YS/T 34.1-2011高純砷化學分析方法電感耦合等離子體質(zhì)譜法(ICP-MS)測定高純砷中雜質(zhì)含量

ICS7704030

H17..

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標準

YS/T341—2011

代替.

YS/T34.1~34.2—1992

高純砷化學分析方法電感耦合等離子

體質(zhì)譜法ICP-MS測定

()

高純砷中雜質(zhì)含量

Methodforchemicalanalysisofthehigh-purityarsenic—

InductivecoulinlasmamasssectrumICP-MSfordeterminatinthe

pgpp()g

concentrationofelementsinthehigh-purityarsenic

2011-12-20發(fā)布2012-07-01實施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T341—2011

.

前言

高純砷化學分析方法包括個部分

YS/T34《》3:

第部分高純砷化學分析方法電感耦合等離子體質(zhì)譜法測定高純砷中雜質(zhì)

———1:(ICP-MS)

含量

;

第部分高純砷化學分析方法極譜法測定硒量

———2:;

第部分高純砷化學分析方法極譜法測定硫量

———3:。

本部分是的第部分

YS/T341。

本部分代替高純砷化學分析方法孔雀綠分光光度法測定銻量和

YS/T34.1—1992《》YS/T34.2—

高純砷化學分析方法化學光譜法測鈷鋅銀銅鈣鋁鎳鉻鉛鎂鐵量

1992《、、、、、、、、、、》。

本部分與標準相比主要有如下變動

YS/T34.1~34.2—1992,:

采用電感耦合等離子質(zhì)譜法測定高純砷中鎂鉻鎳銅鋅銀鉛鉍鈉鉀鋁鈣鐵銻等

———、、、、、、、、、、、、、

個雜質(zhì)的含量

14。

按照標準化工作導則第部分標準的結(jié)構(gòu)和編寫的規(guī)定編寫

———GB/T1.1—2009《1:》。

本部分由全國有色金屬標準化技術(shù)委員會歸口

。

本部分負責起草單位峨嵋半導體材料廠峨眉山嘉美高純材料有限公司

:、。

本部分主要起草人程高明鄒同貴文英唐云博廖敏

:、、、、。

本部分所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為

:

———YS/T34.1~34.2—1992。

Ⅰ

YS/T341—2011

.

高純砷化學分析方法電感耦合等離子

體質(zhì)譜法ICP-MS測定

()

高純砷中雜質(zhì)含量

1范圍

的本部分規(guī)定了高純砷中金屬雜質(zhì)含量的測定方法采用電感耦合等離子質(zhì)譜法測定砷

YS/T34,

中鎂鉻鎳銅鋅銀銻鉛鉍鈉鉀鋁鈣鐵等個雜質(zhì)含量

、、、、、、、、、、、、、14。

本部分適用于高純砷中金屬雜質(zhì)含量的測定測定范圍為-7

99.999%~99.99999%。1×10%~

-7

1000×10%。

2方法提要

在的條件下試料與氯化氫氯混合氣體反應(yīng)生成三氯化砷及雜質(zhì)元素氯化物低

120℃~130℃,-,,

沸點的三氯化砷揮發(fā)后隨氣體流出用硝酸溶解留下來的雜質(zhì)氯化物推薦使用鈹銦鈾作內(nèi)標常規(guī)

,。、、,

等離子體質(zhì)譜法測定鎂鉻鎳銅鋅銀銻鉛鉍用冷等離子體質(zhì)譜法測定鈉鉀鋁鈣鐵

、、、、、、、、,、、、、。

3試劑

31試劑

.

311鹽酸ρ或亞沸蒸餾后使用

..(1.19):RM-BBV-Ⅲ,。

312硝酸ρ或亞沸蒸餾后使用

..(1.42):RM-BBV-Ⅲ,。

313硫酸ρ優(yōu)級純

..(1.84):。

314過氧化氫分析純

..(30%):。

315去離子水電阻率

..:≥18MΩ·cm。

316氬

..≥99.99%。

32標準溶液

.

321元素貯備標準溶液

..

所用標準貯備液為國家標準鈾的濃度為其余元素均為

。500μg/mL,1000μg/mL。

322內(nèi)標溶液

..

號內(nèi)標溶液每毫升含鈹銦鈾移取鈹標準溶液銦標

1(500ng、500ng、500ng):0.5mL、0.5mL

準溶液鈾標準溶液置于聚丙烯容量瓶中加入硝酸定容混勻

、1.0mL,1L,20mL,,。

號內(nèi)標溶液每毫升含鈹銦鈾