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南京理工大學(xué)半導(dǎo)體物理作業(yè)及答案模板南京理工大學(xué)半導(dǎo)體物理作業(yè)及答案模板40/40南京理工大學(xué)半導(dǎo)體物理作業(yè)及答案模板半導(dǎo)體物理學(xué)作業(yè)南京理工大學(xué)第O章半導(dǎo)體中的晶體構(gòu)造1、試述半導(dǎo)體的基本特色。答:①室溫電阻率約在10-3~106Ωcm,介于金屬和絕緣體之間。優(yōu)秀的金屬導(dǎo)體:10-6Ωcm;典型絕緣體:1012Ωcm。②負(fù)的電阻溫度系數(shù),即電阻一般隨溫度上漲而降落;金屬的電阻隨溫度上漲而上漲。③擁有較高的溫差電動勢率,并且溫差電動勢可為正或為負(fù);金屬的溫差電動勢率老是負(fù)的。④與適合金屬接觸或做成P-N結(jié)后,電流與電壓呈非線性關(guān)系,擁有整流效應(yīng)。⑤擁有光敏性,用適合的光照資料后電阻率會發(fā)生變化,產(chǎn)生光電導(dǎo);⑥半導(dǎo)體中存在電子和空穴(荷正電粒子)兩種載流子。⑦雜質(zhì)的存在對電阻率產(chǎn)生很大的影響。2、假定可以把假如晶體用相同的硬球堆成,試分別求出簡立方、體心立方、面心立方晶體和金剛石構(gòu)造的晶胞中硬球所占體積與晶胞體積之比的最大值。【解】簡立方構(gòu)造,每個晶胞中包括1個原子,原子半徑為a/2,34a比值為326a343a323體心立方構(gòu)造,每個晶胞中包括2個原子,原子半徑為3a/4,比值為34a3842a342面心立方構(gòu)造,每個晶胞包括4個原子,原子半徑為2a/4,比值為34a363843a3金剛石構(gòu)造,每個晶胞包括8個原子,原子半徑為3a/8,比值為38a3163、什么叫晶格缺點(diǎn)?試求Si肖特基缺點(diǎn)濃度與溫度的關(guān)系曲線?!窘狻吭趯嵸|(zhì)晶體中,因為各樣原由會使構(gòu)造的圓滿性被損壞,進(jìn)而損壞晶格周期性,這類晶格不圓滿性稱為晶格缺點(diǎn)。4、Si的原子密度為51022/cm3,空位形成能約為,試求在O、O和O2.8eV1400C900C25C三個溫度下的空位均衡濃度?!窘狻縉1Nexp(W/kBT1)51022exp2.81.6021019/1.38102316731.871014cm3N2Nexp(W/kBT2)51022exp2.81.6021019/1.38102311734.781010cm3N3Nexp(W/kBT3)51022exp2.81.6021019/1.3810232982.4410250cm35、在離子晶體中,因為電中性的要求,肖特基缺點(diǎn)老是成對產(chǎn)生,令Ns代表正負(fù)離子空位的對數(shù),Wv是產(chǎn)生1對缺點(diǎn)需要的能量,N是原有的正負(fù)離子的對數(shù),肖特基缺點(diǎn)公式為Ns/NCexpWV,求2kBT產(chǎn)生肖特基缺點(diǎn)后離子晶體密度的改變(2)在某溫度下,用X射線測定食鹽的離子間距,再由此時測定的密度計算的分子量為58.4300.016而用化學(xué)法測定的分子量是58.454,求此時Ns/N的數(shù)值?!窘狻吭O(shè)未產(chǎn)生肖特其缺點(diǎn)時離子晶體體積為V,則產(chǎn)生率肖特基缺點(diǎn)后體積為(1Ns/N)V,因此產(chǎn)生肖特基缺點(diǎn)后離子晶體密度降低到本來的

NNsN經(jīng)過X射線衍射測定的分子量不包括肖特基缺點(diǎn)的影響,經(jīng)過化學(xué)法測定的分子量會遇到肖特基缺點(diǎn)的影響,此時Ns58.45410.00041(1.37104~6.85104)。N58.430第一章半導(dǎo)體中的電子狀態(tài)1關(guān)于晶格常數(shù)為2.5×10-10m的一維晶格,當(dāng)外加電壓為102V/m和107V/m時,試分別計算電子從能帶底運(yùn)動到能帶頂時所需的時間。解:Fd(k)dtdtFdkT/aTdkdt00FqEaT1.05410343.148.31061.610192.51010EE(s)分別代入T1=8.3108s;T28.31013s2設(shè)晶格勢場對電子的作使勁為FL,電子遇到的外場力為Fe,試證明*Femnm0FeFL式中,m*n和m0分別為電子的有效質(zhì)量和慣性質(zhì)量。解:設(shè)V為電子的速度,則m0dVFeFLdt*dVmndtFemn*m0FeFeFL依據(jù)圖示的能量曲線的形狀,試回答以下問題請比較在波矢k0處,I、II、III能帶的電子有效質(zhì)量的大小關(guān)系,它們的符號分別是什么?(2)設(shè)I、II

