超精密加工裝備及其關(guān)鍵部件課件

單擊此處添加副標(biāo)題內(nèi)容超精密加工裝備及其關(guān)鍵部件單擊此處輸入你的正文，文字是您思想的提煉，為了最終演示發(fā)布的良好效果，請(qǐng)盡量言簡(jiǎn)意賅的闡述觀點(diǎn)。超精密加工裝備及其關(guān)鍵部件單擊此處添加副標(biāo)題內(nèi)容超精密加工裝備及其關(guān)鍵部件單擊此處輸入你的正文，文字是您思想的提煉，為了最終演示發(fā)布的良好效果，請(qǐng)盡量言簡(jiǎn)意賅的闡述觀點(diǎn)。超精密加工裝備及其關(guān)鍵部件主講：崔仲鳴21．給定的精度指標(biāo)(包括形位公差、尺寸精度表面粗糙度和加工變質(zhì)層等)2．加工機(jī)械的直線運(yùn)動(dòng)和回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)精度；3．加工機(jī)械的定位精度(包括夾具的定位精度)；4．加工機(jī)械、工具及工件的剛度；5．加工機(jī)械、工具、工件的振動(dòng)；6．加工機(jī)械、工具、工件的熱變形；7．工具的尺寸及形狀精度；8．加工機(jī)械、工具、工件的磨損和磨傷；9．工具、工件的定位安裝精度；Io．工件在前道工序加丁中的尺J、形狀的決定加工精度主要因素3歡迎單擊此處添加副標(biāo)題內(nèi)容超精密加工裝備及其關(guān)鍵部件單擊此處輸入

超精密加工裝備及其關(guān)鍵部件

主講：崔仲鳴

2超精密加工裝備及其關(guān)鍵部件主講：崔仲鳴21．給定的精度指標(biāo)(包括形位公差、尺寸精度表面粗糙度和加工變質(zhì)層等)2．加工機(jī)械的直線運(yùn)動(dòng)和回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)精度；3．加工機(jī)械的定位精度(包括夾具的定位精度)；4．加工機(jī)械、工具及工件的剛度；5．加工機(jī)械、工具、工件的振動(dòng)；6．加工機(jī)械、工具、工件的熱變形；7．工具的尺寸及形狀精度；8．加工機(jī)械、工具、工件的磨損和磨傷；9．工具、工件的定位安裝精度；Io．工件在前道工序加丁中的尺J、形狀的決定加工精度主要因素31．給定的精度指標(biāo)(包括形位公差、尺寸精度表面粗11工件材質(zhì)及其物理、機(jī)械性能；12工件的形狀和尺寸13工件材料的不均勻性；14加工單位的大小(去陳、結(jié)合、變形，等)；15測(cè)量技術(shù)及數(shù)據(jù)處理(包括尺寸、形狀、粗糧度、性能的測(cè)試）16加工者的技術(shù)熟練程度；17加上環(huán)境的力、振動(dòng)、熱．清潔程度411工件材質(zhì)及其物理、機(jī)械性能；4加工的人機(jī)系統(tǒng)5加工的人機(jī)系統(tǒng)5

(1)回轉(zhuǎn)主軸和回轉(zhuǎn)工作臺(tái)的精度必須滿(mǎn)足加工精度的要求，而且要具有與加工條件相適應(yīng)的足夠的剛度；(2)直線導(dǎo)軌應(yīng)具有與加工精度相適應(yīng)的直線進(jìn)給精度，而且不產(chǎn)生爬行及微小的振動(dòng)；(3)進(jìn)給機(jī)構(gòu)要滿(mǎn)足加工精度的要求，而且進(jìn)給平穩(wěn)、均勻、沒(méi)有振動(dòng)，

超精密加工裝備及其關(guān)鍵部件6(1)回轉(zhuǎn)主軸和回轉(zhuǎn)工作臺(tái)的精度必須滿(mǎn)足加工精度的要求，而精密主軸部件

精密主軸部件是超精密機(jī)床保證加工精度的核心主軸要求達(dá)到極高的回轉(zhuǎn)精改，轉(zhuǎn)動(dòng)平穩(wěn)，無(wú)振動(dòng)．其關(guān)鍵在于所用的精密軸承。(1)靜態(tài)和動(dòng)態(tài)回轉(zhuǎn)精度高，振擺?。?2)主軸的精度壽命長(zhǎng)；(3)主軸本身及驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)術(shù)不產(chǎn)生振動(dòng)，或振動(dòng)極小，而且震動(dòng)的衰減特性好；(4)應(yīng)具有與使用條件相匹配的、足夠大的剛度和負(fù)荷容量；(5)發(fā)熱少而且熱平衡的性能好(6)維護(hù)、保養(yǎng)方便。7精密主軸部件精密主軸部件是超精密機(jī)床保證加工精度的核心主滾動(dòng)軸承優(yōu)點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)化，有互換性容易購(gòu)置滾動(dòng)軸承的內(nèi)圈與外圈通過(guò)鋼球或滾柱相接觸缺點(diǎn)接觸振動(dòng)袁減性能降低精度壽命難以保證8滾動(dòng)軸承優(yōu)點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)化，有互換性容易購(gòu)置滾動(dòng)軸承的內(nèi)圈與外圈通過(guò)液體靜壓軸承主軸精密/超精密加工設(shè)備精密主軸部件液體靜壓軸承回轉(zhuǎn)精度很高(精度0.1mm)轉(zhuǎn)動(dòng)平穩(wěn)．無(wú)振動(dòng)，有較高的剛度和回轉(zhuǎn)精度液體靜壓軸承壓力油通過(guò)節(jié)流閥進(jìn)入軸承偶合面間的油腔。使軸在軸套內(nèi)懸俘，不產(chǎn)生固體摩擦當(dāng)軸受力偏歪時(shí)．偶合面間泄油的間隙改變，造成相對(duì)油腔的油壓不等，壓力差將推動(dòng)軸回向原來(lái)的中心位置；9液體靜壓軸承主軸精密/超精密加工設(shè)備精密主軸部件液體靜壓軸承1010

1)液壓油溫度升高、在不同轉(zhuǎn)速時(shí)溫度升高值不等。溫度升高將造成熱變形，影響軸的精度。2)靜壓油回油時(shí)將空氣帶人油池．形成微小氣泡懸浮在油中．不易徘出．因此將降低液體靜壓軸承的剛度和動(dòng)特性。液體靜壓軸承的缺點(diǎn)111)液壓油溫度升高、在不同轉(zhuǎn)速時(shí)溫度升高值不等。溫度升高將

