第六章壓電式傳感器

第一節(jié)壓電效應(yīng)及壓電材料第二節(jié)壓電傳感器的等效電路及測(cè)量電路第三節(jié)壓電傳感器的應(yīng)用第六章壓電式傳感器第一節(jié)壓電效應(yīng)及壓電材料一、壓電效應(yīng)順壓電效應(yīng)：某些電介質(zhì)，當(dāng)沿著一定方向?qū)ζ涫┝Χ顾冃螘r(shí)，內(nèi)部就產(chǎn)生極化現(xiàn)象，同時(shí)在它的一定表面上便產(chǎn)生符號(hào)相反的電荷，當(dāng)外力去掉后，又重新恢復(fù)到不帶電狀態(tài)。這種現(xiàn)象稱(chēng)壓電效應(yīng)。逆壓電效應(yīng)（電致伸縮效應(yīng)）：當(dāng)在電介質(zhì)的極化方向施加電場(chǎng)，這些電介質(zhì)就在一定方向上產(chǎn)生機(jī)械變形或機(jī)械壓力，當(dāng)外加電場(chǎng)撤去時(shí)，這些變形或應(yīng)力也隨之消失的現(xiàn)象。電能機(jī)械能順壓電效應(yīng)逆壓電效應(yīng)在自然界中大多數(shù)晶體都具有壓電效應(yīng)，但壓電效應(yīng)十分微弱。隨著對(duì)材料的深入研究，發(fā)現(xiàn)石英晶體、鈦酸鋇、鋯鈦酸鉛等材料是性能優(yōu)良的壓電材料。壓電材料可以分為兩大類(lèi)：壓電晶體和壓電陶瓷。壓電材料的主要特性參數(shù)有：①壓電常數(shù):壓電常數(shù)是衡量材料壓電效應(yīng)強(qiáng)弱的參數(shù)，它直接關(guān)系到壓電輸出靈敏度。②彈性常數(shù):壓電材料的彈性常數(shù)、剛度決定著壓電器件的固有頻率和動(dòng)態(tài)特性。二、壓電材料③介電常數(shù):對(duì)于一定形狀、尺寸的壓電元件，其固有電容與介電常數(shù)有關(guān)；而固有電容又影響著壓電傳感器的頻率下限。④機(jī)械耦合系數(shù)：它的意義是，在壓電效應(yīng)中，轉(zhuǎn)換輸出能量（如電能）與輸入的能量（如機(jī)械能）之比的平方根，這是衡量壓電材料機(jī)—電能量轉(zhuǎn)換效率的一個(gè)重要參數(shù)。⑤電阻:壓電材料的絕緣電阻將減少電荷泄漏，從而改善壓電傳感器的低頻特性。⑥居里點(diǎn)溫度:它是指壓電材料開(kāi)始喪失壓電特性的溫度。（一）

石英晶體

石英（SiO2）是一種具有良好壓電特性的壓電晶體。其介電常數(shù)和壓電系數(shù)的溫度穩(wěn)定性相當(dāng)好，在常溫范圍內(nèi)這兩個(gè)參數(shù)幾乎不隨溫度變化，如下兩圖。由圖可見(jiàn)，在20℃～200℃范圍內(nèi)，溫度每升高1℃，壓電系數(shù)僅減少0.016％。但是當(dāng)?shù)?73℃時(shí)，它完全失去了壓電特性，這就是它的居里點(diǎn)。

1.000.990.980.970.960.9520406080100120140160180200dt/d20斜率：－0.016％/℃t℃石英的d11系數(shù)相對(duì)于20℃的d11溫度變化特性6543210100200300400500600t/℃相對(duì)介電常數(shù)ε居里點(diǎn)石英在高溫下相對(duì)介電常數(shù)的溫度特性（二）

壓電陶瓷

1、

鈦酸鋇壓電陶瓷鈦酸鋇（BaTiO3）是由碳酸鋇（BaCO3）和二氧化鈦（TiO2）按1：1分子比例在高溫下合成的壓電陶瓷。它具有很高的介電常數(shù)和較大的壓電系數(shù)（約為石英晶體的50倍）。不足之處是居里溫度低（120℃），溫度穩(wěn)定性和機(jī)械強(qiáng)度不如石英晶體。2、

