標(biāo)準(zhǔn)解讀
《YS/T 34.1-2011 高純砷化學(xué)分析方法 電感耦合等離子體質(zhì)譜法(ICP-MS)測(cè)定 高純砷中雜質(zhì)含量》相對(duì)于舊版標(biāo)準(zhǔn)《YS/T 34.1-1992, YS/T 34.2-1992》進(jìn)行了多方面的更新與改進(jìn)。新版標(biāo)準(zhǔn)主要在以下幾個(gè)方面有所變更:
首先,引入了更為先進(jìn)的檢測(cè)技術(shù)——電感耦合等離子體質(zhì)譜法(ICP-MS),用于測(cè)定高純砷中的微量雜質(zhì)元素含量。相較于原標(biāo)準(zhǔn)可能采用的其他分析方法,ICP-MS具有更高的靈敏度和更寬泛的動(dòng)態(tài)范圍,能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)更多種類(lèi)、更低濃度水平雜質(zhì)元素的同時(shí)準(zhǔn)確測(cè)量。
其次,針對(duì)樣品前處理過(guò)程進(jìn)行了優(yōu)化調(diào)整。新標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)定了從取樣到制備成適合ICP-MS測(cè)試狀態(tài)的一系列步驟,包括但不限于溶解條件的選擇、基體匹配溶液的配置等,以確保測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。
此外,《YS/T 34.1-2011》還增加了對(duì)于某些特定元素如鉛(Pb)、銅(Cu)等的最低檢出限要求,并明確了具體的操作參數(shù)設(shè)置及數(shù)據(jù)處理方法,使得整個(gè)分析流程更加標(biāo)準(zhǔn)化、規(guī)范化。
最后,在質(zhì)量控制方面也提出了新的要求,比如通過(guò)使用已知濃度的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)進(jìn)行校準(zhǔn)曲線建立以及定期開(kāi)展實(shí)驗(yàn)室間比對(duì)實(shí)驗(yàn)等方式來(lái)保證分析結(jié)果的有效性和可靠性。這些變化反映了隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,對(duì)于材料純度控制要求不斷提高的趨勢(shì)。
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....
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- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2011-12-20 頒布
- 2012-07-01 實(shí)施
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下載本文檔
YS/T 34.1-2011高純砷化學(xué)分析方法電感耦合等離子體質(zhì)譜法(ICP-MS)測(cè)定高純砷中雜質(zhì)含量-免費(fèi)下載試讀頁(yè)文檔簡(jiǎn)介
ICS7704030
H17..
中華人民共和國(guó)有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
YS/T341—2011
代替.
YS/T34.1~34.2—1992
高純砷化學(xué)分析方法電感耦合等離子
體質(zhì)譜法ICP-MS測(cè)定
()
高純砷中雜質(zhì)含量
Methodforchemicalanalysisofthehigh-purityarsenic—
InductivecoulinlasmamasssectrumICP-MSfordeterminatinthe
pgpp()g
concentrationofelementsinthehigh-purityarsenic
2011-12-20發(fā)布2012-07-01實(shí)施
中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部發(fā)布
YS/T341—2011
.
前言
高純砷化學(xué)分析方法包括個(gè)部分
YS/T34《》3:
第部分高純砷化學(xué)分析方法電感耦合等離子體質(zhì)譜法測(cè)定高純砷中雜質(zhì)
———1:(ICP-MS)
含量
;
第部分高純砷化學(xué)分析方法極譜法測(cè)定硒量
———2:;
第部分高純砷化學(xué)分析方法極譜法測(cè)定硫量
———3:。
本部分是的第部分
YS/T341。
本部分代替高純砷化學(xué)分析方法孔雀綠分光光度法測(cè)定銻量和
YS/T34.1—1992《》YS/T34.2—
高純砷化學(xué)分析方法化學(xué)光譜法測(cè)鈷鋅銀銅鈣鋁鎳鉻鉛鎂鐵量
1992《、、、、、、、、、、》。
本部分與標(biāo)準(zhǔn)相比主要有如下變動(dòng)
YS/T34.1~34.2—1992,:
采用電感耦合等離子質(zhì)譜法測(cè)定高純砷中鎂鉻鎳銅鋅銀鉛鉍鈉鉀鋁鈣鐵銻等
———、、、、、、、、、、、、、
個(gè)雜質(zhì)的含量
14。
按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)和編寫(xiě)的規(guī)定編寫(xiě)
———GB/T1.1—2009《1:》。
本部分由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口
。
本部分負(fù)責(zé)起草單位峨嵋半導(dǎo)體材料廠峨眉山嘉美高純材料有限公司
:、。
本部分主要起草人程高明鄒同貴文英唐云博廖敏
:、、、、。
本部分所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為
:
———YS/T34.1~34.2—1992。
Ⅰ
YS/T341—2011
.
高純砷化學(xué)分析方法電感耦合等離子
體質(zhì)譜法ICP-MS測(cè)定
()
高純砷中雜質(zhì)含量
1范圍
的本部分規(guī)定了高純砷中金屬雜質(zhì)含量的測(cè)定方法采用電感耦合等離子質(zhì)譜法測(cè)定砷
YS/T34,
中鎂鉻鎳銅鋅銀銻鉛鉍鈉鉀鋁鈣鐵等個(gè)雜質(zhì)含量
、、、、、、、、、、、、、14。
本部分適用于高純砷中金屬雜質(zhì)含量的測(cè)定測(cè)定范圍為-7
99.999%~99.99999%。1×10%~
-7
1000×10%。
2方法提要
在的條件下試料與氯化氫氯混合氣體反應(yīng)生成三氯化砷及雜質(zhì)元素氯化物低
120℃~130℃,-,,
沸點(diǎn)的三氯化砷揮發(fā)后隨氣體流出用硝酸溶解留下來(lái)的雜質(zhì)氯化物推薦使用鈹銦鈾作內(nèi)標(biāo)常規(guī)
,。、、,
等離子體質(zhì)譜法測(cè)定鎂鉻鎳銅鋅銀銻鉛鉍用冷等離子體質(zhì)譜法測(cè)定鈉鉀鋁鈣鐵
、、、、、、、、,、、、、。
3試劑
31試劑
.
311鹽酸ρ或亞沸蒸餾后使用
..(1.19):RM-BBV-Ⅲ,。
312硝酸ρ或亞沸蒸餾后使用
..(1.42):RM-BBV-Ⅲ,。
313硫酸ρ優(yōu)級(jí)純
..(1.84):。
314過(guò)氧化氫分析純
..(30%):。
315去離子水電阻率
..:≥18MΩ·cm。
316氬
..≥99.99%。
32標(biāo)準(zhǔn)溶液
.
321元素貯備標(biāo)準(zhǔn)溶液
..
所用標(biāo)準(zhǔn)貯備液為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)鈾的濃度為其余元素均為
。500μg/mL,1000μg/mL。
322內(nèi)標(biāo)溶液
..
號(hào)內(nèi)標(biāo)溶液每毫升含鈹銦鈾移取鈹標(biāo)準(zhǔn)溶液銦標(biāo)
1(500ng、500ng、500ng):0.5mL、0.5mL
準(zhǔn)溶液鈾標(biāo)準(zhǔn)溶液置于聚丙烯容量瓶中加入硝酸定容混勻
、1.0mL,1L,20mL,,。
號(hào)內(nèi)標(biāo)溶液每毫升含鈹銦鈾
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