2)靜壓軸承用油經(jīng)過(guò)溫度控制，使其達(dá)到恒溫，減少軸承的溫升3）軸承用恒溫水冷卻．減小軸承的溫升，1）提高靜壓油的壓力。使油中微小氣泡的影響減小，提高靜壓軸承的剛度改進(jìn)方向122)靜壓軸承用油經(jīng)過(guò)溫度控制，使其達(dá)到恒溫，減少軸承的溫升空氣靜壓軸承主軸特點(diǎn)

空氣靜壓軸承有很高的回轉(zhuǎn)精度．在高速轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)溫升小，因此造成的熱變形誤差很?。諝廨S承的主要問(wèn)題是剛度低．只能承受較小的載荷。適于超精密切削時(shí)切削力小，空氣軸承能滿(mǎn)足要求，故在超精密機(jī)床中得到廣泛的應(yīng)用。13空氣靜壓軸承主軸特點(diǎn)空氣靜壓軸承有很高的回轉(zhuǎn)精度．在高速轉(zhuǎn)1414

結(jié)構(gòu)空氣靜壓軸承的工作原理和液體靜壓軸承類(lèi)似、軸由壓力空氣浮在鈾套內(nèi)。軸的中心位置由相對(duì)面的靜壓空氣壓力差維持空氣靜壓軸承主軸15結(jié)構(gòu)空氣靜壓軸承的工作原理和液體靜壓軸承類(lèi)似、軸由壓力空氣雙半球空氣軸承主軸16雙半球空氣軸承主軸16前部用球形后部用圓柱徑向空氣軸承的主軸17前部用球形后部用圓柱徑向空氣軸承的主軸17

1）回轉(zhuǎn)精度高。軸四周的氣體壓力的均勻效果，可以比較容易達(dá)到亞微米級(jí)的回轉(zhuǎn)精度，而且可長(zhǎng)時(shí)間保持精度：2)沒(méi)有振動(dòng)。因?yàn)槭峭耆諝鉂?rùn)滑，在回轉(zhuǎn)過(guò)程中幾乎不產(chǎn)生振動(dòng)。3)不發(fā)熱。熱變形而使精度降低的因素小4)經(jīng)久耐用。因沒(méi)有摩擦，無(wú)論是精度壽命還是軸承壽命都很高。5)可以高速回轉(zhuǎn)，工作在100000r／min也沒(méi)有問(wèn)題，、6)摩擦阻力小。在低速時(shí)摩擦系數(shù)幾乎等于零，故驅(qū)動(dòng)力小。7)因?yàn)椴皇褂糜?，所以不?huì)因密封和漏油而發(fā)生故障。8)可靠性高，維護(hù)、保養(yǎng)方便。只要?dú)庠春凸庀到y(tǒng)不出問(wèn)題，就不會(huì)發(fā)生故障c空氣靜壓軸承主軸181）回轉(zhuǎn)精度高。軸四周的氣體壓力的均勻效果，可以比較容易達(dá)超精密機(jī)床主軸和軸承的材料1不易磨損

空氣軸承主軸，軸和軸套不接觸不會(huì)產(chǎn)生磨損。但不通氣時(shí)偶然會(huì)發(fā)生少量轉(zhuǎn)動(dòng)要求主軸和軸套不咬住或磨損l多采用石墨作主氣軸承套，軸不易磨損。

2．不易生銹腐蝕空氣軸承工作時(shí)無(wú)潤(rùn)滑劑。雖通入的壓縮空氣經(jīng)過(guò)去水，是干燥的，不致使軸承生銹腐蝕，但如軸承一段時(shí)間不工作，潮濕空氣會(huì)進(jìn)入軸承內(nèi)，因此要求主軸和軸套材料不易生銹腐蝕。19超精密機(jī)床主軸和軸承的材料1不易磨損空氣軸承主軸，軸和

