盛劍環(huán)境研究報(bào)告：立足泛半導(dǎo)體工藝廢氣治理開(kāi)拓濕電子化學(xué)品系統(tǒng)等業(yè)務(wù)

盛劍環(huán)境研究報(bào)告：立足泛半導(dǎo)體工藝廢氣治理，開(kāi)拓濕電子化學(xué)品系統(tǒng)等業(yè)務(wù)一、立足泛半導(dǎo)體工藝廢氣治理，開(kāi)拓濕電子化學(xué)品系統(tǒng)等業(yè)務(wù)1.1

以泛半導(dǎo)體行業(yè)廢氣治理業(yè)務(wù)切入，不斷拓展產(chǎn)品與下游覆蓋領(lǐng)域上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技股份有限公司專注于泛半導(dǎo)體工藝廢氣治理系統(tǒng)及關(guān)鍵設(shè)備的研發(fā)設(shè)計(jì)、加工制造、

系統(tǒng)集成及運(yùn)維管理，致力于為客戶提供定制化廢氣治理解決方案。盛劍環(huán)境主營(yíng)業(yè)務(wù)為：1）廢氣治理系統(tǒng)的

設(shè)計(jì)、制造、安裝、調(diào)試等服務(wù)；2）廢氣治理設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售；3）濕電子化學(xué)品供應(yīng)與回收再生系

統(tǒng)設(shè)計(jì)、制造、安裝等服務(wù)。公司立足于泛半導(dǎo)體工藝廢氣治理系統(tǒng)，縱向拓展廢氣治理設(shè)備與濕電子化學(xué)品

供應(yīng)與回收再生系統(tǒng)；同時(shí)憑借核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)，向一般產(chǎn)業(yè)煙氣凈化、VOCs（揮發(fā)性有機(jī)化合物）減排等環(huán)保

業(yè)務(wù)不斷拓展。公司發(fā)展歷程可劃分為三個(gè)階段：2005-2011

年系業(yè)務(wù)初創(chuàng)期，公司由通用排氣系統(tǒng)進(jìn)軍泛半導(dǎo)體工藝廢氣治理。公司前身盛劍通風(fēng)

2005

年

成立后以制造、銷售通用排氣管道為主，泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展帶來(lái)工藝廢氣治理業(yè)務(wù)發(fā)展機(jī)遇，2010

年公司

開(kāi)始投資研發(fā)不銹鋼涂層風(fēng)管制造工藝，并于

2011

年通過(guò)

FMApprovals關(guān)于潔凈室專用的排氣及排煙管道系

統(tǒng)認(rèn)證，初步掌握了進(jìn)軍泛半導(dǎo)體工藝廢氣治理領(lǐng)域的核心產(chǎn)品。2012-2016

年系業(yè)務(wù)成型期，廢氣治理系統(tǒng)突破頭部客戶，公司布局單體治理設(shè)備。2012

年盛劍環(huán)境成立，

公司聚焦泛半導(dǎo)體工藝廢氣治理，打破了該領(lǐng)域長(zhǎng)期被海外企業(yè)壟斷的局面，取得了京東方、華星光電、天馬

微電子等業(yè)內(nèi)知名客戶高度認(rèn)可。2016

年公司籌備建設(shè)江蘇盛劍研發(fā)制造基地，擴(kuò)大工藝廢氣治理設(shè)備產(chǎn)能的

同時(shí)，研發(fā)投入單體治理設(shè)備制造。2017

至今系業(yè)務(wù)快速發(fā)展期，公司縱向拓展?jié)耠娮踊瘜W(xué)品系統(tǒng)，橫向延伸下游覆蓋范圍。2017

年，公司設(shè)

立子公司北京盛科達(dá)（現(xiàn)更名為北京盛劍微），專注于濕電子化學(xué)品供應(yīng)與回收再生系統(tǒng)服務(wù)。2018

年起，公

司前期在濕電子化學(xué)品領(lǐng)域布局初見(jiàn)成效，陸續(xù)承接京東方、奕斯偉和深南電路等項(xiàng)目。同期江蘇盛劍研發(fā)制

造基地建成投產(chǎn)、公司

L/S單體治理設(shè)備研制成功并取得訂單。2021

年公司成立

VOC事業(yè)部，正式進(jìn)入非泛

半導(dǎo)體

VOCs減排領(lǐng)域。1.2

員工持股平臺(tái)凝聚公司發(fā)展動(dòng)力，經(jīng)營(yíng)管理人員行業(yè)經(jīng)驗(yàn)豐富1.2.1

公司股權(quán)結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，管理層持股凝聚公司長(zhǎng)期發(fā)展動(dòng)力公司股權(quán)結(jié)構(gòu)高度集中，設(shè)立員工持股平臺(tái)凝聚發(fā)展動(dòng)力。截至

2021

年

9

月

30

日，公司控股股東為董事

長(zhǎng)、總經(jīng)理張偉明，實(shí)際控制人為張偉明、汪哲夫妻，二者直接與間接合計(jì)持有公司

62.04%的股權(quán)。公司第二

大股東為員工持股平臺(tái)昆升管理，持股人包括公司董事、副總經(jīng)理、電子工業(yè)事業(yè)部總經(jīng)理及工程部總監(jiān)、合

同商務(wù)部總經(jīng)理、供應(yīng)鏈管理部總監(jiān)、裝備事業(yè)部總監(jiān)等。員工持股平臺(tái)將公司收益與經(jīng)營(yíng)管理層共享，實(shí)現(xiàn)

對(duì)員工充分激勵(lì)。公司下設(shè)

3

家全資子公司與

1

家分公司，其中江蘇盛劍為最大生產(chǎn)基地，盛劍通風(fēng)為運(yùn)營(yíng)總部與研發(fā)中心，北京盛劍微為濕電子化學(xué)品業(yè)務(wù)子公司，盛劍通風(fēng)廣漢分公司匹配西南客戶屬地化制造。公司下設(shè)經(jīng)營(yíng)主體包

