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文檔簡介

1、尺寸尺寸(WxHxD)1320 x810 x760cm1500 x760 x890mm觀測方式觀測方式波長范圍分辨率（200nm處）光學穩(wěn)定性測定模式檢測器類型檢測器防溢出譜線獲取能力氣體控制蠕動泵排液感應檢測速度（15元素/樣品）RF功率耗氣量（L/min）尾焰切割氣體Optima8000雙向觀測160-900nm但是無法做Al_167.12nm9pm機械轉動，無恒溫順序掃描CCD信號溢出嚴重多次掃描獲取5萬條左右電磁閥/MFC3通道No15min750-1500W2518-25L/minOptima8300徑向&雙向163-782nm6pm（實際8pm）光路固定，非精密恒溫全譜直讀SCD（

2、2個拼接）信號部分溢出譜線獲取6000條左右電磁閥/MFC3通道No1-2min750-1500W2518-25L/min840 x590 x750cm840 x590 x750cm840 x590 x750mm840 x590 x750cm840 x590 x750cm840 x590 x750mmiCAP6200雙向觀測175-847nm7pm光路固定，精密恒溫全譜直讀單個CID信號無溢出55000條左右壓力/電磁閥3通道Yes4min750-1500W140iCAP6300徑向&雙向166-847nmAl_167.12nm7pm光路固定，精密恒溫全譜直讀單個CID信號無溢出55000條左右電磁閥/MFC3通道Yes1-2min750-1500W160iCAP6500徑向&雙向166-847nmAl_167.12nm7pm光路固定，精密恒溫全譜直讀單個CID信號無溢出550

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