3．熱膨脹系數(shù)些小要減小溫升應(yīng)采用熱膨脹系數(shù)小的材料制造主軸和軸套．并且主軸和軸套兩種的材料的熱膨脹系數(shù)應(yīng)接近、免得空氣軸承內(nèi)的間隙變化超精密機(jī)床主軸和軸承的材料4．材料的穩(wěn)定性安好空氣軸承精度高，要避免制成后或使用中變形，需要進(jìn)行穩(wěn)定比處理203．熱膨脹系數(shù)些小超精密機(jī)床主軸和軸承的材料4．材料的穩(wěn)定主軸的驅(qū)動(dòng)方式1電動(dòng)機(jī)通過(guò)帶傳動(dòng)驅(qū)動(dòng)2電動(dòng)機(jī)通過(guò)柔性聯(lián)軸節(jié)驅(qū)動(dòng)主軸3采用內(nèi)裝式同軸電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)床主軸21主軸的驅(qū)動(dòng)方式1電動(dòng)機(jī)通過(guò)帶傳動(dòng)驅(qū)動(dòng)2電動(dòng)機(jī)通過(guò)柔性聯(lián)軸床身和精密導(dǎo)軌部件1優(yōu)質(zhì)耐磨鑄鐵傳統(tǒng)的制造床身和導(dǎo)軌的材料．它的優(yōu)點(diǎn)是工藝性好。耐磨性好，熱膨脹系數(shù)低。對(duì)振動(dòng)衰減能強(qiáng)．2花崗巖花崗巖比鑄鐵長(zhǎng)期尺寸穩(wěn)定性好，熱膨脹系數(shù)低，對(duì)振動(dòng)的衰減能力強(qiáng)，硬度高、耐磨并不會(huì)生銹。22床身和精密導(dǎo)軌部件1優(yōu)質(zhì)耐磨鑄鐵傳統(tǒng)的制造床身和導(dǎo)軌的材料3人造花崗巖花崗巖碎粒用樹(shù)脂粘結(jié)而成，人造花崗巖具有優(yōu)良的性能．可鑄造成形．具有吸濕性低．并對(duì)振動(dòng)的衰減能力加強(qiáng)233人造花崗巖花崗巖碎粒用樹(shù)脂粘結(jié)而成，人造花崗巖具有優(yōu)良的(1)運(yùn)動(dòng)應(yīng)均勻、平穩(wěn)。不允許有停頓或爬行等不連續(xù)運(yùn)動(dòng)(2)直線運(yùn)動(dòng)精度高。運(yùn)動(dòng)的平行度誤差與角度誤差要??；(3)應(yīng)具有與使用條件相匹配的足夠的剛度；(4)在運(yùn)動(dòng)過(guò)程個(gè)不產(chǎn)生振動(dòng)；(5)定位精度及重復(fù)性精度高；床身和精密導(dǎo)軌部件精密導(dǎo)軌部件要求24(1)運(yùn)動(dòng)應(yīng)均勻、平穩(wěn)。不允許有停頓或爬行等不連續(xù)運(yùn)動(dòng)床身和滾動(dòng)導(dǎo)軌采用再循環(huán)圓柱滾動(dòng)組件和再循環(huán)滾珠滾動(dòng)組件。直線運(yùn)動(dòng)的精度可以達(dá)到mm級(jí)精度，摩擦系數(shù)0、002—0．003：1．直線滾動(dòng)軸承滾柱帶保持架在導(dǎo)軌的偶合面間作直線滾動(dòng)2．再循環(huán)滾柱滾動(dòng)組件直線滾動(dòng)軸承的工作長(zhǎng)度受到軸承長(zhǎng)度的限制。再循環(huán)滾動(dòng)組件由于滾柱的再循環(huán)．它的工作行程長(zhǎng)度可以無(wú)限．沒(méi)右任何限制。25滾動(dòng)導(dǎo)軌采用再循環(huán)圓柱滾動(dòng)組件和再循環(huán)滾珠滾動(dòng)組件。直線運(yùn)動(dòng)再循環(huán)滾柱滾動(dòng)組件26再循環(huán)滾柱滾動(dòng)組件263再循環(huán)滾珠滾動(dòng)組件、273再循環(huán)滾珠滾動(dòng)組件、27直線導(dǎo)軌（產(chǎn)品）28直線導(dǎo)軌（產(chǎn)品）28液體靜壓導(dǎo)軌雙圓柱型液體靜壓導(dǎo)軌平面型液體靜壓導(dǎo)軌液體靜壓導(dǎo)軌剛度高，能承受大的載重，直線運(yùn)動(dòng)精度高，并且平穩(wěn)，無(wú)爬行現(xiàn)象29液體靜壓導(dǎo)軌雙圓柱型液體靜壓導(dǎo)軌平面型液體靜壓導(dǎo)軌液體靜壓導(dǎo)氣浮導(dǎo)軌和空氣靜壓導(dǎo)軌氣浮導(dǎo)軌和空氣靜壓導(dǎo)軌可以得到很高的直線運(yùn)動(dòng)精度，運(yùn)功平穩(wěn)．無(wú)爬行，摩擦系數(shù)接近于零，小發(fā)熱．在超精密機(jī)床中得到較廣泛的應(yīng)用。30氣浮導(dǎo)軌和空氣靜壓導(dǎo)軌氣浮導(dǎo)軌和空氣靜壓導(dǎo)軌可以得到很高的直氣浮導(dǎo)軌可以得到較很高的直線運(yùn)動(dòng)精度，導(dǎo)軌無(wú)爬行現(xiàn)象。摩擦系數(shù)接近于零31氣浮導(dǎo)軌可以得到較很高的直線運(yùn)動(dòng)精度，31空氣靜壓導(dǎo)軌有很高的剛度和運(yùn)動(dòng)精度32空氣靜壓導(dǎo)軌有很高的剛度和運(yùn)動(dòng)精度32超精密進(jìn)給機(jī)構(gòu)的條件(1)不干擾或降低導(dǎo)軟的直線世紀(jì)精度；(2)進(jìn)給速度均勻，遲緒平穩(wěn)：(3)定位精度高；(4)可實(shí)現(xiàn)工作所需要的高速進(jìn)結(jié)或微速坦給(5)精度壽命和使用壽命高；(6)維護(hù)、保養(yǎng)方便。進(jìn)給驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)33超精密進(jìn)給機(jī)構(gòu)的條件(1)不干擾或降低導(dǎo)軟的直線世紀(jì)精度；進(jìn)進(jìn)給機(jī)構(gòu)的種類(lèi)與特性(1)滑動(dòng)絲杠進(jìn)給機(jī)構(gòu)(2)滾動(dòng)絲杠(3)液體靜壓絲杠(4)空氣靜壓絲杠(5)靜壓油缸進(jìn)給機(jī)構(gòu)(6)直流線性電機(jī)進(jìn)給（7）磨擦驅(qū)動(dòng)34進(jìn)給機(jī)構(gòu)的種類(lèi)與特性(1)滑動(dòng)絲杠進(jìn)給機(jī)構(gòu)(2)滾動(dòng)絲杠(3絲杠的螺距誤差與積累誤差對(duì)進(jìn)給速度的均勻性和定位精度有直接的影響。精度：螺距誤差：1mm累計(jì)螺距誤差2mm滑動(dòng)絲杠進(jìn)給機(jī)構(gòu)35絲杠的螺距誤差與積累誤差對(duì)進(jìn)給速度的均勻性和定位精度有直接的進(jìn)給驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)精密數(shù)控系統(tǒng)滾珠絲桿副驅(qū)動(dòng)直流伺服電機(jī)或交流伺服電機(jī)進(jìn)給系統(tǒng)的驅(qū)功元件高精密級(jí)的滾珠絲杠付對(duì)以做到相鄰螺距誤差0.5-1mm。36進(jìn)給驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)精密數(shù)控系統(tǒng)滾珠絲桿副驅(qū)動(dòng)直流伺服電機(jī)或進(jìn)給系統(tǒng)滾珠絲桿副驅(qū)動(dòng)滾動(dòng)絲杠37滾珠絲桿副驅(qū)動(dòng)滾動(dòng)絲杠373838液體靜壓絲杠靜壓絲杠的原理與靜壓主軸的相同。39液體靜壓絲杠靜壓絲杠的原理與靜壓主軸的相同。39直線驅(qū)動(dòng)進(jìn)給系統(tǒng)40直線驅(qū)動(dòng)進(jìn)給系統(tǒng)40直線驅(qū)動(dòng)進(jìn)給系統(tǒng)（續(xù)）直線伺服電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的進(jìn)給單元41直線驅(qū)動(dòng)進(jìn)給系統(tǒng)（續(xù)）直線伺服電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的進(jìn)給單元41直線電動(dòng)機(jī)進(jìn)給驅(qū)動(dòng)的主要優(yōu)點(diǎn)速度高，最大進(jìn)給速度可達(dá)80—180m／min加速度大，加速度可高達(dá)2g—l0g定位精度高，高達(dá)0.1-0.01m行程不受限制。直線電動(dòng)機(jī)的主要種類(lèi)：直流直線電動(dòng)機(jī)交流永磁（同步）直線電動(dòng)機(jī)交流感應(yīng)（異步）直線電動(dòng)機(jī)42直線電動(dòng)機(jī)進(jìn)給驅(qū)動(dòng)的主要優(yōu)點(diǎn)速度高，最大進(jìn)給速度可達(dá)80—1直線電動(dòng)機(jī)的基本結(jié)構(gòu)直流直線電動(dòng)機(jī)的基本結(jié)構(gòu)交流永磁直線電動(dòng)機(jī)的基本結(jié)構(gòu)43直線電動(dòng)機(jī)的基本結(jié)構(gòu)直流直線電動(dòng)機(jī)的基本結(jié)構(gòu)交流永磁直線電動(dòng)44441）精微進(jìn)給和粗進(jìn)給應(yīng)分開(kāi)2)運(yùn)動(dòng)部分必須是低摩擦和高穩(wěn)定度的3）末級(jí)傳動(dòng)元件必須有很高的剛度4)微量進(jìn)給機(jī)構(gòu)內(nèi)部聯(lián)接必須是可靠聯(lián)接5)工藝件好，容易制造。精密和超精密微位移機(jī)構(gòu)應(yīng)滿(mǎn)足下列設(shè)計(jì)要求451）精微進(jìn)給和粗進(jìn)給應(yīng)分開(kāi)2)運(yùn)動(dòng)部分必須是低摩擦和高穩(wěn)定微量進(jìn)給機(jī)構(gòu)(1)磁致伸縮微量進(jìn)給機(jī)構(gòu)具有磁致伸縮效應(yīng)的鐵、帖、鎳等合金，長(zhǎng)度將隨磁場(chǎng)強(qiáng)度變化而變化，式中λ——材料的磁致伸縮系數(shù)46微量進(jìn)給機(jī)構(gòu)(1)磁致伸縮微量進(jìn)給機(jī)構(gòu)具有磁致伸縮效應(yīng)的鐵、47474848(2)電致伸縮微量進(jìn)給機(jī)構(gòu)某些晶體如石英單晶鉑料及壓電陶瓷等的壓電效應(yīng)來(lái)實(shí)現(xiàn)微量進(jìn)給49(2)電致伸縮微量進(jìn)給機(jī)構(gòu)某些晶體如石英單晶鉑料及壓電陶瓷等(3)熱膨脹微量進(jìn)給機(jī)構(gòu)50(3)熱膨脹微量進(jìn)給機(jī)構(gòu)50(4)彈性變形微量進(jìn)給機(jī)構(gòu)51(4)彈性變形微量進(jìn)給機(jī)構(gòu)51超精密加工環(huán)境52超精密加工環(huán)境52超精密切削53超精密切削53超精密切削超精密切削加工主要是用高精度的機(jī)床和單晶金剛石刀具進(jìn)行的加工用于加工鋁合金．無(wú)線銅．黃銅．非電解鎳等有色金屬和某些非金屬材料表面粗糙度Ra0.02---0.005mm精度＜0.01mm用于加工陀螺儀，激光反射鏡，天文望還鏡的反射鏡54超精密切削超精密切削加工主要是用高精度的機(jī)床和單晶金剛石刀具1被加工材料的性質(zhì)2、金剛石刀具3、加工用的機(jī)床4、加工條件、5加工環(huán)境6、測(cè)量影響金剛石精密切削加工的因素551被加工材料的性質(zhì)2超精密金剛石刀具切削的機(jī)理尺寸/mm10-910-810-710-610-510-410-310-210-11

