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1、三氯氫硅的生產(chǎn)工藝與技術路線的選擇三氯氫硅的生產(chǎn)工藝與技術路線的選擇三氯氫硅的生產(chǎn)工藝與技術路線的選擇三氯氫硅的生產(chǎn)工藝與技術路線的選擇編制僅供參考審核批準生效日期地址： 電話：傳真: 郵編:三氯氫硅的生產(chǎn)工藝與技術路線的選擇 三氯氫硅的生產(chǎn)原理及催化反應機理 生產(chǎn)原理三氯氫硅是通過高純氯化氫氣體與金屬級單體硅(質(zhì)量分數(shù)%)在一定溫度、壓力條件下反應制備的。反應方程式如下： 催化反應機理 三氯氫硅的生產(chǎn)原料選擇 以四氯化硅為原料(還原法) 以硅粉為原料(直接法、硅氫氯化法) 工業(yè)硅粉（1）硅粉的性質(zhì)（2）硅粉的選擇硅粉的規(guī)格對反應與產(chǎn)品質(zhì)量有很大影響。選擇硅粉時主要考慮以下2點。（3）硅粉精制

2、 三氯氫硅生產(chǎn)工藝流程 氯化氫的制備（1）氯化氫的性質(zhì)（2）氯化氫合成條件（3）氯化氫合成工藝 三氯氫硅合成該工序是整個三氯氫硅生產(chǎn)中最重要的部分。 氣固分離 合成氣冷凝 精餾提純近年來，三氯氫硅的提純技術發(fā)展很快，但由于精餾法工藝簡單、操作方便，所以目前工業(yè)生產(chǎn)中主要用精餾法。 廢氣處理 三氯氫硅制備及精制工藝進展 硅氫氯化法 SiCl4-H2還原法 三氯氫硅的精制 三氯氫硅生產(chǎn)工藝比較 三氯氫硅質(zhì)量指標目前我國三氯氫硅沒有國家統(tǒng)一標準。征求意見稿中：工業(yè)三氯氫硅分為、兩型，型工業(yè)三氯氫硅產(chǎn)品用于生產(chǎn)多晶硅，型工業(yè)三氯氫硅產(chǎn)品用于生產(chǎn)硅烷偶聯(lián)劑的單體。本標準適用于由硅粉和氯化氫為原料經(jīng)提純后生產(chǎn)的工業(yè)三氯氫硅。該產(chǎn)品主要用于生產(chǎn)多晶硅和硅烷偶聯(lián)劑等。表 三氯氫硅質(zhì)量指標表項目型型優(yōu)級品一級品合格品優(yōu)級品一級品合格品外觀無色透明液體三氯氫硅w/% 二氯二氫硅w/% 四氯化硅w/% 氯硅烷聚合

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