原料腐蝕清洗工藝操作規(guī)范

1、3/3XXX光電資料有限企業(yè)文件編號(hào)：Q/WS9308-4-2009原料的腐化沖刷工藝操作規(guī)范版本號(hào)：A/0頁(yè)碼：第1頁(yè)共3頁(yè)WINSAINT奏效日期：2009年8月1日一、目的：為正確、規(guī)范原料的腐化沖刷工藝操作，保證生產(chǎn)作業(yè)正常，特?cái)M定本規(guī)范。二、范圍：合用于原料的腐化沖刷作業(yè)。三、依據(jù)：使用說(shuō)明書(shū)四、權(quán)責(zé)單位：原料腐化沖刷生產(chǎn)車(chē)間五、作業(yè)流程：作業(yè)準(zhǔn)備原料浸泡清水沖刷原料腐化超聲沖刷烘干凈化送檢包裝。六、主要內(nèi)容1、作業(yè)準(zhǔn)備、進(jìn)入腐化車(chē)間須穿著好干凈工作服、鞋。戴防腐化手套、口罩，穿防備服、鞋。、檢查化學(xué)試劑規(guī)格、純水質(zhì)量。原料浸泡：氫氧化鈉、硝酸、鹽酸、氫氟酸、氟化銨、硫酸一律用工業(yè)級(jí)

2、或分析純?cè)细合跛?含量65%68%)、氫氟酸(含量40%)、鹽酸應(yīng)為電子級(jí)；純水電阻率大于15兆歐厘米以上。檢查腐化手套安全不漏設(shè)置好烘箱的溫度，并送電。2、作業(yè)、原料的浸泡、1、將片料稱重后裝入周轉(zhuǎn)箱中，以大體上半箱為準(zhǔn)。2、向原資猜中分別倒入鹽酸和硝酸，鹽酸與硝酸的比率為2：1。3、在浸泡大體3-4天此后，用清水將酸沖刷干凈。B、1、將堝底料稱重后裝入周轉(zhuǎn)箱中，以大體上半箱為準(zhǔn)。2、稱取1-2公斤左右的氟化銨，加到堝底猜中。3、向周轉(zhuǎn)箱中加入工業(yè)級(jí)的純氫氟酸，以浸過(guò)原資料為準(zhǔn)，此中氟化銨需溶解到氫氟酸中。4、堝底料浸泡的時(shí)間大體為4天左右。5、浸泡完成，用清水沖刷，盡量將酸給沖刷干凈

3、。注意事項(xiàng)：1、浸泡片料、堝底料的時(shí)間的長(zhǎng)短要視實(shí)質(zhì)見(jiàn)效，可適合的延伸浸泡的時(shí)間。2、關(guān)于表面含有金屬的片料，可適合的加大鹽酸的量。3、由于浸泡堝底料所用到的工業(yè)級(jí)的氫氟酸為二次利用的回收酸，所以在浸泡堝底料前要視堝底料表面的石英及其余雜質(zhì)，可適合的加入1-2桶的新的氫氟酸。4、操作人員必定要做好防備，戴防腐化手套、口罩，穿防備服、鞋。2、腐化沖刷A、拋光片、彩片等硅片的腐化沖刷1、清水沖刷硅片料。2、堿液腐化。依據(jù)沖刷硅料的多少配制氫氧化鈉溶液。一般為氫氧化鈉：水=1：1（質(zhì)量比），腐化時(shí)間一般為2-4分鐘，腐化過(guò)程中要不停的攪拌，使堿液與硅料表面充分反響。硅料表面光明、干凈即可。3、純水多

4、次超聲沖刷。純水多次超聲沖刷，使表面殘留的堿盡量洗凈。防備有堿液殘留。4、酸漂洗在氫氟酸中浸泡5分鐘左右。（氫氟酸：水=1：1（體積比），XXX光電資料有限企業(yè)文件編號(hào)：Q/WS9308-4-2009原料的腐化沖刷工藝操作規(guī)范版本號(hào)：A/0頁(yè)碼：第2頁(yè)共3頁(yè)WINSAINT奏效日期：2009年8月1日5、水洗，超聲。超聲時(shí)間大體10分鐘左右。甩干。注意事項(xiàng)：1、堿液腐化硅料時(shí)要視實(shí)質(zhì)見(jiàn)效，依據(jù)實(shí)質(zhì)狀況可適合的改變沖刷的時(shí)間。2、硅料腐化后要實(shí)時(shí)用純水沖刷，且必定要沖刷干凈，防備造成表面氧化。3、操作人員必定要做好防備，戴防腐化手套、口罩，穿防備服、鞋。B、多晶料、頭尾料、邊皮料、提雜料、堝底料

5、的腐化沖刷1、分筐、關(guān)于頭尾料、提雜料須先進(jìn)行打磨辦理。此后按型號(hào)、電阻率破裂分筐。、邊皮料表面的雜污先用肥皂水浸泡，擦洗干凈。表面假如有大批的雜質(zhì)的話，可進(jìn)行超聲加熱、擦洗干凈后，此后按型號(hào)、電阻率破裂分筐、關(guān)于堝底料須先進(jìn)行浸泡辦理。此后按型號(hào)、電阻率分筐。清水沖刷硅資料2、混酸腐化。在HNO3：HF=3：1-7：1的混酸中浸泡1-2分鐘左右，浸泡過(guò)程中要適合的攪拌，使混酸與硅料表面充分反響。硅料表面光明、干凈即可。3、純水多次超聲沖刷。純水多次超聲沖刷，使表面殘留的酸盡量洗凈。應(yīng)測(cè)試PH值為7-8，防備有酸殘留。4、每腐化500硅料需改換腐化液一次，詳細(xì)改換時(shí)間需視硅料沖刷見(jiàn)效。注意事項(xiàng)

6、：1、混酸腐化硅料時(shí)要視實(shí)質(zhì)見(jiàn)效，可適合的改變混酸的比率以及沖刷的時(shí)間。2、硅料腐化后要實(shí)時(shí)用純水沖刷，且必定要沖刷干凈，防備造成表面氧化。3、操作人員必定要做好防備，戴防腐化手套、口罩，穿防備服、鞋。4、籽晶、母合金腐化方法與頭尾料同.、烘干。硅料送入設(shè)置好溫度的烘箱高溫干燥。注意硅料不可以直接接觸不銹鋼的烘盤(pán)。、凈化送檢，包裝。分選包裝必定要高純條件下進(jìn)行，用高純塑料袋封裝。每袋操作者要穿著高純工作服、口罩、手套。5公斤5、記錄XXX光電資料有限企業(yè)文件編號(hào)：Q/WS9308-4-2009原料的腐化沖刷工藝操作規(guī)范版本號(hào)：A/0頁(yè)碼：第3頁(yè)共3頁(yè)WINSAINT奏效日期：2009年8月1日腐化工藝控制表MN-10-A硅料名稱硅料批號(hào)硅料型號(hào)硅料根源領(lǐng)料人工藝配比領(lǐng)料重量HF：HNO3=（）:（NaOH=（）%）入庫(kù)重量復(fù)洗重量配液工腐化工耗資重量本批硅料腐化使用化學(xué)品狀況化學(xué)名稱生產(chǎn)廠家生