衣應停止使用,更換新的。倉庫在收到新的防靜電衣時，通知測試部ESD工程師對防靜電服的靜電電壓進行檢測。檢測數(shù)量為抽樣來料的5若抽樣數(shù)低于2件，則抽取2件。檢測方法為：用防靜電服的塑料包裝袋快速連續(xù)磨擦防靜電衣的同一部位45秒，然后用靜電場表測試被磨擦部位的靜電電壓，數(shù)值小于等于0.1kv為合格，否則為不合格。如果該批防靜電衣有一件測試不合格，則拒收。除上述方法外，被抽測的靜電

20、衣還應被洗4小時后再做以上測試。如果靜電衣的表面電阻率仍在106-109ohm之間且經磨擦后的靜電電壓仍小于等于0.1Kv，則為合格，否則為不合格。防靜電服的檢測：我們公司目前使用的防靜電夾克衣和防靜電大褂衣，主要是測試它的摩擦電壓和表面電阻率這兩個指標。檢測指標：表面電阻率和摩擦靜電壓。檢測標準：1*106至1*109/口0.1Kv。檢測儀器：兆歐表和靜電電壓表。防靜電帽：防靜電帽的相關規(guī)定請參照防靜電服。防靜電帽應正確佩戴，帽沿朝前頭發(fā)不能露出防靜電帽外后腦部分的短細的頭發(fā)不能超過防靜電衣領外。防靜電工作鞋：在生產半導體和集成電路的潔凈室和超潔凈室,以及高精密電子產品的裝配間等對防靜電要求

21、較高的場合,作業(yè)人員必須穿防靜電鞋,經過測試合格后,方可進入靜電敏感區(qū)域工作。測試步驟如下:將轉換開關拔到左邊“FOOTWEAR”檔,雙腳站在白色不銹鋼腳板區(qū)域,如下圖一。按住“PRESSTOTEST”鍵,此時,左邊(LEFT)指示即為左腳穿上鞋后的對地電阻,右邊(RIGHT)指示為右腳穿上鞋后的對地電阻,如下圖二。如綠燈亮則表示電阻合格。圖一圖二防靜電工作鞋每半年應做一次防靜電特性檢測,對于檢測不過關的防靜電工作鞋應停止使用,更換新的。檢測指標：體積電阻率和摩擦靜電壓。檢測標準：0.5*1051*108和0.10kv。檢測儀器：體積電阻率兆歐表,摩擦靜電壓靜電電壓表。防靜電鞋的使用要求：為使

22、人體有效接地、防止人體和鞋本身帶電，并保證操作者因意外接觸高電壓時不致受到傷害，除應將車間地面做成防靜電地面以外，操作者還應穿用防靜電鞋，而且防靜電鞋必須與防靜電衣配套使用，同時防靜電鞋底應具有使人體與大地構成回路的材料和結構。穿防靜電鞋時不得穿襪子，不得另加鞋墊，特別是絕緣性鞋墊不得在鞋底粘貼絕緣膠片或其它涂料。防靜電手套或指套：在對靜電敏感的工位，如MOS管等敏感器件的裝配工位，操作員工應戴上防靜電手套或指套，防靜電手套或指套兼具防腐蝕的功能。在不便使用有繩防靜電腕帶的崗位，如流動操作崗位，須使用防靜電手套。定期更換破，舊和臟的防靜電手套和指套。防靜電手套或指套的防靜電特性檢查請參照防靜電

23、服的部分檢查方法。防靜電腕帶：防靜電腕帶是通過腕帶與皮膚的直接接觸和靜電線接地的方式，將人體皮膚表面靜電泄放掉裝置，由松緊圈和接地組件構成。松緊圈的要求是體積電阻率100cm接地組件必須串接一定數(shù)值的電阻，以確保操作者意外觸及高電壓時不致發(fā)生人身傷害。該電阻的選擇原則是，一方面應保證操作者在觸及線電壓時流過人體的電流不大于5mA，另一方面又要保證人體所帶的靜電能通過該電阻很快泄放,使皮膚上的靜電壓小于100V，一般該電阻阻值取為106。因無繩防靜電腕帶的性能對環(huán)境濕度依賴性太強，禁止使用無繩腕帶建議使用在線報警防靜電腕帶，因為它可以實時監(jiān)控防靜電腕帶與人體皮膚是否實時導通，從而保證人體皮膚靜電