切削加工范疇（切深）超微細(xì)切削領(lǐng)域細(xì)微切削領(lǐng)域普通切削領(lǐng)域趙精密切削加工與普通切削加工重要區(qū)別就是切削深度小一般都在微米之下。10-4以下的切削加工56超精密金剛石刀具切削的機(jī)理尺寸/mm10-910-8刀具切削模型57刀具切削模型575858被切削表面的彈性恢復(fù)刀尖的局部后退最小切削厚度59被切削表面的彈性恢復(fù)刀尖的局部后退最小切削厚度59切削表面形成的模型60切削表面形成的模型60影響形成表面的因素(1)切削刃的組糙度(2)切削刃的復(fù)映性(3)毛刺與加工變質(zhì)層61影響形成表面的因素61切屑深度對(duì)切削形態(tài)的影響62切屑深度對(duì)切削形態(tài)的影響62被切削材料與切屑形成狀態(tài)63被切削材料與切屑形成狀態(tài)63超精密切削加工用金剛石刀具超稿密切削用工具應(yīng)具備的條件1．刀具刃口的鋒利性：刃口半徑越小被切削表面的彈性恢復(fù)量就越小，加工變質(zhì)層也越小。64超精密切削加工用金剛石刀具超稿密切削用工具應(yīng)具備的條件1．刀2．切削刃的粗糙度工具的輪廓在被切削表面復(fù)映，切削刃的粗糙度決定切削表面的粗糙度普通刀具切削刃粗糙度為Ry0.3--5mm，而金剛石刀具的q切刃粗糙度為Ry0．1一0.2mm

3．刀具與被切削材料的親和性低4．刀具的切削刃強(qiáng)度高、耐磨損652．切削刃的粗糙度工具的輪廓在被切削表面復(fù)映，切削刃的粗糙度金剛石刀具對(duì)超精密切削的適應(yīng)性1．金剛石的性能指標(biāo)金剛石單位顯微硬度86—106KN/mm2莫氏硬度10----導(dǎo)熱系數(shù)142W/(m*k)熱膨脹系數(shù)0.9-1.4510-6/K研磨能力0.77--1日前在超精密切削中使用最多，效果最好的是天然單晶金剛石刀具。66金剛石刀具對(duì)超精密切削的適應(yīng)性1．金剛石的性能指標(biāo)金剛石單位2．金剛石刀具刃口的鋒利性金剛石刀具刃口的SEM照片672．金剛石刀具刃口的鋒利性金剛石刀具刃口的SEM照片673．金剛石刀具刃口的粗糙度金剛石刀具刃口683．金剛石刀具刃口的粗糙度金剛石刀具刃口684．金剛石刀具切削刃輪廓的復(fù)映性5．金剛石刀具的強(qiáng)度與耐缺損性能金剛石刀具的強(qiáng)度、耐缺損性能及耐磨損性能與金剛石的結(jié)晶的方位有關(guān)、6．金剛石刀具的熱化學(xué)性能金剛石刀具具有良好的熱特性694．金剛石刀具切削刃輪廓的復(fù)映性5．金剛石刀具的強(qiáng)度與耐缺損70707171□主軸回轉(zhuǎn)精度30nm

