ISO10110系列標準課件

ISO10110簡介1.ISO10110簡介1.ISO10110系列標準包含內(nèi)容ISO10110-1：概述ISO10110-2：光學材料缺陷應力雙折射ISO10110-3：光學材料缺陷氣泡與雜質ISO10110-4：光學材料缺陷非均勻性與條紋ISO10110-5：面形偏差ISO10110-6：中心偏差ISO10110-7：表面缺陷偏差ISO10110-8：表面微觀輪廓ISO10110-9：表面處理和鍍膜ISO10110-10：元件技術要求的格式ISO10110-11：非公差數(shù)據(jù)ISO10110-12：非球面ISO10110-13：激光輻射破壞閾值2.ISO10110系列標準包含內(nèi)容ISO10110-1：概述表面缺陷的標注方法：一般表面缺陷用5/N×A表示，編號“5”是表面缺陷的代碼，允許缺陷程度用N×A。N為允許最大缺陷的數(shù)量，A為最大允許缺陷面積的平方根。鍍膜污點（可以從一般表面缺陷中分出）用CN'×A'表示，C是鍍膜污點的代碼。長劃痕（與鍍膜污點相似，可以從一般表面缺陷中分出）用LN''×A''表示，L是長劃痕的代碼。N”是允許長劃痕的數(shù)量，A”說明了劃痕的最大允許寬度。崩邊用EA”’表示，E是邊緣崩邊的代號，A”’表示元件表面的邊緣延伸的最大崩邊量

注意：鍍膜污點和長劃痕如果圖紙未專門給出，則所有缺陷都必須計算到一般缺陷中。ISO10110-7表面缺陷偏差3.表面缺陷的標注方法：ISO10110-7表面缺陷偏差3.ISO10110-7表面缺陷偏差5/3×0.63,C2×1.6;L2×0.01;E1.0

5/表面缺陷的數(shù)字代碼3缺陷允許的個數(shù)0.63表面缺陷的尺寸等級數(shù)C表示鍍膜污點2鍍膜污點的允許數(shù)量1.6鍍膜污點的尺寸等級數(shù)L表示長劃痕2長劃痕的允許數(shù)量0.01長劃痕的尺寸等級數(shù)E表示崩邊1.0崩邊深度的等級數(shù)4.ISO10110-7表面缺陷偏差5/3×0.63,C2×對于劃痕:A為對于點子:A為R如:要求5/3×0.063缺陷全部為點子時允許最大尺寸點子為R=0.063/=0.063/1.77=0.036則點子直徑為0.072我們實際作業(yè)中可以讓=2則點子直徑直接為0.063如果缺陷是劃痕假如我們觀察到的劃痕寬度為0.04，則允許的長度為L=(0.063×0.063)/0.04=0.0992mm如果我們觀察到劃痕長度為0.5mm,則允許劃痕寬度為(0.063×0.063)/0.5=0.0079mmISO10110-7表面缺陷偏差5.對于劃痕:A為ISO10110-7表面缺陷偏差5.ISO10110-7表面缺陷偏差換算：換算系指較大級數(shù)的表面缺陷允許用若干個較小級數(shù)的表面缺陷來代替，其面積之和不超過原級數(shù)的表面缺陷面積。（注意換算后結果應化為整數(shù)）表面缺陷級數(shù)與缺陷個數(shù)換算系數(shù)表6.ISO10110-7表面缺陷偏差換算：換算系指較大級數(shù)的表ISO10110-7表面缺陷偏差

缺陷換算系數(shù)12.56.316級數(shù)A0.006

0.0100.0060.0160.0100.0060.0250.0160.0100.0060.0400.0250.0160.0100.0630.0400.0250.0160.100.0630.0400.0250.160.100.0630.0400.250.160.100.0630.400.250.160.100.630.400.250.161.00.630.400.251.61.00.630.402.51.61.00.634.02.51.61.07.ISO10110-7表面缺陷偏差