鋯鈦酸鉛系壓電陶瓷（PZT）鋯鈦酸鉛是由PbTiO3和PbZrO3組成的固溶體Pb（Zr、Ti）O3。它與鈦酸鋇相比，壓電系數(shù)更大，居里溫度在300℃以上，各項(xiàng)機(jī)電參數(shù)受溫度影響小，時(shí)間穩(wěn)定性好。此外，在鋯鈦酸中添加一種或兩種其它微量元素（如鈮、銻、錫、錳、鎢等）還可以獲得不同性能的PZT材料。因此鋯鈦酸鉛系壓電陶瓷是目前壓電式傳感器中應(yīng)用最廣泛的壓電材料。

三、石英晶體（SiO2）的壓電效應(yīng)天然結(jié)構(gòu)石英晶體的理想外形是一個(gè)正六面體，在晶體學(xué)中它可用三根互相垂直的軸來(lái)表示，其中縱向軸Z－Z稱(chēng)為光軸；經(jīng)過(guò)正六面體棱線，并垂直于光軸的X－X軸稱(chēng)為電軸；與X－X軸和Z－Z軸同時(shí)垂直的Y－Y軸（垂直于正六面體的棱面）稱(chēng)為機(jī)械軸。ZXY(a)理想石英晶體的外形(b)坐標(biāo)系ZYX通常把沿電軸X－X方向的力作用下產(chǎn)生電荷的壓電效應(yīng)稱(chēng)為“縱向壓電效應(yīng)”，而把沿機(jī)械軸Y－Y方向的力作用下產(chǎn)生電荷的壓電效應(yīng)稱(chēng)為“橫向壓電效應(yīng)”，沿光軸Z－Z方向受力則不產(chǎn)生壓電效應(yīng)。1、石英晶體產(chǎn)生壓電效應(yīng)原因

石英晶體具有壓電效應(yīng)，是由其內(nèi)部結(jié)構(gòu)決定的。組成石英晶體的硅離子Si4+和氧離子O2-在XOY平面投影，如圖(a)。為討論方便，將這些硅、氧離子等效為圖(b)中正六邊形排列，圖中“＋”代表Si4+，“－”代表2O2-。

(b)(a)++---YXXY+

當(dāng)作用力FX=0時(shí)，正、負(fù)離子（即Si4+和2O2-）正好分布在正六邊形頂角上，形成三個(gè)互成120o夾角的電偶極矩P1、P2、P3，此時(shí)正負(fù)電荷中心重合，電偶極矩的矢量和等于零，即

P1＋P2＋P3＝0當(dāng)晶體受到沿X方向的壓力（FX<0）作用時(shí)，晶體沿X方向?qū)a(chǎn)生收縮，正、負(fù)離子相對(duì)位置隨之發(fā)生變化，此時(shí)正、負(fù)電荷中心不再重合，電偶極矩在X方向的分量為(P1+P2+P3)X>0在Y、Z方向上的分量為（P1+P2+P3）Y=0（P1+P2+P3）Z=0由上式看出，在X軸的正向出現(xiàn)正電荷，在Y、Z軸方向則不出現(xiàn)電荷。Y+++---XP1P2P3FXXY++++－－－－FX+++---P1P2P3（P1+P2+P3）X<0（P1+P2+P3）Y=0（P1+P2+P3）Z=0Y+++--X-+++－－－FXFXP2P3P1+－當(dāng)晶體受到沿X方向的拉力（FX＞0）作用時(shí)，其變化情況如圖（c）。此時(shí)電極矩的三個(gè)分量為在X軸的正向出現(xiàn)負(fù)電荷，在Y、Z方向則不出現(xiàn)電荷。這種沿X軸施加力，而在垂直于X軸晶面上產(chǎn)生電荷的現(xiàn)象即為前面所說(shuō)的縱向壓電效應(yīng)。當(dāng)晶體受到沿Y(機(jī)械軸)方向施拉力FY＞0時(shí)，(P1+P2+P3)X>0在X軸的正向出現(xiàn)正電荷，在Y、Z軸方向則不出現(xiàn)電荷。當(dāng)晶體受到沿Y(機(jī)械軸)方向施壓力FY<0時(shí)，(P1+P2+P3)X<0在X軸的正向出現(xiàn)負(fù)電荷，在Y、Z軸方向則不出現(xiàn)電荷。FYXY++++－－－－+++---P1P2P3Y+++--X-+++－－－P2P3P1+－FYFYFY與沿X方向施壓力（FX<0）作用相同與沿X方向施拉力（FX＞0

