金屬蒸發(fā)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

金屬蒸發(fā)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)1.1.目的標(biāo)準(zhǔn)金屬蒸發(fā)臺(tái)〔PEVA－600E〕設(shè)備操作方法、工藝要求、安全操作留意事項(xiàng)、保證生產(chǎn)作業(yè)正常安全進(jìn)行。2. 2. 范圍。3.1作業(yè)條件3.1作業(yè)條件產(chǎn)品條件：依據(jù)產(chǎn)品隨工單內(nèi)設(shè)置的工藝條件作業(yè)。動(dòng)力條件：3.1.2.2電：380V3.1.2.2電：380V50Hz3.1.2.2氮?dú)猓?.1-0.2Mpa3.1.2.3冷卻水：1.5-2kg/cm2，20－22℃使用材料：金、鎳、鋁、鈦。使用設(shè)備：HC4033.23.2點(diǎn)檢要求日常點(diǎn)檢：每日白班人員在上班后依據(jù)《金屬蒸發(fā)日常點(diǎn)檢表》對(duì)設(shè)備進(jìn)展日常點(diǎn)檢。啟動(dòng)點(diǎn)檢：設(shè)備啟動(dòng)、修理后依據(jù)〔坩堝底座〕和電子槍的修理。特別處理：假設(shè)點(diǎn)檢不符合標(biāo)準(zhǔn)，通知工藝技術(shù)人員和設(shè)備技術(shù)員。晶振片壽命：當(dāng)晶振片壽命降到70％時(shí)需要馬上更換晶振片。操作步驟來(lái)片接收依據(jù)《生產(chǎn)過(guò)程把握程序》中的“四個(gè)全都”執(zhí)行。檢查來(lái)片外表有無(wú)特別，要留意檢驗(yàn)制品外表的特別狀況，包括劃傷、裂紋、沾污、光刻膠外表狀況、外表色澤有無(wú)特別等，覺(jué)察特別時(shí)暫停流片，并通知工藝技術(shù)員處理。生產(chǎn)取待蒸發(fā)片并核對(duì)好蒸發(fā)工藝條件。填寫(xiě)《金屬蒸發(fā)原始記錄表》。生產(chǎn)中的特別處理蒸發(fā)過(guò)程中要不斷地觀看蒸發(fā)狀況，覺(jué)察特別時(shí)〔如坩堝偏、行星架轉(zhuǎn)動(dòng)不平穩(wěn)、電子槍跳閘或打火、真空度不夠等〕通知工程師處理，作業(yè)員不得私自對(duì)特別進(jìn)展處理。設(shè)備消滅特別須修理時(shí)馬上通知技術(shù)員并將設(shè)備暫停。蒸發(fā)工藝操作加源：每次使用前檢查坩堝內(nèi)的源是否夠量，約2/3坩堝。從氮?dú)夤裰腥〕稣舭l(fā)源，加夠量，用完后將蒸發(fā)源重放回氮?dú)夤癖４?。加源前需要檢查源錠外表是否有雜物、顏色是否特別等，請(qǐng)報(bào)告技術(shù)員打算是否需要源還未熔源之前肯定不要轉(zhuǎn)動(dòng)坩堝，換源錠后填寫(xiě)《蒸發(fā)臺(tái)換源原始記錄表》。裝片留意檢查電子槍電源為關(guān)閉。然后在“Process”模式下點(diǎn)擊“VENT”或直接點(diǎn)擊“V4”閥門(mén)，腔體開(kāi)頭充氣直至大氣壓，手動(dòng)翻開(kāi)腔門(mén)。取下鍍鍋，用吸塵器吸取蒸發(fā)腔內(nèi)的污染物，假設(shè)覺(jué)察蒸發(fā)源的外表有臟物，取出用氮?dú)鈽尨担貏e留意吹氣的方向，氣流的大小，避開(kāi)帶來(lái)的污染。