24、能及時釋放掉。每班開工前，每位員工都應自檢防靜電環(huán)是否正常，并作好記錄，只有測試合格，才可以進入靜電敏感區(qū)域工作，測試步驟如下:各分廠將靜電環(huán)測試儀放在廠房入口處，員工每天上班進入車間時自行測試及做記錄，各分廠指定責任人監(jiān)督、檢查測試結果并在測試表的檢查人項目欄簽名確認。品質部QA檢查員的靜電環(huán)測試及記錄在相應分廠完成，倉庫及IQC員工的靜電環(huán)測試及記錄在倉庫完成。員工進入車間前應首先佩戴好靜電環(huán)，然后將靜電環(huán)上的鍔魚夾夾住靜電測試儀的測試端，用手按下測試儀上的PUSHON開關,如靜電環(huán)正常，則OK指示燈亮(中間的LED亮)如靜電環(huán)阻值太低，則LO指示燈亮(左邊的LED亮)，如靜電環(huán)阻值太高，

25、則HI指示燈亮(右邊的LED亮)。測試合格者，由佩戴者在靜電環(huán)測試記錄表上當日的編號處畫“”反之，畫“”。嚴禁在測試時，將靜電環(huán)拿在手上進行測試。各部門的責任人應維持測試秩序并監(jiān)督每位員工的測試過程。如有測試不良的靜電環(huán)，值班責任人必須對此靜電環(huán)重新確認如經過確認后再合格的可正常使用，仍不合格的必須收回更換。記錄表上有不合格的記錄必須有改善行為。測試記錄由測試部保存。各線領班和生產主任應確保本線員工在需要的崗位都正確佩戴好靜電環(huán)，不能松脫，更不能戴在襪子或袖子上。測試部負責靜電工作的技工每天對在線員工靜電環(huán)實際佩戴狀況抽測一次，抽查人數(shù)為每條生產線總人數(shù)的10，抽測結果記入靜電環(huán)抽查記錄中。進

26、入靜電敏感區(qū)域應將防靜電環(huán)連接好，與皮膚完全接觸，保證防靜電環(huán)正常有效的工作。防靜電線的有效長度是2.5米，在使用防靜電環(huán)的過程中，不可過度拉扯而超過它的有效長度，不可折斷防靜電線，不可沖洗防靜電環(huán)，拔插時不可通過拉防靜電線來完成，不可在防靜電環(huán)金屬片上加水等，要注意正確使用和妥善保護好防靜電環(huán)。先戴好防靜電環(huán)，再拿靜電敏感器件ESSD,先放下靜電敏感器件ESSD，再拔防靜電環(huán)。在實際工作中要注意此順序，要養(yǎng)成這種習慣。防靜電環(huán)的防靜電連接線的檢查請參照7.3.6規(guī)定。臨時或外來人員的防靜電管理：臨時(外來)人員,包括參觀人員、非本車間聯(lián)系工作人員、臨時施工人員(包括電工、修理工、裝飾工等),

27、進入防靜電區(qū)域時,必須遵守防靜電區(qū)域和生產過程的各項防靜電要求。臨時(外來)人員在參觀或作業(yè)過程中,不得靠近操作靜電敏感器件的工作人員,也不得靠近或徒手接觸含有靜電敏感器件的在制品或成品。臨時施工作業(yè)在正常生產時間內要避免瞬時高壓、瞬時放電的操作(如電焊、啟動電機、開關高壓電源等)或事前采取防范措施,或安排在非生產時間內施工作業(yè)。防靜電區(qū)域內需要進行某種維護、修理作業(yè)時,維護人員應攜帶并使用防靜電維修包,并遵守防靜電區(qū)域的有關規(guī)定。靜電敏感區(qū)域的防靜電操作規(guī)范所有的ESSD(靜電敏感器件)及其部件的操作必須在靜電安全工作臺上進行。進入靜電敏感區(qū)域的所有電子元器件都應視為ESSD來對待。貯存和運

28、輸ESSD及其部件時,應妥善進行防靜電包裝。拒絕接受未包裝在防靜電容器里的ESSD。所有用非ESD材料包裝的電子元器件都應在指定的靜電泄放區(qū)域,經過拆包和靜電泄放處理后，方可用防靜電中轉工具將其轉到靜電敏感區(qū)域。不允許在靜電敏感區(qū)域內存放和處理非ESD的材料，不允許在非靜電敏感區(qū)域內存放和處理未包裝的ESSD，不允許非ESD的材料與ESSD混放。進入靜電敏感區(qū)域的人員，都要必須穿好防靜電工作服，必須戴上防靜電環(huán)，腕帶必須與皮膚有良好接觸并將腕帶接入可靠的防靜電接地系統(tǒng)中，防靜電鞋和腳必須與防靜電地板或ESD地墊保持良好接觸，防靜電帽也必須按規(guī)定戴好。重要工位上應配備腕帶監(jiān)控器，以隨時監(jiān)控腕帶是