括

3

家子公司與

1

家分公司：1）江蘇盛劍：為最大生產(chǎn)主體，提供工藝廢氣系統(tǒng)包與核心設(shè)備、配件生產(chǎn)制造；

2）盛劍通風(fēng)：為管理總部與研發(fā)中心，負(fù)責(zé)通風(fēng)管道銷售；3）北京盛劍微：主要從事濕電子化學(xué)品相關(guān)材料

研發(fā)、運(yùn)營(yíng)服務(wù)類業(yè)務(wù)；4）盛劍通風(fēng)下設(shè)廣漢分公司，針對(duì)川渝地區(qū)光電面板頭部客戶，匹配西南客戶屬地化

生產(chǎn)制造。1.2.2

管理層深耕行業(yè)多年，團(tuán)隊(duì)結(jié)構(gòu)穩(wěn)定助力公司長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展公司董事經(jīng)營(yíng)管理能力突出，管理層行業(yè)經(jīng)驗(yàn)涵蓋公司業(yè)務(wù)發(fā)展多個(gè)下游。董事長(zhǎng)張偉明、董事汪哲均有

工商管理學(xué)習(xí)背景，董事沈華峰系公司第三大股東達(dá)晨創(chuàng)投投資經(jīng)理。公司管理層有多年泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)與環(huán)保

產(chǎn)業(yè)從業(yè)經(jīng)驗(yàn)，助力公司業(yè)務(wù)發(fā)展。董事、副總經(jīng)理許云擁有近十年光電行業(yè)工程師經(jīng)驗(yàn)，副總經(jīng)理章學(xué)春曾

在中國(guó)電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司與京東方任職。1.3

聚焦廢氣治理系統(tǒng)與設(shè)備，開(kāi)拓濕電子化學(xué)品系統(tǒng)與環(huán)保新領(lǐng)域公司業(yè)務(wù)包括廢氣治理系統(tǒng)、廢氣治理設(shè)備與濕電子化學(xué)品供應(yīng)與回收再生系統(tǒng)三大方向，分產(chǎn)品來(lái)看：1）

廢氣治理系統(tǒng)：由各污染物治理系統(tǒng)的高效協(xié)同集成實(shí)現(xiàn)，可應(yīng)用于泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)與煙氣凈化等領(lǐng)域；2）廢氣

治理設(shè)備：主要包括工藝排氣管道與中央廢氣治理設(shè)備、泛半導(dǎo)體制程附屬設(shè)備等單體治理設(shè)備；3）濕電子化

學(xué)品供應(yīng)與回收再生系統(tǒng)：包括將化學(xué)品輸送到工藝設(shè)備入口的供應(yīng)系統(tǒng)與收集工藝后廢化學(xué)品、提純調(diào)配后

使其達(dá)到原液標(biāo)準(zhǔn)的回收再生系統(tǒng)。1）廢氣治理系統(tǒng)：公司酸堿廢氣處理系統(tǒng)、有毒廢氣處理系統(tǒng)、VOCs（揮發(fā)性有機(jī)化合物）處理系統(tǒng)、

一般排氣系統(tǒng)可應(yīng)用于光電顯示、集成電路等行業(yè)工藝廢氣治理并可按照廢氣成分進(jìn)行綜合配置；煙氣凈化系

統(tǒng)可應(yīng)用于垃圾焚燒發(fā)電、生物質(zhì)發(fā)電、固體危廢處理等行業(yè)。2）廢氣治理設(shè)備：主要包括工藝排氣管道、中央廢氣治理設(shè)備與泛半導(dǎo)體制程附屬設(shè)備。①工藝排氣管道：公司生產(chǎn)的工藝排氣管道以不銹鋼涂層風(fēng)管為主，其管道內(nèi)壁噴涂具備高度抗腐蝕性的

氟涂料，具有優(yōu)異的耐熱性、耐腐蝕性、低摩擦性等特性，常用于泛半導(dǎo)體產(chǎn)線中有酸堿排風(fēng)需求和防火要求

較高的潔凈室內(nèi)或外部室外區(qū)域，涉及的核心技術(shù)為

ECTFE/ETFE噴涂技術(shù)。公司生產(chǎn)的

ECTFE涂層風(fēng)管和

ETFE涂層風(fēng)管先后通過(guò)

FMApprovals關(guān)于潔凈室專用的排氣及排煙管道系統(tǒng)認(rèn)證，可被廣泛應(yīng)用于泛半導(dǎo)體、

印刷電路板、石油化工、生物制藥、食品加工等行業(yè)的排氣系統(tǒng)。②中央廢氣治理設(shè)備：泛半導(dǎo)體工藝廢氣治理系統(tǒng)由中央廢氣治理設(shè)備、管道、儀表等組成，中央廢氣治

理設(shè)備作為廢氣治理系統(tǒng)的核心組件，公司目前主要核心設(shè)備能夠?qū)崿F(xiàn)自產(chǎn)或定制化設(shè)計(jì)。公司所設(shè)計(jì)、加工

制作的中央廢氣治理設(shè)備主要包括：沸石轉(zhuǎn)輪、蓄熱式焚化爐、直燃式焚化爐、干式除塵器、連續(xù)水幕濕式電

除塵、洗滌塔、預(yù)過(guò)濾器、深度冷凝器等。③泛半導(dǎo)體制程附屬設(shè)備：公司設(shè)計(jì)、制造的泛半導(dǎo)體制程附屬設(shè)備包括

L/S設(shè)備與

LOC-VOC設(shè)備，均

已實(shí)現(xiàn)設(shè)備的量產(chǎn)并已交付客戶使用。

L/S是

LocalScrubber的簡(jiǎn)稱，是泛半導(dǎo)體工藝設(shè)備

PFCS污染物處理

裝置，用于對(duì)制程過(guò)程中產(chǎn)生的有毒有害廢氣進(jìn)行源頭處理，該設(shè)備一端連接泛半導(dǎo)體工廠工藝設(shè)備，抽取工