缺陷換算系數(shù)12.56.ISO10110-7表面缺陷偏差指標要求5/3×0.063。也就是要求級數(shù)為0.063（缺陷面積的平方根為0.063）的缺陷3個。全部換算：若用換算系數(shù)1，則3×1=3，允許3個表面缺陷，它們的級數(shù)A=0.063。若用換算系數(shù)2.5，則3×2.5=7.5，取整數(shù)為7，允許7個表面缺陷，從表中可查出相應級數(shù)A=0.04。即可換算為級數(shù)A=0.04的7個表面缺陷。部分換算：如將其中一個表面缺陷進行換算，面其余兩個缺陷保留原級數(shù)。若用換算系數(shù)6.3，則1×6.3=6.3，取整數(shù)為6，允許6個表面缺陷，從表中可查出相應級數(shù)A=0.025。即可換算為級數(shù)A=0.025的6個表面缺陷和級數(shù)為A=0.063的2個表面缺陷。8.ISO10110-7表面缺陷偏差指標要求5/3×0.063密集:密集的表面缺陷是不允許的。密集就是發(fā)現(xiàn)任意5%的測試區(qū)域有超過20%的允許的缺陷存在。如果總的表面缺陷數(shù)是小于10，有2個或更多的表面缺陷落在5%的分區(qū)內(nèi)，則稱為密集缺陷。ISO10110-7表面缺陷偏差產(chǎn)品單面為直徑為20mm的園則在任意直徑為1mm的園不允許9.密集:密集的表面缺陷是不允許的。密集就是發(fā)現(xiàn)任意5%的測不計算:當決定允許表面缺陷的數(shù)量時，不應計算等級為0.16A或更小的缺陷.有長劃痕要求時，劃痕寬度小于0.3A”的不應計算.ISO10110-7表面缺陷偏差如指標要求5/3×0.063則不應計算等級為0.16×0.063=0.010或比0.010級數(shù)更小的缺陷。

缺陷換算系數(shù)12.56.316級數(shù)A0.006

0.0100.0060.0160.0100.0060.0250.0160.0100.0060.0400.0250.0160.0100.0630.0400.0250.01610.不計算:當決定允許表面缺陷的數(shù)量時，不應計算等級為0.16面形偏差面形精度:光學表面幾何形狀的準確程度面形偏差是光學零件的被檢測光學表面與參考表面的偏差.參考表面可以是樣板,也可以是干涉參考表面，或者其他有足夠精度的測量裝置。光學零件的面形精度可以通過垂直位置觀察到的干涉條紋的數(shù)量、形狀、顏色及其變化來確定。光學零件的拋光質量包括:光學表面疵病和表面幾何形狀11.面形偏差面形精度:光學表面幾何形狀的準確程度光學零件的拋光面形偏差光學樣板檢驗原理：當光學零件的被檢表面和樣板的工作表面（參考表面）相接觸時，由于兩者的面形不一致，產(chǎn)生一定的空氣隙，當波長為λ的光射到空氣隙上，便形成等厚干涉條紋。從等厚干涉知道，相鄰兩亮條紋之間的空氣隙厚度差近似為λ/2，即通常所說的一個干涉條紋（光圈）相當于空氣隙厚度變化為λ/2。因此光圈數(shù)為N部位所對應的空氣隙厚度變化為N*λ/2。12.面形偏差光學樣板檢驗原理：12.面形偏差因為曲率半徑偏差的方向不同，樣板與被檢表面的接觸部位也不同，由此而產(chǎn)生的光圈分為兩在類。低光圈：表示樣板與被檢表面在邊緣部位接觸.對于凸球面,則表示曲率半徑大于樣板;對于凹球面,則表示曲率半徑小于樣板,對于平面,則表示平面變?yōu)榘记蛎?高光圈:表示樣板與被檢表面在中間部位接觸.對于凸球面,則表示曲率半徑小于樣板;對于凹球面,則表示曲率半徑大于樣板,對于平面,則表示平面變?yōu)橥骨蛎?3.面形偏差因為曲率半徑偏差的方向不同，樣板與被檢表面的接觸部面形偏差高低光圈的判斷11.周邊加壓法：低光圈：當空氣隙減小時，條紋從邊緣向中心移動。邊緣先有光圈高光圈：當空氣隙減小時，條紋從中心向邊緣移動。中心先有光圈14.面形偏差高低光圈的判斷114.面形偏差高低光圈的判斷22.色序法當光圈數(shù)N>1時，白光照明。低光圈：從中心到邊緣光圈的顔色序列為“藍、紅、黃”高光圈：從中心到邊緣光圈的顔色序列為“黃、紅、藍”注意觀察紅條紋前面是藍還是黃高光圈15.面形偏差高低光圈的判斷2高光圈15.面形偏差高低光圈的判斷32.一側加壓法當光圈數(shù)N<1。低光圈：條紋彎曲的凹向背著加壓點A。高光圈：條紋彎曲的凹向朝著加壓點A。16.面形偏差高低光圈的判斷316.17.17.18.18.面形偏差光圈數(shù)N與光源波長λ的關系國家標準規(guī)定光圈數(shù)N0的參考波長λ0=546.1nm,生產(chǎn)中若采用其他波長λ的單色光檢驗,得到非標準光圈數(shù)Nλ，,則標準光圈數(shù)N0和非標準光圈Nλ的關系如下：此式即為光圈數(shù)N與光源波長λ的關系。19.面形偏差光圈數(shù)N與光源波長λ的關系此式即為光圈數(shù)N與光源波面形偏差局部偏差的判斷1:當一側加壓時:中心低:條紋中心部位的彎曲凹向背著加壓點A.中心高:條紋中心部位的彎曲凹向朝著加壓點A.20.面形偏差局部偏差的判斷1:20.面形偏差局部偏差的判斷2:當一側加壓時:塌邊:條紋邊緣部位塌向加壓點A.翹邊:條紋邊緣部位翹離加壓點A.21.面形偏差局部偏差的判斷2:21.國家標準面形偏差包括三項,標注為:N,△1N,