將鍍鍋從支架上取下，留神地放置在操作臺(tái)上，確定不影響裝片。用吸筆將產(chǎn)品輕輕吸住，留神的放在鍍鍋上，留意要蒸發(fā)的一面朝上，然后用固定彈簧鉤輕輕地壓住片子；假設(shè)一次蒸發(fā)超過(guò)兩批，則依據(jù)投料批號(hào)的大小，從小到大裝片〔注：每次裝片之前檢查吸筆是否沾污，假設(shè)沾污，用酒精擦拭干凈再用?！沉粢庋b片時(shí)要從內(nèi)圈向外圈裝片，要順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)鍍鍋裝片，以免衣袖污染制品；裝片完成后，要檢查晶片是否固定好，有無(wú)灰塵或其它特別，假設(shè)有灰塵要使用氮?dú)鈽寣⒒覊m吹掉，吹片的時(shí)候氣流不要太大，需要先試驗(yàn)氣流的大小，再開(kāi)頭吹片，吹片的時(shí)候要向外吹，不能向內(nèi)吹，以免污染其它晶片。將裝好制品的鍍鍋，留神的裝回支架，肯定要留意修正板位置，不要遇到鍍鍋的片子。用手漸漸轉(zhuǎn)動(dòng)支架，檢查鍍鍋是否放穩(wěn)。再檢查腔體大O型密封圈是否干凈無(wú)異物。如有，用酒精將其擦拭干凈，包括密封圈的接觸面。抽真空抽真空前蒸發(fā)臺(tái)需要檢查的工程：A〕觀看窗：保證觀看窗的干凈，假設(shè)外表有金屬層則可使用酒精和纖維紙進(jìn)展清潔，如還無(wú)法去除，則直接更換觀看窗的防鍍玻璃。B〕觀看反射鏡：兩塊鏡片的位置需要調(diào)整到能看到整個(gè)坩堝源的狀況，否則需設(shè)備人員或工藝人員調(diào)整；對(duì)鏡片的清潔同上。C〕真空腔體：檢查腔體內(nèi)是否有金屬屑等異物，如覺(jué)察則用蒸發(fā)專用吸塵器進(jìn)展清潔，在清潔的過(guò)程中操作要留神，避開(kāi)遇到設(shè)備內(nèi)部其他部件。D〕冷泵：確認(rèn)冷泵溫度<15K。E〕坩堝：加源后就不能轉(zhuǎn)動(dòng)坩堝，假設(shè)一次要加兩種不同的金屬，先加一種金屬熔完后再開(kāi)腔體加另一種金屬?！癆BORT”，然后點(diǎn)擊“REVERSE”，將坩堝倒回來(lái)。清理坩堝時(shí)用吸塵器吸坩堝內(nèi)的金屬屑，此時(shí)制止轉(zhuǎn)動(dòng)坩堝，以免將金屬源吸起而卡鍋。F〕確認(rèn)蒸發(fā)臺(tái)處在Automatic〔自動(dòng)〕狀態(tài)，確認(rèn)各動(dòng)力條件均為正常。確認(rèn)各項(xiàng)條件均滿足后，緩慢的關(guān)閉腔門(mén)〔注：當(dāng)腔門(mén)快關(guān)上時(shí)，機(jī)臺(tái)會(huì)自動(dòng)將門(mén)吸過(guò)去，并關(guān)緊〕，點(diǎn)擊“AUTO”，此時(shí)，機(jī)械泵〔MP〕開(kāi)啟，開(kāi)頭粗抽，剛開(kāi)頭抽氣時(shí)可以聽(tīng)到較大的抽氣聲音；確認(rèn)熔源完成后“LoadRecipe”“Load”“Process”模式下點(diǎn)擊“START”開(kāi)頭5×10-2TorrRV，開(kāi)啟高真空閥HV，開(kāi)頭使用CP〔冷泵真空計(jì)IG1開(kāi)啟，真空值很快跳至E-550分鐘，真空值到達(dá)2×10-6Torr時(shí)，開(kāi)頭蒸源，否則通知設(shè)備人員修理并點(diǎn)檢前方可做片。