□反饋系統(tǒng)分辨率2.5nm

□控制系統(tǒng)分辨率5nm

□主軸轉(zhuǎn)速50-1500轉(zhuǎn)/分

□溜板直線性0.15μm/200mm

□行程XxZ=400mmx400mm

□最大加工件直徑￠800mm

□最大加工長(zhǎng)度400mm主要技術(shù)參數(shù)：72□主軸回轉(zhuǎn)精度30nm主要技術(shù)參數(shù)：72項(xiàng)

目值

□主軸回轉(zhuǎn)精度30nm

□反饋系統(tǒng)分辨率2.5nm

□控制系統(tǒng)分辨率5nm

□主軸轉(zhuǎn)速50-1500轉(zhuǎn)/分

□溜板直線性0.15μm/200mm

□行程XxZ=400mmx400mm

□最大加工件直徑￠800mm

□最大加工長(zhǎng)度400mm

□定位精度±0.2μm/400mm73項(xiàng)

目值

□主軸回轉(zhuǎn)精度30nm

□反饋系統(tǒng)機(jī)床特點(diǎn)：■采用超精密氣體靜壓主軸及回轉(zhuǎn)工作臺(tái)?！龀呔葰鈩?dòng)卡盤(pán)結(jié)構(gòu)，保證批量加工的快速高精度定位。■可加工高精度球面鏡，也可進(jìn)行平面及圓柱表面的鏡面加工?！龉潭ㄊ蕉嗟督Y(jié)構(gòu)，換刀精確、快速?！鋈]環(huán)溜板結(jié)構(gòu)，可精確檢測(cè)每把刀具及回轉(zhuǎn)臺(tái)中心位置。■主軸帶位置檢測(cè)，可加工螺紋。C軸可選?！鲋鬏S卡盤(pán)可更換，滿(mǎn)足多種工件加工?！龃采砑傲锇逄厥饨Y(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，具有良好的精度保持及減振特性。機(jī)床特點(diǎn)：■采用超精密氣體靜壓主軸及回轉(zhuǎn)工作臺(tái)?！龀呔葰鈩?dòng)卡盤(pán)結(jié)構(gòu)，保證批量加工的快速高精度定位?！隹杉庸じ呔惹蛎骁R，也可進(jìn)行平面及圓柱表面的鏡面加工?！龉潭ㄊ蕉嗟督Y(jié)構(gòu)，換刀精確、快速。74機(jī)床特點(diǎn)：機(jī)床特點(diǎn)：74謝謝觀看共同學(xué)習(xí)相互提高謝謝觀看共同學(xué)習(xí)相互提高單擊此處添加副標(biāo)題內(nèi)容超精密加工裝備及其關(guān)鍵部件單擊此處輸入你的正文，文字是您思想的提煉，為了最終演示發(fā)布的良好效果，請(qǐng)盡量言簡(jiǎn)意賅的闡述觀點(diǎn)。超精密加工裝備及其關(guān)鍵部件單擊此處添加副標(biāo)題內(nèi)容超精密加工裝備及其關(guān)鍵部件單擊此處輸入你的正文，文字是您思想的提煉，為了最終演示發(fā)布的良好效果，請(qǐng)盡量言簡(jiǎn)意賅的闡述觀點(diǎn)。超精密加工裝備及其關(guān)鍵部件主講：崔仲鳴21．給定的精度指標(biāo)(包括形位公差、尺寸精度表面粗糙度和加工變質(zhì)層等)2．加工機(jī)械的直線運(yùn)動(dòng)和回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)精度；3．加工機(jī)械的定位精度(包括夾具的定位精度)；4．加工機(jī)械、工具及工件的剛度；5．加工機(jī)械、工具、工件的振動(dòng)；6．加工機(jī)械、工具、工件的熱變形；7．工具的尺寸及形狀精度；8．加工機(jī)械、工具、工件的磨損和磨傷；9．工具、工件的定位安裝精度；Io．工件在前道工序加丁中的尺J、形狀的決定加工精度主要因素3歡迎單擊此處添加副標(biāo)題內(nèi)容超精密加工裝備及其關(guān)鍵部件單擊此處輸入

超精密加工裝備及其關(guān)鍵部件

主講：崔仲鳴

77超精密加工裝備及其關(guān)鍵部件主講：崔仲鳴21．給定的精度指標(biāo)(包括形位公差、尺寸精度表面粗糙度和加工變質(zhì)層等)2．加工機(jī)械的直線運(yùn)動(dòng)和回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)精度；3．加工機(jī)械的定位精度(包括夾具的定位精度)；4．加工機(jī)械、工具及工件的剛度；5．加工機(jī)械、工具、工件的振動(dòng)；6．加工機(jī)械、工具、工件的熱變形；7．工具的尺寸及形狀精度；8．加工機(jī)械、工具、工件的磨損和磨傷；9．工具、工件的定位安裝精度；Io．工件在前道工序加丁中的尺J、形狀的決定加工精度主要因素781．給定的精度指標(biāo)(包括形位公差、尺寸精度表面粗11工件材質(zhì)及其物理、機(jī)械性能；12工件的形狀和尺寸13工件材料的不均勻性；14加工單位的大小(去陳、結(jié)合、變形，等)；15測(cè)量技術(shù)及數(shù)據(jù)處理(包括尺寸、形狀、粗糧度、性能的測(cè)試）16加工者的技術(shù)熟練程度；17加上環(huán)境的力、振動(dòng)、熱．清潔程度7911工件材質(zhì)及其物理、機(jī)械性能；4加工的人機(jī)系統(tǒng)80加工的人機(jī)系統(tǒng)5

(1)回轉(zhuǎn)主軸和回轉(zhuǎn)工作臺(tái)的精度必須滿(mǎn)足加工精度的要求，而且要具有與加工條件相適應(yīng)的足夠的剛度；(2)直線導(dǎo)軌應(yīng)具有與加工精度相適應(yīng)的直線進(jìn)給精度，而且不產(chǎn)生爬行及微小的振動(dòng)；(3)進(jìn)給機(jī)構(gòu)要滿(mǎn)足加工精度的要求，而且進(jìn)給平穩(wěn)、均勻、沒(méi)有振動(dòng)，

