ESD靜電設備產品檢測規(guī)范標準

1、*目的:編擬本靜電防護外圍環(huán)境設施檢測辦法是要以一有系統(tǒng)之管制方式,以求達到本廠靜電防護設備之完善管理檢測系統(tǒng).避免經過長時間使用,防護設備或材料由于自然或人為之破壞以致喪失其ESD作用.范圍:適用于XX電子有限公司，保護ESD敏感性電子組件及產品所使用的所有相關材料.3.權責:工程部:負責制訂靜電防護外圍設施材料檢測規(guī)范.各相關部門:依循靜電防護外圍設施材料檢測辦法實施，及相關資料歸檔.參考文件:ANSI/EIA-625ANSI/ESDS20.20-1999定義及相關朮語:ESD(ElectrostaticDischarge):靜電放電EOS(ElectricalOverStress):電壓

2、過應力CGP(CommonGroundPoint)共同接地點EPA(ESDProtectedArea)靜電防護區(qū)6流程圖:無.7內容7.1.導電地板測試FloorMaterialstestspec:ResistancetoGroundpoint:104Q106QResistancetoptotop:104Q106Q測試儀器:數(shù)顯式雙錘表面阻抗測試器（測試電壓:10V）7.1.1測試方法7.1.1.1將表面阻抗測試儀撥至10伏檔位.用潮濕的抹布將地面和雙錘擦拭干凈.連接表面阻抗測試儀,分別將雙錘放在地板上或一端放在地板上另一端接接地測試點.（注意兩測試點的距離不可超過90cm）7.1.1.4按住

3、測試鍵（約3秒）后,讀取儀器上所顯示的數(shù)值.7.1.2作業(yè)規(guī)范7.1.2.1平均每1000平方英尺必須有壹個測試點.7.1.2.2地板檢測及清洗周期為每30天1次.7.1.2.3地板清洗時需先用洗地機將地板澈底洗干凈,再進行打臘將地板表面恢復原貌及光亮的最佳方式，打臘后的地板須經ESD檢測合格方可.7.2ESD接地系統(tǒng)量測ESDCommonGroundtestspec:ESDGroundResistance:R10Q測試儀器：MK-8406數(shù)顯GroundSystemMonitor測試方法插上電源，按下極性選擇開關，此時極性燈亮方可測試，否則表示接線極性錯誤.7.2.1.2開啟主機電源，此時屏

4、幕顯示OPENFAIL字樣，且有警報聲伴隨.7.2.1.3插入測試線，并將測試末端之鱷魚夾夾在欲測的接地在線.7.2.1.4警報聲隨即停止，此時屏幕顯示出測試值及OK字樣.作業(yè)規(guī)范7.2.2.1生產線ESD工作站變更時，變更產線之部門應及時通知部門ESD負責人對其重新檢測;否則后果由變更部門負責.ESD接地系統(tǒng)檢測周期為每30天1次.設備接地系統(tǒng)量測-*-*-*-*-*-*7.57.5導電車測試ConductiveRacksMatstestspec:ResistanceConductiveRacksMatstop:104Q109Q7.57.5導電車測試ConductiveRacksMatste

5、stspec:ResistanceConductiveRacksMatstop:104Q109Q7.4靜電衣帽測試7.4靜電衣帽測試AntistaticSmocktestspec:ResistanceAntistaticSmocktop:106Q109Q測試儀器：數(shù)顯式雙錘表面阻抗測試器（測試電壓:100V）DeviceGroundtestspec:DeviceGroundResistance:R10Q測試儀器:MK-8406數(shù)顯GroundSystemMonitor7.3.1測試方法插上電源,按下極性選擇開關,此時極性燈亮方可測試,否則表示接線極性錯誤.7.3.1.2開啟主機電源，此時屏幕顯