為滿帶,III

為空帶,若

II帶的少許電子進(jìn)入

III帶,則在

II帶形成相同數(shù)目的空穴,那么

II帶中的空穴的有效質(zhì)量

m*p比

III

帶中的電子有效質(zhì)量

mn*大仍是小?【解】(1)電子的有效質(zhì)量mn*與d2E(k)成反比,在k0處,能帶III的曲率最大,因此電子有效dk2質(zhì)量最??;能帶I的曲率最小,因此電子有效質(zhì)量最大。能帶II的有效質(zhì)量為負(fù)數(shù)。(2)II帶的少許電子進(jìn)入III帶后,將占有其帶底周邊的狀態(tài);而少許空穴處于第II能帶的帶頂周邊的狀態(tài),空穴的有效質(zhì)量定義為電子的有效質(zhì)量的負(fù)值,有圖可知,d2E(k)d2E(k)dk2IIdk2III因此,II帶中的空穴有效質(zhì)量m*p大于III帶中的電子有效質(zhì)量mn*。題目:在量子力學(xué)中,晶體中電子的波函數(shù)可以表示為平面波的線性疊加kra(kKh)ei(kKh)reikra(kKh)eiKhrhh請用該式證明:kKn和k描繪的是同一電子狀態(tài)的,此中Kn是晶體的倒格矢。證明:固體物理知識可以知道,電子的波函數(shù)是無數(shù)組平面波的線性疊加,可以表示為:kreikra(kKh)eiKhrh此中:()(iKrr)hukakKhehu(r)u(rR)kknukKnl

(r)a(kKhKn)eiKhrha(kKl)ei(klKn)rkKn(r)ei(kKn)rukKn(r)eikra(kKl)eiklrk(r)l上式說明:kKn和k態(tài)實質(zhì)是同一電子態(tài)。同一電子態(tài)對應(yīng)同一個能量,因此又有:E(r)E(knK)5、題目:依據(jù)量子力學(xué)知道,晶體中電子的均勻運(yùn)動速度為vk(r)k(r)d3rim0式中k(r)為晶體中電子的布洛赫波函數(shù),k(r)為其共軛。請用薛定諤方程證明v1kE(k)證明:布洛赫波函數(shù)為k(r)uk(r)eikr將波矢空間梯度算符kkxijkkykz作用到布洛赫波函數(shù)上,可得kk(r)irk(r)eikrkuk(r)薛定諤方程為22k(r)U(r)k(r)E(k)k(r)2m0將算符k作用到薛定諤方程雙側(cè),得222irk(r)2eikrkuk(r)U(r)irk(r)U(r)eikrkuk(r)2m02m0irE(k)k(r)E(k)eikrkuk(r)k(r)kE(k)(1)(1)為薛定諤方程的右邊部分,將(1)用薛定諤方程的左邊部分取代,并進(jìn)行左右邊內(nèi)容的對換,可得22eikrkuk(r)U(r)eikrkuk(r)E(k)eikrkuk(r)2m022ir2k(r)U(r)k(r)2irk(r)U(r)irk(r)k(r)kE(k)因為2m02m0222irk(r)2m0(ir)k(r)k(r)kE(k)eikrkuk(r)也為布洛赫波函數(shù),因此22eikrkuk(r)U(r)eikrkuk(r)E(k)eikrkuk(r)02m0又因為(ir)2k(r)irk2eikruk(r)2rkeikruk(r)ireikr2uk(r)2irk(r)2keikruk(r)2ieikruk(r)irk2eikruk(r)2rkeikruk(r)ireikr2uk(r)而k(r)ikeikruk(r)eikruk(r)因此(ir)2k(r)2irk(r)2k(r)i因此222irk(r)2m0(ir)k(r)k(r)kE(k)2im0k(r)k(r)kE(k)0上式乘以k(r)并對晶體進(jìn)行積分k*(r)i2k(r)kE(k)d3r0k(r)m0因此1k*(r)k(r)kE(k)d3rik*(r)k(r)d3rm01k*(r)k(r)kE(k)d3r1kE(k)k*(r)k(r)d3r1kE(k)因此1vkE(k)6、已知一維晶體的電子能帶可寫成E(k)h2(7cos2ka1cos6ka)ma2880式中:a為晶格常數(shù)。試求:(1)能帶的寬度(2)電子的波矢k狀態(tài)時的速度(3)能帶底部和頂部電子的有效質(zhì)量【解】(1)由E(k)關(guān)系得dE2h2(3sin32ka1sin2ka)dkm0a4令dE=0得dk22ka1sin121因此cos2ka11212222coksa21求dEh(18s2ink2asikna2)dk2m02111d2E當(dāng)cos2ka2時,>0對應(yīng)E(k)極小值12dk21d2E112時,<0對應(yīng)E(k)極大值當(dāng)cos2kadk212求得Emin和Emax即可得能帶寬度1112代入得將cos2ka123EEmaxEmin2112h212m0a(2)v(k)1dEh(3sin32ka1sin2ka)hdkm0a4(3)能帶底和頂部電子有效質(zhì)量分別是1*1d2E4.18m0mn帶底2dk2h帶底1*1d2E4.18m0mn帶頂2dk2h帶頂7、設(shè)晶格常數(shù)為a的一維晶格,導(dǎo)帶極小值周邊能量Ec(k)和價帶極大值周邊能量Ev(k)分別為:E(k)h2k2+h2(kk1)2和E(k)h2k12-3h2k2;C3m0m0v6m0m0m0為電子慣性質(zhì)量,k1=1/2a;a=0.314nm。試求:①禁帶寬度;②導(dǎo)帶底電子有效質(zhì)量;③價帶頂電子有效質(zhì)量;④價帶頂電子躍遷到導(dǎo)帶底時準(zhǔn)動量的變化。[解]①禁帶寬度Eg依據(jù)dEc(k)=2h2k+2h2(kk1)=0;可求出對應(yīng)導(dǎo)帶能量極小值Emin的k值:dk3m0m03kmin=4k1,由題中EC式可得:Emin=EC(K)|k=kmin=hk12;4m0由題中EV式可看出,對應(yīng)價帶能量極大值Emax的k值為:kmax=0;并且Emin=EV(k)|k=kmax=h2k12;∴Eg=Emin-Emax=h2k12=h26m012m048m0a2=48(6.621027)21011=0.64eV9.11028(3.14108)21.6②導(dǎo)帶底電子有效質(zhì)量mnd2EC2h22h28h22d2EC3dk23m0m0;∴mn=h/2m03m0dk8③價帶頂電子有效質(zhì)量m’d2EV6h2'2d2EV1m0dk2,∴mnh/6m0dk2④準(zhǔn)動量的改變量h△k=h(kmin-kmax)=3hk13h48a[畢]第二章半導(dǎo)體中的雜質(zhì)和缺點(diǎn)能級1、半導(dǎo)體硅單晶的介電常數(shù)εr=11.8,電子和空穴的有效質(zhì)量各為mnl0.97m0,mnt0.19m0和mpl0.16m0,mpt0.53m0,利用類氫模型預(yù)計:(1)施主和受主電離能;(2)基態(tài)電子軌道半徑r1;(3)相鄰雜質(zhì)原子的電子軌道顯然交迭時,施主和受主濃度各為什么值?【解】(1)利用下式求得m*n和m*p。11(11)1(12)3.849mn*3mnlmnt3m00.980.19m011(11)1(12)10m*p3mplmpt3m00.160.533m0因此,施主和受主雜質(zhì)電離能各為Edmn*E0113.60.025(eV)m023.8492r11.8EAm*pE0313.60.029(eV)2102m0r11.8(2)基態(tài)軌道半徑各為r1,prm0rB1/m*p11.8100.53/32.08109mr1,nrm0rB1/mn*11.83.8490.532.41109m式中,rB1是玻爾半徑。4(3)設(shè)每個施主雜質(zhì)的作用范圍為r3,即相當(dāng)于施主雜質(zhì)濃度為1,nND343109)31.71025/m31.71019/cm34r1,3n(2.4同理NA4343109)32.651025/m32.561019/cm3r3(2.081,p當(dāng)施主和受主雜質(zhì)濃度分別超出以上兩個值時,相鄰雜質(zhì)原子的電子軌道(波函數(shù))將明顯的交迭。雜質(zhì)電子有可能在雜質(zhì)原子之間作共有化運(yùn)動,造成雜質(zhì)帶導(dǎo)電。第三章半導(dǎo)體中載流子的統(tǒng)計散布221、關(guān)于二維方格子,若電子能量可以表示為E(k)kx2ky2,試求狀態(tài)密度。2mx2mykx2ky2解:能量為E的等能面方程可以寫成2mE(k)2mxy22這是一個橢圓,其面積為abE2mx2my2Emxmy222用其面積乘以狀態(tài)密度2S就是橢圓內(nèi)所包括的狀態(tài):2SabESmxmyZ(E)22(2)Z(E)表示能量在E以下狀態(tài)的數(shù)目,假如能量增添dE,則Z(E)增添dZ(E),dZ(E)就是能量E到E+dE之間的狀態(tài)數(shù)。對上式求微分即得,單位能量間隔內(nèi)的狀態(tài)數(shù),即狀態(tài)密度為:dZ(E)Smxmyg(E)

