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文檔簡介

1、第六章 系統(tǒng)集成目錄6.1 光集成的方式 6.1.1 功能集成 6.1.2 個數(shù)集成6.2 光集成的類型 6.2.1 全光集成 6.2.2 混合光電集成6.3 光集成的技術(shù)途徑 6.3.1 單片集成 6.3.2 混合集成6.1 光集成的方式實現(xiàn)集成的基本單元光源器件:DFB-LD、DBR-LD、VCSEL、光檢波器件:波導(dǎo)型PD/APD、光傳導(dǎo)器件:光波導(dǎo)、各類波導(dǎo)變換器件、光處理器件:調(diào)制器、光開關(guān)、 6.1.1 功能集成 6.1.2 個數(shù)集成6.1.1 功能集成功能集成 把不同功能的元件集成為一體構(gòu)成具有新的功或者具有更好性能、更高功能的新器件或系統(tǒng)優(yōu)勢小型化低成本化高可靠起因與IC一樣,

2、解決“連接”問題也是光子集成的起因1、集成光發(fā)射機(jī)2、集成高速光通信光源3、集成化帶隔離器光源4、MOPA-“863”項目6.1.2 個數(shù)集成個數(shù)集成將多個相同的器件集成為一體優(yōu)勢小型化低成本化高可靠?起因與IC一樣,解決“連接”問題也是光子集成的起因光互連成為現(xiàn)代信息處理的必然1、一維LD陣列 2、二維LD陣列3、光開關(guān)陣列6.2 光集成的類型6.2.1 全光集成-Photonic Integrated Circuit (PIC) 基本器件:光波導(dǎo)、光源、光檢波器、光 調(diào)制器等6.2.2 混合光電集成-Optic-Electronic Integrated Circuit (OEIC) 基本

3、器件:光子器件和電子器件6.2.1 全光集成6.2.2 光電混合集成OEIC發(fā)展方向新的設(shè)計概念:可集成單元-功能模塊;適合于OEIC的新工藝探索;精簡工藝流程;緊湊的芯片設(shè)計;解決光學(xué)和電子學(xué)器件之間的工藝兼容性;解決熱隔離和電隔離;提高光耦合效率并減少耦合難度表6.1 光學(xué)元件與電子學(xué)元器件的特征比較特征項光學(xué)元件電子學(xué)元器件基本作用光波導(dǎo)中的光傳輸及光與電子、晶格的相互作用襯底表面附近的電子傳輸與控制基本元器件光波導(dǎo)、半導(dǎo)體激光器等晶體管、電容、電阻元器件尺寸(厚度方向)波長(微米)量級,甚至納米量級數(shù)十納米至數(shù)微米元器件尺寸(長度方向)微米至數(shù)毫米,個別達(dá)納米數(shù)十納米至數(shù)微米與其它部件

4、的連接難-精密的位置精度,光波導(dǎo)容易-電器布線,導(dǎo)體可靠性有問題,通常需要檢測全部元器件近乎沒有問題,通常只進(jìn)行抽檢制作工藝多樣,有特殊工藝,研究開發(fā)中基本平面工藝,成熟集成度(基本元器件)幾個數(shù)百幾十百萬以上6.3 光集成的技術(shù)途徑光集成的必要性-CR-D必須開發(fā)一種新的光體系技術(shù)減少光體系組裝成本,適合大批量生產(chǎn)應(yīng)用范圍廣泛外形適合于目前的電子組裝工藝電子學(xué)體系成功經(jīng)驗的借鑒(VLSI)單片集成(同一襯底材料上的集成技術(shù))混合集成(不同襯底材料光學(xué)器件、電子學(xué)器件之間在光、電或另外襯底上的集成技術(shù))6.3.1 單片集成基本工藝-延續(xù)硅平面工藝+部分特俗工藝?yán)щy-光、電器件的工藝不兼容現(xiàn)狀-非常不成熟,僅有部分器件商品化表6.3 光集成與電子集成的比較電子集成光集成材料單一材料多種材料(化合物半導(dǎo)體、石英玻璃、鈮酸鋰等)集成密度相當(dāng)高受以下限制:波導(dǎo)尺寸、元件尺寸(彎曲、定向耦合器)、光纖直徑等信號出入端電連接光纖連接-對準(zhǔn)與接觸均困難表6.4 集成光路用的襯底材料無源有源材料石英-或-半導(dǎo)體化合物硅鈮酸鋰鉭酸鋰五氧化鉭五氧化鈮硅6.3.2 混合集成市場需求FTTX:X=Home,F(xiàn)loor,Office,Home,全光網(wǎng)絡(luò):波長路由選擇,現(xiàn)狀光電子部件(TOSA、ROSA等)及光電模塊今后的發(fā)展方向平面光回路(planar lightwave circuitPLC)平臺異質(zhì)

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