藝設(shè)備內(nèi)產(chǎn)生的廢氣并進(jìn)行分解；另一端連接中央治理系統(tǒng)，將分解后的尾排氣體排至中央處理裝置進(jìn)行后續(xù)

處理。LOC-VOC是一種泛半導(dǎo)體潔凈室

EHS處理裝置，用于處理潔凈室內(nèi)彌散的

VOC氣體，避免

VOCs在

潔凈室內(nèi)堆積，保障生產(chǎn)員工的職業(yè)健康和產(chǎn)品良率。公司制程附屬設(shè)備銷售模式包括直接向終端銷售及與合作伙伴北方華創(chuàng)開(kāi)展配套銷售。北方華創(chuàng)為國(guó)內(nèi)龍

頭高端電子工藝裝備供應(yīng)商，受到集成電路行業(yè)主流客戶廣泛信賴，公司與北方華創(chuàng)配套合作有利于發(fā)揮產(chǎn)業(yè)

協(xié)同效應(yīng)、加速公司設(shè)備市場(chǎng)推廣。3）濕電子化學(xué)品供應(yīng)與回收再生系統(tǒng)：包括化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)和化學(xué)品回收再生系統(tǒng)：①化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)：

主要作用是將化學(xué)品從化學(xué)品原材料供應(yīng)商提供的盛裝容器中，輸送到使用化學(xué)品的工藝設(shè)備入口，并根據(jù)需

要進(jìn)行加壓、純化、多組分調(diào)配及計(jì)量等；②化學(xué)品回收再生系統(tǒng)：主要作用是將廢化學(xué)品收集后，根據(jù)需要

進(jìn)行外運(yùn)處置或者在廠內(nèi)就行提純?cè)偕{(diào)配單組分、添加劑達(dá)到原液標(biāo)準(zhǔn)后循環(huán)使用，公司已實(shí)現(xiàn)了剝離液、

PGMEA組分的回收再生。1.4

客戶以光電等泛半導(dǎo)體行業(yè)為主，收入集中度隨行業(yè)拓展逐步下降1.4.1

基于光電顯示行業(yè)客戶優(yōu)勢(shì)，積極拓展泛半導(dǎo)體、環(huán)保行業(yè)客戶以產(chǎn)業(yè)板塊看，公司與泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)頭部客戶合作關(guān)系良好，環(huán)保產(chǎn)業(yè)客戶涵蓋多個(gè)下游。公司泛半導(dǎo)體

產(chǎn)業(yè)客戶資源豐富，包含集成電路、平板顯示、光伏行業(yè)國(guó)內(nèi)頭部廠商，與行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)合作關(guān)系良好穩(wěn)定、

已實(shí)現(xiàn)多次中標(biāo)：1）集成電路：客戶覆蓋產(chǎn)業(yè)鏈制造廠商與設(shè)備廠商，包含頭部芯片廠商中芯國(guó)際、華虹半導(dǎo)

體、北京集電等與一線設(shè)備廠商北方華創(chuàng)。北方華創(chuàng)為公司

2019

年、2020

年上半年前五大客戶，公司與北方

華創(chuàng)協(xié)同合作，頭部設(shè)備廠商背書(shū)加速公司突破集成電路領(lǐng)域制造廠新客戶與驗(yàn)證進(jìn)程；2）平板顯示：客戶包

含京東方、華星光電、惠科等面板領(lǐng)軍企業(yè)及行業(yè)總承包商中電系統(tǒng)、世源科技。公司產(chǎn)品與服務(wù)受到頭部客

戶認(rèn)可，京東方、華星光電、惠科均實(shí)現(xiàn)多次中標(biāo)、多年為公司前五大客戶，中電系統(tǒng)自

2017

至

2020

上半年

始終為公司前五大客戶；3）其他泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)：客戶包含國(guó)內(nèi)領(lǐng)軍太陽(yáng)能光伏企業(yè)通威股份等。公司環(huán)保產(chǎn)業(yè)客戶下游涵蓋垃圾焚燒發(fā)電、輪胎、重工等多個(gè)行業(yè)。公司煙氣凈化系統(tǒng)下游應(yīng)用包括垃圾

焚燒發(fā)電、生物質(zhì)發(fā)電、固體危廢處理等行業(yè)，公司客戶包括無(wú)錫華星東方、上海環(huán)境衛(wèi)生工程設(shè)計(jì)院、上海

康恒環(huán)境等優(yōu)質(zhì)環(huán)?？萍计髽I(yè)與環(huán)境工程設(shè)計(jì)院，并已取得上海康恒環(huán)境重復(fù)訂單。2021

年

VOC事業(yè)部成立

后，公司正式進(jìn)入非泛半導(dǎo)體

VOCs減排領(lǐng)域，客戶涵蓋軌交涂裝、汽車(chē)制造、零部件等行業(yè)，已與神州輪胎、

三一重機(jī)等客戶開(kāi)展合作。1.4.2

下游領(lǐng)域+客戶資源持續(xù)開(kāi)拓，公司收入集中度不斷降低受光電顯示行業(yè)優(yōu)勢(shì)地位突出影響，公司前五大客戶合計(jì)收入占比較高。2017

至

2020

上半年間，公司對(duì)

前五大客戶銷售收入占比分別為

92.98%、82.10%、81.82%和

78.88%，占比較高但整體呈下降趨勢(shì)。公司收入

集中度較高主要系：泛半導(dǎo)體行業(yè)集中度較高，以光電顯示行業(yè)為例，前十名廠商占據(jù)了行業(yè)的絕大部分產(chǎn)能；

此外，泛半導(dǎo)體行業(yè)具有集團(tuán)化經(jīng)營(yíng)管理的特點(diǎn)，公司對(duì)同一集團(tuán)控制下的客戶集中度較高。公司下游行業(yè)特