29、否處于正常狀態(tài)。不得隨意拆除和改變ESSD的封裝，運送全過程應在防靜電容器中進行，清點也盡可能在原包裝內完成。測試ESSD時必須遵守加電和去電順序，嚴禁帶電插拔ESSD。持拿ESSD，應持其外殼兩端，嚴禁人手觸及其引腳或接線片，特別是空懸的輸入端。ESSD器件的引腳或接線片，特別是空懸的輸入端不可放在金屬桌面上，容易引起導通，短路等ESD事件，從損壞ESSD器件。裝配ESSD時，尤其是MOS管等靜電敏感器件，應戴上防靜電手套或指套。清洗ESSD及其部件時，不得使用塑料刷。不具備防靜電功能的必備工具和用具，應放在防靜電桌墊上，并應置于離子風機的作用范圍內。操作時應盡量減少對ESSD及其部件的接觸

30、次數(shù)。組裝電子設備時，如果需要使用電動批，應使用有接地線的低壓直流電動批。在手工焊接時，應采用防靜電低壓恒溫烙鐵。對GJB1649規(guī)定的I類ESSD焊接，還應在拔掉烙鐵電源插頭后進行。禁止重復使用ESSD器件包裝管來包裝ESSD器件。原包裝標識為靜電敏感的元件其散料必須使用防靜電材料盛放和包裝。ESSD器件初始包裝應在靜電敏感區(qū)域內完成，并要用防靜電材料包裝。完成了初始包裝的ESSD器件進行二次包裝時可以在非ESD區(qū)域內完成，也需要防靜電材料。禁止使用超過有效期的防靜電材料來接觸或包裝ESSD器件。在任何場合均不允許未采取防靜電措施的人員接觸ESSD及其部件。生產過程中使用的設備(成型機、插件

31、機、波峰焊機、貼片機、切腳機、清洗機等)必須采取接地等防靜電措施。運輸ESSD及其部件時，應將其放入防靜電包裝內進行，必要時，應用離子風機來消除在運輸過程中產生的靜電。新布置的生產線或工位等都應進行ESD認可，只有認可合格后，方可給生產線使用。新投入防靜電敏感區(qū)域的防靜電材料，包括主料，輔料和包裝材料都應進行ESD認可，只有認可合格后，方可給生產線使用。新投入防靜電敏感區(qū)域的防靜電工具等都應進行ESD認可，只有認可合格后，方可給生產線使用。靜電敏感區(qū)域的工作臺,工裝,設備以及防靜電器材的防靜電規(guī)范基本防靜電要求:防靜電工作區(qū)內的各種設備、工具、工裝儀器都應實施靜電防護措施,如接觸元器件的部分應

32、使用防靜電材料(體積電阻1012)應采用靜電中和或涂抹防靜電涂液、涂層等其他防護措施進行有效的接地(硬接地軟接地)。防靜電工作臺的技術要求：防靜電工作臺是防靜電工作區(qū)的主要組成部分,下面所示為標準的防靜電工作臺構成圖:電離器防靜電托盤/盒等防靜電腕帶1M歐1M歐臺式工具/儀器1M歐大地公共接地點建筑地面防靜電椅防靜電臺墊防靜電地墊其中各組成部分的主要技術要求如下:工作臺墊和地墊均應采用防靜電材料。防靜電臺墊和地墊上任意一點的系統(tǒng)電阻和表面電阻均為：1X1051X109靜電泄放至100V以下的時間小于1S。防靜電腕帶的泄漏電阻為1X1061X108，靜電泄放至100V以下的時間小于0.1S。防靜

33、電工作椅:表面靜電壓不得超過100V。電離器：在不能有效泄放靜電的場合，可采用電離器通過電離空氣產生的正負離子，來防止和中和在元器件上及其它物體上的電荷積累。要求電離器對靜電電壓的消除能力大于250V/S。增濕器：當相對濕度較低時，可恰當?shù)氖褂迷鰸衿?，通過恒定的潮濕氣流,防止靜電荷積。但此方法不適于非密封電子元器件。操作時要注意因濕度增加而導致的有害影響。接地系統(tǒng)：包括限流電阻和連接端子，應連接可靠，并具有一定的載流能力。限流電阻阻值的選擇應保證漏泄電流不超過5mA，下限阻值應為1M。防靜電工作區(qū)必須有安全可靠的防靜電接地裝置，接地電阻小于4。防靜電地線不得與電源零線相接，不得與防雷地線共用使

34、用三相五線制供電時，其地線可以作為防靜電地線。另外，工作臺面、地墊、其它ESD保護設施均應通過限流電阻接至公共地線，腕帶應通過工作臺頂面接地點與地線連接。工作臺不能相互串聯(lián)接地，而應分別接地。工作臺的電氣要求:靜電源靜電電位泄放至100V以下的時間小于1S,靜電防護操作系統(tǒng)的電阻上限為109ohm防靜電操作系統(tǒng)的泄放電流不得超過5mA,為此防靜電操作系統(tǒng)的的電阻下限為106ohm絕緣體上的靜電采用電離器中和加以消除。工作臺的安裝(配置)要求:按照工作臺面的大小選擇所需的防靜電臺墊的尺寸。使用異丙基酒精徹底清洗臺墊下表面(即黑色的一面)。從防靜電臺墊正面壓下旋鈕接頭(可用不銹鋼螺釘、螺母、墊片組

