GB/T 14603-1993電子工業(yè)用氣體三氟化硼

標(biāo)準(zhǔn)解讀

GB/T 14603-1993 是一項中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)，全稱為《電子工業(yè)用氣體 三氟化硼》。該標(biāo)準(zhǔn)主要規(guī)定了電子工業(yè)中使用的三氟化硼氣體的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和儲存要求，旨在確保三氟化硼氣體的質(zhì)量滿足電子工業(yè)的特定應(yīng)用需求。

標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容概覽：

1. 范圍：明確了本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子工業(yè)生產(chǎn)過程中使用的三氟化硼氣體，規(guī)定了其基本要求及測試評估方法。

2. 規(guī)范性引用文件：列出了實(shí)施本標(biāo)準(zhǔn)時所依據(jù)或參考的其他相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和文件，確保各項要求和技術(shù)指標(biāo)的一致性和協(xié)調(diào)性。

3. 技術(shù)要求：

   • 純度：規(guī)定了三氟化硼氣體的最低純度要求，通常以體積分?jǐn)?shù)或質(zhì)量分?jǐn)?shù)表示，以去除可能影響電子元件性能的雜質(zhì)。
   • 水含量：限制了氣體中的水分含量，因為水分可能對電子器件的制造過程產(chǎn)生不利影響。
   • 酸性物質(zhì)和堿性物質(zhì)含量：設(shè)定了酸堿性物質(zhì)的限量，以防止這些物質(zhì)對半導(dǎo)體材料造成腐蝕或污染。
   • 其它雜質(zhì)含量：根據(jù)具體應(yīng)用，可能還會對如氧氣、氮?dú)獾绕渌赡艽嬖诘碾s質(zhì)作出限制。

4. 試驗方法：詳細(xì)描述了如何通過化學(xué)分析、氣相色譜等手段來檢測三氟化硼氣體的純度、雜質(zhì)含量等關(guān)鍵指標(biāo)，確保檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。

5. 檢驗規(guī)則：包括產(chǎn)品出廠前的檢驗項目、抽樣方法、判定規(guī)則等，以保證每批次產(chǎn)品的質(zhì)量符合標(biāo)準(zhǔn)要求。

6. 包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和儲存：

   • 包裝：規(guī)定了氣體容器的材質(zhì)、密封性要求，以及必要的安全標(biāo)識。
   • 標(biāo)志：要求在包裝上明確標(biāo)注產(chǎn)品名稱、規(guī)格、批號、生產(chǎn)日期、有效期、生產(chǎn)廠家等信息。
   • 運(yùn)輸：提供了運(yùn)輸過程中的安全措施和注意事項，以避免泄漏、火災(zāi)等危險情況。
   • 儲存：說明了適宜的儲存條件，如溫度、壓力、避光等，以維持氣體品質(zhì)并確保使用安全。

此標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施有助于提升電子工業(yè)用三氟化硼氣體的質(zhì)量控制水平，保障半導(dǎo)體制造和其他精密電子加工過程的順利進(jìn)行。

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