△2NN為光圈數(shù),△1N為象散偏差,△2N為局部偏差面形偏差ISO10110-5面形偏差標注為如下所示的三種形式之一：3/A(B/C)，或3/A(B/C)RMSx<D（此處x代表字母t、i或a），或3/-RMSx<D（此處x代表字母t、i或a）。式中編號“3”是面形偏差的代碼。A為弧矢差,B為不規(guī)則度,C為旋轉對稱不規(guī)則度RMSt均方根總偏差,RMSi均方根不規(guī)則度RMSa均方根不對稱性當檢測區(qū)域比全部有效通光面小時，檢測區(qū)域的直徑需要添加到公差標注中，如下所示：3/A(B1C),RMSx<D(全部φ…)短劃線(-)表示沒有明確給出該項偏差的要求如3/-(1/0.5)22.國家標準面形偏差包括三項,標注為:面形偏差ISO10110面形偏差A為弧矢差：是被測光學表面的曲率半徑與參考表面曲率半徑之差。此指標對應Zygo設備測試中的SAG。B為不規(guī)則度:是標稱球面（檢測面）偏離球面的量度。此指標對應Zygo設備測試中的IRR。C為旋轉對稱不規(guī)則度：表面是旋轉對稱的，但卻不是想要的形狀，即存在旋轉對稱不規(guī)則度。此指標對應Zygo設備測試中的RSI。RMSt均方根總偏差：為被測光學表面與標稱理論球面之間的均方根偏差。RMSi均方根不規(guī)則度：被測光學表面與擬合球面之間的均方根偏差。RMSa均方根不對稱性：為被測光學表面與擬合非球面之間的均方根偏差。光圈數(shù)N:被檢光學表面的曲率半徑對于參考光學表面曲率半徑的偏差稱半徑偏差,此偏差所對應的光圈數(shù)用N表示.象散偏差△1N

:被檢光學表面與參考光學表面在二個相互垂直方向上產(chǎn)生的光圈數(shù)不等所對應的偏差.此偏差所對應的光圈數(shù)用△1N表示.局部偏差△2N

:被檢光學表面與參考光學表面在任一方向上產(chǎn)生的干涉條紋的局部不規(guī)則度稱局部偏差.此偏差所對應的光圈數(shù)用△2N表示23.面形偏差A為弧矢差：是被測光學表面的曲率半徑與參考表面曲率面形偏差光圈數(shù)N的計算當光圈數(shù)N≥1時以有效檢驗范圍內(nèi)直徑方向最多條紋數(shù)的一半來度量.24.面形偏差光圈數(shù)N的計算24.25.25.面形偏差光圈數(shù)N的計算當光圈數(shù)N<1時單色光照明時,以通過直徑方向上干涉條紋的彎曲量h相對條紋的間距H的比值來度量N=h/H=ad/ae26.面形偏差光圈數(shù)N的計算26.27.27.面形偏差象散偏差的度量象散偏差光圈數(shù)△1N是以兩個垂直方向上光圈數(shù)N的最大代數(shù)差的絕對值來度量.橢圓形象散光圈數(shù):被檢表面在X-X和Y-Y方向上的光圈數(shù)Nx和Ny不等,偏差方向相同.Nx=-2,Ny=-3,則△1N=│Nx-Ny│=1馬鞍形象散光圈數(shù):被檢表面在X-X和Y-Y方向上的光圈數(shù)Nx和Ny不等,偏差方向相反.Nx=-1,Ny=+2,則△1N=│Nx-Ny│=328.面形偏差象散偏差的度量橢圓形象散光圈數(shù):被檢表面在X-X和面形偏差N<1的象散光圈29.面形偏差N<1的象散光圈29.面形偏差局部偏差的度量局部偏差光圈數(shù)△2N以局部不規(guī)則干涉條紋對理想平滑干涉條紋的偏離量（e）與相鄰條紋間距（H）的比值來度量30.面形偏差局部偏差的度量30.面形偏差如果中心和邊緣都有局部偏差的取大值。31.面形偏差如果中心和邊緣都有局部偏差的取大值。31.ISO10110-5弧矢差A計算橢圓形條紋弧矢差=(3+1）/2=2雙曲線形條紋弧矢差=（2.5-1.5）/2=0.5ISO10110-5面形偏差32.ISO10110-5弧矢差A計算橢圓形條紋弧矢差ISO10110-5