）作用相同晶體在Z軸方向力FZ的作用下，因?yàn)榫w沿X方向和沿Y方向所產(chǎn)生的正應(yīng)變完全相同，所以，正、負(fù)電荷中心保持重合，電偶極矩矢量和等于零。這就表明，沿Z(即光軸)方向的力FZ作用下，晶體不產(chǎn)生壓電效應(yīng)。這種沿Y軸施加力，而在垂直于X軸晶面上產(chǎn)生電荷的現(xiàn)象即為前面所說(shuō)的橫向壓電效應(yīng)。2、縱向壓電效應(yīng)若從晶體上沿y方向切下一塊如圖所示的晶片，當(dāng)沿電軸方向施加作用力Fx時(shí)，在與電軸x垂直的平面上將產(chǎn)生電荷，其大小為式中,d11為x方向受力的壓電系數(shù)

d11=2.31×10-12C/N

FX為作用力FXFX++++－－－－－－－－++++XX3、橫向壓電效應(yīng)若在同一切片上，沿機(jī)械軸y方向施加作用力Fy，則仍在與x軸垂直的平面上產(chǎn)生電荷qy，其大小為式中：d12——y軸方向受力的壓電系數(shù)，根據(jù)石英晶體的對(duì)稱(chēng)性，有d12=-d11；

a、b——晶體切片的長(zhǎng)度和厚度。電荷qx和qy的符號(hào)由受壓力還是受拉力決定。++++++++－－－－－－－－FYFYXX四、陶瓷的壓電效應(yīng)壓電陶瓷屬于鐵電體一類(lèi)的物質(zhì)，是人工制造的多晶壓電材料，它具有類(lèi)似鐵磁材料磁疇結(jié)構(gòu)的電疇結(jié)構(gòu)。電疇是分子自發(fā)形成的區(qū)域，它有一定的極化方向，從而存在一定的電場(chǎng)。在無(wú)外電場(chǎng)作用時(shí)，各個(gè)電疇在晶體上雜亂分布，它們的極化效應(yīng)被相互抵消，因此原始的壓電陶瓷內(nèi)極化強(qiáng)度為零，見(jiàn)圖（a）。

(a)極化處理前在陶瓷上施加外電場(chǎng)時(shí)，電疇的極化方向發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)，趨向于按外電場(chǎng)方向的排列，從而使材料得到極化。外電場(chǎng)愈強(qiáng)，就有更多的電疇更完全地轉(zhuǎn)向外電場(chǎng)方向。讓外電場(chǎng)強(qiáng)度大到使材料的極化達(dá)到飽和的程度，即所有電疇極化方向都整齊地與外電場(chǎng)方向一致如圖（b）所示。當(dāng)外電場(chǎng)去掉后，電疇的極化方向基本趨于原電場(chǎng)方向，即剩余極化強(qiáng)度很大，這時(shí)的材料才具有壓電特性,如圖（C）所示。直流電場(chǎng)E(b)極化處理中(c)極化處理后

剩余極化強(qiáng)度但是，當(dāng)把電壓表接到陶瓷片的兩個(gè)電極上進(jìn)行測(cè)量時(shí)，卻無(wú)法測(cè)出陶瓷片內(nèi)部存在的極化強(qiáng)度。這是因?yàn)樘沾善瑑?nèi)的極化強(qiáng)度總是以電偶極矩的形式表現(xiàn)出來(lái)，即在陶瓷的一端出現(xiàn)正束縛電荷，另一端出現(xiàn)負(fù)束縛電荷。由于束縛電荷的作用，在陶瓷片的電極面上吸附了一層來(lái)自外界的自由電荷。這些自由電荷與陶瓷片內(nèi)的束縛電荷符號(hào)相反而數(shù)量相等，它起著屏蔽和抵消陶瓷片內(nèi)極化強(qiáng)度對(duì)外界的作用。所以電壓表不能測(cè)出陶瓷片內(nèi)的極化程度，如圖。－－－－－

