直拉單晶操作規(guī)程

1、直拉單晶操作規(guī)程操 作 規(guī) 程 一、拆爐1:準備 確認停爐冷卻時間達5h，準備好鉗子及取晶筐，向爐內(nèi)充Ar氣，確認爐內(nèi)為常壓時，副室門打開，關(guān)閉Ar 流量計啟動液壓，升起副室筒，穩(wěn)住晶體輕推左旋副室，晶體筐對準副室筒口，按下晶快降速按鈕。將晶體安全降入筐內(nèi)，手扶籽晶夾頭，用鉗子將細頸處剪斷，手扶夾頭，待鋼絲繩擰力全部消失后取籽晶，重錘升進副室內(nèi)啟動液壓升起爐蓋。左旋至副室筒下。2:爐子清掃 21戴好工作帽，口罩及專用手套，準備好酒精,吸塵器，無塵紙及放石墨件的不銹鋼車。22 依次取出導流筒及上保溫蓋，先取掉熱偶升起主爐室向右旋出，取出上保溫筒石英坩鍋及堝底料，并放入到不銹鋼桶內(nèi)到指定的地方，鍋

2、底料應寫清爐號及爐次。注意：1：石墨件不能用手接觸。 2：小心鋒利的石英鍋碎片和鍋底料扎傷手指。 3：石英碎片和鍋底料渣不要掉入軸波紋管及加熱器縫隙內(nèi)。23 每爐必須在取下晶棒后及時清理過濾罐、過濾網(wǎng)， 3爐大清爐，每爐管道。注意：清理過濾罐和管道，具有自燃的現(xiàn)象不能造成人生事故和將密封圈燒壞的現(xiàn)象，所以拆除的地方必須用酒精擦凈密封圈并裝好。保證密封圈的完好。24 戴好一次性手套，采取自上而下的原則，清掃副室筒及爐蓋，用專用工具沾上酒精，一圈一圈的仔細擦拭副爐筒。注意：長棍不要和鋼絲繩繞在一起，用紙巾沾上酒精擦爐蓋頂上密封圈及翻板閥，密封圈并保證密封較進槽無誤。25主爐清掃 戴好一次性手套用吸

3、塵器與毛刷先刷凈附著在主爐室的揮發(fā)物，吸凈加熱器托盤，爐底。注意：加熱器電極螺絲是否松動，爐底排氣孔是否暢通。用沾有酒精的紙巾把主爐室及密封圈擦拭干凈。26石墨件的清掃 吸凈導流筒，保溫罩，三瓣堝，用紙巾沾少量的酒精反復擦拭直至無污物。27石墨件的裝爐(1) 堝桿裝好后要擰緊螺絲，堝桿要平穩(wěn)無跳動。(2) 三瓣堝裝入后要平穩(wěn)28檢查真空泵油位是否在2/3處29檢查真空泵油是否干凈 二、裝 爐1:準備戴好口罩，帽子，打開石英堝包裝，取出石英堝，對光。2:裝料用較小的料3-5鋪平堝底，大塊料置于中間，用適當?shù)牧瞎潭?，小塊料填縫，將母合金全放入中間用料蓋住，最后吸凈周圍料渣。注意：(1)小塊料，小片

4、料不能掉入加熱器上，以防打火。 (2)放料時要輕，不能碰壞石英堝。 (3)裝料時，周圍空氣環(huán)境要好，盡量不要造成污染。3:合爐31料裝好后，堝轉(zhuǎn)開啟2-3轉(zhuǎn)/分，確認無短路的可能，快速降至堝下限位，應注意低于平口位置100為宜，以防下限位失靈而造成損失，關(guān)閉堝轉(zhuǎn)32放導流筒后不要與硅材料接觸33用酒精紙巾擦干凈重錘，確認籽晶型號及晶向后，將籽晶裝在夾頭上，稍向下拉防止籽晶在等徑時下墜，將籽晶升入爐筒內(nèi)合爐，并關(guān)閉液壓泵。4:抽空抽空前檢查冷卻水壓力不低于1.5，確認泵無異常，所有操作過程無遺漏的程序。按主室泵按鈕2-3次運轉(zhuǎn)1-2分鐘，確認無異常，慢慢打開排氣球閥，先打開1/3程度至壓力表降到