面形偏差

弧矢差A計算需要樣板從兩個方向進行兩次的條紋觀察.如果兩次在兩種情況下，條紋都向條紋曲率中心移動或都遠離條紋曲率中心移動，則弧矢差大于不規(guī)則性.如果兩次中其一組條紋向條紋曲率中心移動而其他條紋圖遠離條紋曲率中心移動，那么不規(guī)則性大于弧矢差

弧矢差弧矢差33.ISO10110-5

面形偏差弧矢差A計算如果兩次中其一組ISO10110-5面形偏差不規(guī)則度B計算橢圓形條紋不規(guī)則度=│m-m’│=(3-1）=2雙曲線形條紋不規(guī)則度=│m+m’│(2.5+1.5）=434.ISO10110-5面形偏差不規(guī)則度B計算橢圓形條紋不規(guī)則ISO10110-5面形偏差不規(guī)則度B計算需要樣板從兩個方向進行兩次的條紋觀察.如果兩次在兩種情況下，條紋都向條紋曲率中心移動或都遠離條紋曲率中心移動，則弧矢差大于不規(guī)則性.如果兩次中其一組條紋向條紋曲率中心移動而其他條紋圖遠離條紋曲率中心移動，那么不規(guī)則性大于弧矢差

不規(guī)則度=│m-m’│不規(guī)則度=│m+m’│35.ISO10110-5面形偏差不規(guī)則度B計算如果兩次中其一組ISO10110-5面形偏差旋轉對稱不規(guī)則度C計算等于通過直徑方向上干涉條紋的偏差量與條紋距之比36.ISO10110-5面形偏差旋轉對稱不規(guī)則度C計算36.ISO10110-8表面微觀輪廓表面微觀輪廓鏡面質量有三種描述方式：1.均方根表面粗糙度Rq2.表面上存在的微小缺陷的密度3.功率譜密度（PSD）特性37.ISO10110-8表面微觀輪廓表面微觀輪廓鏡面質量有三ISO10110-8表面微觀輪廓粗磨表面粗糙度的表達方式如圖所示圖中G表示未經(jīng)拋光的表面。圖中Rq的單位為um。圖中例子所示指標要求為Rq=2um，取樣長度為5mm。圖中P是微小缺陷要求參見下表的〈微小缺陷的拋光等級說明〉。圖中例子的指標要求為在10mm掃描范圍內(nèi)的微小缺陷數(shù)量<16，在0.002mm到1mm的取樣長度內(nèi)Rq需要≤0.002μm。拋光表面（包括鍍膜面）粗糙度的表達方式如圖38.ISO10110-8表面微觀輪廓粗磨表面粗糙度的表達方式ISO10110-8表面微觀輪廓微小缺陷的拋光等級說明拋光等級名稱 對應10mm取樣范圍內(nèi)所允許的微小缺陷數(shù)量NP不需要對微小缺陷進行量化，只要保證是拋光面P180≤N＜400P216≤N＜80P33≤N＜16P4N＜3微小缺陷：鏡面上的較小的且無規(guī)律（一般尺寸小于1μm）的缺陷一般情況下，在經(jīng)過不完全拋光后會由于不當?shù)牟僮骱臀廴疚锒诒砻嫔蠚埩粝录毼⒌陌枷莶糠?，稱之為微小缺陷。微小缺陷都需要密切注意，因為將可能會引起較大的光束散射。該種缺陷被認為是相當均勻地分布在表面上的。39.ISO10110-8表面微觀輪廓微小缺陷的拋光等級說明拋ISO10110-8表面微觀輪廓PSD特性規(guī)范說明：PSD特性是在單位長度的倒數(shù)基礎上所測量出來的表面粗糙度的頻率譜線PSD=注意這理A是常數(shù)，單位是μm3—B；f是表面粗糙度的空間頻率（單位是μm—1）；B是空間頻率對應的功率；對于大部分實際表面來說，1＜B＜3。D是被測樣品的取樣長度，C是測量儀器在其表面上所能夠測量出的最短的橫向距離（C和D單位都是mm）40.ISO10110-8表面微觀輪廓PSD特性規(guī)范說明：PS