－－－－－

＋＋＋＋＋＋＋＋＋＋自由電荷束縛電荷電極電極極化方向如果在陶瓷片上加一個(gè)與極化方向平行的壓力F，如圖，陶瓷片將產(chǎn)生壓縮形變（圖中虛線），片內(nèi)的正、負(fù)束縛電荷之間的距離變小，極化強(qiáng)度也變小。因此，原來(lái)吸附在電極上的自由電荷，有一部分被釋放，而出現(xiàn)放電荷現(xiàn)象。當(dāng)壓力撤消后，陶瓷片恢復(fù)原狀(這是一個(gè)膨脹過(guò)程)，片內(nèi)的正、負(fù)電荷之間的距離變大，極化強(qiáng)度也變大，因此電極上又吸附一部分自由電荷而出現(xiàn)充電現(xiàn)象。這種由機(jī)械效應(yīng)轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦?yīng)，或者由機(jī)械能轉(zhuǎn)變?yōu)殡娔艿默F(xiàn)象，就是正壓電效應(yīng)。

＋＋＋＋＋－－－－－－－－－－＋＋＋＋＋

極化方向F－＋式中：

d33——壓電陶瓷的壓電系數(shù)；

F——作用力。

同樣，若在陶瓷片上加一個(gè)與極化方向相同的電場(chǎng)，如圖，由于電場(chǎng)的方向與極化強(qiáng)度的方向相同，所以電場(chǎng)的作用使極化強(qiáng)度增大。這時(shí)，陶瓷片內(nèi)的正負(fù)束縛電荷之間距離也增大，就是說(shuō)，陶瓷片沿極化方向產(chǎn)生伸長(zhǎng)形變（圖中虛線）。同理，如果外加電場(chǎng)的方向與極化方向相反，則陶瓷片沿極化方向產(chǎn)生縮短形變。這種由于電效應(yīng)而轉(zhuǎn)變?yōu)闄C(jī)械效應(yīng)或者由電能轉(zhuǎn)變?yōu)闄C(jī)械能的現(xiàn)象，就是逆壓電效應(yīng)。－－－－－－＋＋＋＋＋＋＋＋＋＋＋＋－－－－－－極化方向電場(chǎng)方向Ｅ第二節(jié)壓電傳感器的等效電路及測(cè)量電路一、壓電晶片的連接方式由于外力作用而在壓電材料上產(chǎn)生的電荷只有在無(wú)泄漏的情況下才能保存，即需要測(cè)量回路具有無(wú)限大的輸入阻抗，這實(shí)際上是不可能的，因此壓電式傳感器不能用于靜態(tài)測(cè)量。壓電材料在交變力的作用下，電荷可以不斷補(bǔ)充，以供給測(cè)量回路一定的電流，故適用于動(dòng)態(tài)測(cè)量。單片壓電元件產(chǎn)生的電荷量甚微，為了提高壓電傳感器的輸出靈敏度，在實(shí)際應(yīng)用中常采用兩片（或兩片以上）同型號(hào)的壓電元件粘結(jié)在一起。由于壓電材料的電荷是有極性的，因此接法也有兩種。

1、并聯(lián)連接+++------++++-并聯(lián)接法輸出電荷大，本身電容大，時(shí)間常數(shù)大，適宜用在測(cè)量慢變信號(hào)并且以電荷作為輸出量的場(chǎng)合。2、串聯(lián)連接+++------+++-+串聯(lián)接法輸出電壓大，本身電容小，適宜用于以電壓作輸出信號(hào)，并且測(cè)量電路輸入阻抗很高的場(chǎng)合。壓電式傳感器中的壓電元件，按其受力和變形方式不同，大致有厚度變形、長(zhǎng)度變形、體積變形和厚度剪切變形等幾種形式，如圖所示。目前最常使用的是厚度變形的壓縮式和剪切變形的剪切式兩種。(a)厚度變形(b)長(zhǎng)度變形(c)體積變形(d)面切變形(e)剪切變形二、壓電傳感器的等效電路當(dāng)壓電傳感器中的壓電晶體承受被測(cè)機(jī)械應(yīng)力的作用時(shí)，在它的兩個(gè)極面上出現(xiàn)極性相反但電量相等的電荷?？砂褖弘妭鞲衅骺闯梢粋€(gè)靜電發(fā)生器，如圖(a)。也可把它視為兩極板上聚集異性電荷，中間為絕緣體的電容器，如圖(b)。其電容量為

＋＋＋＋――――qq電極壓電晶體Ce(b)(a)當(dāng)兩極板聚集異性電荷時(shí)，則兩極板呈現(xiàn)一定的電壓，其大小為因此，壓電傳感器可等效為電壓源Ua和一個(gè)電容器Ce的串聯(lián)電路，如圖(a)；也可等效為一個(gè)電荷源q和一個(gè)電容器Ce的并聯(lián)電路，如圖(b)。