2dE2、有一硅樣品,施主濃度為Nd21014/cm3,受主濃度為NA1014/cm3,已知施主電離能EDECED0.05eV,試求99%的施主雜質(zhì)電離時的溫度。解:令ND表示電離施主的濃度,則電中性方程為n0NAp0ND略去價帶空穴的貢獻(xiàn),則得n0NDNA(受主雜質(zhì)所有電離)n0NcexpECEFk0TNc5.63對硅資料1015T2由題意可知ND0.99ND,則0.99NDNA5.63ECEF(1)1015T2expk0T當(dāng)施主有99%的電離時,說明只有1%的施主有電子占有,即f(ED)0.01。f(ED)10.0111expEDEF2k0TEDEF198expk0T因此EFEDk0Tln198,代入式(1)得0.99NDNA5.61015T2expECEDk0Tln1983k0T取對數(shù)并加以整理即獲得以下方程:579T3lnT1.212依據(jù)例4中供給的方法的算得T=101.8(K)2、現(xiàn)有3塊半導(dǎo)體硅資料,已知再室溫下(300K)它們的空穴濃度分別為p012.251016/cm3,p021.51010/cm3,p032.25104/cm3。(1)分別計算這3塊資料的電子濃度n01,n02,n03;(2)鑒別這3塊資料的導(dǎo)電種類;(3)分別計算這3塊資料的費(fèi)米能級的地點(diǎn)。解:(1)設(shè)室溫是硅的Eg1.12,103。依據(jù)載流子濃度乘積公式n0p02可eVni1.510/cmni求出n0ni2p021.510102n01ni1104/cm32.251016p0121021.510n02ni1.51010/cm31.51010p0221021.510n03ni11016/cm32.25104p03(2)因為p01n01,即2.2510161104/cm3,故第一塊為p型半導(dǎo)體。因為p02n02,即nin01p011.51010/cm3,故第一塊為本征型半導(dǎo)體。因為p03n03,即2.2510411016/cm3,故第一塊為n型半導(dǎo)體。(3)當(dāng)T=300K時,k0T0.026eV由p0niexpEiEFk0T得EiEFk0Tlnp0ni對3塊資料的費(fèi)米能級地點(diǎn)分別計算以下。①EiEF0.026ln2.2510160.02614.20.37eV1.51010即p型半導(dǎo)體的費(fèi)米能級再禁帶中線下0.37eV處。②因為n0p02in1.5103210c/m因此EiEF0即費(fèi)米能級位于禁帶中心地點(diǎn)。③對n型資料有n0EFEiniexpk0T因此EFEkTlnn00.026ln10160.02613.40.35eVi0ni1.51010即關(guān)于n型資料,費(fèi)米能級在禁帶中心線上0.35eV處。3、在一摻硼的非簡并p型硅中,含有必定的濃度銦,室溫下測出空穴濃度p01.11016/cm3。已知摻硼濃度NA11016/cm3,其電離能EA1EA1EV0.045eV,銦的電離能EA2EA2EV0.16eV,試求這類半導(dǎo)體中含銦的濃度。室溫下硅的NV1.041019/cm3。解:對非簡并p型硅p0EFEVNvexpk0TEFEVk0TlnNVp0代入數(shù)據(jù)EFEV0.026ln1.0410191.11016故EFEV0.178()eV由題中已知條件可得EFEA10.1780.0450eV.133( )EFEA20.1780.130.018(eV)價帶空穴p0是由兩種雜質(zhì)電離后供給的,即NA1NA2p012expEA2EF12expEA1EFk0Tk0T因此NA2p0NA112expEA2EF1EA1EFk0T2expk0T帶入已知數(shù)據(jù)求得NA22.31015/cm3,即半導(dǎo)體中含銦的濃度約為2.31015/cm3。4、證明:方法一:方法二:

n0niexpEFEi,p0niexpEiEFKBTKBTn0NCexp(ECEF)KBTECEiEiEF)NCexp(KBT)exp(KBTEFEi)niexp(KBTp0NVexp(EFEV)KBTNVexp(EiEVEFEi)KBT)exp(KBTEiEF)niexp(KBTn0NCexp(ECEF)KBT1EcEV)exp(EF1EC1EV1(NCNV)2exp(22)(NV)22KBTKBTNCEF1EC11NV1EVKBTlnNC)(NCNV)2exp(EcEV)exp(2222KBTKBTniEFEi)exp(KBTEiEF由npn2可得:p0nieKBT00i方法三:由n0NCexp(ECEF)niNCexp(ECEiEiEF)KBTniKBTECEi)NCEiEF)niexp(niexp(TKBTKB證得NCexp(EiEF)1亦可。niKBT其余方法:亦可利用33NCmdnKBT22mdpKBT2,22,NV222E1(EE)3mdp1EcEV,niNCNV2exp()。2KTlnKBTiCV4Bmdn可得1EcEV)niNCNV2exp(n0niniKBTp0NVexp(EFEV)KBTNC1EFEVEg2ni()expKBTNVmdn34EFEV1(ECEV)ni)exp2(KTmdpBEFEV1(mdn3(ECEV)ni)4exp2mdpKBTmdn34EF1(ECEV)ni)exp2(KBTmdpEFEi3mdp3KBTln(mdn4mdnni)4expmdpKBTniexpEFEiKBT3、若費(fèi)米能級EF4.7eV,利用費(fèi)米能級函數(shù)計算在什么溫度下電子占有能級EF5.2eV的幾率為5%,并計算該溫度下電子散布幾率為0.9~0.1所對應(yīng)的能量地區(qū)。解:由費(fèi)米散布函數(shù)f(E)1expEEF1k0T得:TEEF1k0ln1f(E)因為:k08.614105eVK1帶入得:TEEF5.24.7K1971.3K151k0ln8.61410ln110.05f(E)由費(fèi)米散布函數(shù)得:E1EFk0Tln11f(E)4.78.6141051971.3ln110.94.70.373eV4.337eVE2EFk0Tln11f(E)4.78.6141051971.3ln110.14.70.373eV5.073eV因此能量區(qū)間為:4.33eV<E<5.07eV,EE2E10.743eV4、對混雜了某種受主雜質(zhì)的p型Si,在77K時費(fèi)米能級處于價帶頂和受主能級的正中間,求此受主雜質(zhì)的濃度。解:由p型半導(dǎo)體可知電中性條件為:p0n0nA77K在本征激發(fā)可以忽視的溫度范圍內(nèi),上式寫為p0nA故有p0nA,即EFEVNANVeKBTEAEF1gAeKBTEAEF溫度低時電離受主雜質(zhì)很少,此時NAn,geKBT1,上式可以寫為:AAEFEVEAEFNeKBTNAeKBTVgAEFEAEVKBTlnNAKBT2gANV要使EFEAEV,則NAgANVKBT3室溫下NV1.061019cm3,因為NV2mdpKBT222773因此NAgDNV41.06101925.51018cm33005、證明賠償型n型半導(dǎo)體中,在雜質(zhì)電離區(qū),以下關(guān)系建立EDn0(n0NA)NCeKBTNDNAn0gD證明:賠償性n型半導(dǎo)體中存在施主雜質(zhì)和受主雜質(zhì)且NDNA,在受主雜質(zhì)可以忽視的溫度范圍內(nèi),受主雜質(zhì)所有電離,p0n0,這是電中性條件可寫為:n0NApD將pDNDEFED代入得1gDeKBTEFEDND1gDeKBTn0NAEFEDNDn0NAgDeKBTn0NAegDn0egD