性導(dǎo)致公司項(xiàng)目呈現(xiàn)數(shù)量少、單筆合同金額大、客戶相對(duì)集中的特點(diǎn)。積極拓展光電顯示外其他領(lǐng)域客戶，公司收入集中度有望降低。2017

年公司前五大客戶均來(lái)自光電顯示行

業(yè)及行業(yè)總承包商，伴隨公司客戶資源不斷拓展，2020

年上半年前五大客戶中

3

家來(lái)自光電顯示行業(yè)、1

家來(lái)

自集成電路行業(yè)、1

家來(lái)自環(huán)保業(yè)務(wù)行業(yè)，大客戶領(lǐng)域不斷豐富且分布更為均衡。公司不斷拓展泛半導(dǎo)體業(yè)務(wù)

新客戶及環(huán)保業(yè)務(wù)非泛半導(dǎo)體行業(yè)客戶，收入集中度有望進(jìn)一步下降。二、2016-2020年業(yè)績(jī)CAGR超40%，毛利率后來(lái)居上超行業(yè)平均2.1

營(yíng)收/凈利維持高速增長(zhǎng)，2016-2020

年

CAGR均超

40%從收入端看，2016-2020

年公司營(yíng)收大幅上升，由

2.12

億上升至

7.91

億，CAGR達(dá)

44.96%。2016-2018

年為收入快速增長(zhǎng)階段，主要系：一是國(guó)家關(guān)注環(huán)境保護(hù)與泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展雙重驅(qū)動(dòng)；二是江蘇盛劍生

產(chǎn)基地建成投產(chǎn)后公司產(chǎn)能快速提升；三是

L/S設(shè)備研制與濕電子化學(xué)品供應(yīng)與回收再生系統(tǒng)布局初見(jiàn)成效、

均獲得訂單；2019-2020

年?duì)I收增速回穩(wěn)，分別受系統(tǒng)項(xiàng)目交付驗(yàn)證周期跨期特點(diǎn)影響與疫情期間項(xiàng)目執(zhí)行、交

付驗(yàn)收進(jìn)度滯后影響。2021

年以來(lái)，公司收入重回高速增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)，前三季度公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)收

7.91

億，同比增長(zhǎng)

67.80%，主要系公司

L/S設(shè)備實(shí)現(xiàn)

12

寸產(chǎn)線交付、制程附屬設(shè)備出貨量創(chuàng)新高，濕電子化學(xué)品系統(tǒng)業(yè)務(wù)快速增

長(zhǎng)，交付長(zhǎng)沙惠科、南通深南項(xiàng)目。從利潤(rùn)端看，除

2017

年外公司利潤(rùn)均同比增長(zhǎng)，2016-2020

年

CAGR達(dá)

41.81%。公司整體利潤(rùn)與營(yíng)收保

持同向增長(zhǎng)，其中

2017

年?duì)I收快速上升而利潤(rùn)同比下降，系公司積極開(kāi)拓市場(chǎng)犧牲部分毛利，同時(shí)公司股權(quán)激

勵(lì)

0.25

億元計(jì)入管理費(fèi)用；2018

年公司歸母凈利潤(rùn)同比增長(zhǎng)

386.01%，增速快于營(yíng)收增速主要系公司業(yè)內(nèi)地位

逐漸穩(wěn)固后利潤(rùn)空間有所回升。2.2

廢氣治理系統(tǒng)+設(shè)備貢獻(xiàn)八成以上收入，集成電路/光電顯示占比均超四成2.2.1

分業(yè)務(wù)：廢氣治理系統(tǒng)+設(shè)備貢獻(xiàn)大部分收入，濕電子化學(xué)品系統(tǒng)占比持續(xù)提升營(yíng)業(yè)收入按產(chǎn)品類型拆分，可分為廢氣治理系統(tǒng)、廢氣治理設(shè)備、濕電子化學(xué)品供應(yīng)與回收再生系統(tǒng)與其

他主營(yíng)業(yè)務(wù)（主要系運(yùn)營(yíng)業(yè)務(wù)）四部分：1）廢氣治理系統(tǒng)：收入占比最高，占比持續(xù)超

50%。受益于泛半導(dǎo)

體行業(yè)產(chǎn)能持續(xù)擴(kuò)張與業(yè)務(wù)覆蓋領(lǐng)域逐步擴(kuò)展，2017-2020

年公司廢氣治理系統(tǒng)營(yíng)收持續(xù)上升、維持近

7

成占比，

2021H1

同比下降主要系廈門(mén)天馬第

6

代柔性

AMOLED項(xiàng)目規(guī)模大、工期長(zhǎng)影響；2）廢氣治理設(shè)備：收入占

比處于

22-32%區(qū)間，其中工藝排氣管道收入占比較大，單體治理設(shè)備收入快速上升。公司廢氣治理設(shè)備收入

除

2019

年外整體處于快速上升趨勢(shì)，2019

年下降主要系公司為支持單體治理設(shè)備快速發(fā)展將部分工藝排氣管道產(chǎn)能改造用于沸石轉(zhuǎn)輪、焚燒爐、VOC設(shè)備等單體治理設(shè)備生產(chǎn)，導(dǎo)致占較大比重的工藝排氣管道收入有所

下降；3）濕電子化學(xué)品供應(yīng)與回收再生系統(tǒng)：收入占比持續(xù)提升。該業(yè)務(wù)

2021

年上半年取得較大突破，營(yíng)收

實(shí)現(xiàn)

0.55

億元，超

2020

年該部分全年收入水平，公司實(shí)現(xiàn)

PGMEA組分在線回收再生并交付多個(gè)項(xiàng)目。其他

主營(yíng)業(yè)務(wù)主要系與客戶合作濕電子化學(xué)品供應(yīng)與回收再生系統(tǒng)項(xiàng)目運(yùn)營(yíng)業(yè)務(wù)，整體收入占比較小，但有助于與