（a）電壓等效電路CeU＝q/Ceq＝UCeCe（b）電荷等效電路壓電傳感器在實(shí)際使用時(shí)總要與測(cè)量?jī)x器或測(cè)量電路相連接，因此還需考慮連接電纜的等效電容Cc，放大器的輸入電阻Ri,輸入電容Ci以及壓電傳感器的泄漏電阻Rd。三、壓電傳感器的測(cè)量電路1、電壓放大器作用為：一是把它的高輸出阻抗變換為低輸出阻抗；二是放大傳感器輸出的微弱信號(hào)。圖（b）中，等效電阻R為壓電元件所受作用力C=Cc+Ci等效電容為而由此可得放大器輸入端電壓Ui，其復(fù)數(shù)形式為Ui的幅值Uim為輸入電壓和作用力之間相位差為在理想情況下，傳感器的Rd電阻值與前置放大器輸入電阻Ri都為無(wú)限大，即ω(Ce+Cc+Ci)R>>1，那么由Uim式可知，理想情況下輸入電壓幅值Uam為

p117頁(yè)圖6-10所示，當(dāng)作用于壓電元件的力為靜態(tài)力（ω=0）時(shí)，前置放大器的輸出電壓等于零，因?yàn)殡姾蓵?huì)通過(guò)放大器輸入電阻和傳感器本身漏電阻漏掉，所以壓電傳感器不能用于靜態(tài)力的測(cè)量。時(shí)，前置放大器的輸出電壓隨頻率變化不大。即說(shuō)明壓電傳感器的高頻響應(yīng)比較好，所以用于高頻交變力的測(cè)量。2、電荷放大器電荷放大器常作為壓電傳感器的輸入電路，由一個(gè)反饋電容Cf和高增益運(yùn)算放大器構(gòu)成。由于運(yùn)算放大器輸入阻抗極高，放大器輸入端幾乎沒(méi)有分流，故可略去Rd和Ri并聯(lián)電阻。由運(yùn)算放大器基本特性，可求出電荷放大器的輸出電壓通常A=104~108，因此,當(dāng)滿(mǎn)足(1+A)Cf>>Ca+Cc+Ci時(shí)，上式可表示為由上式可見(jiàn)，電荷放大器的輸出電壓uo只取決于輸入電荷與反饋電容Cf，與電纜電容Cc無(wú)關(guān)，且與q成正比，這是電荷放大器的最大特點(diǎn)。為了得到必要的測(cè)量精度，要求反饋電容Cf的溫度和時(shí)間穩(wěn)定性都很好，在實(shí)際電路中，考慮到不同的量程等因素，Cf的容量做成可選擇的，范圍一般為100~104pF。第三節(jié)壓電傳感器的應(yīng)用一、壓電力學(xué)傳感器+++++++-------力Fx壓電式單向測(cè)力傳感器的結(jié)構(gòu)圖，主要由石英晶片、絕緣套、電極、上蓋及基座等組成。傳感器上蓋為傳力元件，它的外緣壁厚為0.1~0.5mm，當(dāng)外力作用時(shí)，它將產(chǎn)生彈性變形，將力傳遞到石英晶片上。石英晶片采用xy切型，利用其縱向壓電效應(yīng)，通過(guò)d11實(shí)現(xiàn)力—電轉(zhuǎn)換。石英晶片的尺寸為φ8×1mm。該傳感器的測(cè)力范圍為0~50N，最小分辨率為0.01N，固有頻率為50~60kHz，整個(gè)傳感器重為10g。壓電式金屬加工切削力測(cè)量圖是利用壓電陶瓷傳感器測(cè)量刀具切削力的示意圖。由于壓電陶瓷元件的自振頻率高，特別適合測(cè)量變化劇烈的載荷。圖中壓電傳感器位于車(chē)刀前部的下方，當(dāng)進(jìn)行切削加工時(shí)，切削力通過(guò)刀具傳給壓電傳感器，壓電傳感器將切削力轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出，記錄下電信號(hào)的變化便可測(cè)得切削力的變化。二、壓電加速度傳感器主要由壓電元件、質(zhì)量塊、預(yù)壓彈簧、基座及外殼等組成。整個(gè)部件裝在外殼內(nèi)，并由螺栓加以固定。三、壓電式玻璃破碎報(bào)警器BS-D2壓電式傳感器是專(zhuān)門(mén)用于檢測(cè)玻璃破碎的一種傳感器，它利用壓電元件對(duì)振動(dòng)敏感的特性來(lái)感知玻璃受撞擊和破碎時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)波。傳感器把振動(dòng)波轉(zhuǎn)換成電壓輸出，輸出電壓經(jīng)放大、濾波、比較等處理后提供給報(bào)警系統(tǒng)。BS-D2壓電式玻璃破碎傳感器的外形及內(nèi)部電路如圖所示。傳感器的最小輸出電壓為100mV，最大輸出電壓為100V，內(nèi)阻抗為15~20kΩ。使用時(shí)傳感器用膠粘貼在玻璃上，然后通過(guò)電纜和報(bào)警電路相連。為了提高報(bào)警器的靈敏度，信號(hào)經(jīng)放大后，需經(jīng)帶通濾波器進(jìn)行濾波，要求它對(duì)選定的頻譜通帶的衰減要小，而頻帶外衰減要盡量大。由于玻璃振動(dòng)的波長(zhǎng)在音頻和超聲波的范圍內(nèi)，這就使濾波器成為電路中的關(guān)鍵。只有當(dāng)傳感器輸出信號(hào)高于設(shè)定的閾值時(shí)，才會(huì)輸出報(bào)警信號(hào)，驅(qū)動(dòng)報(bào)警執(zhí)行機(jī)構(gòu)工作。玻璃破碎報(bào)警器可廣泛用于文物保管、貴重商品保管及其它商品柜臺(tái)保管等場(chǎng)合。利用超聲波在順流方向和逆流方向的傳播速度進(jìn)行測(cè)量。其測(cè)量裝置是在管外設(shè)置兩個(gè)相隔一定距離的收發(fā)兩用壓電超聲換能器，每隔一段時(shí)間(如1/100s)，發(fā)射和接收互換一次。在順流和逆流的情況下，發(fā)射和接收的相位差與流速成正比。據(jù)這個(gè)關(guān)系，可精確測(cè)定流速。流速與管道橫截面積的乘積等于流量。