EFEDn0NAKBTNDn0NAEFED(n0NA)n0KBTNDn0NAECEF將nNCeKBT代入,得0ECEFEFEDECEDEC(n0NA)n0NCeKBTeKBTNCeKBTNCeKBTNDn0NAgDgDgD得證。6、①在室溫下,鍺的有效狀態(tài)密度Nc=1.05×1019cm-3,Nv=5.7×1018cm-3,試求鍺的載流子有效質(zhì)量mn*和mp*。計算77k時的Nc和Nv。已知300k時,Eg=0.67eV。77k時Eg=0.76eV。求這兩個溫度時鍺的本征載流子濃度。②77k,鍺的電子濃度為1017cm-3,假定濃度為零,而Ec-ED=0.01eV,求鍺中施主濃度ND為多少?[解]①室溫下,T=300k(27℃),k0=1.380×10-23J/K,h=6.625×10-34J·S,關(guān)于鍺:Nc=1.05×1019cm-3,Nv=5.7×1018cm-3:﹟求300k時的Nc和Nv:依據(jù)(3-18)式:3Nc21.05101922)3342)3Nc2(2mn*k0T)2*h(2(6.62510)(25.09681031Kg根h3mn2k0T23.141.381023300據(jù)(3-23)式:32182h2(Nv)3(6.6251034)2(5.710)32(2m*pk0T)2*31Nvmp223.3917310Kg﹟求h32k0T23.141.38102330077k時的Nc和Nv:3Nc'2(2mn*k0T')2232323h3T')'T'Nc(771.0510191.3651019Nc3(;Nc())2(2mn*k0T)2TT300h3同理:Nv'(T')23Nv(77)235.710187.411017T300﹟求300k時的ni:1Eg0.67)n(NcNv)2exp()(1.0510195.71018)exp(1.961013i2k0T0.052求77k時的ni:1Eg0.761.61019ni(NcNv)2exp(19181.094107②)(1.05105.710)exp(21.381023)2k0T7777k時,由(3-46)式獲得:Ec-ED=0.01eV=0.01×1.6×10-19;T=77k;k0=1.38×10-23;n0=1017;Nc=1.365×1019cm-3;[n0exp(EcED)]22[1017exp(0.011.610-19)]22ND2k0T=21.38102377=6.61016;19Nc1.36510[畢]7、利用題7所給的Nc和Nv數(shù)值及Eg=0.67eV,求溫度為300k和500k時,含施主濃度ND=5×1015cm-3,受主濃度NA=2×109cm-3的鍺中電子及空穴濃度為多少?[解]1)T=300k時,關(guān)于鍺:ND=5×1015cm-3,NA=2×109cm-3:1Egni(NcNv)2exp()1.961013cm3;2k0Tn0NDNA51015210951015;n0ni;p0ni2(1.961013)27.71010;n0510152)T=300k時:Eg(500)Eg(0)T20.74374.77410450025002350.58132eV;T查圖3-7(P61)可得:ni2.21016,屬于過渡區(qū),1n0(NDNA)[(NDNA)24ni2]21016;22.464p0ni21.9641016。n0(本題中,也可以用其余的方法獲得ni:(Nc)300k3(Nv)300k31Egi)'5002'5002;ni(NcNv)2exp(Nc3;Nv3)求得n300230022k0T[畢]、若鍺中雜質(zhì)電離能△ED=0.01eV,施主雜質(zhì)濃度分別為ND=1014-3及1017-3,計算8cmcm(1)99%電離,(2)90%電離,(3)50%電離時溫度各為多少?[解]未電離雜質(zhì)占的百分比為:2NDEDED=lnD_Nc;D_expk0T2NDNck0T求得:ED0.01k0T1.3810