當(dāng)關(guān)閉腔體開(kāi)頭抽真空之前，需要手動(dòng)翻開(kāi)鍍鍋的轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)，留意觀看鍍鍋轉(zhuǎn)動(dòng)是否平穩(wěn)。當(dāng)程序運(yùn)設(shè)備人員修理。蒸發(fā)當(dāng)腔體的真空抽到設(shè)定值〔設(shè)定為2×10-6Torr〕時(shí)，電子槍自動(dòng)啟動(dòng)，電子槍啟動(dòng)時(shí)機(jī)臺(tái)會(huì)報(bào)警，此時(shí)要留意電子槍的高壓應(yīng)在－10KV留意在電子槍剛開(kāi)頭加功率的時(shí)候肯定要留意觀看否則程序就會(huì)自動(dòng)終止。取片取片前應(yīng)把坩堝打向空位置，然后關(guān)閉高真空計(jì)IG1，再按到VENT〔充氣〕，然后按“MAN”將抽真空模式改為手動(dòng)，腔體開(kāi)頭充氣。稍等片刻，腔體自動(dòng)翻開(kāi)。將鍍鍋從支架上漸漸取下，放在操作臺(tái)上，然后輕輕移開(kāi)固定彈簧，用吸筆將制品取下放入片盒；留意取制品的時(shí)候是先取外圈，再取內(nèi)圈的，要逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)鍍鍋取片，以免衣袖污染制品，并且要留意制品的挨次不能放錯(cuò)。假設(shè)發(fā)生濺源，該批制品連續(xù)做完，做完后需要設(shè)備人員確認(rèn)電子槍前方可連續(xù)作業(yè)，制品需要工藝技術(shù)員確認(rèn)方可流水。熔源熔源時(shí)使用手動(dòng)操作：將金屬放入坩堝，開(kāi)頭抽真空，抽真空時(shí)肯定要先檢查擋板有沒(méi)有關(guān)閉，當(dāng)真空到達(dá)1.0×10-6Torr左右的時(shí)候，可以開(kāi)頭熔源，先翻開(kāi)電子槍，再翻開(kāi)電子槍電源開(kāi)關(guān)〔ON〕。依據(jù)隨工單項(xiàng)選擇擇程序，開(kāi)頭蒸發(fā)。在膜厚儀的左下方可看到如下按鍵：MANUAL、START、ABORT、RESET、ZERO、SHUTTER。選擇START右方顯示屏上提示程序，按方向鍵選擇設(shè)定程序，再次按START開(kāi)頭，然后依次按ABORT→RESET→MANUAL壞設(shè)備器件。假設(shè)覺(jué)察電子槍打偏應(yīng)當(dāng)馬上調(diào)整電子槍束斑，當(dāng)無(wú)法調(diào)整時(shí)就直接關(guān)閉電子槍開(kāi)關(guān)。整堝熔源時(shí)，第一次加滿，熔完后再加至2/3。再熔源的過(guò)程中，先熔四周再熔中間，有利于形成好形狀。熔源的功率一般比相應(yīng)源程序運(yùn)行的預(yù)沉積功率少2-3%。加功率的過(guò)程首先上升到3%，停留一分鐘，最終依據(jù)需要增加功率，功率增加的速率把握在15%〔10%〕。測(cè)試和檢查做完壁板保養(yǎng)后，第一次蒸鍍要放入四片SPC〔每圈放一片〕點(diǎn)檢蒸鍍金屬厚度及均勻性。蒸鍍完。測(cè)試片使用過(guò)后要清洗干凈以便下次可以重復(fù)使用。