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ù)。在多批系統(tǒng)中,周期數(shù)等于批量數(shù)。停工時間(設(shè)備停工時間)-設(shè)備不在工作狀態(tài)或沒有執(zhí)行到它應(yīng)有水平的時間,不包括任何不在計(jì)劃安排上的時間。故障(設(shè)備故障)-在沒有外來干涉下發(fā)生的意外故障或偏離。注釋2:正確分類設(shè)備故障對于方便解決問題和提高設(shè)備能力是非常重要的。宿主-聯(lián)系設(shè)備的智能系統(tǒng),作用相當(dāng)于代表工廠領(lǐng)導(dǎo)下屬的制造主任。(比如,一個非植入的計(jì)算機(jī)或單元控制器)中斷-任何干預(yù)和故障注釋3:中斷二干預(yù)之和+故障之和維修-保證設(shè)備在預(yù)定功能狀態(tài)下工作。在本文獻(xiàn)中,維修的目的是功能不是設(shè)備結(jié)構(gòu);不論是誰來維修,它都包括調(diào)整、材料變化、軟件開放'修理、預(yù)定檢測等等。9制造時間-所有生產(chǎn)產(chǎn)品的時間及相應(yīng)停留等待時間。非計(jì)劃時間-計(jì)劃中設(shè)備不在用于生產(chǎn)的時間。生產(chǎn)時間-總時間減非計(jì)劃時間。操作工-在設(shè)備旁通過設(shè)備控制面板操作設(shè)備的人員。產(chǎn)品-可以成為有功效的半導(dǎo)體裝置的一個單元,包括功能的工程裝置。4.14斷工-為使設(shè)備能繼續(xù)工作的一段維修時間,包括沖洗、冷卻、加熱、軟件備份、儲存'動態(tài)數(shù)據(jù)(包括參數(shù)、方法)、斷工發(fā)生在計(jì)劃內(nèi)和計(jì)劃外的停工時間內(nèi)。4.15復(fù)工-在斷工維修后,使設(shè)備恢復(fù)正常功能工作的一段維修時間。包括沖氣'加熱'規(guī)范化時間、初始化常數(shù)、載入軟件、重貯數(shù)據(jù)(例參數(shù)'方法)'控制系統(tǒng)再建等等。但不包括設(shè)備及流水線檢測時間。復(fù)工也發(fā)生在計(jì)劃內(nèi)外的停工時間內(nèi)。4.16關(guān)機(jī)-當(dāng)設(shè)備有計(jì)劃外狀態(tài)時,讓設(shè)備回到安全狀態(tài)的時間。它包括為了達(dá)到安全狀態(tài)所做的任何過程。關(guān)機(jī)僅出現(xiàn)在計(jì)劃外時間中。4.17規(guī)范(設(shè)備操作)-文獻(xiàn)中所寫的在使用者與供應(yīng)商之間在設(shè)備操作的規(guī)定條件下的功能所達(dá)成的一致條款。4.18開始-設(shè)備從計(jì)劃狀態(tài)到達(dá)成預(yù)期功能所需的時間。包括沖氣、加熱、冷卻、規(guī)范化時間、初始化常數(shù)'載入軟件'重貯數(shù)據(jù)(例參數(shù)'方法)'控制系統(tǒng)再建等等,開始包括于計(jì)劃外時間中。4.19輔助工具-不屬于生產(chǎn)設(shè)備,但是在正常操作中必需的設(shè)備。(比如,密封蓋、運(yùn)載機(jī)'探測卡片、電腦控制器)4.20總時間-一周7天,1天24小時的所有檢測時間。為了正確表達(dá)總時間,設(shè)備的所有6種基本狀態(tài)必須正確記錄。21培訓(xùn)I(工作外)-在工作外時間對設(shè)備操作和維修進(jìn)行的指導(dǎo)。它包括于計(jì)劃外時間。22培訓(xùn)(線上)-在正常工作時對個人操作和維修進(jìn)行的指導(dǎo)。線上培訓(xùn)一般不會打斷正常的操作和維修活動,所以它可以不被區(qū)別的包括在任何設(shè)備狀態(tài)中(除等待與計(jì)劃外時間)23單元-任何晶片,模,成套設(shè)備或單位零件。24工作時間-設(shè)備處于正常功能狀態(tài)的時間,包括有效生產(chǎn)的、等待的和策劃時間,不包括任何計(jì)劃外時間25使用者-動作于設(shè)備的實(shí)體,無論是在設(shè)備旁的操作者或在遠(yuǎn)處遙控的自動界面。從設(shè)備的角度出發(fā),操作者和宿主都是使用者。