ITO導(dǎo)電玻璃簡介和基礎(chǔ)知識

1、ITO導(dǎo)電玻璃是在鈉鈣基或硅硼基基片玻璃的基礎(chǔ)上，利用磁控濺射的方式鍍上一層氧化銦錫（俗稱ITO）膜加工制作成的。液晶顯示器專用ITO導(dǎo)電玻璃，還會在鍍ITO層之前，鍍上一層二氧化硅阻擋層，以阻止基片玻璃上的鈉離子向盒內(nèi)液晶里擴散。高級液晶顯示器專用ITO玻璃在濺鍍ITO層之前基片玻璃還要進行拋光處置，以取得更均勻的顯示操縱。液晶顯示器專用ITO玻璃基板一樣屬超浮法玻璃，所有的鍍膜面為玻璃的浮法錫面。因此,最終的液晶顯示器都會沿浮法方向，規(guī)律的顯現(xiàn)波紋不平整情形。在濺鍍ITO層時，不同的靶材與玻璃間，在不同的溫度和運動方式下，所取得的ITO層會有不同的特性。一些廠家的玻璃ITO層常常表面光潔度

2、要低一些，更易顯現(xiàn)“麻點”現(xiàn)象；有些廠家的玻璃ITO層會顯現(xiàn)高蝕距離帶，ITO層在蝕刻時，更易顯現(xiàn)直線放射型的缺劃或電阻偏高帶；另一些廠家的玻璃ITO層那么會顯現(xiàn)微晶溝縫。ITO導(dǎo)電層的特性：ITO膜層的要緊成份是氧化銦錫。在厚度只有幾千埃的情形下，氧化銦透過率高，氧化錫導(dǎo)電能力強，液晶顯示器所用的ITO玻璃正是一種具有高透過率的導(dǎo)電玻璃。由于ITO具有很強的吸水性，因此會吸收空氣中的水分和二氧化碳并產(chǎn)生化學(xué)反映而變質(zhì)，俗稱“霉變”，因此在寄存時要防潮。ITO層在活性正價離子溶液中易產(chǎn)生離子置換反映，形成其它導(dǎo)電和透過率不佳的反映物質(zhì)，因此在加工進程中，盡可能幸免長時刻放在活性正價離子溶液中。

3、ITO層由很多細小的晶粒組成，晶粒在加溫進程中會裂變變小，從而增加更多晶界，電子沖破晶界時會損耗必然的能量，因此ITO導(dǎo)電玻璃的ITO層在600度以下會隨著溫度的升高,電阻也增大。ITO導(dǎo)電玻璃的分類：ITO導(dǎo)電玻璃按電阻分，分為高電阻玻璃（電阻在150500奧姆）、一般玻璃（電阻在60150奧姆）、低電阻玻璃（電阻小于60奧姆）。高電阻玻璃一樣用于靜電防護、觸控屏幕制作用一般玻璃一樣用于TN類液晶顯示器和電子抗干擾；低電阻玻璃一樣用于STN液晶顯示器和透明線路板。ITO導(dǎo)電玻璃按尺寸分，有14”xl4”、14”xl6”、20”x24”等規(guī)格；按厚度分，有、等規(guī)格，厚度在以下的要緊用于STN液

4、晶顯示器產(chǎn)品。ITO導(dǎo)電玻璃按平整度分，分為拋光玻璃和一般玻璃。阻礙ITO玻璃性能的要緊參數(shù)：長度、寬度、厚度及允差（）垂直度（%）翹曲度（厚度以上%，厚度以下%）微觀波紋度阜歔mm）殺觀波巍度（表面形貌儀涮量）拋光面鍍膛面1.10良CLClg屮iiQDnm.O.lOpnLlmm0.700.03pin/20mnLO.liurLQOmmi上0.550.10pW20nitn0.400.15pniZ20min.Ng血鋰加血幣倒邊C倒邊（W寬度W）R倒邊（W寬度W,曲率半徑W50mm）倒角（浮法方向；其余）SI02阻擋層厚度（350埃50埃，550nm透過率290%）ITO層光學(xué)、電學(xué)、蝕刻性能（蝕刻

5、液：600C37%HCL:H267%HN03=50:50:3）:見表1-1。表1-1L50A3t)A諭口=30s200口=30s300A3)A13(1口t30sIM口130如口trs忑呦血口=60sso口菽45血口=6055O0AHJ0A盤繃口TOOA+KJQA3020豈匸化學(xué)穩(wěn)固性：耐堿為浸入600C、濃度為10%氫氧化鈉溶液中5分鐘后，ITO層方塊電阻轉(zhuǎn)變值不超過10%。耐酸為浸入250C、濃度為6%鹽酸溶液中5分鐘后，IT0層方塊電阻轉(zhuǎn)變值不超過10%。耐溶劑為在250C、丙酮、無水乙醇或100份去離子水加3分EC101配制成的清洗液中5分鐘后，IT0層方塊電阻轉(zhuǎn)變值不超過10%。附著力