目視檢查樣片外表顏色和顏色均勻性以及外表麻點(diǎn)，覺(jué)察明顯特別須報(bào)告技術(shù)員處理。膜厚校準(zhǔn)工藝PM〔PreventMaintenance〕要求對(duì)于N、P3312121膜厚監(jiān)測(cè)每天蒸發(fā)第一批次Ti/Al薄膜，需要進(jìn)展膜厚監(jiān)控，監(jiān)控的方法通過(guò)藍(lán)寶石片來(lái)實(shí)現(xiàn)，膜厚結(jié)果記錄在SPC工藝PM〔PreventMaintenance〕要求對(duì)于N、P3312121膜厚監(jiān)測(cè)每天蒸發(fā)第一批次Ti/Al薄膜，需要進(jìn)展膜厚監(jiān)控，監(jiān)控的方法通過(guò)藍(lán)寶石片來(lái)實(shí)現(xiàn)，膜厚結(jié)果記錄在SPC測(cè)試單》，其值錄入SPC2.0大于2.15SPC。留意厚度偏移在3%以內(nèi)不需要修改Toolingfactor3%5%之間需要修改Toolingfactor，超過(guò)3%通知技術(shù)員。換晶振，第一爐Ti/Al的修正因子設(shè)置與前一個(gè)晶振Ti/Al的修正因子設(shè)置一樣，當(dāng)換修正因子連續(xù)2次的實(shí)際修正值與預(yù)設(shè)值偏移2%，通知工藝技術(shù)員。3.4.2.2晶振更換晶振壽命等于或低于70％時(shí)，需要更換晶振，更換的時(shí)候要留神的將裝晶振的小舟抽出，然后留神的取出壓住晶振片的壓片。放置該壓片的時(shí)候，肯定要將四個(gè)觸點(diǎn)朝上放置，且不能用任何東西碰觸四個(gè)觸點(diǎn)，然后將舊的晶，不能用力過(guò)大，將銅舟劃傷。假設(shè)是不能去除，可以直接使用稀鹽酸將蒸發(fā)金屬去除。去完金屬后用氮?dú)鈽尨祾?0秒，去除可能殘留的金屬；然后換上的晶振片，晶振片直接從裝晶振的盒子留神的倒入銅舟內(nèi)，晶振片不能直接使用手拿，當(dāng)沒(méi)有放好的時(shí)候，可以使用擦拭干凈的鑷子將晶振片放好〔要留意晶振片的正反面，不能放反，全金屬的一面對(duì)下〕，檢查晶振片是否放平坦，檢查無(wú)問(wèn)題后，留神的將晶振壓片裝上，然后將插入晶振9899％。月度保養(yǎng)、無(wú)氧銅底座更換、燈絲更換、停電重啟后，都需要點(diǎn)檢腔體。得到工程師的簽名確認(rèn)并按要求進(jìn)展空鍍前方可正式作片。清潔頂鍋裝片孔時(shí)要將坩堝的位置轉(zhuǎn)動(dòng)到未放置蒸發(fā)源的位置，然后使用纖維紙將坩堝蓋住，使用防鍍環(huán)壓住后，將擋板〔shutter〕調(diào)到坩堝上方，以免臟污源。頂鍋的裝片孔需要先用刀刮干凈，然后用酒精擦拭；修要同時(shí)拆下來(lái)一起做噴砂處理；晶振片四周的金屬殘留物也需要清潔干凈，清潔的時(shí)候要留意，不能用力過(guò)大，換金屬源。每做5個(gè)RUN的鈦鋁的時(shí)候〔假設(shè)有特別狀況，可以依據(jù)實(shí)際狀況進(jìn)展清潔〕，要將坩堝四周的金屬沉積物和酒精擦拭干凈后才可以使用，清潔完成后要使用無(wú)塵器和氮?dú)鈽寣⑶惑w清潔干凈，然后使用無(wú)塵布和酒精，將坩堝擦拭干凈，檢查無(wú)特別后才可以生產(chǎn)。冷泵再生當(dāng)真空抽到2E-6Torr所用時(shí)間大于50min或使用一個(gè)月后，冷泵需要再生一次，并做好記錄。