條款

描述

材料材料的型號、名稱和鑒定（論證）號

nν

適當?shù)恼凵渎屎桶⒇悢?shù)（和公差精度），參考ISO7944

R

如果需要的話，提供帶公差精度的曲率半徑曲率的方向定義如下：凸面：CX凹面：CC光學有效直徑保護性倒角

作為保護性倒角所能夠允許的最大和最小的寬度

表面處理以及鍍膜面，請參考ISO文件10110—9

0/

應力雙折射公差精度，請參考ISO文件10110—2

1/

可允許的內(nèi)部氣泡和包裹，請參考ISO文件10110—3

2/

生長條紋的等級及不均勻性，請參考ISO文件10110—4

3/

面形公差精度，請參考ISO文件10110—5

4/

定中心公差精度，請參考ISO文件10110—6

5/

非完整表面的公差精度，請參考ISO文件10110—7

6/

激光損傷閾值，請參考ISO文件10110—13（如果適用）

如果需要的話可以適當添加“待定”的字樣41.條款此課件下載可自行編輯修改，此課件供參考！部分內(nèi)容來源于網(wǎng)絡，如有侵權請與我聯(lián)系刪除！此課件下載可自行編輯修改，此課件供參考！ISO10110簡介43.ISO10110簡介1.ISO10110系列標準包含內(nèi)容ISO10110-1：概述ISO10110-2：光學材料缺陷應力雙折射ISO10110-3：光學材料缺陷氣泡與雜質ISO10110-4：光學材料缺陷非均勻性與條紋ISO10110-5：面形偏差ISO10110-6：中心偏差ISO10110-7：表面缺陷偏差ISO10110-8：表面微觀輪廓ISO10110-9：表面處理和鍍膜ISO10110-10：元件技術要求的格式ISO10110-11：非公差數(shù)據(jù)ISO10110-12：非球面ISO10110-13：激光輻射破壞閾值44.ISO10110系列標準包含內(nèi)容ISO10110-1：概述表面缺陷的標注方法：一般表面缺陷用5/N×A表示，編號“5”是表面缺陷的代碼，允許缺陷程度用N×A。N為允許最大缺陷的數(shù)量，A為最大允許缺陷面積的平方根。鍍膜污點（可以從一般表面缺陷中分出）用CN'×A'表示，C是鍍膜污點的代碼。長劃痕（與鍍膜污點相似，可以從一般表面缺陷中分出）用LN''×A''表示，L是長劃痕的代碼。N”是允許長劃痕的數(shù)量，A”說明了劃痕的最大允許寬度。崩邊用EA”’表示，E是邊緣崩邊的代號，A”’表示元件表面的邊緣延伸的最大崩邊量

注意：鍍膜污點和長劃痕如果圖紙未專門給出，則所有缺陷都必須計算到一般缺陷中。ISO10110-7表面缺陷偏差45.表面缺陷的標注方法：ISO10110-7表面缺陷偏差3.ISO10110-7表面缺陷偏差5/3×0.63,C2×1.6;L2×0.01;E1.0

5/表面缺陷的數(shù)字代碼3缺陷允許的個數(shù)0.63表面缺陷的尺寸等級數(shù)C表示鍍膜污點2鍍膜污點的允許數(shù)量1.6鍍膜污點的尺寸等級數(shù)L表示長劃痕2長劃痕的允許數(shù)量0.01長劃痕的尺寸等級數(shù)E表示崩邊1.0崩邊深度的等級數(shù)46.ISO10110-7表面缺陷偏差5/3×0.63,C2×對于劃痕:A為對于點子:A為R如:要求5/3×0.063缺陷全部為點子時允許最大尺寸點子為R=0.063/=0.063/1.77=0.036則點子直徑為0.072我們實際作業(yè)中可以讓=2則點子直徑直接為0.063如果缺陷是劃痕假如我們觀察到的劃痕寬度為0.04，則允許的長度為L=(0.063×0.063)/0.04=0.0992mm如果我們觀察到劃痕長度為0.5mm,則允許劃痕寬度為(0.063×0.063)/0.5=0.0079mmISO10110-7表面缺陷偏差47.對于劃痕:A為ISO10110-7表面缺陷偏差5.ISO10110-7表面缺陷偏差換算：換算系指較大級數(shù)的表面缺陷允許用若干個較小級數(shù)的表面缺陷來代替，其面積之和不超過原級數(shù)的表面缺陷面積。（注意換算后結果應化為整數(shù)）表面缺陷級數(shù)與缺陷個數(shù)換算系數(shù)表48.ISO10110-7表面缺陷偏差換算：換算系指較大級數(shù)的表ISO10110-7表面缺陷偏差

