2022年無(wú)塵室環(huán)境檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)

精選文檔精選文檔..精選文檔.目的標(biāo)準(zhǔn)無(wú)塵室內(nèi)環(huán)境檢測(cè)方法及判定作業(yè)。 范圍適用于公司所有無(wú)塵室的環(huán)境檢測(cè)作業(yè)。3.職責(zé)3.1無(wú)塵室管事部:負(fù)責(zé)無(wú)塵室的定期檢測(cè)及檢測(cè)數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)分析,無(wú)塵室檢測(cè)異常的提出。3.2生產(chǎn)部:負(fù)責(zé)對(duì)無(wú)塵室的日常維護(hù)及保養(yǎng)。3.3機(jī)電部:負(fù)責(zé)無(wú)塵室高效及低效過(guò)濾網(wǎng)的更換及維修。3.4設(shè)備部：負(fù)責(zé)無(wú)塵室的定期保養(yǎng),新過(guò)濾網(wǎng)的請(qǐng)購(gòu)。4.內(nèi)容4.1無(wú)塵室落塵檢測(cè)：4.1.1靜態(tài)檢測(cè):生產(chǎn)設(shè)備安裝完畢,且正常運(yùn)行但無(wú)人員工作狀態(tài)下檢測(cè)。4.1.2動(dòng)態(tài)檢測(cè):生產(chǎn)設(shè)備安裝完畢正常運(yùn)行,且工作人員正常工作狀態(tài)下檢測(cè)。4.2檢測(cè)周期:無(wú)塵室2次/周。作業(yè)面區(qū)域2次/周，F(xiàn)FU過(guò)濾網(wǎng)檢測(cè)1次/年度，生產(chǎn)依據(jù)檢測(cè)排查結(jié)果，開出工程需求申請(qǐng)單，請(qǐng)購(gòu)濾網(wǎng)進(jìn)行更換。注：CCM及三星專線無(wú)塵車間為每日點(diǎn)檢。4.3無(wú)塵車間人數(shù)規(guī)定，按每3m2最多只能容納1人計(jì)算；比方：100m2的車間，最多只能容納33人,每天進(jìn)入無(wú)塵車間人員需做清點(diǎn)及統(tǒng)計(jì)，并記錄于?無(wú)塵室人數(shù)點(diǎn)檢表?中，超出空間限制人員數(shù)量時(shí)應(yīng)由無(wú)塵室管理禁止及進(jìn)入。(參考國(guó)標(biāo)GB50073-2001)。4.4檢測(cè)方式:4.4.1檢測(cè)時(shí)使用采樣量大于1L/min的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。4.4.2測(cè)量時(shí)位于工作區(qū)的高度(距離地面高度約0.8m)處進(jìn)行檢測(cè)。 4.4.3測(cè)量時(shí)間最少為1min。4.5檢測(cè)異常處理：灰塵度檢測(cè)人員對(duì)檢測(cè)結(jié)果進(jìn)行判定，如檢測(cè)結(jié)果超出標(biāo)準(zhǔn)，無(wú)塵室管理部開出?無(wú)塵室檢測(cè)異常聯(lián)絡(luò)單?，要求產(chǎn)線和相關(guān)部門進(jìn)行改善，改善后再進(jìn)行生產(chǎn)。4.6檢測(cè)方法要求：4.6.1參考：ISO14644-1/2NEBBProceduralStandardforCertifiedTestingofCleanroom4.6.2潔凈室的測(cè)試點(diǎn)以不少于總面積開平方根的數(shù)量來(lái)均勻劃分?！怖纾?000平米車間至少需32個(gè)檢測(cè)點(diǎn)〕4.6.3取樣量為每分鐘1個(gè)立方英尺,取樣時(shí)間為一分鐘。4.6.4在每個(gè)點(diǎn)的中心最小取一分鐘，高度在0.8米左右.〔靠近人員實(shí)際作業(yè)區(qū)域〕4.6.5當(dāng)有障礙物時(shí)采樣點(diǎn)放在障礙物12英寸上面4.7檢測(cè)等級(jí)判定：4.7.1本司檢測(cè)設(shè)備檢測(cè)量為2.83L/min(即0.1ft/min)。4.7.2依據(jù)FS-209E/GB50073-2001標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行檢測(cè)判定,即1ft的空間里面含有≥0.5um落塵的數(shù)量即為多少等級(jí),也可依1m3空間來(lái)計(jì)算,換算公式為1m3=1000L。例:現(xiàn)設(shè)備檢測(cè)1min,≥0.5um的落塵顯示數(shù)值為87。即為:在0.1ft空間內(nèi)有87個(gè)≥0.5um的落塵=1ft空間內(nèi)有870個(gè)≥0.5um的落塵。依標(biāo)準(zhǔn)判定無(wú)塵室等級(jí)為870級(jí)。4.7.3FS-209E標(biāo)準(zhǔn)的空氣中懸浮粒子潔凈度等級(jí)(ft&m3比對(duì)表)等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)等級(jí)限制0.1um0.2um0.3um0.5um5um容積單位容積單位容積單位容積單位容積單位m3Ft3m3Ft3m3Ft3m3Ft3m3Ft3——10——2————————————————100——24——10——4——————11000352377.51023351————1010000350237075102030352≦10————100100000——2370075010200300352010029——10001000000——237000——102000——35200996293710000————————————3520009962293070100000————————————35200009961629300700——————————————35200000——293000——4.8FFU濾網(wǎng)檢測(cè)：參考：ISO14644-3：注1：潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境----第3局部：計(jì)量和測(cè)試方法。4.8.1檢測(cè)頻率：4.8.2更換周期為1次/1年(依據(jù)檢測(cè)結(jié)果而定)。4.8.3測(cè)試方法4.8.3.1對(duì)于每個(gè)2`X4`過(guò)濾器,距離其外表150MM處均勻取2個(gè)讀數(shù)4.8.3.2對(duì)于每個(gè)4`X4`過(guò)濾器,距離其外表150MM處均勻取4個(gè)讀數(shù)4.8.3.3平均風(fēng)速：0.45m/s±20%4.9無(wú)塵室壓力管控4.9.1?潔凈廠房設(shè)計(jì)