GB/T 30704-2014表面化學分析X射線光電子能譜分析指南

ICS7104040

G04..

中華人民共和國國家標準

GB/T30704—2014/ISO108102010

:

表面化學分析

X射線光電子能譜分析指南

Surfacechemicalanalysis—X-rayphotoelectronspectroscopy—

Guidelinesforanalysis

(ISO10810:2010,IDT)

2014-06-09發(fā)布2014-12-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T30704—2014/ISO108102010

:

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

符號和縮略語

4……………1

樣品分析概述

5……………2

樣品表征

6…………………3

概述

6.1…………………3

樣品形態(tài)

6.2……………4

材料類型

6.3……………5

樣品處理和安裝

6.4……………………6

樣品處理

6.5……………6

儀器核查

7…………………7

概述

7.1…………………7

儀器檢查

7.2……………7

儀器校準

7.3……………8

儀器設定

7.4……………12

寬掃描譜

8…………………13

數(shù)據(jù)采集

8.1……………13

數(shù)據(jù)分析

8.2……………14

窄掃描

9……………………15

概述

9.1…………………15

數(shù)據(jù)采集

9.2……………15

數(shù)據(jù)分析

9.3……………15

測試報告

10………………18

參考文獻

……………………20

GB/T30704—2014/ISO108102010

:

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準使用翻譯法等同采用表面化學分析射線光電子能譜分析指南

ISO10810:2010《X》。

與本標準中規(guī)范性引用的國際文件有一致性對應關系的我國文件如下

:

檢測和校準實驗室能力的通用要求

———GB/T27025—2008(ISO/IEC17025:2005,IDT)

表面化學分析詞匯

———GB/T22461—2008(ISO18115:2001,IDT)

本標準由全國微束分析標準化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標準起草單位中國科學院化學研究所

:。

本標準起草人趙志娟劉芬趙良仲章小余

:、、、。

Ⅰ

GB/T30704—2014/ISO108102010

:

引言

射線光電子能譜被廣泛用于材料的表面分析將所測芯能級結(jié)合能與各種元素的結(jié)合能

X(XPS)。

表對照來識別樣品中的元素除之外與純元素態(tài)的數(shù)據(jù)比較其化學態(tài)可以根據(jù)譜峰位移以

(H、He)。,

及其他參數(shù)的變化來確定元素的定量信息從所測光電子峰的強度中得到利用公式和儀器廠商提供

。。

的或本儀器測量的相對靈敏度因子以及合適的軟件可以計算所測表面層中各化學成分的含量

。

本標準是為了幫助射線光電子能譜儀的操作者進行典型樣品的有效和有意義的分析

X。

Ⅱ

GB/T30704—2014/ISO108102010

:

表面化學分析

X射線光電子能譜分析指南

1范圍

本標準適用于射線光電子能譜儀的操作者分析典型樣品本標準幫助操作者完成整個分析過

X。

程包括樣品處理譜儀校準和設定以及寬掃描譜和窄掃描譜的采集并給出了定量和準備最終報告的

,,,

建議

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

檢測和校準實驗室能力的通用要求

ISO/IEC17025(Generalrequirementsforthecompetenceof

testingandcalibrationlaboratories)

表面化學分析詞匯第一部分通用術(shù)語和譜學術(shù)語

ISO18115-1——:(Surfacechemical

analysis—Vocabulary—Part1:Generaltermsandtermsusedinspectroscopy)

3術(shù)語和定義

界定的術(shù)語和定義適用于本文件

ISO18115-1。

4符號和縮略語

下列符號和縮略語適用于本文件

。

俄歇電子能譜

AES(Augerelectronspectroscopy)

變角射線光電子能譜

ARXPSX(Angle-resolvedX-rayphotoelectronspectroscopy)

物質(zhì)的量咨詢委員會

CCQM(Consultativecommitteeforamountofsubstance)

有證標準參考物質(zhì)

CRM()(Certifiedreferencematerial)

有效衰減長度

EAL(Effectiveattenuationlength)