客戶建立良好合作關(guān)系與積累后續(xù)業(yè)務(wù)發(fā)展經(jīng)驗(yàn)。2.2.2

分下游：泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)為最大下游，其中集成電路行業(yè)收入占比高速增長(zhǎng)營(yíng)業(yè)收入按照下游拆分，泛半導(dǎo)體行業(yè)占比超

80%，非泛半導(dǎo)體行業(yè)占比逐漸上升。2017、2018

年公司收

入基本全部來(lái)自泛半導(dǎo)體領(lǐng)域項(xiàng)目，2019

年起公司拓展垃圾焚燒發(fā)電等行業(yè)客戶初見(jiàn)成效，非泛半導(dǎo)體行業(yè)收

入占比持續(xù)上升，從

2019

年的

6.75%逐步上升至

2021

年上半年的

15.55%。泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)進(jìn)一步拆分，2021H1

集成電路與光電顯示行業(yè)收入占比均超

40%，其中集成電路行業(yè)已成

為最大下游領(lǐng)域。集成電路行業(yè)收入占比上升較快，2020H1

集成電路領(lǐng)域收入占比為

10.9%，2021H1

占比上

升至

43.4%，成為公司收入最大下游。2021H1

光電顯示行業(yè)收入占比為

40.7%，為公司業(yè)務(wù)第二大下游，整體

營(yíng)收占比呈下降趨勢(shì)，2020H1

公司僅前五大客戶中光電顯示行業(yè)客戶收入占比合計(jì)已達(dá)

66.4%。公司聚焦泛半

導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，立足光電顯示行業(yè)逐漸向集成電路領(lǐng)域發(fā)展，為公司傳統(tǒng)優(yōu)勢(shì)業(yè)務(wù)帶來(lái)新增長(zhǎng)點(diǎn)。2.3

毛利率處于行業(yè)領(lǐng)先水平，設(shè)備業(yè)務(wù)占比提升有望帶動(dòng)毛利率進(jìn)一步上行2.3.1

整體毛利率維持

25%以上水平，2018

年反超行業(yè)均值后持續(xù)領(lǐng)先行業(yè)地位逐漸建立+自產(chǎn)設(shè)備占比上升，公司毛利率整體實(shí)現(xiàn)增長(zhǎng)。2017-2021

年前三季度，公司毛利率分

別為

25.19%、29.14%、30.61%、27.82%、26.51%。2018

年毛利率上升主要系：公司江蘇盛劍生產(chǎn)基地投產(chǎn)后，

公司采用自產(chǎn)單體設(shè)備的比例和種類增加，采購(gòu)成本有所下降，且

2017

年公司于京東方第

6

代

AMOLED線等

項(xiàng)目取得了較多標(biāo)桿業(yè)績(jī)，業(yè)內(nèi)地位逐漸穩(wěn)固。2020

年毛利率下降主要系公司于部分廢氣治理系統(tǒng)業(yè)務(wù)采取競(jìng)

爭(zhēng)性報(bào)價(jià)，2021

年前三季度毛利率下降主要系原材料成本上升，預(yù)期伴隨原材料價(jià)格回穩(wěn)毛利率將有所回升。對(duì)比同行業(yè)上市公司，公司毛利率自

2018

年實(shí)現(xiàn)反超行業(yè)平均并保持領(lǐng)先水平。2017

年下游泛半導(dǎo)體行

業(yè)投資力度加大，公司所處行業(yè)快速擴(kuò)張，公司采取競(jìng)爭(zhēng)性報(bào)價(jià)以提升市場(chǎng)份額，毛利率相對(duì)承壓。2018

年公

司市場(chǎng)地位建立后毛利率實(shí)現(xiàn)反超，并于

2019

年進(jìn)一步加大領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)。2021

年前三季度公司毛利率小幅下降，

但仍領(lǐng)先行業(yè)平均水平。2.3.2

廢氣治理設(shè)備毛利率超

30%，目前系公司毛利空間最大產(chǎn)品毛利率分產(chǎn)品來(lái)看，目前廢氣治理設(shè)備＞廢氣治理系統(tǒng)＞濕電子化學(xué)品供應(yīng)與回收再生系統(tǒng)。1）廢氣治理

設(shè)備：公司廢氣治理設(shè)備毛利率長(zhǎng)期維持超

30%水平，2018

年受益下游需求快速增長(zhǎng)小幅上升、2019

年受原材

料價(jià)格上漲與市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)影響略有下降。公司廢氣治理設(shè)備主要生產(chǎn)方式為自產(chǎn)，且廢氣治理設(shè)備下游主要系泛

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、設(shè)備技術(shù)要求較高，因此廢氣治理設(shè)備毛利率長(zhǎng)期實(shí)現(xiàn)較高水平；2）廢氣治理系統(tǒng)：公司廢氣治

理系統(tǒng)毛利率

2018

年實(shí)現(xiàn)較大突破，由

2017

年

21.65%上升至

27.22%，后續(xù)維持較高水平并實(shí)現(xiàn)小幅上升。廢

氣治理系統(tǒng)

2018、2019

年毛利率上升主要系公司自產(chǎn)單體設(shè)備比例上升后采購(gòu)成本下降。2020

年公司在部分

項(xiàng)目采取更具競(jìng)爭(zhēng)力報(bào)價(jià)，導(dǎo)致毛利率略有下滑。預(yù)期伴隨公司行業(yè)地位建立，毛利率將維持近

30%水平。公司濕電子化學(xué)品供應(yīng)與回收再生系統(tǒng)收入占比較小，單個(gè)項(xiàng)目對(duì)毛利率影響較大，2019、2020

毛利率波

動(dòng)原因分別為公司采取競(jìng)爭(zhēng)性報(bào)價(jià)拓展新項(xiàng)目、承接已完成項(xiàng)目后續(xù)改擴(kuò)建工作毛利空間較好。公司其他主營(yíng)

