電子化學品性能要求及生產(chǎn)技術

1、電子化學品性能要求及生產(chǎn)技術電子化學品的質量規(guī)格及標準電子化學品的質量標準的演變?yōu)榱四軌蛞?guī)范世界超凈高純試劑的標準，SEMI （Semiconductor Equipmentand Materials International ,國際半導體設備和材料協(xié)會）于 1975年成立了 SEMI化學試劑標準化委員會，專門制定、規(guī)范超凈高純試劑的國際統(tǒng)一標準 一 SEMI標準。1978年，德國的伊默克公司也制定了 MOSB準。兩種標準對超凈高純化學 品中金屬雜質和（塵埃）微粒的要求各有側重，分別適用于不同級別IC的制作要求。國際上公認的電子化學品的標準大致可分為四類：一類是以SEMI為基礎的美國試劑標準

2、；一類是以彳惠國E.Merck標準為主的歐洲試劑標準；一類是以日本 關東化學（Kanto）公司、和光純藥工業(yè)（Wako公司的濕電子化學品為代表的 日本試劑標準；另一類則是以 REA公司為代表的俄羅斯試劑標準。ULSI在全球 的快速發(fā)展使得這些標準的指標有逐步接近的趨勢，但SEMI標準更早取得世界范圍內(nèi)的普遍認可。目前世界及我國的電子化學品產(chǎn)品通常執(zhí)行 SEMI國際標準，其關鍵技術指 標包括單項金屬離子，單項陰離子， 顆粒數(shù)等，另外根據(jù)不同產(chǎn)品特點會相應增 加其它一些技術指標。電子化學品SEM標準進入21世紀，國際SEMI標準化組織又根據(jù)電子化學品在世界范圍內(nèi)的實際 發(fā)展情況對原有的分類體系進行

3、了歸并，按品種進行分類，每個品種歸并為一個 指導性的標準，其中包括多個用于不同工藝技術的等級。表 2-1列出了 IC制造 的不同線寬對濕電子化學品 SEMI國際標準等級的要求。精選資料，歡迎下載表2-1 電子化學品SEMI國際標準等級SEMI等級IC線寬（相金屬雜質 10-9控制粒徑（相顆粒（個/Ml ）C1 (Grade1) 1.2V 1000 (1ppm)1.025C7 (Grade2)0.8 1.210 (10ppb)0.525C8 (Grade3)0.2 0.61.0 (1ppb)0.55C12 (Grade4)0.09 0.20.1 (0.1ppb )2700 個/100ml一5CM

4、O繳 5師2700 個/100ml 3 pmBV- I 級2師2 pmBV-n 級2師1.2 pmbv-m級0.5 師0 25 個/1mlv10ppb0.8 1.2 gBV-IV 級 0.5 師w 5 個/1ml0.2 師TBD& 0.1ppb0.09 0.2 m我國還有部分企業(yè)采用的電子化學試劑按照純度劃分的三個等級：UP-S級、UP級、EL級三個等級。UP-S級UP-S級適用0.350.8微米集成電路加工工藝，金屬雜質含量小于1ppb,經(jīng) 過0.05微米孔徑過濾器過濾，控制 0.2微米粒子，在100級凈化環(huán)境中灌裝達 至ij SEMI C8標準。UP級UP級適用1微米集成電路及TFT-LC

5、C造工藝，金屬雜質含量小于10ppb, 經(jīng)過0.2微米孔徑過濾器過濾，控制0.5微米粒子，在100級凈化環(huán)境中灌裝， 達至ij SEMI C7標準。EL級精選資料，歡迎下載EL級金屬雜質含量小于100ppb,控制1微米粒徑粒子，達到 SEMI C1、C2 標準，適合中小規(guī)模集成電路及電子元件加工工藝。按照國標試劑（該類試劑為我國國家標準所規(guī)定， 適用于檢驗、鑒定、檢測） 的分級為（要求從高到低排列）：（1）工作基準試劑（國標無簡寫標記，用漢語注明，綠色標簽）：作為基準物質，標定標準溶液。（2）優(yōu)級純（GR綠色標簽）：主成分含量很高、純度很高，適用于精確分 析和研究工作，有的可作為基準物質。（3

6、）分析純（AR紅色標簽）：主成分含量很高、純度較高，干擾雜質很低， 適用于工業(yè)分析及化學實驗。這個是一般實驗室用的最多的等級。（4）化學純（CP藍色標簽）：主成分含量高、純度較高，存在干擾雜質，適用于化學實驗和合成制備。（5）實驗試劑（LR,黃色標簽）：主成分含量高，純度較差，雜質含量不做 選擇，只適用于一般化學實驗和合成制備。其他根據(jù)不同用途的要求，又可分為很多特定的等級。此類試劑質量注重的 是：在特定方法分析過程中可能引起分析結果偏差， 對成分分析或含量分析干擾 的雜質含量，但對主含量不做很高要求。部分如下：（1）色譜純（GC LC）:氣相色譜、液相色譜分析專用。質量指標注重干擾 色譜峰的

7、雜質。主成分含量高。（2）指示劑（ID）:配制指示溶液用。質量指標為變色范圍和變色敏感程度。 可替代CP也適用于有機合成用。（3）生化試劑（BR:配制生物化學檢驗試液和生化合成。質量指標注重生 物活性雜質?？商娲甘緞?，可用于有機合成。（4）生物染色劑（BS）:配制微生物標本染色液。質量指標注重生物活性雜 質?？商娲甘緞捎糜谟袡C合成。（5）光譜純（SR:用于光譜分析。分別適用于分光光度計標準品、原子吸 收光譜標準品、原子發(fā)射光譜標準品。（6）電子純（MOS：適用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)中，電性雜質含量極低。（7）當量試劑（3N 4N 5N）:主成分含量分別為 99.9%、99.99%、99.999%精選資料，歡