231.61019116;32(2mn*k0)231015(T23)Nch32/cm33∴116lnD_Ncln(D_21015T2)ln(1015D_T2)T2ND2NDND(1)ND=1014cm-3,99%電離,即D_=1-99%=0.0111633ln(101T2)lnT2.3T2即:1163lnT2.32將ND=1017cm-3,D_=0.01代入得:11633ln104T2lnT4ln10T2即:1163lnT9.2290%時,D_=0.1ND143ED0.1Nc10cmk0Tln2ND116ln0.1210153ln10143T2T2T2NDND即:1163lnTT2ND=1017cm-3得:1163lnT3ln10T2即:1163lnT6.9;250%電離不可以再用上式∵nDNDnD2即:NDND1exp(EDEF)EDEF)112exp(2k0Tk0T∴exp(EDEF)4exp(EDEF)k0Tk0TEDEFln4EDEFk0Tk0T即:EFEDk0Tln2n0Ncexp(EcEF)NDk0T2取對數(shù)后得:ECEDk0Tln2NDk0Tln2Nc整理得下式:EDln2lnND∴EDlnNDk0T2Nck0TNc即:EDlnNck0TND當(dāng)ND=1014cm-3時,3311621015T23ln(20T2)TlnlnTln2010142得1163lnT3T2當(dāng)ND=1017cm-3時1163lnT3.9T2此對數(shù)方程可用圖解法或迭代法解出。[畢]9、計算含有施主雜質(zhì)濃度ND=9×1015cm-3及受主雜質(zhì)濃度為1.1×1016cm-3的硅在300k時的電子和空穴濃度以及費(fèi)米能級的地點(diǎn)。[解]關(guān)于硅資料:ND=9×1015cm-3;NA=1.1×1016cm-3;T=300k時ni=1.5×1010cm-3:p0NAND21015cm3;n0ni(1.51010)2cm31.12553p00.21610cm10∵p0NAND且p0Nvexp(EVEF)K0T∴NANDexp(EVEF)Nvk0T∴EFEvNANDEv0.026ln0.21016k0TlnNv1.11019(eV)Ev0.224eV[畢]10、摻磷的n型硅,已知磷的電離能為0.04eV,求室溫下雜質(zhì)一般電離時費(fèi)米能級的地點(diǎn)和磷的濃度。[解]型硅,△ED=0.044eV,依題意得:n0nD0.5ND∴ND0.5NDEDEF)12exp(k0T∴12exp(EDEF)2exp(EDEF)1k0Tk0T2∴EDEFk0Tln1k0Tln2EDECECEFk0Tln22∵EDECED0.044∴EFECk0Tln20.044EFECk0Tln20.0440.062eVNDECEF)22.819exp(0.0625.16183)[畢]2NCexp(k0T10)10(cm0.026、求室溫下?lián)戒R的n型硅,使EF=(EC+ED)/2時的銻的濃度。已知銻的電離能為。110.039eV[解]由EFECED可知,EF>ED,∵EF標(biāo)記電子的填補(bǔ)水平,故ED上幾乎全被電子占有,2又∵在室溫下,故此n型Si應(yīng)為高混雜,并且已經(jīng)簡并了?!逧DECED0.039eVECEFECECED0.01950.0522k0T2即0ECEF2;故此n型Si應(yīng)為弱簡并狀況。k0T∴n0nDNDND2exp(EFED)1ED)12exp(k0Tk0TND2Nc[12exp(EFED)]F1(EFEC)k0T2k0T2Nc2exp(EFEcED)]EFEC)[1k0T)exp(F1(∴k0T2k0T2Nc[12exp(0.0195)exp(0.039)]F1(0.0195)0.0260.02620.02622.810192exp(0.0195F1(0.0195193)[1)])6.610(cm0.02620.026此中F1(0.75)0.4[畢]212、制造晶體管一般是在高雜質(zhì)濃度的n型襯底上外延一層n型的外延層,再在外延層中擴(kuò)散硼、磷而成。①設(shè)n型硅單晶襯底是摻銻的,銻的電離能為0.039eV,300k時的EF位于導(dǎo)帶底下邊0.026eV處,計算銻的濃度和導(dǎo)帶中電子濃度。[解]①依據(jù)第19題討論,此時Ti為高混雜,未圓滿電離:0ECEF0.0260.0522k0T,即此時為弱簡并∵n0nDND2exp(EFED)1k0TEFED(ECED)(ECEF)0.0390.0260.013(eV)ND2Nc[12exp(EFEc)exp(ED)]F1(EFEC)k0Tk0T2k0T22.810191)0.039)]F1(1)[12exp(exp(0.02624.071019(cm3)此中F1(1)0.322EFEC)22.810190.026193)[畢]n0NcF1(F1(0.026)9.510(cm2k0T2第四章半導(dǎo)體的輸運(yùn)特色1、在室溫下,本征Ge的電阻率為47cm。試求:本征載流子的濃度,若摻入銻雜質(zhì)使每106個鍺原子中有一個雜質(zhì)原子;2)計算室溫下電子濃度和空穴濃度。設(shè)雜質(zhì)所有電離,鍺原子的濃度為4.41022cm3;3)試求該雜質(zhì)鍺資料的電阻率。(設(shè)un3600cm23600cm2,且不隨雜質(zhì)變化。),VVsuns解:(1)本征半導(dǎo)體的表達(dá)式為:1up)niq(unni1q(unup)471.60210193600117002.513110cm3施主雜質(zhì)原子的濃度為ND4.422106161104.410cm3因為雜質(zhì)所有電離,故n0ND4.4161cm31022.5132因此p0ni101.42101014.41016cm3n0其電阻率為14.4161.602191n10103600niqun3.94120cm2、(1)試說明在室溫下。某半導(dǎo)體的電子濃度nniupu時,其電導(dǎo)率為最小值,式中nin是實質(zhì)載流子濃度,up,un分別是空穴和電子的遷徙率,試求上邊條件的空穴濃度;(2)當(dāng)ni2.5101313,up1900cm2,un3800cm2時試求鍺的本征半導(dǎo)率cmVsVs和最小電導(dǎo)率;(3)試問n0和p0(除了n0p0ni之外)為什么值時,該晶體的半導(dǎo)率等于本征半導(dǎo)率。