電子廠房潔凈室系統(tǒng)課件

1、電子廠房潔凈室系統(tǒng)電子廠房潔凈室系統(tǒng)大 綱HJT C/R 介紹潔凈室系統(tǒng)型式為何需要Clean Room潔凈室的定義潔凈等級定義制程線寬與潔凈度之關(guān)系 Clean Room之環(huán)境因子影響C/R潔凈度的環(huán)境因子風(fēng)管系統(tǒng)FFU系統(tǒng)軸流風(fēng)機系統(tǒng)架構(gòu)表及主要系統(tǒng)介紹Layout 說明MAU與空氣循環(huán)系統(tǒng)大 綱HJT C/R 介紹潔凈室系統(tǒng)型式為何需要Clean 潔 凈 室 的 定 義潔凈室為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而給于特別設(shè)計之房間以符合制程工藝之需求 回主畫面

2、潔 凈 室 的 定 義潔凈室為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵潔凈等級回主畫面潔凈等級回主畫面制程線寬與潔凈度之關(guān)系回主畫面制程線寬與潔凈度之關(guān)系回主畫面污染物大小0.3um粒徑肉眼可視粒徑人類頭發(fā)直徑-100um回主畫面污染物大小0.3um粒徑肉眼可視粒徑人類頭發(fā)直徑-1影響C/R潔凈度之環(huán)境因子溫度濕度壓力微塵粒子照度微振動噪聲靜電化學(xué)物質(zhì)回主畫面影響C/R潔凈度之環(huán)境因子溫度回主畫面潔凈室空調(diào)系統(tǒng)型式風(fēng)管系統(tǒng)FFU系統(tǒng)軸流風(fēng)機系統(tǒng)以風(fēng)管輸送潔凈空氣循環(huán)空調(diào)箱兼處理外氣天花空間為微負壓氣室獨立設(shè)置外氣空調(diào)箱天花空間為正壓氣室獨立設(shè)置外氣空調(diào)箱回主畫面潔凈室空調(diào)系統(tǒng)型式風(fēng)管系統(tǒng)以風(fēng)管輸送潔凈空

3、氣天花空間為微負壓風(fēng)管系統(tǒng)(循環(huán)空調(diào)箱兼處理外氣)潔凈度、溫度及濕度控制風(fēng)管系統(tǒng)(循環(huán)空調(diào)箱兼處理外氣)潔凈度、溫度及濕度控制FFU系統(tǒng)(獨立設(shè)置外氣空調(diào)箱)潔凈度控制溫度控制濕度控制溫度控制FFU系統(tǒng)(獨立設(shè)置外氣空調(diào)箱)潔凈度控制溫度控制濕度控制軸流風(fēng)機系統(tǒng)(獨立設(shè)置外氣空調(diào)箱)潔凈度控制溫度控制濕度控制溫度控制軸流風(fēng)機系統(tǒng)(獨立設(shè)置外氣空調(diào)箱)潔凈度控制溫度控制濕度控架構(gòu)表及主要系統(tǒng)設(shè)備介紹LIGHTINGSPEAKERFFU HARMONICMAU&DC BANK&HARMONIC FILTERHVAC MONITORFFU MONITORION. SYS.FMSARCHHVACFIR

4、E PROTECTIONELEC/CONTROLELECCHEMICALC/RHVACDIARCH HJT FAB 8N PROJECTGASP-PEPOXY COATINGRAISED FLOORCEILING GRID SYS.PARTITIONAIR SHWOR/AIR LOCKTOOL FOUNDATIONVIRBRATION DEFENCEMAU SYS.FFU SYS2nd CHWDRY COILAIR WASHER SYS.FIRE SPRINKLERDESMOKE SYS.ADRANCE DETECTOR SYS.AIR SAMPLING SYS.CDAPCWPVHVBAIW回

5、主畫面架構(gòu)表及主要系統(tǒng)設(shè)備介紹LIGHTINGARCHHVACFIHJT C/R 主要潔凈需求Cleanliness TemperatureHumidity100230.5455% RH1000232 455% RH0.1230.5455% RH10000232 4510% RH回主畫面HJT C/R 主要潔凈需求Cleanliness 電子廠平面配置概念圖FAB 2FAB 1S BO BC U BW H回主畫面電子廠平面配置概念圖FAB 2FAB 1S BO BC U SUB FAB（MASK SHOP)回主畫面SUB FAB（MASK SHOP)回主畫面RAP回主畫面RAP回主畫面FAB、SB3F、G/R回主畫面FAB、SB3F、G/R回主畫面TRUSS、SB4F-TEST AREA回主畫面TRUSS、SB4F-TEST AREA回主畫面電子廠剖面概念圖RAISED FLOORCOILCOILDESMOKE FANDESMOKE FANCDABAPCWPV回主畫面電子廠剖面概念圖RAISED FLOORCOILCOILDEMAU + 空氣循環(huán)系統(tǒng)外氣空調(diào)箱功能壓力之控制濕度之控制外氣微塵粒之預(yù)處理氣態(tài)分子之控制空氣循環(huán)系統(tǒng)功能潔凈度之控制溫度之控制濕度之維持氣態(tài)分子之控制MAU潔凈室熱源分布潔凈室系統(tǒng)流程回主畫面MAU + 空氣循環(huán)系