流量顯示1789輸出信號(hào)換能器換能器接收接收發(fā)射發(fā)射此流量計(jì)可測(cè)量各種液體的流速，中壓和低壓氣體的流速，不受該流體的導(dǎo)電率、粘度、密度、腐蝕性以及成分的影響。其準(zhǔn)確度可達(dá)0.5%，有的可達(dá)到0.01%。根據(jù)發(fā)射和接收的相位差隨海洋深度深度的變化，測(cè)量聲速隨深度的分布情況四、

壓電式流量計(jì)是一種高性能、低成本動(dòng)態(tài)微壓傳感器，產(chǎn)品采用壓電薄膜作為換能材料，動(dòng)態(tài)壓力信號(hào)通過(guò)薄膜變成電荷量，再經(jīng)傳感器內(nèi)部放大電路轉(zhuǎn)換成電壓輸出。該傳感器具有靈敏度高，抗過(guò)載及沖擊能力強(qiáng)，抗干擾性好，操作簡(jiǎn)便，體積小、重量輕、成本低等，廣泛應(yīng)用于醫(yī)療、工業(yè)控制、交通、安全防衛(wèi)等領(lǐng)域。脈搏計(jì)照片

典型應(yīng)用：

·脈搏計(jì)數(shù)探測(cè)

·按鍵鍵盤(pán)，觸摸鍵盤(pán)

·振動(dòng)、沖擊、碰撞報(bào)警

·振動(dòng)加速度測(cè)量

·管道壓力波動(dòng)

·其它機(jī)電轉(zhuǎn)換、動(dòng)態(tài)力檢測(cè)等

五、集成壓電式傳感器

力敏元件主要性能指標(biāo)：壓力范圍≤1kPa靈敏度≥0.2ｍV/Pａ非線性度≤1％F.S頻率響應(yīng)1～1000Hz標(biāo)準(zhǔn)工作電壓4.5V（DC）擴(kuò)充工作電壓3～15V(DC)標(biāo)準(zhǔn)負(fù)載電阻2.2kΩ擴(kuò)充電阻1kΩ～12kΩ外形尺寸

12.7×7.6重量＜1.5ｇ集成壓電傳感器連線電路輸出力敏元件地線