ITO薄膜基礎(chǔ)知識

ITO薄膜基礎(chǔ)知識一、ITO薄膜的概念I(lǐng)TOIndiumTinOxides及電子顯示屏上后，在增強導(dǎo)電性和透明性的同時切斷對人ITON導(dǎo)體—氧化銦錫,ITO二、ITO薄膜的應(yīng)用ITO薄膜具有優(yōu)良的光電性能，對可見光的透過率達5％以上,對紅外光的反射率5％,對微波的衰減率≥85%，導(dǎo)電性和加工性能極好，硬度高且(一）用于平面顯示ITO它作為液晶顯示器用的透明電極獲得高速發(fā)展,約占功能膜的50%以上,例如液晶顯示(LCD）、LED、電致發(fā)光顯示（ELD(ECD)等.隨著液晶顯示器件的大面積將超過CRT成為顯示器件中的ITO算器、計算機顯示器、液晶和電子發(fā)光屏幕等。（二）用于觸摸屏目前市場上，使用ITO摸屏應(yīng)用最為廣泛。1、電阻式觸摸屏薄的ITO透明性好，但是阻抗高;厚的ITO材料阻抗低，但是透明性會變差.在PET聚脂薄膜上沉積時，反應(yīng)溫度要下降到150度以下，這會導(dǎo)致ITO氧化不完全，之后的應(yīng)用中ITO會暴露在空氣或空氣隔層里，它單位面積阻抗因為自氧較便宜,反應(yīng)靈敏度也很好。2、電容式觸摸屏電容式觸摸屏也需要使用ITO材料,而且它的功耗低壽命長，自從Apple推出iPhone后，友好人機界面、流暢操作性降，正逐步取代電阻式觸摸屏。表面電容觸摸屏的ITO涂層通常需要在屏幕的周邊加上/時ITO涂層下面還會有一個ITO電容觸摸屏至少需要校正一次才能使用。感應(yīng)電容式觸摸屏與表面電容觸摸屏相比，可以穿透較璃屏，玻璃屏的內(nèi)表面和夾層各涂有一層ITO,最外層是一薄層矽土玻璃保護層，夾層ITO涂層作為工作面，四個角上引出四個電極,內(nèi)層ITO為屏蔽層以保證良好的工作環(huán)境。代表產(chǎn)品就是蘋果iphone、iPodtouch和iPad系列產(chǎn)品,擁有其他產(chǎn)品難以超越的非凡觸控體驗。(二）用于交通工具風(fēng)擋ITO以用作汽車、火車、電車、飛機等交通工具的風(fēng)擋，用于陳（三）用于太陽能方面ITO薄膜用于異質(zhì)結(jié)SIS太陽能電池頂部氧化物層，可ITO/SiO2/P—Si太陽能電池可以產(chǎn)生13％～16％的轉(zhuǎn)換效率.ITO玻璃還可以用于Si太陽能電池的反射涂層以及用于異質(zhì)結(jié)型A-Si基太陽能電池的透明電極。具有電致變色（EC)的靈巧窗的典型結(jié)構(gòu)是在ITO玻璃可使建筑物內(nèi)暖氣、冷氣和照明等能耗減少50%以上。（四）用于微波屏蔽和防護鏡ITO防雷達隱形飛機上。茶色ITO薄膜是銦、錫氧化物的新品種,三、ITO薄膜的主要制備方法ITO導(dǎo)電薄膜是用物理的或化學(xué)的方法在基體表面上沉和莫的熱膨脹系數(shù)的匹配問題。（一）磁控濺射法：擊靶材（IT靶和ITO靶兩種。（二）(CVD的有機鹽氣化，然后在N2或Ar的載氣氣氛中與O2，H2O或H2O2等反應(yīng)而得到ITO薄膜。(三噴霧熱分解法溶液霧化后噴在處于高溫區(qū)域的襯底上，經(jīng)過液滴的干燥、熱分解過程在基體表面得到ITO薄膜。（四）溶膠—凝膠法:首先得到氫氧化銦錫溶膠,然后通過浸涂、煅燒等后續(xù)工藝得到薄膜。（五）水熱法：種很有潛力的液相制膜技術(shù),它一般以廉價的無機鹽或氫氧化物水溶液或懸浮液為前驅(qū)體，以單晶片、金屬片、玻璃片、甚至塑料等為襯底,將前驅(qū)體和襯底置于密閉反應(yīng)容器里，通過對反應(yīng)容器加熱，創(chuàng)造了一個高溫(通常低于300℃)膜.目前,水熱法制備薄膜的研究主要集中在制備壓電和鐵電薄膜.四、電容屏主要供應(yīng)廠商(一)臺灣電容屏主要供應(yīng)廠商（二)國內(nèi)電容屏主要供應(yīng)廠商（三）國外電容屏主要供應(yīng)廠商（四）觸控板材料價值分布1、Touchsensor（觸控感測器）40％2、Coverglass （防護玻璃罩）30％3、Touchsensorchip（觸摸傳感器芯片）15％4、Printedcircuitboardsandothercomponents（電路板及其他部) 15％五、ITO材料在電容式觸摸屏產(chǎn)業(yè)鏈中的基本情況（一)行業(yè)綜述ITO20%70ITO目前在電阻屏和電容屏的ITOfilm領(lǐng)域都是第一品牌，采從日東采購的ITOfilm的價格要比日本和臺灣廠商高30％—50%。（二）ITO導(dǎo)電膜應(yīng)用空