缺陷換算系數(shù)12.56.316級數(shù)A0.006

0.0100.0060.0160.0100.0060.0250.0160.0100.0060.0400.0250.0160.0100.0630.0400.0250.0160.100.0630.0400.0250.160.100.0630.0400.250.160.100.0630.400.250.160.100.630.400.250.161.00.630.400.251.61.00.630.402.51.61.00.634.02.51.61.049.ISO10110-7表面缺陷偏差

缺陷換算系數(shù)12.56.ISO10110-7表面缺陷偏差指標要求5/3×0.063。也就是要求級數(shù)為0.063（缺陷面積的平方根為0.063）的缺陷3個。全部換算：若用換算系數(shù)1，則3×1=3，允許3個表面缺陷，它們的級數(shù)A=0.063。若用換算系數(shù)2.5，則3×2.5=7.5，取整數(shù)為7，允許7個表面缺陷，從表中可查出相應級數(shù)A=0.04。即可換算為級數(shù)A=0.04的7個表面缺陷。部分換算：如將其中一個表面缺陷進行換算，面其余兩個缺陷保留原級數(shù)。若用換算系數(shù)6.3，則1×6.3=6.3，取整數(shù)為6，允許6個表面缺陷，從表中可查出相應級數(shù)A=0.025。即可換算為級數(shù)A=0.025的6個表面缺陷和級數(shù)為A=0.063的2個表面缺陷。50.ISO10110-7表面缺陷偏差指標要求5/3×0.063密集:密集的表面缺陷是不允許的。密集就是發(fā)現(xiàn)任意5%的測試區(qū)域有超過20%的允許的缺陷存在。如果總的表面缺陷數(shù)是小于10，有2個或更多的表面缺陷落在5%的分區(qū)內(nèi)，則稱為密集缺陷。ISO10110-7表面缺陷偏差產(chǎn)品單面為直徑為20mm的園則在任意直徑為1mm的園不允許51.密集:密集的表面缺陷是不允許的。密集就是發(fā)現(xiàn)任意5%的測不計算:當決定允許表面缺陷的數(shù)量時，不應計算等級為0.16A或更小的缺陷.有長劃痕要求時，劃痕寬度小于0.3A”的不應計算.ISO10110-7表面缺陷偏差如指標要求5/3×0.063則不應計算等級為0.16×0.063=0.010或比0.010級數(shù)更小的缺陷。