超精密加工裝備及其關(guān)鍵部件81(1)回轉(zhuǎn)主軸和回轉(zhuǎn)工作臺(tái)的精度必須滿(mǎn)足加工精度的要求，而精密主軸部件

精密主軸部件是超精密機(jī)床保證加工精度的核心主軸要求達(dá)到極高的回轉(zhuǎn)精改，轉(zhuǎn)動(dòng)平穩(wěn)，無(wú)振動(dòng)．其關(guān)鍵在于所用的精密軸承。(1)靜態(tài)和動(dòng)態(tài)回轉(zhuǎn)精度高，振擺??；(2)主軸的精度壽命長(zhǎng)；(3)主軸本身及驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)術(shù)不產(chǎn)生振動(dòng)，或振動(dòng)極小，而且震動(dòng)的衰減特性好；(4)應(yīng)具有與使用條件相匹配的、足夠大的剛度和負(fù)荷容量；(5)發(fā)熱少而且熱平衡的性能好(6)維護(hù)、保養(yǎng)方便。82精密主軸部件精密主軸部件是超精密機(jī)床保證加工精度的核心主滾動(dòng)軸承優(yōu)點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)化，有互換性容易購(gòu)置滾動(dòng)軸承的內(nèi)圈與外圈通過(guò)鋼球或滾柱相接觸缺點(diǎn)接觸振動(dòng)袁減性能降低精度壽命難以保證83滾動(dòng)軸承優(yōu)點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)化，有互換性容易購(gòu)置滾動(dòng)軸承的內(nèi)圈與外圈通過(guò)液體靜壓軸承主軸精密/超精密加工設(shè)備精密主軸部件液體靜壓軸承回轉(zhuǎn)精度很高(精度0.1mm)轉(zhuǎn)動(dòng)平穩(wěn)．無(wú)振動(dòng)，有較高的剛度和回轉(zhuǎn)精度液體靜壓軸承壓力油通過(guò)節(jié)流閥進(jìn)入軸承偶合面間的油腔。使軸在軸套內(nèi)懸俘，不產(chǎn)生固體摩擦當(dāng)軸受力偏歪時(shí)．偶合面間泄油的間隙改變，造成相對(duì)油腔的油壓不等，壓力差將推動(dòng)軸回向原來(lái)的中心位置；84液體靜壓軸承主軸精密/超精密加工設(shè)備精密主軸部件液體靜壓軸承8510

1)液壓油溫度升高、在不同轉(zhuǎn)速時(shí)溫度升高值不等。溫度升高將造成熱變形，影響軸的精度。2)靜壓油回油時(shí)將空氣帶人油池．形成微小氣泡懸浮在油中．不易徘出．因此將降低液體靜壓軸承的剛度和動(dòng)特性。液體靜壓軸承的缺點(diǎn)861)液壓油溫度升高、在不同轉(zhuǎn)速時(shí)溫度升高值不等。溫度升高將

2)靜壓軸承用油經(jīng)過(guò)溫度控制，使其達(dá)到恒溫，減少軸承的溫升3）軸承用恒溫水冷卻．減小軸承的溫升，1）提高靜壓油的壓力。使油中微小氣泡的影響減小，提高靜壓軸承的剛度改進(jìn)方向872)靜壓軸承用油經(jīng)過(guò)溫度控制，使其達(dá)到恒溫，減少軸承的溫升空氣靜壓軸承主軸特點(diǎn)

空氣靜壓軸承有很高的回轉(zhuǎn)精度．在高速轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)溫升小，因此造成的熱變形誤差很小．空氣軸承的主要問(wèn)題是剛度低．只能承受較小的載荷。適于超精密切削時(shí)切削力小，空氣軸承能滿(mǎn)足要求，故在超精密機(jī)床中得到廣泛的應(yīng)用。88空氣靜壓軸承主軸特點(diǎn)空氣靜壓軸承有很高的回轉(zhuǎn)精度．在高速轉(zhuǎn)8914

結(jié)構(gòu)空氣靜壓軸承的工作原理和液體靜壓軸承類(lèi)似、軸由壓力空氣浮在鈾套內(nèi)。軸的中心位置由相對(duì)面的靜壓空氣壓力差維持空氣靜壓軸承主軸90結(jié)構(gòu)空氣靜壓軸承的工作原理和液體靜壓軸承類(lèi)似、軸由壓力空氣雙半球空氣軸承主軸91雙半球空氣軸承主軸16前部用球形后部用圓柱徑向空氣軸承的主軸92前部用球形后部用圓柱徑向空氣軸承的主軸17

1）回轉(zhuǎn)精度高。軸四周的氣體壓力的均勻效果，可以比較容易達(dá)到亞微米級(jí)的回轉(zhuǎn)精度，而且可長(zhǎng)時(shí)間保持精度：2)沒(méi)有振動(dòng)。因?yàn)槭峭耆諝鉂?rùn)滑，在回轉(zhuǎn)過(guò)程中幾乎不產(chǎn)生振動(dòng)。3)不發(fā)熱。熱變形而使精度降低的因素小4)經(jīng)久耐用。因沒(méi)有摩擦，無(wú)論是精度壽命還是軸承壽命都很高。5)可以高速回轉(zhuǎn)，工作在100000r／min也沒(méi)有問(wèn)題，、6)摩擦阻力小。在低速時(shí)摩擦系數(shù)幾乎等于零，故驅(qū)動(dòng)力小。7)因?yàn)椴皇褂糜?，所以不?huì)因密封和漏油而發(fā)生故障。8)可靠性高，維護(hù)、保養(yǎng)方便。只要?dú)庠春凸庀到y(tǒng)不出問(wèn)題，就不會(huì)發(fā)生故障c空氣靜壓軸承主軸931）回轉(zhuǎn)精度高。軸四周的氣體壓力的均勻效果，可以比較容易達(dá)超精密機(jī)床主軸和軸承的材料1不易磨損

空氣軸承主軸，軸和軸套不接觸不會(huì)產(chǎn)生磨損。但不通氣時(shí)偶然會(huì)發(fā)生少量轉(zhuǎn)動(dòng)要求主軸和軸套不咬住或磨損l多采用石墨作主氣軸承套，軸不易磨損。

2．不易生銹腐蝕空氣軸承工作時(shí)無(wú)潤(rùn)滑劑。雖通入的壓縮空氣經(jīng)過(guò)去水，是干燥的，不致使軸承生銹腐蝕，但如軸承一段時(shí)間不工作，潮濕空氣會(huì)進(jìn)入軸承內(nèi)，因此要求主軸和軸套材料不易生銹腐蝕。94超精密機(jī)床主軸和軸承的材料1不易磨損空氣軸承主軸，軸和

