GB/T 16601.4-2017激光器和激光相關(guān)設(shè)備激光損傷閾值測(cè)試方法第4部分：檢查、探測(cè)和測(cè)量

ICS31260

L51.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T166014—2017

.

激光器和激光相關(guān)設(shè)備激光損傷閾值

測(cè)試方法第4部分檢查探測(cè)和測(cè)量

:、

Lasersandlaser-relatedequipment—Testmethodsforlaser-induceddamage

threshold—Part4Insectiondetectionandmeasurement

:p,

(ISO/TR21254-4:2011,MOD)

2017-12-29發(fā)布2018-07-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T166014—2017

.

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語(yǔ)和定義

3………………1

損傷探測(cè)方法

4……………1

概述

4.1…………………1

損傷探測(cè)方法概要

4.2…………………1

樣品輻射探測(cè)

4.3………………………2

散射探測(cè)

4.3.1………………………2

等離子體和熱輻射探測(cè)

4.3.2………………………4

熒光探測(cè)

4.3.3………………………4

反射率透射率變化的探測(cè)和成像方法

4.4/……………5

反射率透射率變化的在線探測(cè)

4.4.1/………………5

在線顯微鏡法

4.4.2…………………6

光熱探測(cè)

4.5……………7

概述

4.5.1……………7

光熱偏折和表面熱透鏡

4.5.2………………………7

蜃景效應(yīng)

4.5.3………………………8

瞬態(tài)壓力感知

4.6………………………9

激光測(cè)試后的檢查方法

5…………………10

概述

5.1…………………10

諾馬斯基顯微鏡法

5.2…………………10

顯微成像比較儀法

5.3…………………11

激光掃描顯微鏡法

5.4…………………12

測(cè)繪技術(shù)

5.5……………12

電子顯微鏡法

5.6………………………14

原子力顯微鏡法

5.7……………………14

共焦顯微鏡法

5.8………………………15

參考文獻(xiàn)

……………………17

GB/T166014—2017

.

前言

激光器和激光相關(guān)設(shè)備激光損傷閾值測(cè)試方法分為以下個(gè)部分

GB/T16601《》,4:

第部分定義和總則

———1:;

第部分閾值確定

———2:;

第部分激光功率能量承受能力確信

———3:();

第部分檢查探測(cè)和測(cè)量

———4:、。

本部分為的第部分

GB/T166014。

本部分按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本部分使用重新起草法修改采用激光器和激光相關(guān)設(shè)備激光損傷閾值

ISO/TR21254-4:2011《

測(cè)試方法第部分檢查探測(cè)和測(cè)量

4:、》。

本部分與的技術(shù)性差異及其原因如下

ISO/TR21254-4:2011:

關(guān)于規(guī)范性引用文件本部分做了具有技術(shù)性差異的調(diào)整以適應(yīng)我國(guó)的技術(shù)條件調(diào)整的情

———,,,

況集中反映在第章規(guī)范性引用文件中具體調(diào)整如下

2“”,:

用修改采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的代替了

●GB/T15313—2008ISO11145;

用修改采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的代替了

●GB/T16601.1—2017ISO21254-1;

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專(zhuān)利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專(zhuān)利的責(zé)任

。。

本部分由中國(guó)兵器工業(yè)集團(tuán)公司提出

。

本部分由全國(guó)光學(xué)和光子學(xué)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC103)。

本部分起草單位國(guó)營(yíng)第五三〇八廠中國(guó)兵器工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究所西南技術(shù)物理研究所

:、、。

本部分主要起草人崔瑩陳亞華魏曉羽熊波李煒娜李開(kāi)華葉大華涂建軍

:、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T166014—2017

.

引言

激光損傷閾值的探測(cè)程序通常需要用到對(duì)于表面檢查損傷探測(cè)較為靈敏的技術(shù)在典型的探測(cè)

、。

方案中每個(gè)樣品都要在測(cè)試前用顯微方法進(jìn)行檢查以評(píng)估其表面質(zhì)量及疵病級(jí)數(shù)對(duì)損傷測(cè)試

,,。S1

時(shí)在對(duì)樣品輻照過(guò)程中可應(yīng)用多種在線監(jiān)測(cè)方案

,。

這些方法的實(shí)例包括樣品測(cè)試區(qū)域散射光的探測(cè)樣品等離子體輻射的采集或是光熱探測(cè)方案

、。

在大多數(shù)情況下探測(cè)系統(tǒng)直接與激光源相連以在發(fā)生損傷后迅速中斷對(duì)樣品的激光輻照這樣可以

,,。

避免對(duì)樣品造成災(zāi)難性的損傷并能夠精確地測(cè)定損傷最初發(fā)生時(shí)的激光脈沖數(shù)而且在連續(xù)測(cè)試過(guò)

,。

程中可對(duì)此損傷狀態(tài)的直接信息進(jìn)行處理以確定后續(xù)測(cè)試激光能量的最佳值減小探測(cè)的不確定度

,,,。

出于同樣的理由在對(duì)損傷測(cè)試設(shè)備中也經(jīng)常采用基于直接成像和在線圖像處理的復(fù)雜探測(cè)方案

,11。

對(duì)樣品進(jìn)行激光脈沖輻照后使用合適的檢查技術(shù)識(shí)別損傷點(diǎn)并獲取產(chǎn)生損傷的機(jī)理信息為了得到

,。

準(zhǔn)確的損傷閾值對(duì)測(cè)試點(diǎn)的檢查是非常必要的因?yàn)檫@是對(duì)損傷狀態(tài)最終的也是最敏感的評(píng)估

,,、。

本部分介紹了在損傷測(cè)試前后光學(xué)表面的檢查技術(shù)以及集成在探測(cè)設(shè)備中的損傷探測(cè)技術(shù)本部

。

分所描述的損傷探測(cè)方法是經(jīng)過(guò)實(shí)踐檢驗(yàn)并經(jīng)常應(yīng)用于探測(cè)設(shè)備的損傷測(cè)試解決方案實(shí)例本部分并

。

不排斥可用于光學(xué)元件損傷探測(cè)或檢查的其他方案的應(yīng)用

。

Ⅱ

GB/T166014—2017

.

激光器和激光相關(guān)設(shè)備激光損傷閾值

測(cè)試方法第4部分檢查探測(cè)和測(cè)量

:、

1范圍

的本部分規(guī)定了光學(xué)元件表面和內(nèi)部激光損傷的檢查探測(cè)和測(cè)量方法

GB/T16601、。

本部分適用于光學(xué)元件表面和內(nèi)部激光損傷的檢查探測(cè)和測(cè)量

、。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

激光術(shù)語(yǔ)

GB/T15313—2008(ISO11145:2006,MOD)

激光器和激光相關(guān)設(shè)備激光損傷閾值測(cè)試方法第部分定義和總則

GB/T16601.1—20171:

(ISO21254-1:2011,MOD)

3術(shù)語(yǔ)和定義

界定的術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

GB/T15313—2008、GB/T16601.1—2017。

4損傷探測(cè)方法

41概述

.

對(duì)于包含對(duì)單個(gè)測(cè)試點(diǎn)進(jìn)行多脈沖輻照的損傷探測(cè)方法需要合適的在線損傷探測(cè)系統(tǒng)以按照

,,

的規(guī)定對(duì)被測(cè)光學(xué)元件表面的狀態(tài)進(jìn)行評(píng)估推薦在線損傷探測(cè)系統(tǒng)宜具有在

GB/T16601.1—2017。