26校正運(yùn)行-設(shè)備的一次循環(huán)(使用產(chǎn)品單元,非產(chǎn)品單元或不成單元的)以用來引導(dǎo)設(shè)備進(jìn)入規(guī)范中的預(yù)定狀態(tài)。5.設(shè)備狀態(tài)1為了清楚地檢測設(shè)備地表現(xiàn),本文獻(xiàn)定義了所有設(shè)備狀況和時期必須遵循地6種基本狀態(tài)。設(shè)備狀態(tài)是由功能決定而不是由設(shè)備結(jié)構(gòu)決定。例如任何維護(hù)過程都是這樣分類,而不論誰是操作者'操作工、技術(shù)人員或流程工程師。圖1是6種設(shè)備狀態(tài)的框架圖。關(guān)鍵的時間塊在后文的等式中將會特別用到。這些基本的設(shè)備狀態(tài)又可以分成許多子狀態(tài),以滿足生產(chǎn)運(yùn)轉(zhuǎn)所需的追蹤解決。SEMIEICT沒有列出所有的子狀態(tài),但是給出了許多例子用以指導(dǎo)。圖1設(shè)備狀態(tài)框架圖有效狀態(tài)-設(shè)備按預(yù)定功能工作的時間。有效狀態(tài)包括:c常規(guī)生產(chǎn)(包括裝卸產(chǎn)品)c為第三方工作c返工C與生產(chǎn)結(jié)合的操縱。可能是或不是產(chǎn)品單元(比如,分批和新運(yùn)用)。等待狀態(tài)-在這段時間內(nèi),設(shè)備是在正常功能狀態(tài)下,基礎(chǔ)設(shè)施和化學(xué)材料都準(zhǔn)備好了,但是不在生產(chǎn)。它不是計(jì)劃外的。等待狀態(tài)包括:c沒有操作工(包括休息、午餐和會議)c沒有產(chǎn)品(包括由于缺乏輔助設(shè)備比如計(jì)量工具造成的缺少產(chǎn)品)c沒有輔助工具(例如密封盒'芯片傳輸器'探測卡)c沒有從自動系統(tǒng)來的輸入信號(例宿主)工程狀態(tài)-設(shè)備處在正常功能狀態(tài)下(沒有設(shè)備和流程問題存在),但是用于工程實(shí)驗(yàn)的時間。包括:c過程工程(過程塑造)C設(shè)備過程(設(shè)備評估)C軟件工程(例限定軟件)計(jì)劃內(nèi)停工狀態(tài)-設(shè)備按計(jì)劃停止正常功能工作的一段時間。包括:c維修推遲c生產(chǎn)檢測c預(yù)防性維修C改變化學(xué)材料或消耗品C調(diào)整C與基礎(chǔ)設(shè)施相關(guān)的停工。5.7.1維修推遲-由于設(shè)備正等待使用者或供應(yīng)人員或其他與維修有關(guān)的部分(化學(xué)材料、消耗品等)而使設(shè)備不能正常工作的時間。維修推遲有可能是因?yàn)榻?jīng)管員決定讓設(shè)備停著推遲維修。注釋4:維修推遲會發(fā)生在維修過程的任何時段,它必須從維修時間中被獨(dú)立出來。推遲時間包括在離線時間內(nèi),但不在修理時間內(nèi)。(詳見6.3節(jié)設(shè)備可維修性)5.7.2生產(chǎn)控制-有計(jì)劃地打斷產(chǎn)品有效生產(chǎn)來評估產(chǎn)品或非產(chǎn)品單元。按照設(shè)備操作的規(guī)范來證實(shí)設(shè)備是否處于規(guī)范中的正常功能狀態(tài)。它并不包括可以平行于產(chǎn)品生產(chǎn)的檢測,也不包括隨著預(yù)防性維修、調(diào)整及修理過程產(chǎn)生的檢測。5.7.3預(yù)防性維修-它由以下的幾部分組成:c預(yù)防性措施:按計(jì)劃周期維護(hù)過程(包括設(shè)備斷工、復(fù)工),以降低設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)中故障的可能性。間斷周期可能基于設(shè)備時間'設(shè)備狀態(tài)。c設(shè)備檢測:運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)備以證實(shí)設(shè)備的功能狀態(tài)。(比如,系統(tǒng)達(dá)到基本壓力,芯片傳輸沒有異常、氣流正常、等離子區(qū)燃燒、來
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