標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 24582-2009 酸浸取-電感耦合等離子質(zhì)譜儀測(cè)定 多晶硅表面金屬雜質(zhì)》是一項(xiàng)國家標(biāo)準(zhǔn),旨在通過酸浸取結(jié)合電感耦合等離子體質(zhì)譜(ICP-MS)技術(shù)來檢測(cè)多晶硅材料表面上存在的金屬雜質(zhì)。該標(biāo)準(zhǔn)適用于純度較高的多晶硅材料中痕量金屬元素的分析與測(cè)定,對(duì)于保證半導(dǎo)體材料質(zhì)量具有重要意義。

根據(jù)該標(biāo)準(zhǔn),首先需要對(duì)樣品進(jìn)行適當(dāng)?shù)念A(yù)處理,即使用特定濃度的酸溶液在一定條件下浸泡多晶硅樣品,使得附著于其表面或淺表層內(nèi)的微量金屬雜質(zhì)能夠被有效地溶解出來形成溶液樣本。此過程中所使用的酸液種類及比例、浸取溫度和時(shí)間等因素均需嚴(yán)格按照規(guī)定執(zhí)行,以確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的一致性和準(zhǔn)確性。

接下來,將得到的液體樣本利用電感耦合等離子體質(zhì)譜儀進(jìn)行測(cè)試。ICP-MS是一種非常靈敏且高效的分析手段,它可以通過測(cè)量不同元素特有的質(zhì)荷比來識(shí)別并定量存在于樣品中的各種金屬成分。為了獲得可靠的數(shù)據(jù),在實(shí)際操作時(shí)還需要注意控制好儀器的工作參數(shù),并采取適當(dāng)?shù)馁|(zhì)量控制措施如定期校準(zhǔn)、空白對(duì)照試驗(yàn)等。

整個(gè)分析流程涵蓋了從樣品制備到最終報(bào)告生成的所有步驟,每一步都給出了詳細(xì)的操作指南和技術(shù)要求,為實(shí)驗(yàn)室提供了統(tǒng)一規(guī)范化的檢測(cè)方法。此外,標(biāo)準(zhǔn)還列出了可能影響測(cè)定結(jié)果準(zhǔn)確性的因素以及相應(yīng)的解決策略,有助于提高分析工作的科學(xué)性和可靠性。


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  • 2009-10-30 頒布
  • 2010-06-01 實(shí)施
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GB/T 24582-2009酸浸取-電感耦合等離子質(zhì)譜儀測(cè)定多晶硅表面金屬雜質(zhì)_第1頁
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GB/T 24582-2009酸浸取-電感耦合等離子質(zhì)譜儀測(cè)定多晶硅表面金屬雜質(zhì)-免費(fèi)下載試讀頁

文檔簡介

犐犆犛29.045

犎80

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅/犜24582—2009

酸浸取電感耦合等離子質(zhì)譜儀測(cè)定

多晶硅表面金屬雜質(zhì)

犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉犿犲犪狊狌狉犻狀犵狊狌狉犳犪犮犲犿犲狋犪犾犮狅狀狋犪犿犻狀犪狋犻狅狀狅犳狆狅犾狔犮狉狔狊狋犪犾犾犻狀犲狊犻犾犻犮狅狀

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20091030發(fā)布20100601實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

中華人民共和國

國家標(biāo)準(zhǔn)

酸浸取電感耦合等離子質(zhì)譜儀測(cè)定

多晶硅表面金屬雜質(zhì)

GB/T24582—2009

中國標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

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開本880×12301/16印張0.5字?jǐn)?shù)9千字

2009年12月第一版2009年12月第一次印刷

書號(hào):155066·139583

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犌犅/犜24582—2009

前言

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本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位:新光硅業(yè)科技責(zé)任有限公司。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:王波、過惠芬、吳道榮、梁洪、敖細(xì)平。

犌犅/犜24582—2009

酸浸取電感耦合等離子質(zhì)譜儀測(cè)定

多晶硅表面金屬雜質(zhì)

1范圍

1.1本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用酸從多晶硅塊表面浸取金屬雜質(zhì),并用電感耦合等離子質(zhì)譜儀定量檢測(cè)多晶硅表

面上的金屬雜質(zhì)痕量分析方法。

1.2本標(biāo)準(zhǔn)適用于堿金屬、堿土金屬和第一系列過渡元素如鈉、鉀、鈣、鐵、鎳、銅、鋅以及其他元素如鋁

的檢測(cè)。

1.3本標(biāo)準(zhǔn)適用于各種棒、塊、粒、片狀多晶表面金屬污染物的檢測(cè)。由于塊、片或粒形狀不規(guī)則,面積

很難準(zhǔn)確測(cè)定,故根據(jù)樣品重量計(jì)算結(jié)果,使用的樣品重量為50g~300g,檢測(cè)限為0.01ng/mL。

1.4酸的濃度、組成、溫度和浸取時(shí)間決定著表面腐蝕深度和表面污染物的浸取效率。在這個(gè)實(shí)驗(yàn)方

法中腐蝕掉的樣品重量小于樣品重量的1%。

1.5本標(biāo)準(zhǔn)適用于重量為25g~5000g的樣品的測(cè)定,為了達(dá)到仲裁的目的,該實(shí)驗(yàn)方法規(guī)定樣品的

重量為約300g。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有

的修改單(不包括勘誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn),然而,鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

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3術(shù)語、定義和縮略語

3.1術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

3.1.1

酸空白犪犮犻犱犫犾犪狀犽

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