6、：在膠帶貼附在膜層表面并迅速撕下，膜層無損傷；或連撕三次后，IT0層方塊電阻轉(zhuǎn)變值不超過10%。熱穩(wěn)固性：在3000C的空氣中，加熱30分鐘后，IT0導(dǎo)電膜方塊電阻值應(yīng)不大于原方塊電阻的300%。外觀質(zhì)量：裂紋：不許諾。粘附物：包括塵粒、玻璃碎等凸起物，TN型ITO導(dǎo)電玻璃鍍膜面不許諾有不可去除的高度超過的粘附物；STN型IT0導(dǎo)電玻璃鍍膜面不許諾有不可去除的高度超過的粘附物。沾污：不可有不溶于水或一樣清洗劑無法除去的沾污。崩邊：長X寬W；深度不超過玻璃基片厚度的50%；總長度W總邊長的5%。劃痕：見表1-2。表1-2浮WK空氣區(qū)弔J?MODIHIM不計可復(fù)宣0曲血環(huán)h囂膽QdCGtiirti

7、可葉USOJ05jnffl不L十gb-0lOrai玻璃體線狀缺點（寬度W）：包括玻筋、光學(xué)變形見表1-4。表1-4PRS1WM4DD3EftjHTbdtidiHn7i4*IDEnmC宙0Unm1OJ3iNnXd0!FjnK$4呼廨氏d?02QTitii不址訐0囲3Dimi不tti呼膜層點狀缺點：SI02阻擋層和ITO導(dǎo)電層的點狀缺點包括針孔、空洞、顆粒等，點狀缺點的直徑概念為：d=（缺點長+缺點寬）/2。見表1-5。表1-5071喻嚴不e垮噢5一0血師創(chuàng)創(chuàng).10仙胃農(nóng)4牛輝片tj訕mi股片ITO導(dǎo)電玻璃的工廠自適應(yīng)測試方式及判定標準：尺寸：A、測試方式：用直尺和游標卡尺測量待測玻璃原片的長度、

8、寬度、厚度。B、判定標準：測量結(jié)果在供貨商所提供的參數(shù)范圍之內(nèi)為合格。面電阻:A、測試方式：把待測試玻璃整個區(qū)域做為測試區(qū)域，然后測試區(qū)域分成九等份后再用四探針測試儀別離測試各區(qū)域的面電阻。B、判定標準：依照測試結(jié)果計算出電阻平均值及電阻資料分散值，結(jié)果在要求范圍內(nèi)既是合格。ITO層溫度性能A、測試方式：把待測玻璃原片在3000C的空氣中，加熱30分鐘，測試其加溫前后的同一點面電阻阻值。B、判定標準：ITO導(dǎo)電膜方塊電阻值應(yīng)不大于原方塊電阻的300%為合格。蝕刻性能：A、測試方式：把待測玻璃原片放入生產(chǎn)線所用的蝕刻液中測試其蝕刻完全的時刻。B、判定標準：蝕刻完全的時刻值小于生產(chǎn)工藝所設(shè)按時刻的

9、一半值為合格?；虬幢?-1蝕刻性能指針檢測。ITO層耐堿性能A、測試方式：把待測玻璃原片放在600C、濃度為10%氫氧化鈉溶液中5分鐘后，測試其浸泡前后的同一點面電阻阻值。B、判定標準：ITO層方塊電阻轉(zhuǎn)變值不超過10%為合格。光電性能與靠得住性：A、測試方式：把待測玻璃與現(xiàn)生產(chǎn)用玻璃按現(xiàn)生產(chǎn)工藝參數(shù)，選擇一型號制作成成品并測試其光電與靠得住性性能；B、判定標準：光電性能與靠得住性測試結(jié)果與現(xiàn)生產(chǎn)用玻璃結(jié)果相當(dāng)，并在測試產(chǎn)品型號要求范圍之內(nèi)。ITO導(dǎo)電玻璃的選用規(guī)那么：模數(shù)在240以上的產(chǎn)品，一樣可選用供貨商B級品玻璃；模數(shù)在40模以上，240模以下的產(chǎn)品，一樣選用一般A級品玻璃;模數(shù)在40模

10、以下的產(chǎn)品，STN產(chǎn)品，一樣選用低電阻拋光玻璃。C0G產(chǎn)品，一樣選用15奧姆拋光玻璃。附：工廠IT0玻璃參考選用原那么:Stir-帀元MTh（倚戸曠ipaj孟幫iiijr頷aa-iJTT岳窪苫T此iK口卷4肌耳:HTlf產(chǎn)迄E町劃Tbf士斟產(chǎn)筍漲臚苫六、IT0導(dǎo)電玻璃的利用方式：l任何時候都不允許迭放；l除規(guī)定外，一樣要求豎向放置；平放操作時，盡可能維持ITO面朝下；厚度在以下的玻璃只能豎向放置；l取放時只能接觸四邊，不能接觸導(dǎo)電玻璃ITO表面；l輕拿輕放，不能與其它治具和機械碰撞；l若是要長時刻寄存，必然要注意防潮，以避免阻礙玻璃的電阻和透過率l關(guān)于大面積和長條形玻璃，在設(shè)計排版時要考慮玻璃基片的浮法方向。7、ITO導(dǎo)電玻璃的貯存及搬