GB/T 14604-2009電子工業(yè)用氣體氧

犐犆犛７１．１００．２０

犌８６

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅／犜１４６０４—２００９

代替ＧＢ／Ｔ１４６０４—１９９３

電子工業(yè)用氣體氧

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２００９１０３０發(fā)布２０１００５０１實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

書

中華人民共和國

國家標(biāo)準(zhǔn)

電子工業(yè)用氣體氧

ＧＢ／Ｔ１４６０４—２００９

中國標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

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開本８８０×１２３０１／１６印張０．７５字?jǐn)?shù)１７千字

２００９年１２月第一版２００９年１２月第一次印刷

書號(hào)：１５５０６６·１３９３１５

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書

犌犅／犜１４６０４—２００９

前言

本標(biāo)準(zhǔn)代替ＧＢ／Ｔ１４６０４—１９９３《電子工業(yè)用氣體氧》。

本標(biāo)準(zhǔn)與ＧＢ／Ｔ１４６０４—１９９３相比主要變化如下：

———修改電子工業(yè)用氧的適用范圍（ＧＢ／Ｔ１４６０４—１９９３的第１章，本版的第１章）；

———修改規(guī)范性引用文件（ＧＢ／Ｔ１４６０４—１９９３的第２章，本版的第２章）；

———修改技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容（ＧＢ／Ｔ１４６０４—１９９３的第３章，本版的第３章）；

———修改瓶裝電子工業(yè)用氧采樣要求（ＧＢ／Ｔ１４６０４—１９９３的４．１，本版的４．１．３）；

———修改瓶裝電子工業(yè)用氧抽樣方法（ＧＢ／Ｔ１４６０４—１９９３的第５章，本版的４．１．１、４．１．２、４．１．４）；

———修改氫、氬、氮、氪、一氧化碳、二氧化碳、氧化亞氮、總烴和水含量的分析方法和標(biāo)準(zhǔn)樣品的規(guī)

定，當(dāng)出現(xiàn)多種分析方法時(shí)，規(guī)定仲裁方法（ＧＢ／Ｔ１４６０４—１９９３的４．３、４．４、４．５、４．６、４．７、

４．８，本版的４．３、４．４、４．６、４．７、４．８）；

———增加一氧化氮含量的分析方法（本版的４．５）；

———修改標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全（ＧＢ／Ｔ１４６０４—１９９３的第６章、第７章，本版的第５章）；

———?jiǎng)h去ＧＢ／Ｔ１４６０４—１９９３的附錄Ａ和附錄Ｂ；

———增加規(guī)范性附錄Ａ，并把采用氦離子化氣相色譜法測定電子工業(yè)用氧中的氫、氬、氮和氪組分

的方法寫入該附錄（見附錄Ａ）；

———增加規(guī)范性附錄Ｂ，并把采用氦離子化氣相色譜法測定電子工業(yè)用氧中的一氧化碳、二氧化碳

和氧化亞氮組分的方法寫入該附錄（見附錄Ｂ）。

本標(biāo)準(zhǔn)的附錄Ａ、附錄Ｂ為規(guī)范性附錄。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分技術(shù)委員會(huì)歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：中國計(jì)量科學(xué)研究院、西南化工研究設(shè)計(jì)院。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：周澤義、周鵬云。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１４６０４—１９９３。

Ⅰ

書

犌犅／犜１４６０４—２００９

電子工業(yè)用氣體氧

１范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氧的技術(shù)要求，試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于以深冷法、電解法提取的氣態(tài)或液態(tài)氧，以及經(jīng)純化方法得到的氧。它們主要用于二

氧化硅化學(xué)氣相淀積，用作氧化源和生產(chǎn)高純水的反應(yīng)劑，用于等離子體蝕刻和剝離、光導(dǎo)纖維。

分子式：Ｏ２。

相對(duì)分子質(zhì)量：３１．９９８８（按２００５年國際相對(duì)原子質(zhì)量計(jì)算）。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

ＧＢ１９０危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

ＧＢ／Ｔ３７２３工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

ＧＢ／Ｔ３８６３工業(yè)氧

ＧＢ５０９９鋼質(zhì)無縫氣瓶（ＧＢ５０９９—１９９４，ｎｅｑＩＳＯ４７０５：１９９３）

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標(biāo)志

ＧＢ／Ｔ８９８４氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳?xì)浠衔锏臏y定氣相色譜法

ＧＢ１４１９４永久氣體氣瓶充裝規(guī)定

ＧＢ／Ｔ１４６００電子工業(yè)用氣體氧化亞氮

ＧＢ１６９１２深度冷凍法生產(chǎn)氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)范

ＪＢ／Ｔ５９０５真空多層絕熱低溫液體容器

ＪＢ／Ｔ６８９７低溫液體運(yùn)輸車

ＪＢ／Ｔ６８９８低溫液體貯運(yùn)設(shè)備使用安全規(guī)則

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程

壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程

壓力管道安全管理與監(jiān)察規(guī)定

３技術(shù)要求

電子工業(yè)用氣體氧的質(zhì)量應(yīng)符合表１的要求。