缺陷換算系數(shù)12.56.316級數(shù)A0.006

0.0100.0060.0160.0100.0060.0250.0160.0100.0060.0400.0250.0160.0100.0630.0400.0250.01652.不計算:當決定允許表面缺陷的數(shù)量時，不應計算等級為0.16面形偏差面形精度:光學表面幾何形狀的準確程度面形偏差是光學零件的被檢測光學表面與參考表面的偏差.參考表面可以是樣板,也可以是干涉參考表面，或者其他有足夠精度的測量裝置。光學零件的面形精度可以通過垂直位置觀察到的干涉條紋的數(shù)量、形狀、顏色及其變化來確定。光學零件的拋光質量包括:光學表面疵病和表面幾何形狀53.面形偏差面形精度:光學表面幾何形狀的準確程度光學零件的拋光面形偏差光學樣板檢驗原理：當光學零件的被檢表面和樣板的工作表面（參考表面）相接觸時，由于兩者的面形不一致，產(chǎn)生一定的空氣隙，當波長為λ的光射到空氣隙上，便形成等厚干涉條紋。從等厚干涉知道，相鄰兩亮條紋之間的空氣隙厚度差近似為λ/2，即通常所說的一個干涉條紋（光圈）相當于空氣隙厚度變化為λ/2。因此光圈數(shù)為N部位所對應的空氣隙厚度變化為N*λ/2。54.面形偏差光學樣板檢驗原理：12.面形偏差因為曲率半徑偏差的方向不同，樣板與被檢表面的接觸部位也不同，由此而產(chǎn)生的光圈分為兩在類。低光圈：表示樣板與被檢表面在邊緣部位接觸.對于凸球面,則表示曲率半徑大于樣板;對于凹球面,則表示曲率半徑小于樣板,對于平面,則表示平面變?yōu)榘记蛎?高光圈:表示樣板與被檢表面在中間部位接觸.對于凸球面,則表示曲率半徑小于樣板;對于凹球面,則表示曲率半徑大于樣板,對于平面,則表示平面變?yōu)橥骨蛎?5.面形偏差因為曲率半徑偏差的方向不同，樣板與被檢表面的接觸部面形偏差高低光圈的判斷11.周邊加壓法：低光圈：當空氣隙減小時，條紋從邊緣向中心移動。邊緣先有光圈高光圈：當空氣隙減小時，條紋從中心向邊緣移動。中心先有光圈56.面形偏差高低光圈的判斷114.面形偏差高低光圈的判斷22.色序法當光圈數(shù)N>1時，白光照明。低光圈：從中心到邊緣光圈的顔色序列為“藍、紅、黃”高光圈：從中心到邊緣光圈的顔色序列為“黃、紅、藍”注意觀察紅條紋前面是藍還是黃高光圈57.面形偏差高低光圈的判斷2高光圈15.面形偏差高低光圈的判斷32.一側加壓法當光圈數(shù)N<1。低光圈：條紋彎曲的凹向背著加壓點A。高光圈：條紋彎曲的凹向朝著加壓點A。58.面形偏差高低光圈的判斷316.59.17.60.18.面形偏差光圈數(shù)N與光源波長λ的關系國家標準規(guī)定光圈數(shù)N0的參考波長λ0=546.1nm,生產(chǎn)中若采用其他波長λ的單色光檢驗,得到非標準光圈數(shù)Nλ，,則標準光圈數(shù)N0和非標準光圈Nλ的關系如下：此式即為光圈數(shù)N與光源波長λ的關系。61.面形偏差光圈數(shù)N與光源波長λ的關系此式即為光圈數(shù)N與光源波面形偏差局部偏差的判斷1:當一側加壓時:中心低:條紋中心部位的彎曲凹向背著加壓點A.中心高:條紋中心部位的彎曲凹向朝著加壓點A.62.面形偏差局部偏差的判斷1:20.面形偏差局部偏差的判斷2:當一側加壓時:塌邊:條紋邊緣部位塌向加壓點A.翹邊:條紋邊緣部位翹離加壓點A.63.面形偏差局部偏差的判斷2:21.國家標準面形偏差包括三項,標注為:N,△1N,

△2NN為光圈數(shù),△1N為象散偏差,△2N為局部偏差面形偏差ISO10110-5面形偏差標注為如下所示的三種形式之一：3/A(B/C)，或3/A(B/C)RMSx<D（此處x代表字母t、i或a），或3/-RMSx<D（此處x代表字母t、i或a）。式中編號“3”是面形偏差的代碼。A為弧矢差,B為不規(guī)則度,C為旋轉對稱不規(guī)則度RMSt均方根總偏差,RMSi均方根不規(guī)則度RMSa均方根不對稱性當檢測區(qū)域比全部有效通光面小時，檢測區(qū)域的直徑需要添加到公差標注中，如下所示：3/A(B1C),RMSx<D(全部φ…)短劃線(-)表示沒有明確給出該項偏差的要求如3/-(1/0.5)64.國家標準面形偏差包括三項,標注為:面形偏差ISO10110面形偏差A為弧矢差：是被測光學表面的曲率半徑與參考表面曲率半徑之差。此指標對應Zygo設備測試中的SAG。B為不規(guī)則度:是標稱球面（檢測面）偏離球面的量度。此指標對應Zygo設備測試中的IRR。C為旋轉對稱不規(guī)則度：表面是旋轉對稱的，但卻不是想要的形狀，即存在旋轉對稱不規(guī)則度。此指標對應Zygo設備測試中的RSI。RMSt均方根總偏差：為被測光學表面與標稱理論球面之間的均方根偏差。RMSi均方根不規(guī)則度：被測光學表面與擬合球面之間的均方根偏差。RMSa均方根不對稱性：為被測光學表面與擬合非球面之間的均方根偏差。光圈數(shù)N:被檢光學表面的曲率半徑對于參考光學表面曲率半徑的偏差稱半徑偏差,此偏差所對應的光圈數(shù)用N表示.象散偏差△1N