35、成的連接點代替),使其穿過臺墊和箔帶有(多層箔帶時應保證全部穿過),以保證電接觸良好。使用異丙基酒精清洗防靜電臺墊上表面和各組成構件。將經過以上準備好的防靜電臺墊平整的鋪于工作臺面上。按操作人員的作業(yè)范圍、確定鋪放臺墊的面積。將工作臺置于防靜電地墊上。防靜電工作臺的接地，使用橫截面不小于2mm2的絞合銅芯軟線或電纜把防靜電臺墊和地墊分別串聯(lián)1M電阻后連接到地線配置系統(tǒng)上。全部安裝完畢后,對各參數(shù)指標進行檢驗合格后,方可開始使用。防靜電工作臺接地要求:防靜電工作臺的臺墊和地墊,分別串聯(lián)1M+-10%的電阻接地(即軟接地)。防靜電工作臺墊和地墊上任意一點與地線配置系統(tǒng)間的電阻為1X1061X109

36、。接地電纜應采用中間無接頭、且具有足夠的機械強度。多臺防靜電工作臺的接地線不能相互串接。防靜電工作臺上的測試儀器、穩(wěn)壓電源、電動工具、和電離器等所有外部零件表面、屏蔽面均應接地對地線配置系統(tǒng)電阻值不大于2,所有接地點應集中接于一點,就近牢固搭接至地線系統(tǒng)上,穩(wěn)壓電源盡可能遠離工作臺。對載流接地線,應使用同軸電纜來接地和屏蔽。為帶有金屬外殼的便攜工具及儀器、設備提供的電源插頭座，應選用安全型，以使其配接時工具和設備的金屬外殼能夠自動接地且接地腳要首先接地，斷電時接地腳最后斷開。手工工具的絕緣把，應定期用抗靜電劑處理，使其電阻值為1X1061X108。防靜電工作臺使用與維護要求:防靜電工作臺在日常

37、使用中，必須確保正常接地狀態(tài)。防靜電工作臺上不允許存放塑料盒、橡皮、玻璃、白色塑料袋等易產生靜電的物品，圖紙、資料等應放入防靜電文件袋中。測量工具使用兆歐表(額定電壓250500V，量程01000M)，測量臺墊，地墊，腕帶和接地電纜等的電阻值。使用防靜電劑噴涂工作服、工作椅、工具的絕緣部分，及非導體或非防靜電的塑料容器、椅子坐墊和椅子靠背等。使用中性清洗劑或防靜電劑清潔防靜電臺墊和地墊。對所有建筑地板使用防靜電溶液進行維護保養(yǎng)。以上條款必須定期進行監(jiān)測。使用接地電阻測試儀每半年檢測一次地線配置系統(tǒng)電阻值，必要時，在每批此產品投產前檢測一次。落地設備的防靜電技術要求:落地設備如SMT、波峰焊機、

38、FT自動線、ICT自動線、清洗機、流水線等等應采用硬接地，即直接或通過一個低阻抗同防靜電地線相連設備的接地線應采用截面積不小于1.25mm2的敷塑導線，接地線顏色以黃綠色線為宜。具有自動傳送帶或滾筒式的流水線，線體應統(tǒng)一接入大地網(wǎng)，并使線體上任一點與大地的接地電阻均小于4。流水線的自動傳送帶應使用防靜電材料(表面電阻介于106109間),并通過導線或導體與線體連接。流水線的自動傳送帶常常通過金屬的傳送輪接到線體，金屬輪應定期清潔而保證皮帶有效接地。流水線體上的工裝板應通過靜電導體與線體連接,達到與線體等電位。自動線體上按作業(yè)崗位需要，設置接地點，以便操作者能隨時連接防靜電腕帶。臺式設備的防靜電

39、技術要求:臺式設備如元器件成型機、半自動或手工插件機等應通過臺墊實施軟接地，即在放置臺式設備的工作臺面上鋪設防靜電臺墊，并將臺墊有效接地。工具的防靜電技術要求:帶有金屬外殼的便攜工具及儀器、設備提供的電源插頭座,應選用安全型。烙鐵等手持工具非電力線外殼部分應實行硬接地防靜電烙鐵的絕緣電阻為1X1071X108，采用24V低壓供電。防靜電真空吸錫器的泄漏電阻為1X105。防靜電烙鐵的檢查頻率:每月一次。防靜電烙鐵的檢查指標:交流電壓和泄漏電阻。防靜電烙鐵的檢查儀器:萬用表。防靜電烙鐵的檢查部位:烙鐵頭到地的交流電壓和泄漏電阻。防靜電烙鐵的檢查標準:分別是0.5VAC,10。電動批非電力線外殼部分