解:(1)n0qunp0qup和ni2p0n0得nquni2qu0npn0則dni2dn0qunn02qup為求得極小值,令d0,得n0niupdn0un22n2qup0又2i3n0n0當(dāng)nnup時電導(dǎo)率取最小值,此時空穴濃度為:0iunp0ni2ni2niunn0upupniun(2)本征硅的電導(dǎo)率為:niq(unu)p2.5131910(19003800)101.6022.28120s(cm/)在最小電導(dǎo)率條件下:minn0qunp0qupniupqunniunqupunupniq(upunupun)2niqupun代入數(shù)值得,131019190038002min22.5101.6022.1510(s/cm)(3)當(dāng)資料的半導(dǎo)率等于本征半導(dǎo)率,有2nn0quniqupniq(unup)整理得:n02unn0ni(unup)ni2up0ni(unup)ni2(unup)24ni2unup解得:n02un2(38001900)(38001900)438001900ni23800ni5700190023800ni314n0ni311131n0ni42ni1.2510cm3ni22.510132131p0n01.251013510cm33、在半導(dǎo)體資猜中,摻入施主雜質(zhì)濃度ND1014/cm3,受主雜質(zhì)濃度為NA71013/cm3;設(shè)室溫下本征鍺資料的電阻率i60cm,假定電子和空穴的遷徙率分別為n3800cm2/Vs,p1800cm2/Vs,若流過樣品的電流密度為52.3mA/cm2,求所加電場強(qiáng)度。解:先求得本征載流子濃度niiq(np)1601.61019380018001.861013/cm3電中性條件得:p0NDn0NA又有n0p0ni2聯(lián)立得n02(NAND)n0ni20解得n0(NAND)(NAND)24ni2221010101334.783.891013/cm322p0ni2(1.861013)2123n03.8910138.8910/cm樣品的電導(dǎo)率為:niq(nn)1.61019(3.89101338008.8910121800)2.62102S/cm因此電場強(qiáng)度為EJ52.3mA/cm22.62102S/cm1.996103mA/cm即E1.996V/cm。4、300K時,Ge的本征電阻率為47Ω·cm,如電子和空穴遷徙率分別為3900cm2/V·S和1900cm2/V·S,試求本征Ge的載流子濃度。[解]=3900cm2·,μp=1900cm2·T=300K,ρ=47Ω·cm,μn/VS/VS111133niq(np)niq(np)471.6021019(39001900)2.2910cm[畢]5、試計算本征Si在室溫時的電導(dǎo)率,設(shè)電子和空穴遷徙率分別為1350cm2/V·S和500cm2/V·S。當(dāng)摻入百萬分之一的As后,設(shè)雜質(zhì)所有電離,試計算其電導(dǎo)率。比本征Si的電導(dǎo)率增大了多少倍?[解]T=300K,,μn=1350cm2/V·S,μp=500cm2/V·Sniq(np)1.510101.60210-19(1350500)4.4510-6s/cm摻入As濃度為ND=5.00×1022×-6=5.00×1016-310cm雜質(zhì)所有電離,ND289頁,圖4-14可查此時μn=900cm2·ni,查P/VSnqn510161.610-19=29007.2S/cm27.261.62106[畢]4.45106、摻有1.1×1016cm-3硼原子和9×1015cm-3磷原子的Si樣品,試計算室溫時多半載流子和少數(shù)載流子濃度及樣品的電阻率。[解]NA=1.1×1016cm-3,ND=9×1015cm-3p0NAND21015cm3ni21.510105cm3n0215=1.12510p010可查圖4-15獲得7Ω·cm(依據(jù)NAND21016cm3,查圖4-14得,此后計算可得。)[畢]7、施主濃度分別為1013和1017cm-3的兩個Si樣品,設(shè)雜質(zhì)所有電離,分別計算:①室溫時的電導(dǎo)率。[解]1=1013cm-3,T=300K,n1n1qn10131.610191350s/cm2.16103s/cm2=1017-3時,查圖可得n800cmncm1n1qn10131.61019800s/cm12.8s/cm[畢]8、求電阻率為0.25cm的p型InSb的電子和空穴濃度。已知:n7500cm2/Vs,p750cm2/Vs,ni1.61016/cm3。解:由1p)niq(np0n0ni2聯(lián)立得:2n0ni2p0n0qnn14n22q2pb24acin02q22n故次方程無解。若能求得n0,可由p0ni2求得p0。n09、什么叫熱導(dǎo)率?試述熱導(dǎo)率的形成原由。解:當(dāng)物體中存在溫度梯度時,熱能將由高溫部分向低溫部分傳達(dá)。熱流密度正比于溫度梯度。即WrT,比率系數(shù)成為熱導(dǎo)率,單位為W/m·K。熱導(dǎo)率決定于導(dǎo)熱物體自己的性質(zhì),負(fù)號表示熱流是沿溫度降低的方向。形成原由:金屬含有濃度很高的自由電子,金屬導(dǎo)熱主要經(jīng)過電子的運(yùn)動來進(jìn)行。半導(dǎo)體的導(dǎo)熱平常是晶格熱導(dǎo)占主要地位,但在載流子濃度很高的半導(dǎo)體中,晶格熱導(dǎo)和載流子熱導(dǎo)則都要考慮。在絕緣體中,載流子數(shù)目極小,主要依靠晶格熱導(dǎo)。10、何謂賽貝克效應(yīng)?試述賽貝克效應(yīng)的形成原由。解:將兩種不一樣樣的資料(金屬或半導(dǎo)體)連結(jié),當(dāng)資料A和B的兩個接觸點(diǎn)之間存在溫度差⊿T(T=T0+⊿T)時,此間就會電動勢,這類效應(yīng)稱為賽貝克效應(yīng)。以p型半導(dǎo)體為例說明賽貝克效應(yīng)的形成原由:因為高溫端得空穴擁有較高的均勻動能,因此空穴便從高溫端向低溫端擴(kuò)散,在開路狀況下,樣品兩頭形成空間電荷,進(jìn)而在半導(dǎo)體內(nèi)部形成方向由低溫端指向高溫端的電場,在電場的作用下,空穴漂移流和擴(kuò)散流方向相反,在互相抵消達(dá)穩(wěn)準(zhǔn)時,兩頭形成的電勢差就是由溫度梯度惹起的溫差電動勢。關(guān)于型半導(dǎo)體資料,溫差電場的方向則相反,有高溫端指向低溫端。11、以金屬與n型半導(dǎo)體為例,說明產(chǎn)生帕爾貼效應(yīng)的機(jī)理。解:假定金屬和半導(dǎo)體的費(fèi)米能級相同,接觸后能帶以以下圖。當(dāng)電子由金屬向半導(dǎo)體運(yùn)動時,遇到的勢壘高度為ECEF。因此電子最少汲取ECEF的能量才能進(jìn)入到半導(dǎo)體。進(jìn)入半導(dǎo)體后,電子要在半導(dǎo)體中流動還需要必定的能量,若電子從半導(dǎo)體進(jìn)入金屬時,需要放出相同的能量。第五章節(jié)余載流子及其復(fù)合1、節(jié)余載流子節(jié)余載流子濃度節(jié)余載流子:半導(dǎo)體資料處于非均衡狀態(tài),相應(yīng)的導(dǎo)帶電子和價帶空穴成為非均衡載流子。節(jié)余載流子濃度:為了與熱均衡載流子相差別,分別用n和p表示導(dǎo)帶電子和價帶空穴濃度,同時定義:△n=n-n0,△p=p-p0