3．熱膨脹系數(shù)些小要減小溫升應(yīng)采用熱膨脹系數(shù)小的材料制造主軸和軸套．并且主軸和軸套兩種的材料的熱膨脹系數(shù)應(yīng)接近、免得空氣軸承內(nèi)的間隙變化超精密機(jī)床主軸和軸承的材料4．材料的穩(wěn)定性安好空氣軸承精度高，要避免制成后或使用中變形，需要進(jìn)行穩(wěn)定比處理953．熱膨脹系數(shù)些小超精密機(jī)床主軸和軸承的材料4．材料的穩(wěn)定主軸的驅(qū)動(dòng)方式1電動(dòng)機(jī)通過(guò)帶傳動(dòng)驅(qū)動(dòng)2電動(dòng)機(jī)通過(guò)柔性聯(lián)軸節(jié)驅(qū)動(dòng)主軸3采用內(nèi)裝式同軸電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)床主軸96主軸的驅(qū)動(dòng)方式1電動(dòng)機(jī)通過(guò)帶傳動(dòng)驅(qū)動(dòng)2電動(dòng)機(jī)通過(guò)柔性聯(lián)軸床身和精密導(dǎo)軌部件1優(yōu)質(zhì)耐磨鑄鐵傳統(tǒng)的制造床身和導(dǎo)軌的材料．它的優(yōu)點(diǎn)是工藝性好。耐磨性好，熱膨脹系數(shù)低。對(duì)振動(dòng)衰減能強(qiáng)．2花崗巖花崗巖比鑄鐵長(zhǎng)期尺寸穩(wěn)定性好，熱膨脹系數(shù)低，對(duì)振動(dòng)的衰減能力強(qiáng)，硬度高、耐磨并不會(huì)生銹。97床身和精密導(dǎo)軌部件1優(yōu)質(zhì)耐磨鑄鐵傳統(tǒng)的制造床身和導(dǎo)軌的材料3人造花崗巖花崗巖碎粒用樹(shù)脂粘結(jié)而成，人造花崗巖具有優(yōu)良的性能．可鑄造成形．具有吸濕性低．并對(duì)振動(dòng)的衰減能力加強(qiáng)983人造花崗巖花崗巖碎粒用樹(shù)脂粘結(jié)而成，人造花崗巖具有優(yōu)良的(1)運(yùn)動(dòng)應(yīng)均勻、平穩(wěn)。不允許有停頓或爬行等不連續(xù)運(yùn)動(dòng)(2)直線運(yùn)動(dòng)精度高。運(yùn)動(dòng)的平行度誤差與角度誤差要??；(3)應(yīng)具有與使用條件相匹配的足夠的剛度；(4)在運(yùn)動(dòng)過(guò)程個(gè)不產(chǎn)生振動(dòng)；(5)定位精度及重復(fù)性精度高；床身和精密導(dǎo)軌部件精密導(dǎo)軌部件要求99(1)運(yùn)動(dòng)應(yīng)均勻、平穩(wěn)。不允許有停頓或爬行等不連續(xù)運(yùn)動(dòng)床身和滾動(dòng)導(dǎo)軌采用再循環(huán)圓柱滾動(dòng)組件和再循環(huán)滾珠滾動(dòng)組件。直線運(yùn)動(dòng)的精度可以達(dá)到mm級(jí)精度，摩擦系數(shù)0、002—0．003：1．直線滾動(dòng)軸承滾柱帶保持架在導(dǎo)軌的偶合面間作直線滾動(dòng)2．再循環(huán)滾柱滾動(dòng)組件直線滾動(dòng)軸承的工作長(zhǎng)度受到軸承長(zhǎng)度的限制。再循環(huán)滾動(dòng)組件由于滾柱的再循環(huán)．它的工作行程長(zhǎng)度可以無(wú)限．沒(méi)右任何限制。100滾動(dòng)導(dǎo)軌采用再循環(huán)圓柱滾動(dòng)組件和再循環(huán)滾珠滾動(dòng)組件。直線運(yùn)動(dòng)再循環(huán)滾柱滾動(dòng)組件101再循環(huán)滾柱滾動(dòng)組件263再循環(huán)滾珠滾動(dòng)組件、1023再循環(huán)滾珠滾動(dòng)組件、27直線導(dǎo)軌（產(chǎn)品）103直線導(dǎo)軌（產(chǎn)品）28液體靜壓導(dǎo)軌雙圓柱型液體靜壓導(dǎo)軌平面型液體靜壓導(dǎo)軌液體靜壓導(dǎo)軌剛度高，能承受大的載重，直線運(yùn)動(dòng)精度高，并且平穩(wěn)，無(wú)爬行現(xiàn)象104液體靜壓導(dǎo)軌雙圓柱型液體靜壓導(dǎo)軌平面型液體靜壓導(dǎo)軌液體靜壓導(dǎo)氣浮導(dǎo)軌和空氣靜壓導(dǎo)軌氣浮導(dǎo)軌和空氣靜壓導(dǎo)軌可以得到很高的直線運(yùn)動(dòng)精度，運(yùn)功平穩(wěn)．無(wú)爬行，摩擦系數(shù)接近于零，小發(fā)熱．在超精密機(jī)床中得到較廣泛的應(yīng)用。105氣浮導(dǎo)軌和空氣靜壓導(dǎo)軌氣浮導(dǎo)軌和空氣靜壓導(dǎo)軌可以得到很高的直氣浮導(dǎo)軌可以得到較很高的直線運(yùn)動(dòng)精度，導(dǎo)軌無(wú)爬行現(xiàn)象。摩擦系數(shù)接近于零106氣浮導(dǎo)軌可以得到較很高的直線運(yùn)動(dòng)精度，31空氣靜壓導(dǎo)軌有很高的剛度和運(yùn)動(dòng)精度107空氣靜壓導(dǎo)軌有很高的剛度和運(yùn)動(dòng)精度32超精密進(jìn)給機(jī)構(gòu)的條件(1)不干擾或降低導(dǎo)軟的直線世紀(jì)精度；(2)進(jìn)給速度均勻，遲緒平穩(wěn)：(3)定位精度高；(4)可實(shí)現(xiàn)工作所需要的高速進(jìn)結(jié)或微速坦給(5)精度壽命和使用壽命高；(6)維護(hù)、保養(yǎng)方便。進(jìn)給驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)108超精密進(jìn)給機(jī)構(gòu)的條件(1)不干擾或降低導(dǎo)軟的直線世紀(jì)精度；進(jìn)進(jìn)給機(jī)構(gòu)的種類(lèi)與特性(1)滑動(dòng)絲杠進(jìn)給機(jī)構(gòu)(2)滾動(dòng)絲杠(3)液體靜壓絲杠(4)空氣靜壓絲杠(5)靜壓油缸進(jìn)給機(jī)構(gòu)(6)直流線性電機(jī)進(jìn)給（7）磨擦驅(qū)動(dòng)109進(jìn)給機(jī)構(gòu)的種類(lèi)與特性(1)滑動(dòng)絲杠進(jìn)給機(jī)構(gòu)(2)滾動(dòng)絲杠(3絲杠的螺距誤差與積累誤差對(duì)進(jìn)給速度的均勻性和定位精度有直接的影響。