40、應實行硬接地,也應定期檢查:檢查頻率:每月一次。檢查指標:交流電壓和泄漏電阻。檢查儀器:萬用表。檢查部位:電動批到地的交流電壓和泄漏電阻。檢查標準:分別是0.5VAC,10。非防靜電的條碼槍的外殼部分應實行硬接地,應定期檢查。檢查頻率:每月一次。檢查指標:靜電電壓和泄漏電阻。檢查儀器:靜電電壓表和萬用表。檢查部位:外殼到地的靜電電壓和泄漏電阻。圖D檢查標準:分別是0.1Kv,1012)，則應該采用靜電中和或涂抹防靜電涂液涂層等其他防護措施。防靜液噴涂作業(yè)要求：在EPA(ESDPROTECTEDAREA)區(qū)域內的個別夾具、工裝、工具等制作材料為非ESD材料，暫時無法替代也無法拿出EPA區(qū)域外，要

41、求進行噴防靜電液處理從而達到防靜電目的。由生產部各工段指派專人對非ESD材料表面進行清理干凈，并在其表面均勻地噴涂一層防靜電液，30分鐘左右，防靜液干爽后，通知ESD工程師測試確認其摩擦后靜電壓應小于100V。對EPA區(qū)域內的非ESD材料噴防靜電液的頻率為每月一次。噴完防靜電液后,操作者與確認人按附表5的格式進行簽名，此表格張貼在不應防礙正常使用位置，此表格有效日期為一年，一年后撕毀并貼上新的表格進行記錄。靜電敏感區(qū)域的防靜電器材規(guī)范：防靜電器材的技術要求：防靜電器材的配置要求：下表所示為在電子產品生產中的防靜電器材基本配置:配置部位配置項目防靜電器材名稱元器件暫存元器件檢驗元器件庫房設計工藝

42、實驗室零部件裝配單板調測老化機房轉運整機裝配整機調測維修外場維修包裝發(fā)運靜電元件存放架靜電標示標簽離子風靜電消除器防靜電腕帶腕帶監(jiān)視器防靜電臺墊防靜電地墊防靜電工作鞋防靜電工作服工作手套防靜電盒(袋)防靜電泡沫墊防靜電印制板架防靜電周轉箱防靜電周轉車抗靜電劑防靜電文件袋防靜電維修包(箱)注:表中打者表示必須配置項目，打者表示需要時配置項目或局部區(qū)域配置項目。防靜電器材的技術要求：各類器材的技術指標如下表所示:項目防靜電器材表面電阻值單位:體積電阻值單位:電阻值單位:摩擦電壓單位:V地墊1X1051X1091X1051X108100工作臺墊1X1061X1091X1051X108100工作臺面1

43、X1061X109100工作臺面對腕帶插孔電阻1X1051X108工作臺面對地系統(tǒng)電阻1X1061X108工作椅面對腳輪電阻1X1061X108工作椅面與靠背電阻1X1041X108100工作服工作帽手套100工作鞋底0.5X105108100工位器具及物流傳遞工具1X1031X1081X1031X107100包裝袋(盒)1X1061X10101X1051X109100防靜電泡沫墊1X1061X1010100物流車臺面對車輪系統(tǒng)電阻1X1061X109腕帶連接電纜電阻0.9-1.1M佩帶腕帶時系統(tǒng)電阻1M10M腳跟帶(鞋束)系統(tǒng)電阻0.5X1051X108防靜電器材及其使用維護要求：防靜電臺墊

44、：在操作ESSD時，工作臺上應鋪設以防靜電材料制成的防靜電臺墊，使所有與之接觸的ESSD的端子、器具、儀表、人體等都處于同一電位，并通過適當接地使靜電得以迅速泄放。一般的安裝方法是，在臺墊上裝設接地端子，用以連接腕帶，同時墊子通過適當電阻接入接地母線。防靜電地墊：地墊用于工作崗位不是位于防靜電地面上的情況。防靜電地墊可用防靜電橡膠制作，多采用雙層結構，上表層為使用面，操作者站在上面進行作業(yè)，下表層為地電阻面，與地面直接、緊密接觸。安裝地墊時，要在其一角裝上供連接地線用的爪扣，并用專用連線與接地母線連接起來。使用地墊時必須附有保護電阻，以防止人體意外觸電。我們公司目前使用的防靜電墊，每6個月檢測