5、一半時，打開全部，開始抽出。其次測量表數(shù)字下慢時，打開AR流量計，使AR氣以30L/分的速度流入爐內(nèi)，5分鐘關(guān)閉，反復操作，使爐內(nèi)真空抽至4帕以下為止。關(guān)閉球閥，檢查泄漏，以5分鐘不大于1帕為合格，準備加熱。注意：真空不到4帕以下不加熱，一般抽出需2040，抽出時為取下的晶體刻號，填寫鍋底料號日期，清掃爐臺衛(wèi)生。 溶 料1：打開AR流量開關(guān)，使爐內(nèi)壓力為800帕左右2：打開加熱開關(guān)，按以下時段升溫時間：0min 30min 60min 30KW 60KW 90KW3:化料過程中注意觀察爐內(nèi)情況，觀察電流電壓是否正常，若有搭橋現(xiàn)象，要保持更大的功率，使其熔化，有異常要采取措施。4： 料塌后要稍加

6、鍋位，鍋轉(zhuǎn)打到1轉(zhuǎn),注意液面與導流筒保持一定的距離，化硅完了，降低功率，到引晶功率，堝升到引晶堝位，溫度穩(wěn)定，將歐陸表切入“自動”。5： 給定堝轉(zhuǎn) 5r/min 晶轉(zhuǎn)8r/min 6r/min 10r/min 8r/min 12r/min降下籽晶測試一下溫度，校準單晶生長控制器的各參數(shù)。 引晶 放肩 轉(zhuǎn)肩1:引晶 調(diào)整歐陸表溫度至引晶溫度,先把晶轉(zhuǎn)打開, 晶轉(zhuǎn)8r/min; 10r/min; 12r/min降籽晶與熔硅接觸，發(fā)現(xiàn)有光圈出來把鍋轉(zhuǎn)調(diào)至給定堝轉(zhuǎn) 5r/min ; 6r/min; 8r/min 發(fā)現(xiàn)有四條棱出現(xiàn)方可引晶。(或者:3min后根據(jù)光圈情況調(diào)整溫度，合適時方可引晶，不合適時

7、，10min后引晶。)12 打開晶開電源，晶升計長清零，開始引晶初始晶升拉速1-1.5/min，溫度合適后，拉速1.5-6/min,引晶30后一般拉速26/min,細頸直徑34為宜，細頸長度120150以上，視細頸直徑而定。目的使位錯全部消失。注：找溫度要有耐心，不要反復調(diào)節(jié)溫度縮晶斷，要重新接觸好光圈，方可縮晶。2：放肩縮細頸結(jié)束后，將拉速調(diào)整到0.4/min進行放肩。降歐陸SP以降低溫度放平肩隨時用測經(jīng)儀測量直徑大小。3：轉(zhuǎn)肩距目標直徑5左右時，將晶升調(diào)至1.52.8之間轉(zhuǎn)肩。轉(zhuǎn)肩時拉速不應過快，根據(jù)轉(zhuǎn)肩情況，慢慢降拉速到設定的拉速(1.15)，降低溫度，把堝身;堝跟比;堝升電源打開;sl

8、/cl曲線打入自動,同時計長清零，堝位清零。調(diào)整伊爾根光圈，壓入光圈1/3之內(nèi)(規(guī)定的目標直徑)，調(diào)整溫度與拉速。準備投入自動控制 等徑 收尾1:等徑轉(zhuǎn)肩完成后，對拉晶狀態(tài)進行10min后觀察，確認正常后切入自動，認真仔細做好各項拉晶記錄。隔30min記錄一次，等徑部分用計算機控制器輸入?yún)?shù)進行控制，這些數(shù)據(jù)根據(jù)能夠的種類，直徑及裝料量不同，有差異，拉晶變更時，進行修正。2: 等徑斷棱 根據(jù)殘留料的量確定控制方法以6寸投料55為例，等徑大于260以上收尾，爐內(nèi)冷卻5小時后取出，等徑小于260，需做熔處理從第一次上拉開始到最后一次轉(zhuǎn)肩結(jié)束時間超過48H，需要做吊料處理時，請示相關(guān)領導。注意：熔時晶體不易降入太多，防止晶體與石英坩堝相碰撞,防止夾頭松動造成拉晶影響;液面與晶體熔斷后，再降晶時,若雜質(zhì)或不熔時要進行拉出一點料處理。3: 收尾 當晶體達到預定程序或堝內(nèi)料太少時退出自控進行收尾。 根據(jù)收尾情況，慢慢地降下，隨動調(diào)整收尾晶升，收尾 長度應為晶體直徑大小，收尾過程中多觀察杜