精度：螺距誤差：1mm累計(jì)螺距誤差2mm滑動(dòng)絲杠進(jìn)給機(jī)構(gòu)110絲杠的螺距誤差與積累誤差對(duì)進(jìn)給速度的均勻性和定位精度有直接的進(jìn)給驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)精密數(shù)控系統(tǒng)滾珠絲桿副驅(qū)動(dòng)直流伺服電機(jī)或交流伺服電機(jī)進(jìn)給系統(tǒng)的驅(qū)功元件高精密級(jí)的滾珠絲杠付對(duì)以做到相鄰螺距誤差0.5-1mm。111進(jìn)給驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)精密數(shù)控系統(tǒng)滾珠絲桿副驅(qū)動(dòng)直流伺服電機(jī)或進(jìn)給系統(tǒng)滾珠絲桿副驅(qū)動(dòng)滾動(dòng)絲杠112滾珠絲桿副驅(qū)動(dòng)滾動(dòng)絲杠3711338液體靜壓絲杠靜壓絲杠的原理與靜壓主軸的相同。114液體靜壓絲杠靜壓絲杠的原理與靜壓主軸的相同。39直線驅(qū)動(dòng)進(jìn)給系統(tǒng)115直線驅(qū)動(dòng)進(jìn)給系統(tǒng)40直線驅(qū)動(dòng)進(jìn)給系統(tǒng)（續(xù)）直線伺服電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的進(jìn)給單元116直線驅(qū)動(dòng)進(jìn)給系統(tǒng)（續(xù)）直線伺服電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的進(jìn)給單元41直線電動(dòng)機(jī)進(jìn)給驅(qū)動(dòng)的主要優(yōu)點(diǎn)速度高，最大進(jìn)給速度可達(dá)80—180m／min加速度大，加速度可高達(dá)2g—l0g定位精度高，高達(dá)0.1-0.01m行程不受限制。直線電動(dòng)機(jī)的主要種類(lèi)：直流直線電動(dòng)機(jī)交流永磁（同步）直線電動(dòng)機(jī)交流感應(yīng)（異步）直線電動(dòng)機(jī)117直線電動(dòng)機(jī)進(jìn)給驅(qū)動(dòng)的主要優(yōu)點(diǎn)速度高，最大進(jìn)給速度可達(dá)80—1直線電動(dòng)機(jī)的基本結(jié)構(gòu)直流直線電動(dòng)機(jī)的基本結(jié)構(gòu)交流永磁直線電動(dòng)機(jī)的基本結(jié)構(gòu)118直線電動(dòng)機(jī)的基本結(jié)構(gòu)直流直線電動(dòng)機(jī)的基本結(jié)構(gòu)交流永磁直線電動(dòng)119441）精微進(jìn)給和粗進(jìn)給應(yīng)分開(kāi)2)運(yùn)動(dòng)部分必須是低摩擦和高穩(wěn)定度的3）末級(jí)傳動(dòng)元件必須有很高的剛度4)微量進(jìn)給機(jī)構(gòu)內(nèi)部聯(lián)接必須是可靠聯(lián)接5)工藝件好，容易制造。精密和超精密微位移機(jī)構(gòu)應(yīng)滿(mǎn)足下列設(shè)計(jì)要求1201）精微進(jìn)給和粗進(jìn)給應(yīng)分開(kāi)2)運(yùn)動(dòng)部分必須是低摩擦和高穩(wěn)定微量進(jìn)給機(jī)構(gòu)(1)磁致伸縮微量進(jìn)給機(jī)構(gòu)具有磁致伸縮效應(yīng)的鐵、帖、鎳等合金，長(zhǎng)度將隨磁場(chǎng)強(qiáng)度變化而變化，式中λ——材料的磁致伸縮系數(shù)121微量進(jìn)給機(jī)構(gòu)(1)磁致伸縮微量進(jìn)給機(jī)構(gòu)具有磁致伸縮效應(yīng)的鐵、1224712348(2)電致伸縮微量進(jìn)給機(jī)構(gòu)某些晶體如石英單晶鉑料及壓電陶瓷等的壓電效應(yīng)來(lái)實(shí)現(xiàn)微量進(jìn)給124(2)電致伸縮微量進(jìn)給機(jī)構(gòu)某些晶體如石英單晶鉑料及壓電陶瓷等(3)熱膨脹微量進(jìn)給機(jī)構(gòu)125(3)熱膨脹微量進(jìn)給機(jī)構(gòu)50(4)彈性變形微量進(jìn)給機(jī)構(gòu)126(4)彈性變形微量進(jìn)給機(jī)構(gòu)51超精密加工環(huán)境127超精密加工環(huán)境52超精密切削128超精密切削53超精密切削超精密切削加工主要是用高精度的機(jī)床和單晶金剛石刀具進(jìn)行的加工用于加工鋁合金．無(wú)線銅．黃銅．非電解鎳等有色金屬和某些非金屬材料表面粗糙度Ra0.02---0.005mm精度＜0.01mm用于加工陀螺儀，激光反射鏡，天文望還鏡的反射鏡129超精密切削超精密切削加工主要是用高精度的機(jī)床和單晶金剛石刀具1被加工材料的性質(zhì)2、金剛石刀具3、加工用的機(jī)床4、加工條件、5加工環(huán)境6、測(cè)量影響金剛石精密切削加工的因素1301被加工材料的性質(zhì)2超精密金剛石刀具切削的機(jī)理尺寸/mm10-910-810-710-610-510-410-310-210-11

切削加工范疇（切深）超微細(xì)切削領(lǐng)域細(xì)微切削領(lǐng)域普通切削領(lǐng)域趙精密切削加工與普通切削加工重要區(qū)別就是切削深度小一般都在微米之下。10-4以下的切削加工131超精密金剛石刀具切削的機(jī)理尺寸/mm10-910-8刀具切削模型132刀具切削模型5713358被切削表面的彈性恢復(fù)刀尖的局部后退最小切削厚度134被切削表面的彈性恢復(fù)刀尖的局部后退最小切削厚度59切削表面形成的模型135切削表面形成的模型60影響形成表面的因素(1)切削刃的組糙度(2)切削刃的復(fù)映性(3)毛刺與加工變質(zhì)層136影響形成表面的因素61