為非均衡載流子濃度。2、某

p型半導(dǎo)體混雜濃度

NA

1016

/cm3,少子壽命

n

10s,在均勻光的照耀下產(chǎn)生非均衡載流子,其產(chǎn)生率

g

1018/cm3

s。試計算室溫下,光照下的費(fèi)米能級并和本來無光照時的費(fèi)米能級比較。設(shè)本征載流子濃度為:ni1010/cm3。解:(1)無光照時,空穴濃度為p0NA16cm/3niEiEF10expKBT解得EFEiKBTlnNAni1.382330016Ei10101.6021019ln1010Ei0.35eV即費(fèi)米能級在禁帶中線下0.35eV(2)堅固光照后,產(chǎn)生的非均衡載流子為npgn1018101061013/cm3pp0p101610131016/cm3nn0ni2n10413133n1010/cmp0EEpp0niexpiFKBTEiEFpKBTlnpni1.381023300ln10161.602101910100.35eVEnEnniexpFiKBTEFnEiKBTlnn1.381023300ln1013ni1.602101910100.18eV上邊兩式說明:EFp在Ei之下0.36eV,湊近于無光照時的費(fèi)米能級;EFn在Ei之上0.18eV。進(jìn)而說明,關(guān)于p型半導(dǎo)體EFp湊近于價帶,EFn湊近于導(dǎo)帶。、摻施主雜質(zhì)的ND=1015-3n型硅,因為光的照耀產(chǎn)生了非均衡載流子Δn=Δp=1014-3。3cmcm試計算這類狀況下準(zhǔn)費(fèi)米能級的地點(diǎn),并和本來的費(fèi)米能級做比較。[解]n-Si,ND=1015cm-3,Δn=Δp=1014cm-3,n0NCexp(ECEF)k0TEFEck0Tlnn0Ec1015eVEc0.266eV0.026ln1019Nc2.8光照后的半導(dǎo)體處于非均衡狀態(tài):nn0nNCexp(ECEFn)k0TEFnEck0Tlnn0nEc0.026ln10151014eVEc0.264eVNc2.81910EFnEF0.002eVppNVexp(EvEFp)k0TEFpEvk0TlnpEv0.026ln1014eVEv0.302eVNv1.11019室溫下,EgSi=1.12eV;EFEc0.266eVEgEv0.266eV1.12eVEv0.266eVEv0.854eVEFEFp0.552eV比較:因為光照的影響,非均衡多子的準(zhǔn)費(fèi)米能級EFn與本來的費(fèi)米能級EF比較較偏離不多,而非均衡勺子的費(fèi)米能級EFp與本來的費(fèi)米能級EF比較較偏離很大。4、一塊電阻率為3Ω·cm的n型硅樣品,空穴壽命p5s,再其平面形的表面處有堅固的空穴注入,節(jié)余空穴濃度

(p)0

1013cm

3,計算從這個表面擴(kuò)散進(jìn)入半導(dǎo)體內(nèi)部的空穴電流密度,以及在離表面多遠(yuǎn)處節(jié)余空穴濃度等于

1012cm-3?[解]

3cm;

p

5s,(p)0

1013cm

3:由3cm查圖4-15可得:ND1.751015cm3,又查圖4-14可得:pcm2/VS500由愛因斯坦關(guān)系式可得:Dpk0T1500cm2/Scm2/Sqp12.540DpqDp(p)0exp(x)所求(Jp)擴(kuò)=qp(x)DpDpLppp而LpDpp12.5510-6cm7.9057103cm(Jp)擴(kuò)=1.6101912.51013exp(x103)A/cm27.90577.90572.53103exp(126.5x)A/cm2p(x)(p)0exp(126.5)x1lnp(x)1ln1012cm1(2.3)cm0.0182cm126.5(p)0126.51013126.5[畢]4、有一半導(dǎo)體樣品,它的空穴濃度以以下圖:1)求無外加電場的空穴電流密度Jp(x)的表達(dá)式,并畫出曲線;2)設(shè)空穴密度以以下圖,若使凈空穴電流為零,試求所需內(nèi)電場的表達(dá)式,并畫出曲線;(3)若p(0)/p0103,求x=1和x=w之間的電位差。解:(1)由圖中曲線可得空穴濃度p(x)的表達(dá)式以下:p0p(0)xp(0)kxp(0)當(dāng)0<x<W時,p(x)Wp0p(0)此中kW當(dāng)x>W時,p(x)0因此在此只要討論0<x<W的狀況。因為擴(kuò)散形成的空穴電流密度為JpqDpdpqDpkqDpp0p(0)dxW(2)外加電場E(x)后,在0<x<W范圍內(nèi),當(dāng)空穴電

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