清潔腔體部件腔體內(nèi)部襯板的更換周期為使用兩個(gè)月或Ti/Al制程次數(shù)超過(guò)300次，鍍鍋每月一號(hào)或Ti/Al制程次數(shù)超過(guò)200次更換做噴砂處理，清潔后要做好清潔記錄；電子槍燈絲Ti/Al制程次數(shù)超過(guò)150次更換。開(kāi)關(guān)機(jī)時(shí)關(guān)閉冷卻水的挨次20個(gè)RUN更換一次，在不同的坩堝內(nèi)更換的時(shí)候，要求前一個(gè)坩堝在做到1520Run之間冷泵再生當(dāng)真空抽到2E-6Torr所用時(shí)間大于50min或使用一個(gè)月后，冷泵需要再生一次，并做好記錄。清潔腔體部件腔體內(nèi)部襯板的更換周期為使用兩個(gè)月或Ti/Al制程次數(shù)超過(guò)300次，鍍鍋每月一號(hào)或Ti/Al制程次數(shù)超過(guò)200次更換做噴砂處理，清潔后要做好清潔記錄；電子槍燈絲Ti/Al制程次數(shù)超過(guò)150次更換。開(kāi)關(guān)機(jī)時(shí)關(guān)閉冷卻水的挨次蒸發(fā)臺(tái)關(guān)機(jī)的時(shí)候，在關(guān)閉冷卻水的時(shí)候，肯定要按以下挨次關(guān)閉第一步：關(guān)閉動(dòng)第一步：關(guān)閉動(dòng)第四步：關(guān)閉動(dòng)力冷卻水的回水開(kāi)關(guān)

其次步：關(guān)閉機(jī)臺(tái)后的進(jìn)水開(kāi)關(guān)〔留意臺(tái)是向上拉關(guān)閉〕蒸發(fā)臺(tái)在開(kāi)機(jī)的時(shí)候，翻開(kāi)冷卻水的挨次肯定要依據(jù)關(guān)機(jī)的時(shí)候相反的挨次開(kāi)啟冷卻水。3.5 3.5 特別處理停電待動(dòng)力條件恢復(fù)后重開(kāi)機(jī)，通過(guò)記錄的時(shí)間，確定停電時(shí)程序的運(yùn)行狀態(tài)。假設(shè)腔內(nèi)擋板還沒(méi)有翻開(kāi)，等機(jī)器穩(wěn)定以后依據(jù)正常工藝進(jìn)展；假設(shè)擋板已經(jīng)翻開(kāi)，則通知技術(shù)員處理。設(shè)備報(bào)警處理在做片過(guò)程中，假設(shè)設(shè)備消滅報(bào)警，導(dǎo)致運(yùn)行中斷，應(yīng)馬上記錄特別狀況及程序中斷時(shí)已鍍膜厚度并依據(jù)程序執(zhí)行的步驟，參照3.5.1處理。假設(shè)設(shè)備頻繁報(bào)警，通知設(shè)備人員處理。設(shè)備人員修理時(shí)，必需使機(jī)臺(tái)恢復(fù)到修理前正常狀態(tài)方可投入生產(chǎn)，假設(shè)有任何特別需要通知工藝技術(shù)員處理，并由工藝技術(shù)員打算機(jī)臺(tái)能否投入生產(chǎn)。假設(shè)消滅鍍鍋旋轉(zhuǎn)特別，要暫停機(jī)臺(tái)運(yùn)行狀況并記錄當(dāng)時(shí)蒸鍍的膜厚并盡快通知設(shè)備和工藝技術(shù)員。假設(shè)消滅抽真空特別，則通知技術(shù)員處理。工藝及產(chǎn)品特別處理蒸發(fā)完成之后，留意觀看外表，假設(shè)覺(jué)察麻點(diǎn)等明顯特別狀況須通知技術(shù)員處理。4