:被檢光學表面與參考光學表面在二個相互垂直方向上產(chǎn)生的光圈數(shù)不等所對應的偏差.此偏差所對應的光圈數(shù)用△1N表示.局部偏差△2N

:被檢光學表面與參考光學表面在任一方向上產(chǎn)生的干涉條紋的局部不規(guī)則度稱局部偏差.此偏差所對應的光圈數(shù)用△2N表示65.面形偏差A為弧矢差：是被測光學表面的曲率半徑與參考表面曲率面形偏差光圈數(shù)N的計算當光圈數(shù)N≥1時以有效檢驗范圍內(nèi)直徑方向最多條紋數(shù)的一半來度量.66.面形偏差光圈數(shù)N的計算24.67.25.面形偏差光圈數(shù)N的計算當光圈數(shù)N<1時單色光照明時,以通過直徑方向上干涉條紋的彎曲量h相對條紋的間距H的比值來度量N=h/H=ad/ae68.面形偏差光圈數(shù)N的計算26.69.27.面形偏差象散偏差的度量象散偏差光圈數(shù)△1N是以兩個垂直方向上光圈數(shù)N的最大代數(shù)差的絕對值來度量.橢圓形象散光圈數(shù):被檢表面在X-X和Y-Y方向上的光圈數(shù)Nx和Ny不等,偏差方向相同.Nx=-2,Ny=-3,則△1N=│Nx-Ny│=1馬鞍形象散光圈數(shù):被檢表面在X-X和Y-Y方向上的光圈數(shù)Nx和Ny不等,偏差方向相反.Nx=-1,Ny=+2,則△1N=│Nx-Ny│=370.面形偏差象散偏差的度量橢圓形象散光圈數(shù):被檢表面在X-X和面形偏差N<1的象散光圈71.面形偏差N<1的象散光圈29.面形偏差局部偏差的度量局部偏差光圈數(shù)△2N以局部不規(guī)則干涉條紋對理想平滑干涉條紋的偏離量（e）與相鄰條紋間距（H）的比值來度量72.面形偏差局部偏差的度量30.面形偏差如果中心和邊緣都有局部偏差的取大值。73.面形偏差如果中心和邊緣都有局部偏差的取大值。31.ISO10110-5弧矢差A計算橢圓形條紋弧矢差=(3+1）/2=2雙曲線形條紋弧矢差=（2.5-1.5）/2=0.5ISO10110-5面形偏差74.ISO10110-5弧矢差A計算橢圓形條紋弧矢差ISO10110-5

面形偏差

弧矢差A計算需要樣板從兩個方向進行兩次的條紋觀察.如果兩次在兩種情況下，條紋都向條紋曲率中心移動或都遠離條紋曲率中心移動，則弧矢差大于不規(guī)則性.如果兩次中其一組條紋向條紋曲率中心移動而其他條紋圖遠離條紋曲率中心移動，那么不規(guī)則性大于弧矢差

弧矢差弧矢差75.ISO10110-5

面形偏差弧矢差A計算如果兩次中其一組ISO10110-5面形偏差不規(guī)則度B計算橢圓形條紋不規(guī)則度=│m-m’│=(3-1）=2雙曲線形條紋不規(guī)則度=│m+m’│(2.5+1.5）=476.ISO10110-5面形偏差不規(guī)則度B計算橢圓形條紋不規(guī)則ISO10110-5面形偏差不規(guī)則度B計算需要樣板從兩個方向進行兩次的條紋觀察.如果兩次在兩種情況下，條紋都向條紋曲率中心移動或都遠離條紋曲率中心移動，則弧矢差大于不規(guī)則性.如果兩次中其一組條紋向條紋曲率中心移動而其他條紋圖遠離條紋曲率中心移動，那么不規(guī)則性大于弧矢差

不規(guī)則度=│m-m’│不規(guī)則度=│m+m’│77.ISO10110-5面形偏差不規(guī)則度B計算如果兩次中其一組ISO10110-5面形偏差旋轉對稱不規(guī)則度C計算等于通過直徑方向上干涉條紋的偏差量與條紋距之比78.ISO10110-5面形偏差旋轉對稱不規(guī)則度C計算36.ISO10110-8表面微觀輪廓表面微觀輪廓鏡面質量有三種描述方式：1.均