GB/T 13387-2009硅及其他電子材料晶片參考面長度測量方法

犐犆犛２９．０４５

犎８０

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅／犜１３３８７—２００９

代替ＧＢ／Ｔ１３３８７—１９９２

硅及其他電子材料晶片

參考面長度測量方法

犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉犿犲犪狊狌狉犻狀犵犳犾犪狋犾犲狀犵狋犺狑犪犳犲狉狊狅犳

狊犻犾犻犮狅狀犪狀犱狅狋犺犲狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犿犪狋犲狉犻犪犾狊

２００９１０３０發(fā)布２０１００６０１實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

書

犌犅／犜１３３８７—２００９

前言

本標(biāo)準(zhǔn)修改采用ＳＥＭＩＭＦ６７１０７０５《硅及其他電子材料晶片參考面長度測試方法》。

本標(biāo)準(zhǔn)與ＳＥＭＩＭＦ６７１０７０５相比主要有如下變化：

———標(biāo)準(zhǔn)編寫格式按ＧＢ／Ｔ１．１要求進(jìn)行編寫；

———增加了前言內(nèi)容。

本標(biāo)準(zhǔn)代替ＧＢ／Ｔ１３３８７—１９９２《電子材料晶片參考面長度測試方法》。

本標(biāo)準(zhǔn)與ＧＢ／Ｔ１３３８７—１９９２相比主要有如下變化：

———細(xì)化了測量范圍的內(nèi)容，如該方法中涉及的公英制單位等；

———增加了該方法的局限性內(nèi)容；

———增加了部分術(shù)語，定義了測量中用到的偏移；

———增加了引用標(biāo)準(zhǔn)；

———將原標(biāo)準(zhǔn)中的試樣改為抽樣章節(jié)；

———將校準(zhǔn)和測量分為兩章分別敘述；

———精密度采用了ＳＥＭＩＭＦ６７１０７０５中多個實(shí)驗(yàn)室間的評價，并附有較詳細(xì)的說明。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會材料分技術(shù)委員會歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：有研半導(dǎo)體材料股份有限公司。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：杜娟、孫燕、盧立延。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１３３８７—１９９２。

Ⅰ

書

犌犅／犜１３３８７—２００９

硅及其他電子材料晶片

參考面長度測量方法

１目的

１．１基準(zhǔn)面長度對于半導(dǎo)體加工過程中使用材料的適應(yīng)性是一項(xiàng)重要的參數(shù)。

１．２晶片自動操作設(shè)備被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造業(yè)中，它們是通過晶片主參考面識別和定位獲得正確

的對準(zhǔn)。

２范圍

２．１本標(biāo)準(zhǔn)涵蓋了對晶片邊緣平直部分長度的確認(rèn)方法。

２．２本標(biāo)準(zhǔn)用于標(biāo)稱圓形晶片邊緣平直部分長度小于等于６５ｍｍ的電學(xué)材料。本標(biāo)準(zhǔn)僅對硅片精度

進(jìn)行確認(rèn)，預(yù)期精度不因材料而改變。

２．３本標(biāo)準(zhǔn)適用于仲裁測量，當(dāng)規(guī)定的限度要求高于用尺子和肉眼檢測能夠獲得的精度時，本標(biāo)準(zhǔn)也

可用于常規(guī)驗(yàn)收測量。

２．４本標(biāo)準(zhǔn)與表面光潔度無關(guān)。

２．５任何直徑的晶片，包括７６．２ｍｍ和更小直徑的晶片，參考面長度單位應(yīng)該使用公制為計(jì)量單位，

而英制單位的數(shù)值僅供參考。

２．６本標(biāo)準(zhǔn)不涉及安全問題，即使有也與標(biāo)準(zhǔn)的使用相聯(lián)系。標(biāo)準(zhǔn)使用前，建立合適的安全和保障措

施以及確定規(guī)章制度的應(yīng)用范圍是標(biāo)準(zhǔn)使用者的責(zé)任。

３局限性

３．１切片后的一些工序如倒角和化學(xué)腐蝕都有可能降低參考面區(qū)域邊緣部分的清晰度。

３．２測微計(jì)測量時旋轉(zhuǎn)螺桿的倒退可能導(dǎo)致錯誤的讀數(shù)。

３．３測量期間樣品在投影儀顯示屏上圖像聚焦不清晰可能引入誤差。

３．４投影儀的光學(xué)系統(tǒng)有時可能存在圖像反轉(zhuǎn)功能，導(dǎo)致呈現(xiàn)的圖像與本標(biāo)準(zhǔn)所述狀態(tài)相反。

４規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

ＧＢ／Ｔ２８２８．１計(jì)數(shù)抽樣檢驗(yàn)程序第１部分：按接收質(zhì)量限（ＡＱＬ）檢索的逐批檢驗(yàn)抽樣計(jì)劃