薄膜的制備工藝課件

TYO薄膜的制備工藝賈增民53所TYO1ATYO主要內(nèi)容◆1.什么是薄膜1.1薄膜的幾種定義12薄膜的分類1.3薄膜的特點◆2.薄膜的制備工藝2.1物理氣相沉積22化學(xué)氣相沉積2.2.1金屬有機化學(xué)氣相沉積2.3溶膠凝膠法24電沉積一ongoo/.comATYO2ATYO1.什么是薄膜1.1薄膜的幾種定義①由單個的Vacuum原子、離子、原Atom子團無規(guī)則地入射到基板表面,Thinfilm經(jīng)表面附著、遷徙、凝結(jié)、成核核生長等過程而形成的一薄層固Substrate態(tài)物質(zhì)ATYO3TYO②夾在兩個平行平面間的薄層。上平面:空氣固體膜、液體膜下平面:固體表面、液體表面、空TYO4TYO③采用特定的制備方法在基板表面上生長得到的薄層固態(tài)物質(zhì)。TYO5ATYO●薄膜(thinfilm):由物理氣相沉積(PVD)、化學(xué)氣相沉積(CVD)、溶液鍍膜法等薄膜技術(shù)制備的薄層。<1微米●厚膜thickfilm):由涂覆在基板表面的懸浮液、膏狀物經(jīng)干燥、煅燒而形成。>10微米主要方法:絲網(wǎng)印刷(Print)、熱噴涂(Spray)歷史:陶瓷表面上釉ATYO6ATYO薄膜厚膜涂層說明:溶膠一凝膠(Sol-Ge)、金屬有機物熱分解噴霧熱解和嗜零水解等屬原理上更接近厚膜方法ongoo/.comATYO7ATYOSilicon-On-SapphireWafersAPPHIRE(藍寶石)Al2O3ongoo/.comATYO8TYOSubstrateforl-VNitrideEpitaxyTYO9ATYO中12薄膜的分類電學(xué)—超導(dǎo)、導(dǎo)電、半導(dǎo)體、電阻、絕緣、電介質(zhì)功能薄膜,如光電、壓電、鐵電、熱釋電、磁敏、熱敏、化學(xué)敏光學(xué)——增透、反射、減反、光存儲、紅外磁學(xué)——磁記錄和磁頭薄膜聲學(xué)—聲表面波濾波器,如ZnO、Ta2O5熱學(xué)——導(dǎo)熱、隔熱、耐熱有機、生物ongoo/.comATYO10薄膜的制備工藝課件11薄膜的制備工藝課件12薄膜的制備工藝課件13薄膜的制備工藝課件14薄膜的制備工藝課件15薄膜的制備工藝課件16薄膜的制備工藝課件17薄膜的制備工藝課件18薄膜的制備工藝課件19薄膜的制備工藝課件20薄膜的制備工藝課件21薄膜的制備工藝課件22薄膜的制備工藝課件23薄膜的制備工藝課件24薄膜的制備工藝課件25薄膜的制備工藝課件26薄膜的制備工藝課件27薄膜的制備工藝課件28薄膜的制備工藝課件29薄膜的制備工藝課件30薄膜的制備工藝課件31薄膜的制備工藝課件32薄膜的制備工藝課件33薄膜的制備工藝課件34薄膜的制備工藝課件35薄膜的制備工藝課件36薄膜的制備工藝課件37薄膜的制備工藝課件38薄膜的制備工藝課件39薄膜的制備工藝課件40薄膜的制備工藝課件41薄膜的制備工藝課件42薄膜的制備工藝課件43TYO薄膜的制備工藝賈增民53所TYO44ATYO主要內(nèi)容◆1.什么是薄膜1.1薄膜的幾種定義12薄膜的分類1.3薄膜的特點◆2.薄膜的制備工藝2.1物理氣相沉積22化學(xué)氣相沉積2.2.1金屬有機化學(xué)氣相沉積2.3溶膠凝膠法24電沉積一ongoo/.comATYO45ATYO1.什么是薄膜1.1薄膜的幾種定義①由單個的Vacuum原子、離子、原Atom子團無規(guī)則地入射到基板表面,Thinfilm經(jīng)表面附著、遷徙、凝結(jié)、成核核生長等過程而形成的一薄層固Substrate態(tài)物質(zhì)ATYO46TYO②夾在兩個平行平面間的薄層。上平面:空氣固體膜、液體膜下平面:固體表面、液體表面、空TYO47TYO③采用特定的制備方法在基板表面上生長得到的薄層固態(tài)物質(zhì)。TYO48ATYO●薄膜(thinfilm):由物理氣相沉積(PVD)、化學(xué)氣相沉積(CVD)、溶液鍍膜法等薄膜技術(shù)制備的薄層。<1微米●厚膜thickfilm):由涂覆在基板表面的懸浮液、膏狀物經(jīng)干燥、煅燒而形成。>10微米主要方法:絲網(wǎng)印刷(Print)、熱噴涂(Spray)歷史:陶瓷表面上釉ATYO49ATYO薄膜厚膜涂層說明:溶膠一凝膠(Sol-Ge)、金屬有機物熱分解噴霧熱解和嗜零水解等屬原理上更接近厚膜方法ongoo/.comATYO50ATYOSilicon-On-SapphireWafersAPPHIRE(藍寶石)Al2O3ongoo/.comATYO51TYOSubstrateforl-VNitrideEpitaxyTYO52ATYO中12薄膜的分類電學(xué)—超導(dǎo)、導(dǎo)電、半導(dǎo)體、電阻、絕緣、電介質(zhì)功能薄膜,如光電、壓電、鐵電、熱釋電、磁敏、熱敏、化學(xué)敏光學(xué)——增透、反射、減反、光存儲、紅外磁學(xué)——磁記錄和磁頭薄膜聲學(xué)—聲表面波濾波器,如ZnO、Ta2O5熱學(xué)——導(dǎo)熱、隔熱、耐熱有機、生物ongoo/.comATYO53薄膜的制備工藝課件54薄膜的制備工藝課件55薄膜的制備工藝課件56薄膜的制備工藝課件57薄膜的制備工藝課件58薄膜的制備工藝課件59薄膜的制備工藝課件60薄膜的制備工藝課件61薄膜的制備工藝課件62薄膜的制備工藝課件63薄膜的制備工藝課件64薄膜的制備工藝課件65薄膜的制備工藝課件66薄膜的制備工藝課件67薄膜的制備工藝課件68薄膜的制備工藝課件69薄膜的制備工藝課件70薄膜的制備工藝課件71薄膜的制備工藝課件72薄膜的制備工藝課件73薄膜的制備工藝課件74薄膜的制備工藝課件75薄膜的制備工藝課