GB/T 16945-1997電子工業(yè)用氣體氬

6102中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T16945－1997電子工業(yè)用氣體氬Gasesforelectronicindustry-Argon1997-08-13發(fā)布1998-05-01實(shí)施國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

GB/T16945-1997本標(biāo)準(zhǔn)是根據(jù)SEMIC3.46—93《99.9992%質(zhì)量的散裝液氮標(biāo)準(zhǔn)》95年版)制定的，在技術(shù)要求上與之等同，試驗(yàn)方法與之等效。在將SEMIC3.46—93轉(zhuǎn)化為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，結(jié)合我國(guó)實(shí)際情況，將適用范圍擴(kuò)大至瓶裝氬氣和管道輸送的氫氣，刪去SEMIC3.46—93中僅作為參考的說(shuō)明、物理常數(shù)及注釋等內(nèi)容，試驗(yàn)方法中增加抽樣和氣純度兩條，除氫、氮含量的測(cè)定采用SEMIC3.46—93的方法外,其余各項(xiàng)雜質(zhì)含量的測(cè)定分別采用我國(guó)相應(yīng)的通用試驗(yàn)方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),同時(shí)對(duì)檢測(cè)限和標(biāo)樣要求按SEMIC3.46—93的規(guī)定進(jìn)行適當(dāng)?shù)恼{(diào)整。以上變動(dòng)與SEMIC3.46—93無(wú)實(shí)質(zhì)性差異，使標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)內(nèi)容更加完整。本標(biāo)準(zhǔn)由中華人民共和國(guó)化學(xué)工業(yè)部提出。本標(biāo)準(zhǔn)由化學(xué)工業(yè)部西南化工研究院歸口本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：化學(xué)工業(yè)部西南化工研究院、上海BOC氣體工業(yè)有限公司、武鋼氧氣廠、洛陽(yáng)單品硅廠。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：顏伯舉、王少楠。

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)電子工業(yè)用氣體GB/T16945-1997Gasesforelectronicindustry-Argon范園本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氬的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法和包裝、標(biāo)志。本標(biāo)準(zhǔn)適用于以深冷法從空氣、合成氮尾氣中提取的液態(tài)氮和氣態(tài)氬電子工業(yè)用氬氣用于系統(tǒng)的吹掃、保護(hù)和增壓,它還可用于化學(xué)氣相淀積、獄射，等離子及活性離子刻蝕劑和退火等不同工藝中。分子式：Ar相對(duì)分子質(zhì)量：39.948(按1991年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量)2引用標(biāo)準(zhǔn)下列標(biāo)準(zhǔn)所包含的條文，通過(guò)在本標(biāo)準(zhǔn)中引用而構(gòu)成為本標(biāo)準(zhǔn)的條文。本標(biāo)準(zhǔn)出版時(shí),所示版本均為有效。所有標(biāo)準(zhǔn)都會(huì)被修訂，使用本標(biāo)準(zhǔn)的各方應(yīng)探討使用下列標(biāo)準(zhǔn)最新版本的可能性。GB/T4842-1995氮?dú)釭B/T5832.1—86氣體中微量水分的測(cè)定電解法GB/T5832.2—86氣體中微量水分的測(cè)定露點(diǎn)法GB/T6285—86氣體中微量氧的測(cè)定電化學(xué)法GB/T8984.1一1997氣體中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的測(cè)定氣相色譜法GB/T8984.3—1997氣體中總烴的測(cè)定氣相色譜法GB14193—1993液化氣體氣瓶充裝規(guī)定JB/TQ503—86低溫液體槽車JB/T6897-93低溫液體容器JB/T6898—93低溫液體儲(chǔ)運(yùn)設(shè)備使用安全規(guī)則3要求電子工業(yè)用氬技術(shù)要求應(yīng)符合表1的規(guī)定表1技術(shù)要求V/v指氬純度,10-99.9992氫含量，10-敘合量，10-氧含量.10-一氧化碳和二氧化碳含量，10-2s總烴(以甲