業(yè)務(wù)主要系與客戶合作剝離液回收系統(tǒng)項(xiàng)目運(yùn)營(yíng)業(yè)務(wù)，公司該板塊業(yè)務(wù)處于發(fā)展初期、對(duì)公司有較大戰(zhàn)略意義，

毛利率較其他產(chǎn)品略低。廢氣治理設(shè)備拆分來(lái)看，工藝排氣管道毛利率小幅波動(dòng)、單體治理設(shè)備毛利率穩(wěn)步上升。1）工藝排氣管道：

2017

至

2020

年上半年工藝排氣管道毛利率維持超

30%水平，整體保持穩(wěn)定。2019

年小幅下降主要系不銹鋼采

購(gòu)價(jià)格上升原因。工藝排氣管道進(jìn)一步拆分可分為涂層風(fēng)管與非涂層風(fēng)管，分別占工藝排氣管道收入約為

70%、

30%，涂層風(fēng)管毛利率整體高于非涂層風(fēng)管。2019

年非涂層風(fēng)管毛利率波動(dòng)較大主要系公司為維護(hù)與客戶良好

關(guān)系與市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)地位降低售價(jià)；2）單體治理設(shè)備：2018

至

2020

年上半年，單體治理設(shè)備毛利率為

30.17%、37.61%、

39.76%，呈穩(wěn)步上升趨勢(shì)。公司單體設(shè)備主要產(chǎn)品為

L/S及

LOC-VOC，兩款設(shè)備均為泛半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理

核心組件，技術(shù)難度較高且競(jìng)爭(zhēng)者主要來(lái)自售價(jià)較高的國(guó)外供應(yīng)商，整體毛利空間較好，伴隨公司單體治理設(shè)

備業(yè)務(wù)發(fā)展、江蘇盛劍工廠產(chǎn)能利用率提升，L/S設(shè)備單位成本逐年下降、單體設(shè)備毛利率穩(wěn)步上升。2.4

研發(fā)費(fèi)用率穩(wěn)定維持

4-5%水平，整體領(lǐng)先行業(yè)平均公司研發(fā)費(fèi)用率維持

4-5%水平，整體領(lǐng)先行業(yè)平均。2017-2021

前三季度，公司研發(fā)費(fèi)用率分別為

4.62%、

4.51%、4.51%、4.15%、4.72%，研發(fā)投入占比持續(xù)保持穩(wěn)定。除

2020

年外公司整體研發(fā)費(fèi)用率持續(xù)領(lǐng)先行業(yè)

平均水平，展現(xiàn)公司配合戰(zhàn)略發(fā)展需要持續(xù)進(jìn)行研發(fā)投入、不斷提升核心競(jìng)爭(zhēng)力。三、受益半導(dǎo)體行業(yè)資本開(kāi)支上揚(yáng)，廢氣治理系統(tǒng)與設(shè)備持續(xù)高增3.1

工藝廢氣治理系統(tǒng)：泛半導(dǎo)體生產(chǎn)必要部分，直接受益下游資本開(kāi)支高增3.1.1

泛半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝大量產(chǎn)生工藝廢氣，廢氣治理系統(tǒng)為廠務(wù)建設(shè)必要組成部分工藝廢氣治理系統(tǒng)是泛半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)工藝必要組成部分。泛半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中大量使用濕電子化學(xué)

品和特殊氣體，生產(chǎn)環(huán)節(jié)持續(xù)酸性、堿性、有機(jī)、有毒和含塵廢氣等工藝廢氣。工藝廢氣需要與生產(chǎn)工藝同步

進(jìn)行收集、治理和排放，以光電顯示

AMOLED陣列工序主要流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)為例：廢氣治理系統(tǒng)安全穩(wěn)定性直接關(guān)系到泛半導(dǎo)體企業(yè)的產(chǎn)能利用率、產(chǎn)品良率、員工職業(yè)健康及生態(tài)環(huán)境。

泛半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝為高度自動(dòng)化連續(xù)工序，大部分環(huán)節(jié)對(duì)工藝設(shè)備的排氣壓力存在較高要求，廢氣治理系統(tǒng)故

障導(dǎo)致連續(xù)工序中斷將直接影響產(chǎn)線穩(wěn)定運(yùn)行，從而影響產(chǎn)能利用率。泛半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝精密度極高，如因工

藝廢氣治理系統(tǒng)故障導(dǎo)致負(fù)壓不穩(wěn)定或工藝排氣管道泄漏，致使?jié)崈羰覂?nèi)空氣環(huán)境改變，可能導(dǎo)致產(chǎn)品良率下

降乃至報(bào)廢。泛半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中產(chǎn)生的揮發(fā)性有機(jī)物及其光化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)物等對(duì)人體健康有直接危害，包括粘

膜刺激、炎癥、心肺疾病和癌癥等。泛半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝排放酸性、堿性、有機(jī)、有毒和含塵廢氣等，處理不當(dāng)

將對(duì)生態(tài)環(huán)境產(chǎn)生造成污染。3.1.2

行業(yè)空間：國(guó)內(nèi)集成電路高景氣+面板

OLED投資預(yù)期拉動(dòng)超

30

億廢氣治理系統(tǒng)需求2021

與

2022

年集成電路+面板顯示預(yù)期帶動(dòng)超

30

億廢氣治理系統(tǒng)需求。工藝廢氣治理系統(tǒng)為泛半導(dǎo)體生

產(chǎn)不可缺少的組成部分，市場(chǎng)規(guī)模與下游擴(kuò)張腳步緊密相連，預(yù)期

2021

年、2022

年集成電路與面板行業(yè)將帶

來(lái)

30-40

億廢氣治理系統(tǒng)市場(chǎng)空間。長(zhǎng)期來(lái)看，伴隨國(guó)內(nèi)集成電路行業(yè)持續(xù)發(fā)展與面板顯示資本開(kāi)支回升，有