45、一次，標準參照測試技術指標測試儀器是兆歐表或表面電阻表。工作椅：為全面控制人體靜電，操作者所坐的工作椅必須具有防靜電性能。不得使用普通人造革面或塑料面的椅子，不能用木制椅代替防靜電椅。如果椅腿是非金屬材料或有絕緣套腳時，應將防靜電椅面接地。我們公司目前使用的是導電型的防靜電椅，每6個月檢測一次，標準參照測試技術指標，測試儀器是兆歐表。防靜電包裝袋：在靜電敏感器件和印制板的包裝和儲存中，為避免物料與高絕緣包裝袋的摩擦而產生靜電、受到ESD損害，必須使用防靜電包裝袋。同時，為避免外界強電磁場的干擾與感應,必要時，應使用具有屏蔽作用的防靜電袋。我們公司目前使用的防靜電包裝袋，每6個月檢測一次，標準參

46、照測試技術指標,測試儀器是兆歐表。防靜電容器(包括周轉箱、元器件存放盒、印制板架等)：在電子產品生產中,在各工位、各工序間用于傳遞和儲存ESSD和單板的各類容器，以及用于產品包裝發(fā)貨的容器，都應具備防靜電性能，而不允許使用金屬和普通塑料容器。必要時，存放部件用的周轉箱應接地。我們公司目前使用的是耗散型的防靜電容器，每6個月檢測一次，標準參照測試技術指標，測試儀器是兆歐表。防靜電周轉車：轉運、暫存ESSD或含有ESSD的整、部件產品時，應使用有防靜電性能的周轉車。為保證接地良好，可在車底加裝接地金屬鏈使用中，應避免導電車輪脫離地面的情況出現(xiàn)，還應作好標識，定期清潔導電輪，一般每周一次。我們公司目

47、前使用的防靜電周轉車，每6個月檢測一次，標準參照測試技術指標，測試儀器是兆歐表。靜電消除器(離子風機)：在不能有效泄放靜電的場合，可采用電離器通過電離空氣產生的正負離子，來防止和中和在元器件上及其它物體上的電荷積累。要求電離器對靜電電壓的消除能力大于250V/s。消除絕緣材料表面的靜電荷應使用離子靜電消除器。使用方法:離子風扇應置于離工作臺操作區(qū)域300mm-900mm處,將電源插頭插入220VAC插座，順時針旋轉風速旋扭，此時紅色電源指示燈亮表示已啟動離子風扇,可根據(jù)實際需要調節(jié)風速大小，當將風速旋扭調到High位時表示已達到最大風速另外也可通過固定支架上指旋固定螺絲調整風扇的傾斜角度。注意

48、事項:在使用過程中不可將雜物插入風扇內部。不可在易燃.可爆炸氣體環(huán)境中使用。在使用過后應將風扇旋扭調置Off處。搬運過程中請輕拿輕放,不可私自折裝此儀器。維護保養(yǎng):每周用靜電消除器自帶的毛刷，通過順時針和反時針旋轉毛刷的式來清潔該設備的發(fā)射針，清潔前一定要先拔掉電源線，由測試部技工負責。每月要對靜電消除器進行檢查并作好記錄,由測試部技工負責。如果檢查結果顯示超標,應送廠家維修。檢查指標:離子平衡電壓和靜電耗散時間。檢查儀器:靜電消除器檢測儀(TREK156K)。檢查頻率:每月一次。檢查標準:離子平衡電壓為+/-50V靜電耗散時間為10S(從1000V耗散到50V的時間)靜電消除器檢測儀靜電消除

49、器檢測儀(TREK156K)圖例:其它防靜電清洗液:在使用時，應先與揮發(fā)性溶劑或水調配成0.10.2%的溶液，然后用涂布、噴霧、浸漬等方法使其附著在塑料制品外表面。在作涂布等處理前，應先對塑料制品的外表面進行預處理，即用水或中性溶劑清理外表面，再置于無塵室內在50下干燥。防靜電毛刷。防靜電海棉。防靜電涂料。防靜電鑷子防靜電膠帶常用的檢測方法一般要求：測試依據(jù):按SJ/T10533及SJ/T10630。測試條件:全部測試均在生產場地內進行,環(huán)境溫度1530,75%相對濕度45%。測試儀器:測試儀器包括:非接觸式靜電電壓表、地電阻測量儀、兆歐表或阻抗測試儀、萬用表、腕帶測試儀、人體綜合電阻測試儀、

