GB/T 21287-2007電子工業(yè)用氣體三氟化氮

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犌８６

中華人民共和國國家標準

犌犅／犜２１２８７—２００７

電子工業(yè)用氣體三氟化氮

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２００７１２１４發(fā)布２００８０７０１實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局

發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

書

犌犅／犜２１２８７—２００７

目次

前言!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!Ⅲ

１范圍!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

２規(guī)范性引用文件!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

３要求!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

４試驗方法!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!２

５包裝、標志、貯運及安全!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!５

附錄Ａ（資料性附錄）切割氣路流程示意圖!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!７

附錄Ｂ（資料性附錄）測定三氟化氮中一氧化碳的氣路切換裝置流程示意圖!!!!!!!!!!８

附錄Ｃ（規(guī)范性附錄）可水解氟化物和總酸度的測定!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!９

附錄Ｄ（資料性附錄）三氟化氮的化學性質和物理參數!!!!!!!!!!!!!!!!!!１２

Ⅰ

書

犌犅／犜２１２８７—２００７

前言

本標準根據ＳＥＭＩ（半導體材料和設備國際組織）的《三氟化氮》（ＳＥＭＩＣ３．３９—０３０４）２００４年版標

準，并結合我國三氟化氮生產的實際情況制定。

本標準的附錄Ｃ為規(guī)范性附錄，附錄Ａ、附錄Ｂ、附錄Ｄ為資料性附錄。

本標準由全國半導體材料和設備標準化技術委員會氣體分會（ＳＡＣ／ＴＣ２０３／ＳＣ１）提出并歸口。

本標準由湖北沙隆達天門農化有限責任公司、中國船舶重工集團公司第七一八研究所負責起草。

本標準參加起草單位有：核工業(yè)理化研究院特氣中心、中核紅華特種氣體有限公司、黎明化工研究

院、國家標準物質研究中心、西南化工研究設計院等。

本標準主要起草人：余啟富、宋再卿、劉新明、戴龍俠、方治文、牛學坤、金美蘭、任清貴、王少楠。

本標準為首次發(fā)布。

Ⅲ

犌犅／犜２１２８７—２００７

電子工業(yè)用氣體三氟化氮

１范圍

本標準規(guī)定了瓶裝電子工業(yè)用氣體———三氟化氮的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及包裝、標志、運

輸、儲存和安全。

本標準適用于電子工業(yè)用三氟化氮。它主要用作電子工業(yè)中等離子體工藝等離子體刻蝕劑和化學

氣相沉積的清洗劑。

分子式：ＮＦ３。

分子量：７１．００１９（按２００１年國際相對原子量）

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據本標準達成協議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。

ＧＢ１９０危險貨物包裝標志

ＧＢ／Ｔ３７２３工業(yè)用化學產品采樣安全通則（ＧＢ／Ｔ３７２３—１９９９，ｉｄｔＩＳＯ３１６５：１９７６）

ＧＢ５０９９鋼質無縫氣瓶（ＧＢ５０９９—１９８５，ｎｅｑＩＳＯ１４０５：１９８３）

ＧＢ／Ｔ５８３２．１氣體濕度的測定第１部分：電解法

ＧＢ／Ｔ６６８１氣體化工產品采樣通則

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標志

ＧＢ１４１９４永久氣體充瓶充裝規(guī)定

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程

危險化學品安全管理條例

特種設備安全監(jiān)察條例

３要求

電子工業(yè)用氣體三氟化氮應符合表１的要求。

表１技術指標

項目指標

－２

三氟化氮（ＮＦ３），１０（體積分數）≥９９．５９９．９９９．９８９９．９９９９．９９６

－６

四氟化碳（ＣＦ４），１０（體積分數）≤１５００５００１００５０２０

－６

氮（Ｎ２），１０（體積分數）≤７００５０１０１０５

－６

氧加氬（Ｏ２＋Ａｒ），１０（體積分數）≤７００５０１０５３

一氧化碳（ＣＯ），１０－６（體積分數）≤５０１０１０５１