6、視OPENFAIL字樣，且有警報聲伴隨.7.3.1.3插入測試線,并將測試末端之鱷魚夾夾在欲測試的機器外殼上7.3.1.4警報聲隨即停止，此時屏幕顯示出測試值及OK字樣.7.3.2作業(yè)規(guī)范7.3.2.1生產線的設備變更時，變更產線之部門應及時通知部門ESD負責人對其重新檢測;否則后果由變更部門負責.7.3.2.2設備接地檢測周期為每30天1次.7.4.1測試方式將表面阻抗測試儀撥之100伏檔位.7.4.1.2用潮濕的抹布將鉛錘擦拭干凈.連接表面阻抗測試儀,將衣服展開平放于普通絕緣桌面上.分別將雙錘放在衣服的兩個袖口除處（注意兩錘間的距離保持在90cm內）.7.4.1.5按住測試鍵（約3秒）后,

7、讀取儀器上所顯示的數(shù)值.7.4.2驗收規(guī)范7.4.2.1靜電衣帽驗收標準值為106Q109Q.7.4.2.2靜電衣帽驗收量為5%（含100件內）;驗收時出現(xiàn)0.5%不良時應及時給予判退貨.7.4.2.3在線作業(yè)員靜電衣檢測周期為每30天1次.-*-*-*-*-*-*7.6導電桌墊測試7.6導電桌墊測試ConductiveTabletestspec:ResistanceTabletop:106Q109Q測試儀器：數(shù)顯式雙錘表面阻抗測試器（測試電壓:100V）測試儀器：數(shù)顯式雙錘表面阻抗測試器（測試電壓:100V）7.5.1測試方式將表面阻抗測試儀撥之100伏檔位.7.5.1.2用潮濕的抹布將車子

8、表面和鉛錘擦拭干凈.7.5.1.3連接表面阻抗測試儀,分別將雙錘一端放在車子上另一端放在導電地板上.（注意兩測試點的距離不可超過30cm）7.5.1.4按住測試鍵（約5秒）后,讀取儀器上所顯示的數(shù)值.7.5.2作業(yè)規(guī)范導電車必須在規(guī)定的日期內按控管標簽準時檢測檢測,否則后果由使用部門負責.7.5.2.2導電車的導電輪必須每30天清洗1次.7.5.2.3導電車檢測周期為每30天1次.7.6.1測試方法將表面阻抗測試儀撥之100伏檔位.7.6.1.2用潮濕的抹布將桌墊表面和鉛錘擦拭干凈.7.6.1.3接表面阻抗測試儀,分別將雙錘放在桌墊上或一端放在桌墊上另一端接ESD接地點.（注意兩測試點的距離不

9、可超過90cm）7.6.1.4按住測試鍵（約5秒）后,讀取儀器上所顯示的數(shù)值.7.6.2作業(yè)規(guī)范7.6.2.1桌墊檢測周期為每個月1次.7.6.2.2導電桌墊必須經1MQ的電阻接地，且每日上班前要對其進行清潔.7.6.2.3工作臺或流水線之桌墊在2米內必須有一接地線接地.7.7導電容器（料盒，導電箱）的測試AntistaticContainertestspec:ResistanceContainertop:104Q106Q測試儀器:簡易型表面阻抗測試儀7.7.1測試方法7.7.1.1用潮濕的抹布將待測物體擦拭干凈.將表面阻抗測試儀放置與待測物體上（注意:測試儀背面導電軌要與被測物體充分接觸）.