50、離子風機測試裝置等。所使用的儀器精度不低于2.5級,均應在計量檢定有效期內。允許使用符合測試要求的類似儀表。測試技術指標:項目防靜電器材表面電阻值單位:體積電阻值單位:電阻值單位:摩擦電壓單位:V防靜電地極接地電阻4地面1X1051X1010100地面對地極母線電阻5X1041X109墻壁400窗簾400地墊1X1051X1091X1051X108100工作臺墊1X1061X1091X1051X108100工作臺面1X1061X109100工作臺面對腕帶插孔電阻1X1051X108工作臺面對地系統(tǒng)電阻1X1061X108工作椅面對腳輪電阻1X1061X108椅面與靠背電阻1X1041X1081

51、00工作服、工作帽、手套100工作鞋底0.5*1051X108100工位器具及物流傳遞工具1X1031X1091X1031X108100包裝袋(盒)1X1061X10101X1051X109100物流車臺面對車輪系統(tǒng)電阻1X1061X109腕帶內表面對電纜扣電阻20K腕帶連接電纜電阻0.9M1.1M佩帶腕帶時的系統(tǒng)電阻1M10M腳跟帶(鞋束)系統(tǒng)電阻0.5*1051X108人體綜合電阻1X1061X108摩擦起電電壓測試：使用非接觸式靜電電壓表測量。測試時手持干燥布料(選用純棉或防靜電面料),以頻數(shù)約120次/min,手掌適當施加壓力,單向摩擦被測件某一部位20次,按靜電電壓表使用方法立即接近

52、摩擦部位,觀察儀表顯示數(shù)值,反復測試5次取平均值。對生產場地防靜電設施進行摩擦起電電壓總體效果測試,包括:地面(地墊)墻壁、窗簾、工作臺(臺墊)、工作椅、貨架、工位器、具物流傳遞器具、包裝服(工作帽、手套)、工作鞋等。電阻測試：防靜電地極：按圖1所示,使用接地電阻測量儀測試防靜電地極的接地電阻。測試步驟:將被測試地極用導線接于儀器端子E。在相同直線方向20m、40m潮濕土地處,分別插入電位探測針及電流探測針,各接于儀器端子P、C。設置“倍率盤”倍數(shù)。自緩至快搖動儀器手柄,達到約120r/min,調整“測量標度盤”,指針指于零位時,讀數(shù)乘以倍率標度,即為接地電阻值。按測試步驟c、d反復測試35次

53、取平均值。地面：按圖2所示,劃分測試網(wǎng)格。按圖3所示,隨機選定測試點。按GB2828-87中4.8規(guī)定的抽樣程序，將待測地面全部網(wǎng)格看做樣本大小(批量范圍),以一般檢查水平II,確定樣本大小字碼再用“正常檢查一次抽樣方案”。以合格質量水平(AQL)為6.5,決定抽樣樣本大小字碼,查表得出Ac、Re。按圖4所示,測試地面表面電阻。極g以合格質量水平(AQL)為10,決定抽樣樣本大小字碼,查表得出Ac、Re。按圖5所示,測試地面對地極母線電阻。地墊按圖6a所示,測試表面電阻。按圖6b所示,測試體積電阻。工作臺隨機選定測試點,每個工作臺不得少于3點。按圖6a所示,測試工作臺面表面電阻。按圖8所示,測

54、試工作臺面對地系統(tǒng)電阻。工作椅：隨機選定測試點,每把工作椅不得少于5點。按圖9所示測試椅面對腳輪的電阻。按圖10所示,測試椅面與靠背間電阻。工作鞋：按圖11所示,測試鞋底體積電阻。工位器具及物流傳遞器具按圖12所示,測試容器表面電阻和體積電阻。物流車：按圖13所示,測試車臺面對車輪系統(tǒng)電阻。腕帶：按圖14所示測試腕帶內表面對電纜扣電阻。按圖15所示測試連接電纜系統(tǒng)電阻：按圖16、17所示用腕帶測試儀或人體綜合電阻測試儀腕帶測試檔測試佩戴腕帶時系統(tǒng)電阻：人體綜合電阻：被檢測人員應穿工作服、工作鞋,測試人體綜合電阻,測試時按圖18所示,把綜合電阻測試儀轉換開關撥到人體綜合電阻測試檔進行測試人體綜合

55、電阻。靜電防護作業(yè)管理指導公司目前的靜電防護設施:防靜電臺墊、防靜電地墊、防靜電地板、防靜電工作臺、接地系統(tǒng)防靜電工衣、防靜電鞋套、防靜電帽、防靜電指套/手套、防靜電手腕帶、離子風扇、防靜電烙鐵、防靜電吸錫器、防靜電周轉箱、防靜電周轉架、防靜電印制板架防靜電元件存放架、防靜電周轉車、防靜電元件盒、防靜電托盆、防靜電包裝袋、防靜電泡沫墊、防靜電劑、防靜電海綿、防靜電鑷子、防靜電毛刷、腕帶測試儀、表面電阻測試儀、靜電壓測試儀等。防止靜電產生的作業(yè)指導:項目組根據(jù)產品的靜電敏感等級和客戶的要求,提出對生產場所溫度、濕度、防靜電設施的要求,由ESD工程師和設備部采取適當措施予以保障。ESD工程師根據(jù)產

