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文檔簡介
—概述GB/T19001-2008GB/T24001-2004；GB/T28001-2001；SEMISⅡ標(biāo)準(zhǔn)制造。二應(yīng)用范圍三產(chǎn)品工作描述顯影單軸電機(jī)采用進(jìn)流無刷伺服電機(jī)，保證旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速、加速度控制精度高，重復(fù)性、穩(wěn)定性好；多一定強(qiáng)度的PP材料制成。排 排主軸防水設(shè)熱與接觸盤體為優(yōu)質(zhì)鋁合金，外表面硬質(zhì)陽極化處理，與盤體間真空吸附，受熱更PID冷與接觸盤體為優(yōu)質(zhì)鋁合金，外表面硬質(zhì)陽極化處理，與盤體間墊有0.1mm厚的陶控制軟/項(xiàng)，ServiceManualConfigUtility1材質(zhì)：223雙臂、真空吸附T-R2265～+245mm（手除外）T-6.97rad/secR1-9.19radR2-9.19rad±0.1mm以內(nèi) 4個（以下為每單元配置 6000 ±1rpm（50rpm～5000 2個N2壓力罐（廠務(wù) 熱盤單 熱盤數(shù)量 150.1～180℃ 冷盤數(shù)量 18～28℃ 1
1 23/8≤-23/813/8≥2L/min1PCW（冷卻循環(huán)水系統(tǒng)04-13/829、外形尺
L=1700；W=1700；H=2250 五主要軟件接口（供參考單元工藝配六設(shè)備布置圖（供參考七設(shè)備外形尺寸圖（供參考八設(shè)備外觀圖及三視圖（供參考1、設(shè)備性能驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn) 6000 45000 ±1℃，150.1～180℃±2℃ 18℃～28℃±0.2℃烘烤超警功能 運(yùn)試 ；MTTR≤4h能70片次/小時(4寸)。右位置）,測量10片，采用4寸片源測量溫度變化不得超過3℃，濕度變化不得超過5%）均勻性：負(fù)膠：4pad-fingerwaferin5%wafertowafer4寸片源pad-finger雙影大小waferin≤10%wafertowafer≤10%正膠：withinwafer3%, wafertowafer3%
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