望進(jìn)一步推動(dòng)工藝廢氣治理系統(tǒng)需求。集成電路：資本開(kāi)支持續(xù)上升，國(guó)內(nèi)廢氣治理系統(tǒng)空間預(yù)計(jì)可達(dá)

25-30

億元。2017

年起大陸晶圓廠資本開(kāi)

支進(jìn)入快速上升通道，根據(jù)

SEMI數(shù)據(jù)，2019

年大陸晶圓廠資本開(kāi)支超

1400

億人民幣，2020

年在高位呈小幅

上升趨勢(shì)。根據(jù)《電子工業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)（二次征求意見(jiàn)稿）》編制說(shuō)明，集成電路行業(yè)環(huán)保投資一般占總投

資比例不超過(guò)

5%，包括廢氣、廢水、固廢治理。按照廢氣治理占集成電路整體資本開(kāi)支

1.5%估算，大陸集成

電路行業(yè)廢氣治理系統(tǒng)需求超

20

億。晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)腳步延續(xù)，預(yù)期

2022、2023

年集成電路行業(yè)廢氣治理系統(tǒng)需

求將持續(xù)上升，達(dá)到

25-30

億。平板顯示：面板行業(yè)資本開(kāi)支收緊，國(guó)內(nèi)廢氣治理系統(tǒng)空間約

15

億元。

根據(jù)

DSCC統(tǒng)計(jì)，2021

年中國(guó)面

板設(shè)備支出約為

125

億美元。以面板設(shè)備支出占總投資額約

70%估算，對(duì)應(yīng)

2021

年國(guó)內(nèi)顯示行業(yè)資本開(kāi)支約為

1157

億人民幣。根據(jù)《電子工業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)（二次征求意見(jiàn)稿）》編制說(shuō)明，顯示行業(yè)環(huán)保投資一般占總

資本開(kāi)支

2.5-3%，其中廢氣處理投資占比最高，超過(guò)

1/3。以廢氣治理占顯示行業(yè)整體資本開(kāi)支

1-1.5%估算，

2021

年顯示行業(yè)廢氣治理資本開(kāi)支約為

12-17

億元。展望

2022、2023

年，京東方、華星光電等面板行業(yè)龍頭廠

商紛紛加碼

OLED建設(shè)。OLED顯示因自發(fā)光特點(diǎn)需要背板段工藝循環(huán)次數(shù)較

LCD增加，而背板段工藝為顯示

行業(yè)主要產(chǎn)污來(lái)源、循環(huán)次數(shù)增加將顯著增加工藝廢氣排放量。2022、2023

年雖面板行業(yè)投資收緊，OLED顯

示投資熱度下預(yù)期面板顯示行業(yè)廢氣治理系統(tǒng)需求仍將達(dá)到

10

億水平。3.1.3

競(jìng)爭(zhēng)格局：參與者以外資企業(yè)為主，公司為國(guó)內(nèi)光電顯示行業(yè)廢氣治理系統(tǒng)龍頭廢氣治理系統(tǒng)行業(yè)外資企業(yè)搶占先發(fā)優(yōu)勢(shì)，內(nèi)資企業(yè)除公司外多為小型供應(yīng)商。國(guó)際供應(yīng)商擁有先進(jìn)的技

術(shù)，與下游行業(yè)跨國(guó)企業(yè)合作關(guān)系良好，隨著下游行業(yè)發(fā)展將業(yè)務(wù)擴(kuò)展至中國(guó)內(nèi)地，在國(guó)內(nèi)泛半導(dǎo)體廢氣治理

起步初期優(yōu)勢(shì)顯著。國(guó)際泛半導(dǎo)體廢氣治理供應(yīng)商主要以

Verantis、天和、晃誼科技、日本康肯、華懋科技為

代表。國(guó)內(nèi)泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)起步晚于海外，對(duì)應(yīng)的工藝廢氣治理業(yè)務(wù)發(fā)展相對(duì)滯后。國(guó)內(nèi)大氣治理供應(yīng)商多專注

于煙氣與脫銷脫硫治理領(lǐng)域，下游多為電力、鋼鐵、垃圾焚燒發(fā)電等。泛半導(dǎo)體行業(yè)廢氣治理系統(tǒng)由于廢氣組

分復(fù)雜且危險(xiǎn)程度較高，定制化設(shè)計(jì)要求、穩(wěn)定性要求相較普通大氣治理有較高技術(shù)壁壘，國(guó)內(nèi)除公司外未有

聚焦泛半導(dǎo)體工藝廢氣治理大型供應(yīng)商。國(guó)內(nèi)其他供應(yīng)商以小型供應(yīng)商為主，業(yè)務(wù)范圍以通用治理設(shè)備的制造

銷售和安裝、配套工程服務(wù)中的勞務(wù)分包為主，無(wú)法為客戶提供系統(tǒng)解決方案。公司系國(guó)內(nèi)面板顯示領(lǐng)域廢氣治理系統(tǒng)重要供應(yīng)商。在

2009-2020

年國(guó)內(nèi)主要面板廠商產(chǎn)線投資中，公司

為絕大多數(shù)產(chǎn)線提供廢氣治理系統(tǒng)解決方案。公司參與

2012-2020

年京東方、華星光電、天馬微電子所有已開(kāi)

工產(chǎn)線廢氣治理系統(tǒng)建設(shè)，并為多個(gè)項(xiàng)目提供工藝排氣管道，在光電顯示行業(yè)廢氣治理領(lǐng)域占據(jù)重要地位。3.2

制程附屬設(shè)備：半導(dǎo)體行業(yè)空間約

50

億元，國(guó)產(chǎn)替代前景廣闊3.2.1

L/S設(shè)備實(shí)現(xiàn)源頭端工藝廢氣處理，有效保護(hù)主設(shè)備精度與工藝安全L/S設(shè)備（LocalScrubber）屬于泛半導(dǎo)體制程附屬設(shè)備，與主機(jī)臺(tái)相連，前置處理