10、7.7.1.3按下面板上的TEST鍵，讀取LED燈亮處所顯示的值.7.7.2作業(yè)規(guī)范7.7.2.1所有物料在ESD防護區(qū)內必須做好靜電防護動作.（如:包裝或儲存時使用靜電屏蔽袋，翠盤，真空包裝袋，靜電泡棉;運輸時使用靜電箱，導電料盒，導電車;維修及作業(yè)時使用導電毛刷，防靜電溶劑瓶，導電鑷子，防靜電套板）.所有容易產生靜電的物料或絕緣材質必須使用離子風扇.7.8其它靜電產品的測試屏蔽袋：屏蔽袋：109Q1011Q泡棉：109Q1011Q輸送帶：輸送帶：109Q1011Q毛刷：104Q106Q鑷子：鑷子：104Q106Q溶劑瓶：109Q1011Q手套：手套：106Q109Q瓦楞紙：104Q106Q

11、測試儀器:簡易型表面阻抗測試儀wiaMwiaM7.8.1測試方法7.8.1.1用潮濕的抹布將待測物體擦拭干凈.將表面阻抗測試儀放置待測物體上（注意:測試儀背面的導電軌要與被測物體充分接觸）.7.8.1.3按下面板上的TEST鍵，讀取LED燈亮處所顯示的值.7.8.2作業(yè)規(guī)范ESD防護區(qū)外嚴禁使用不防靜電和靜電放電物質來貯存（普通塑料袋，塑料盒，普通泡棉）所有容易產生靜電或靜電放電的物品（如:塑料袋，梳子）未經ESD人員確認嚴禁帶入ESD防護區(qū)內.ESD防護區(qū)外物料包裝或儲存時使用靜電屏蔽袋，真空包裝袋;運輸時使用靜電箱，導電料盒，導電車.7.9各設備的EOS測試（烙鐵頭、輸送帶、屏幕接頭、電動

12、起子）7.9.1測試方法7.9.1.1取三用電表將指針播到AC250V以上檔位.7.9.1.2將紅棒接到待測設備外殼.7.9.1.3黑棒分別接觸電源接座的基準線孔、大地孔及ESD接地線.得到三個數(shù)值,記錄于EOS檢查記錄表.基準線大地孔ESD接地線正常數(shù)值應小5.5V（如果大于標準值既為漏電，原因是大地孔未接地）正常數(shù)值應小于0.3V正常數(shù)值應小于0.3V7.9.2作業(yè)規(guī)范7.9.2.1每日上班前各線全能員必須對其在線治、工具及進行EOS檢測,并認真填寫記錄.領班在線檢測過程如有發(fā)現(xiàn)漏電時應及時反應給部門負責人.7.10靜電手環(huán)（腳環(huán)）檢驗.7.10.1測試方法7.10.1.1將有線靜電環(huán)內部

13、金屬片緊貼檢驗者手腕上,靜電環(huán)鱷魚夾子與靜電儀夾子相交(手不要觸碰夾子相結處,以免測試不準確)7.10.1.3另一只手按下“PRESSHERE”檢測結果如下:中間綠燈亮(GOOD)且有響聲：靜電環(huán)回路檢測正常左邊紅燈亮(HIGH)：靜電環(huán)阻抗偏高右邊紅燈亮(LOW)：靜電環(huán)阻抗偏低7.10.2作業(yè)規(guī)范7.10.2.1靜電手環(huán)的佩戴和檢測時內部金屬片必須緊貼皮膚.7.10.2.2靜電環(huán)在作業(yè)當中嚴禁擅自借給他人使用.7.10.2.3每次檢測前,請先用800Kohm和10Mohm標準電阻件對其靜電環(huán)測試儀進行驗證.7.11導電鞋檢驗.7.11.1測試方法7.11.1.1先將兩腳站于踏板上,按下測試按鈕.7.11.1.2亮綠燈(PASS)時,表示導電鞋良好.7.11.1.3亮紅燈(HI-FAIL)或紅燈(LOW-FAIL)時，表示導電鞋不良應立即更換.HIFAIL:R35MQPASS:750KQSRS35MQLOFAIL:RV750KQ7.11.2作業(yè)規(guī)范導電鞋檢測時,請勿將鞋子濕水,以免測試不準確.所有人員（包括來賓）進入EPA生產車間時必須做導電鞋檢測,否則嚴禁入內.