IGZO的可靠性提高

1、精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)專心-專注-專業(yè)精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上專心-專注-專業(yè)【SID】氧化物TFT的可靠性提高，用于有機EL基板的案例紛紛亮相2014/06/24 顯示器領域規(guī)模最大的學會“SID”本來就比較偏重于展會，很多VIP的參會目的都是進行商務洽談。但是，“Oxide vs.LTPS TFTs I, II, III”這樣的議題恐怕也是其他學會不可能設置的。除了技術方面的討論之外，還要進行應用方面的討論，這一點倒是很像SID的風格?！癢earable Displays I, II, III”分會也不錯，最終產(chǎn)品的概念非常明確，容易定下目標

2、。氧化物TFT方面，與有機EL（OLED）組合使用試制面板方面的演講比較多，內(nèi)容上偏重于提高氧化物TFT的可靠性及性能。反言之，這也證明氧化物TFT的可靠性已提高至足以供有機EL面板使用的水平。松下在4K有機EL上采用氧化物TFT技術松下在“OLED TV”會議上介紹了4K有機EL電視已采用的可提高氧化物TFT可靠性的技術（論文編號：58.3）。雖然是最后一天的最后一場演講，但仍有很多聽眾一直熱心聆聽到最后的提問環(huán)節(jié)。不滿足于演講和提問的技術人員還在開發(fā)者見面會上排隊向演講者提問，筆者也是其中之一。松下首先指出，IGZO靶材間距造成的不均是顯示不均的原因之一。與靶材的距離會導致有些區(qū)域的Ga不

3、足，因而會造成特性與其他區(qū)域不同。針對這一點，該公司通過控制濺射工藝中的離子沖擊方向，解決了該問題。而且，松下還通過以下兩項措施大幅提高了氧化物TFT的可靠性：（1）通過對前通道進行NH3等離子體處理，形成富氮SiO界面，從而改善了PBTS；（2）通過對背通道進行N2O等離子體處理，減少了Vo（缺氧），從而改善了NBTS。松下的報告非常令人感興趣。而且，當筆者詢問“是否通過優(yōu)化退火溫度提高了可靠性”時，松下回答稱，“退火溫度當然也是非常重要的參數(shù)，但采用上述等離子體處理技術的效果更好?！庇糜谟袡CEL電視的氧化物TFT的構造和特點友達光電截至目前已經(jīng)開發(fā)出了多款由氧化物TFT驅(qū)動的有機EL電視。

4、該公司在“OLED TV”會議上介紹了此前的開發(fā)流程（論文編號：53.1）。友達光電對氧化物TFT的構造特點進行了對比，對比表格一目了然，表1是從中摘選出的主要項目的比較。據(jù)友達光電介紹，ITZO與IGZO相比，耐蝕刻性高，不會被鋁或銅的蝕刻液侵蝕，因此非常適合BCE（背通道蝕刻）型構造。而且，ITZO的載流子遷移率為30cm3/Vs以上，高達IGZO的3倍左右，因此適合4K以上的高精細化及高幀頻驅(qū)動，還有利于降低耗電量。該公司將來的目標是開發(fā)出通過降低寄生電容來減少掩模數(shù)量的自對準頂柵型構造。表1 氧化物TFT的構造和特點筆者根據(jù)友達光電的發(fā)布資料制作。（點擊放大）氧化物TFT的主要目標是什

5、么 筆者認為，要擴大有機EL電視市場，必須滿足以下兩個條件：（1）確保背板的氧化物TFT的可靠性并降低成本（提高成品率和生產(chǎn)效率）；（2）開發(fā)低成本的大型有機EL工藝并確?？煽啃浴９P者對“Oxide vs.LTPS TFTs”這一議題的理解是，“要擴大有機EL電視的市場，只能將氧化物TFT作為新一代高精細背板的事實標準技術，包括液晶面板在內(nèi)，進行大量生產(chǎn)，以實現(xiàn)背板的大眾化”。從這一意義上來說，京東方等進取型市場參與者的出現(xiàn)應該受到業(yè)界的熱烈歡迎，LG集團通過組合使用目前可以量產(chǎn)的技術來降低成本的戰(zhàn)略也是非常正確的。另一方面，即便在必須追求性能極限的移動設備領域與LTPS進行競爭，恐怕也無法完

6、全發(fā)揮出氧化物TFT的優(yōu)勢。開發(fā)者見面會上備受關注的演講下面介紹一下筆者在開發(fā)者見面會上比較感興趣的演講，其中也有氧化物TFT之外的技術。夏普的TN模式液晶面板用大視角光學薄膜（論文編號：4.1）右為貼了薄膜的屏幕。從視頻后半部分可以看出，傾斜方向的顯示特性得到改善。（參閱）夏普的可實現(xiàn)獨特邊框造型的液晶顯示器（論文編號：49.1）正如下圖中電腦屏幕上顯示的圖形那樣，像素內(nèi)部配置了多個掃描驅(qū)動器。掃描驅(qū)動器由多個TFT組合構成，但通過在每個像素中分散配置一個TFT，使掃描驅(qū)動器可以配置在陣列內(nèi)。優(yōu)點是不會對顯示帶來影響?？梢詫崿F(xiàn)無邊框的獨特造型。真是一項有趣的創(chuàng)意。（參閱）(點擊放大)日本半導體能源研究所的Side Roll觸摸顯示器（論文編號：11.1） 采用把有機EL柔性顯示器和柔性觸摸面板重疊在一起的構造，可彎曲半徑為4mm。能夠一直顯示到側(cè)面，可能會實現(xiàn)前所未有的全新便攜產(chǎn)品造型。日本顯示器的7英寸WUGA（12001920像素）反射型液晶面板（論文編號：9.2）采用了RGBW像素。只要很好地利用外部光線，就能顯示出非常清晰的彩色圖像。(點擊放大)半導體能源研究所的氧化物TFT驅(qū)動型13.3英寸8K有機EL面板第三天的演示（論文編號：44.1）通過“白色有機EL+彩色濾光片”方式實現(xiàn)了664ppi高精細度。雖然該公司為試制出超高精細8K面板而做