56、品的靜電敏感等級和客戶的要求，選擇具有防靜電性能的設施，并制定防靜電操作程序。生產部門必須按公司ESD控制規(guī)范來進行防靜電控制,并實施防靜電操作程序。對靜電敏感（ESSD）產品的生產制造運送傳遞、存儲、包裝、拆包裝、檢測、使用都應采取靜電防護措施。如使用防靜電的周轉箱、防靜電的周轉架和小車來轉運對靜電敏感(ESSD)產品，采用防靜電工具如防靜電烙鐵、防靜電吸錫器來加工對靜電敏感(ESSD)產品等。生產部門員工根據(jù)崗位的不同,可選擇佩帶防靜電腕帶、穿戴防靜電服裝、穿戴防靜電鞋及鞋套、佩帶防靜電指套、進行離子風浴等一種或多種防靜電措施接觸ESSD產品的其他人員也應根據(jù)具體情況選擇上述一種或多種防靜

57、電措施。研發(fā)部門在產品開發(fā)設計時,應盡量采用靜電導體材料和靜電耗散材料。減少和消除靜電荷：設備部門負責防靜電設施的正確的接地。測試部的ESD組負責定期檢查抽測和測試。生產部門負責日常的自檢。防靜電委員會定期的抽查和評審。減少靜電危害:研發(fā)部門應提高產品自身的抗靜電能力,對于ESSD的組件、器件、模塊、系統(tǒng),應進行抗靜電防護設計,如在必要時對敏感部件和敏感器件采用靜電屏蔽措施等。設備管理部負責各種接地系統(tǒng)如雷電保護、故障保護、信號參考、大地電極、防靜電接地等的正確和有效,測試部的ESD組負責定期檢查和測試接地系統(tǒng)。生產部門嚴格按相關的ESD控制規(guī)范和防護作業(yè)操作規(guī)程執(zhí)行。防靜電委員會嚴格靜電防護

58、的管理。建立健全責任制和規(guī)章制度:防靜電委員會承擔公司的靜電防護的管理職責,各相關部門、管理人員、技術人員、工人承擔相應的職責,并有檢查和評審制度。測試部ESD組建立靜電安全事故的分析制度和產品靜電損害機理的分析制度。測試部ESD組對防靜電裝置、防靜電設施和防靜電工具的防靜電性能建立定期測試和檢查的制度。測試部ESD組項目組、生產部門、PE部、設備部和品質部等對生產工藝、設施、設備建立防靜電操作程序。教育與培訓:由人事部培訓中心負責組織對領導者、管理人員、技術人員和操作人員等不同層次和不同崗位的人員實施有關防靜電意識、知識、技術、技能等的培訓,由ESD工程師負責授課,并進行認可考核。生產部門在

59、靜電敏感產品上和內外包裝上作出靜電敏感的警示標識或符號,設備部和生產部應對防靜電作業(yè)場所、工作區(qū)作出靜電敏感的特別標識對關鍵控制部位必要時應設靜電電壓超限報警裝置,以提醒員工做適當?shù)奶幚?。標準與檢測:根據(jù)ESSD元件的等級,IQC選擇與產品和靜電防護有關的必需的靜電檢測檢驗標準。IQC對用于靜電防護的物料進行來料檢驗。測試部ESD組對有防靜電要求的工具、器具、服裝、鞋及鞋套、地面、桌椅、工作臺、工作臺墊等進行定期檢測,對物業(yè)設施系統(tǒng)的接地狀況按規(guī)定檢測,使它們保持合格狀態(tài)。測試部對儀器設備的接地狀況進行定期檢測,對防靜電檢測用的儀器進行定期校準。品質部對產品的靜電敏感度應按標準的規(guī)定進行試驗,

60、并建立質量分析和反饋制度,以便生產部門改進設計,提高工藝水平。附錄A:ESD相關術語本部分規(guī)定了本規(guī)范中所使用到的各類ESD基礎名詞和術語。13.1電學、靜電學基本概念13.1.1.靜電ElectrostaticStaticElectricity一種處于相對穩(wěn)定狀態(tài)的電荷。由它所引起的磁場效應較之電效應可以忽略不計。(靜電可由物質的接觸與分離、靜電感應、介質極化和帶電微附著等物理過程而產生)。13.1.2.靜電場ElectrostaticField靜電荷在其周圍空間所激發(fā)的電場。它是一種特殊的物質，其最基本的特征是對位于該場中的其它電荷施以作用力。且不隨時間而改變。13.1.3.靜電位Elec