CVD、ETCH、IMP、

DIEF、EPI等工藝機(jī)臺(tái)在制程中排出的含氟、氯、硅、氮、氫等元素為代表的劇毒、易燃易爆及溫室氣體等有

害氣體。經(jīng)

L/S設(shè)備處理的廢氣進(jìn)入后段有毒、酸堿等中央系統(tǒng)進(jìn)行二次處理，實(shí)現(xiàn)達(dá)標(biāo)排放。L/S設(shè)備預(yù)處理工藝廢氣將提升廢氣處理及時(shí)性，保護(hù)主設(shè)備精度與工藝安全。伴隨產(chǎn)品工藝提升，光刻、

刻蝕等主要產(chǎn)污環(huán)節(jié)步驟顯著增加，單位時(shí)間內(nèi)廢氣排放量上升。潔凈室內(nèi)廢氣處理不及時(shí)將對(duì)主設(shè)備精度造

成影響，L/S設(shè)備可通過(guò)預(yù)處理氟化物、氯化物等處理難度較大的氣體，實(shí)現(xiàn)及時(shí)響應(yīng)以有效保護(hù)核心設(shè)備。

同時(shí)，泛半導(dǎo)體制造工作區(qū)域離中央廢氣處理系統(tǒng)距離較遠(yuǎn)，廢氣輸送過(guò)程中可能因氣體特性導(dǎo)致氣體泄漏、局部聚積或相互反應(yīng)，嚴(yán)重者可引起火災(zāi)爆炸、停止生產(chǎn)等后果，前置處理可提升廢氣處理安全性。根據(jù)廢氣處理方式不同，L/S設(shè)備可分為燃燒式、等離子式、電加熱式及吸附式/干式。燃燒式、等離子式

為市場(chǎng)主流工藝，二者合計(jì)占比約

60-70%，其中等離子式與

ICP刻蝕契合度最佳。目前盛劍環(huán)境已具備四種主

要技術(shù)路徑的技術(shù)儲(chǔ)備與量產(chǎn)能力，其主打機(jī)型等離子式、燃燒式

L/S設(shè)備均已研制成功并交付。3.2.2

市場(chǎng)空間：內(nèi)資晶圓廠加速擴(kuò)產(chǎn)，預(yù)計(jì)

2021

年半導(dǎo)體

L/S設(shè)備市場(chǎng)約

50

億受益晶圓廠積極擴(kuò)產(chǎn)，預(yù)期

2021

年大陸晶圓廠

L/S設(shè)備市場(chǎng)需求將超

5000

臺(tái)。根據(jù)集微咨詢統(tǒng)計(jì)，預(yù)期

2021

年大陸主要晶圓廠新增

12

寸產(chǎn)能

21.2

萬(wàn)片/月、8

寸產(chǎn)能

16.6

萬(wàn)片/月，合計(jì)規(guī)劃產(chǎn)能

12

寸

155.4

萬(wàn)片/月、

8

寸

135.0

萬(wàn)片/月。以每新增萬(wàn)片

12

寸晶圓月產(chǎn)能對(duì)應(yīng)

L/S設(shè)備需求約

150

臺(tái)、新增萬(wàn)片

8

寸晶圓月產(chǎn)能對(duì)應(yīng)

L/S設(shè)備需求約

120

臺(tái)測(cè)算，預(yù)期

2021

年大陸晶圓廠

L/S設(shè)備需求

5172

臺(tái)。以晶圓廠合計(jì)規(guī)劃產(chǎn)能需要

2-3

年

建設(shè)周期看，以

2021

年為起點(diǎn)未來(lái)

2-3

年大陸晶圓廠

L/S設(shè)備需求將超

19000

臺(tái)。工藝進(jìn)步對(duì)

L/S設(shè)備提出更高要求，大陸晶圓廠建設(shè)推動(dòng)約

50

億設(shè)備需求。以國(guó)際廠商

BOCEdwards、

UNISEM、EBARA燃燒水洗式設(shè)備為例，單價(jià)約

300-483

萬(wàn)新臺(tái)幣，合

69-111

萬(wàn)人民幣，等離子式單價(jià)或?qū)⒏?/p>

高。以代表廠商設(shè)備均價(jià)

93

萬(wàn)元測(cè)算，預(yù)期

2021

年大陸晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)腳步下將為

L/S設(shè)備帶來(lái)約

48

億市場(chǎng)需求。

晶圓制造工藝中刻蝕、離子注入、薄膜沉積對(duì)

L/S設(shè)備需求最高，制程工藝不斷進(jìn)步下刻蝕步驟快速增加，單

位廢氣量上升將對(duì)

L/S設(shè)備有更高要求。長(zhǎng)期來(lái)看，大陸晶圓廠產(chǎn)能規(guī)劃+工藝進(jìn)步設(shè)備需求升高將為

L/S設(shè)備

帶來(lái)更大空間，未來(lái)

2-3

年市場(chǎng)需求有望超

180

億，國(guó)產(chǎn)替代趨勢(shì)下本土制造商發(fā)展空間廣闊。3.2.3

競(jìng)爭(zhēng)格局：L/S設(shè)備市場(chǎng)為海外企業(yè)主導(dǎo)，國(guó)產(chǎn)替代潛力巨大L/S設(shè)備市場(chǎng)由海外龍頭占據(jù)主導(dǎo)地位，本土廠商中標(biāo)率極低。L/S設(shè)備與泛半導(dǎo)體工藝設(shè)備配套，技術(shù)難

度較高，主要由外資壟斷。海外代表企業(yè)包括英國(guó)

Edwards、德國(guó)

DAS和日本康肯，本土

L/S設(shè)備供應(yīng)商包括

北京京儀、盛劍環(huán)境、盛奕半導(dǎo)體、中微惠創(chuàng)、沃飛科技。以

2015

至

2021

年國(guó)內(nèi)代表晶圓廠公開(kāi)采招標(biāo)數(shù)據(jù)